TW201916766A - 用於電鍍或無電鍍製程的治具及其機台 - Google Patents

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    • C23C18/1619—Apparatus for electroless plating
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Abstract

一種用於電鍍或無電鍍製程的治具包括：一載座；一載座保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時裝設於該載座上，並形成有一凹部，該凹部用以承載一待鍍基板；一上蓋保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座保護層結合以夾持該待鍍基板，藉此該上蓋保護層壓合該待鍍基板之一表面的環形邊緣區域；以及一上蓋，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座結合以固定該載座保護層及上蓋保護層。

Description

用於電鍍或無電鍍製程的治具及其機台
本發明是有關於一種用於電鍍或無電鍍製程的治具及應用其之機台，且特別是有關於一種用於電鍍或無電鍍製程的治具及應用其之機台，其待鍍基板接觸到電鍍或無電鍍製程之處理液的區域只會在欲鍍區域。
在太陽能電池的金屬化製程中，通常是以網版印刷正背面電極，搭配高溫燒結來形成正背面金屬接觸。然而，傳統式網印金屬漿料的材料價格過高。近期業者期望以電鍍金屬電極技術來取而代之，但電鍍技術需要憑藉一層晶種層(seed layer)來外加偏壓提供電子，通常是以物理氣相沉積(PVD)例如：濺鍍(Sputter)或蒸鍍(Evaporation)等方式成長晶種層，再搭配電鍍技術來形成金屬化電極。然而，真空設備成本也相對過高。
因此，使用無電鍍技術(Electroless plating)取代網版印刷或物理氣相沉積(PVD)的技術，得以在電池正背面沉積上第一層的金屬晶種層，再經由直接接觸電鍍或順向偏壓電鍍的方式，完成正背面多層金屬化製程。然而，若以電鍍或無電鍍技術製作太陽能電池之金屬電極時，電池片接觸到電鍍或無電鍍化學溶液的區域，全部區域將覆蓋上金屬鍍層，無法選擇性只有鍍在欲鍍表面，也無法防止電池片的邊緣被鍍上金屬。由於邊緣金屬效應的影響，因此將導致電池片的正面及背面形成短路的現象，造成電池效率低落。
因此，便有需要一種用於電鍍或無電鍍製程的治具及其機台，能克服上述問題。
本發明之一目的是提供一種用於電鍍或無電鍍製程的治具及其機台，其待鍍基板接觸到電鍍或無電鍍製程之處理液的區域只會在欲鍍區域。
依據上述之目的，本發明提供一種用於電鍍或無電鍍製程的治具，包括：一載座；一載座保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時裝設於該載座上，並形成有一凹部，該凹部用以承載一待鍍基板；一上蓋保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座保護層結合以夾持該待鍍基板，藉此該上蓋保護層壓合該待鍍基板之一表面的環形邊緣區域；以及一上蓋，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座結合以固定該載座保護層及上蓋保護層。
根據本發明之用於電鍍或無電鍍製程的治具，若以電鍍或無電鍍技術製作太陽能電池之金屬電極時，單片電池片(亦即待鍍基板)接觸到電鍍或無電鍍製程之處理液的區域只會在欲鍍區域。由於單片電池片的邊緣及欲鍍區域之表面的另一面都不會被鍍上金屬，因此不會導致電池片的正面及背面形成短路的現象，造成電池效率低落。
1‧‧‧治具
1’‧‧‧治具
1”‧‧‧治具
1'''‧‧‧治具
10‧‧‧待鍍基板
10a‧‧‧第一待鍍基板
10b‧‧‧第二待鍍基板
101‧‧‧表面
101a‧‧‧表面
101b‧‧‧表面
1011‧‧‧環形邊緣區域
1011a‧‧‧環形邊緣區域
1011b‧‧‧環形邊緣區域
1012‧‧‧欲鍍區域
1012a‧‧‧欲鍍區域
1012b‧‧‧欲鍍區域
11‧‧‧載座
111‧‧‧載座穿孔
112‧‧‧正面
113‧‧‧背面
12‧‧‧載座保護層
12a‧‧‧第一載座保護層
12b‧‧‧第二載座保護層
121‧‧‧凹部
121a‧‧‧凹部
121b‧‧‧凹部
122‧‧‧載座保護層穿孔
122a‧‧‧載座保護層穿孔
122b‧‧‧載座保護層穿孔
13‧‧‧上蓋保護層
13a‧‧‧第一上蓋保護層
13b‧‧‧第二上蓋保護層
131‧‧‧凸起部
131a‧‧‧凸起部
131b‧‧‧凸起部
132‧‧‧上蓋保護層穿孔
132a‧‧‧上蓋保護層穿孔
132b‧‧‧上蓋保護層穿孔
14‧‧‧上蓋
14a‧‧‧第一上蓋
14b‧‧‧第二上蓋
141‧‧‧第一上蓋穿孔
141a‧‧‧第一上蓋穿孔
141b‧‧‧第一上蓋穿孔
142‧‧‧第二上蓋穿孔
142a‧‧‧第二上蓋穿孔
142b‧‧‧第二上蓋穿孔
15‧‧‧螺絲
15a‧‧‧螺絲
15b‧‧‧螺絲
151‧‧‧桿體區域
152‧‧‧螺帽區域
16‧‧‧導電結構
16a‧‧‧第一導電結構
16b‧‧‧第二導電結構
2‧‧‧機台
2’‧‧‧機台
2”‧‧‧機台
20‧‧‧待鍍基板
20’‧‧‧待鍍基板
201‧‧‧表面
2012‧‧‧欲鍍區域
21‧‧‧第一治具
21’‧‧‧第二治具
22‧‧‧槽體
23‧‧‧處理液
24‧‧‧支架
241‧‧‧旋轉移動
圖1a為本發明之第一實施例之用於無電鍍製程的治具之平面示意圖。
圖1b為沿圖1a之剖線1b-1b之用於無電鍍製程的治具之組合剖面示意圖。
圖1c為沿圖1a之剖線1c-1c之用於無電鍍製程的治具之組合剖面示意圖。
圖2為本發明之第一實施例之用於無電鍍製程的治具之分解剖面示意圖。
圖3為本發明之另一實施例之用於無電鍍製程的治具之平面示意圖。
圖4為本發明之第一實施例之用於電鍍製程的治具之剖面示意圖。
圖5a及圖5b為本發明之第二實施例之用於無電鍍製程的治具之組合剖面示意圖。
圖6為本發明之第二實施例之用於電鍍製程的治具之剖面示意圖。
圖7為本發明之第一實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之剖面示意圖。
圖8為本發明之第一實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之局部立體示意圖。
圖9為本發明之第二實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之局部立體示意圖。
圖10為本發明之第三實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之局部立體示意圖。
為讓本發明之上述目的、特徵和特點能更明顯易懂，茲配合圖式將本發明相關實施例詳細說明如下。
圖1a為本發明之第一實施例之用於無電鍍製程的治具之平面示意圖。圖1b為沿圖1a之剖線1b-1b之用於無電鍍製程的治具之組合剖面示意圖。本實施之用於無電鍍製程的治具1是應用於單片太陽能電池片之電極金屬化製程。請參考圖1a及圖1b，用於無電鍍製程的治具1包括：一載座11、一載座保護層12、一上蓋保護層13及一上蓋14。該載座保護層12於該無電鍍製程進行時裝設於該載座11之一正面112上，並形成有一凹部121，該凹部121用以承載一待鍍基板10(例如太陽能電池片)。該上蓋 保護層13於該無電鍍製程進行時與該載座保護層12結合以夾持該待鍍基板10，藉此該上蓋保護層13壓合該待鍍基板10之一表面101的環形邊緣區域1011(該環形邊緣區域1011環繞該表面101的欲鍍區域1012)。特別是該上蓋保護層13與該環型邊緣區域1011之間完全密合不漏液。該上蓋14於該無電鍍製程進行時與該載座11結合以固定該載座保護層12及該上蓋保護層13。該載座11及該上蓋14可為耐熱/耐酸鹼之硬性絕緣材料所製，例如玻璃纖維、耐熱塑膠、或鐵氟龍等。該載座保護層12及該上蓋保護層13可為耐熱/耐酸鹼之軟性絕緣材料所製，例如矽膠或橡膠等。
無電鍍製程一般可稱為自身催化鍍法(Autocatalytic Plating)，先在工作物表面形成具有催化力的表面，或是利用工作物表面本身的催化作用，以化學還原方法，使金屬離子成金屬狀態析出。首先次磷酸根(還原劑)被氧化成亞磷酸根離子，釋出的電荷可使金屬離子(例如鎳離子)還原，金屬(例如鎳)沉積在具催化作用的活化表面上，而析出的金屬(例如鎳)，又繼續催化反應的進行，所以析出反應連鎖進行，鍍層呈層狀結構，厚度可任意控制。
圖1c為沿圖1a之剖線1c-1c之用於無電鍍製程的治具之組合剖面示意圖。請參考圖1c，該上蓋14包括多個第一上蓋穿孔141，該上蓋保護層13包括多個凸起部131，該些凸起部131於該上蓋14與上蓋保護層13結合時分別穿過該些第一上蓋穿孔141而裸露出。該些凸起部131可避免該載座保護層12及該上蓋保護層13緊密結合後不易脫片的問題，進而輕易取出太陽能電池片。
圖2為本發明之第一實施例之用於無電鍍製程的治具之分解剖面示意圖。請參考圖2，該上蓋14更包括多個第二上蓋穿孔142，該上蓋14及該載座11的結合方式為以多個螺絲15分別穿過該些第二上蓋穿孔142而鎖入該載座11。該載座11包括多個載座穿孔111，該載座保護層12包括多個載座保護層穿孔122，該上蓋保護層13包括多個上蓋保護層穿孔132，該些載座穿 孔111、該些載座保護層穿孔122、該些上蓋保護層穿孔132及該些第二上蓋穿孔142依序對應而分別供該些螺絲15穿過，每一該些載座保護層穿孔122的孔徑(例如孔徑7mm)及每一該些上蓋保護層穿孔132的孔徑(例如孔徑7mm)大於其對應的該載座穿孔111的孔徑(例如孔徑5mm)及該第二上蓋穿孔142的孔徑(例如孔徑5mm)，藉此可避免在治具的鎖緊過程中使該載座保護層12及該上蓋保護層13凸起或翹曲，造成無電鍍製程中漏液的問題。所述第二上蓋穿孔142的孔徑特別是指對應該螺絲15的桿體區域151的直徑，而不是指該螺絲15的螺帽區域152的直徑。
請再參考圖1a，在本實施例中，該上蓋14為環狀外型，該些第一上蓋穿孔141及該些第二上蓋穿孔142彼此交替地沿環狀路徑排列，且該些第一上蓋穿孔141設置在四個角落。該些第一上蓋穿孔141及該些第二上蓋穿孔142搭配該些凸起部131及該些螺絲15的設計，可產生均勻的定位及鎖合效果。請參考圖3，在另一實施例中，該些第一上蓋穿孔141及該些第二上蓋穿孔142也是彼此交替地沿環狀路徑排列，但是該些第二上蓋穿孔142設置在四個角落。該些第一上蓋穿孔141及該些第二上蓋穿孔142搭配該些凸起部131及該些螺絲15的設計，也可產生均勻的定位及鎖合效果。
圖4為本發明之第一實施例之用於電鍍製程的治具之剖面示意圖。本實施之用於電鍍製程的治具1’是應用於單片太陽能電池片之電極金屬化製程。第一實施例之用於電鍍製程的治具’1大體上類似於第一實施例之用於無電鍍製程的治具1，類似的元件標示類似的標號，其差異在於第一實施例之用於電鍍製程的治具1’更包括一導電結構16，其設置於載座11內，並穿過該載座保護層13而電性接觸該待鍍基板10。該導電結構16更電性連接至外部電源之負極(圖未示)。
根據本發明之用於電鍍或無電鍍製程的治具，若以電鍍或無電鍍技術製作太陽能電池之金屬電極時，單片電池片(亦即 待鍍基板)接觸到電鍍或無電鍍製程之處理液的區域只會在欲鍍區域。由於單片電池片的邊緣及欲鍍區域之表面的另一面都不會被鍍上金屬，因此不會導致電池片的正面及背面形成短路的現象，造成電池效率低落。
圖5a及圖5b為本發明之第二實施例之用於無電鍍製程的治具之組合剖面示意圖。第二實施例之用於無電鍍製程的治具1”大體上類似於第一實施例之用於無電鍍製程的治具1，類似的元件標示類似的標號，其差異在於第二實施例之用於無電鍍製程的治具1”是應用於雙片太陽能電池片之電極金屬化製程。請參考圖5a及圖5b，該用於無電鍍製程的治具1”包括：一載座11、一第一及一第二載座保護層12a、12b、一第一及一第二上蓋保護層13a、13b、及一第一及一第二上蓋14a、14b。該第一及該第二載座保護層12a、12b分別於該無電鍍製程進行時裝設於該載座11之一正面112及一背面113上，並分別形成有一第一及一第二凹部121a、121b，該第一及該第二凹部121a、121b用以承載一第一及一待鍍基板10a、10b。該第一及該第二上蓋保護層13a、13b於該無電鍍製程進行時分別與該第一及該第二載座保護層11a、11b結合，以分別夾持該第一及該第二待鍍基板10a、10b，藉此該第一及該第二上蓋保護層13a、13b分別壓合該第一待鍍基板10a之一表面101a的環形邊緣區域1011a及該第二待鍍基板10b之一表面101b的環形邊緣區域1011b(該環形邊緣區域1011a、1011b環繞該表面101a、101b的欲鍍區域1012a、1012b)。特別是該第一及該第二上蓋保護層13a、13b與該環型邊緣區域1011a、1011b之間完全密合不漏液。
該第一上蓋14a於該無電鍍製程進行時與該載座11結合以固定該第一載座保護層12a及第一上蓋保護層13a。該第二上蓋14b於該無電鍍製程進行時與該載座11結合以固定該第二載座保護層12b及第二上蓋保護層13b。該載座11及該第一及該第二上蓋14a、14b可為耐熱/耐酸鹼之硬性絕緣材料所製，例如玻璃 纖維、耐熱塑膠等、或鐵氟龍。該第一及該第二載座保護層12a、12b及該第一及該第二上蓋保護層13a、13b可為耐熱/耐酸鹼之軟性絕緣材料所製，例如矽膠或橡膠等。
在第二實施例中，該用於無電鍍製程的治具1”也包括多個螺絲15a、15b(其類似於圖1b之螺絲15)，該第一及該第二上蓋14a、14b也包括多個第一上蓋穿孔141a、141b(類似於圖1b之第一上蓋穿孔141)，且該第一及該第二上蓋保護層13a、13b也包括多個凸起部131a、131b(類似於圖1b之凸起部131)。該第一及該第二上蓋14a、14b也更包括多個第二上蓋穿孔142a、142b(類似於圖2之第二上蓋穿孔142)。該載座11也包括多個載座穿孔111a、111b(類似於圖2之載座穿孔111)，該第一及該第二載座保護層12a、12b也包括多個載座保護層穿孔122a、122b(類似於圖1b之載座保護層穿孔122)，且該第一及該第二上蓋保護層13a、13b也包括多個上蓋保護層穿孔132a、132b(類似於圖1b之上蓋保護層穿孔132)。第二實施例之螺絲、第一上蓋穿孔、凸起部、第二上蓋穿孔、載座穿孔、載座保護層穿孔及上蓋保護層穿孔之功用皆類似於第一實施例之螺絲、第一上蓋穿孔、凸起部、第二上蓋穿孔、載座穿孔、載座保護層穿孔及上蓋保護層穿孔之功用，無庸贅述。
圖6為本發明之第二實施例之用於電鍍製程的治具之剖面示意圖。本實施之用於電鍍製程的治具1'''是應用於雙片太陽能電池片之電極金屬化製程。第二實施例之用於電鍍製程的治具大體上類似於第二實施例之用於無電鍍製程的治具1”，類似的元件標示類似的標號，其差異在於第二實施例之用於電鍍製程的治具1'''更包括一第一及一第二導電結構16a、16b，其設置於載座11內，並分別穿過該第一及該第二載座保護層12a、12b而電性接觸該第一及該第二待鍍基板10a、10b。該第一及該第二導電結構16a、16b更分別電性連接至外部電源之負極(圖未示)。
根據本發明之用於電鍍或無電鍍製程的治具，若以 電鍍或無電鍍技術製作太陽能電池之金屬電極時，雙片電池片(亦即第一及第二待鍍基板)之任一片接觸到電鍍或無電鍍製程之處理液的區域只會在欲鍍區域。由於雙片電池片之任一片的邊緣及欲鍍區域之表面的另一面都不會被鍍上金屬，因此不會導致電池片的正面及背面形成短路的現象，造成電池效率低落。
圖7為本發明之第一實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之剖面示意圖。圖8為本發明之第一實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之局部立體示意圖。請參考圖7及圖8，該用於電鍍或無電鍍製程的機台2包括：一槽體22及一第一治具21。該槽體22用於容納該電鍍或無電鍍製程之一處理液23。該第一治具21可為本發明之用於無電鍍製程的治具1、用於電鍍的治具1’、用於無電鍍的治具1”、或用於電鍍的治具1'''，該第一治具21是用於將該至少一待鍍基板20浸入該槽體22所容納之該處理液23中。在本實施例中，該第一治具21是以用於無電鍍製程的治具1”為例作說明，如圖7所示。該用於電鍍或無電鍍製程的機台2更包括：一支架24，其與該第一治具21連接。該支架24用以帶動該第一治具21於該處理液23中移動，例如旋轉或線性移動。
當進行電鍍製程時，該電鍍製程之處理液23可為電鍍液(提供沉積金屬的離子)，用以將一金屬層以電鍍方式形成在該待鍍基板20之一表面201的欲鍍區域2012上；當進行無電鍍製程時，根據不同階段，該無電鍍製程之處理液23可為敏化液、活化液、或無電鍍液(提供欲鍍上金屬之離子)，用以將一金屬層以無電鍍方式形成在該待鍍基板20之一表面201的欲鍍區域2012上。
圖9為本發明之第二實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之局部立體示意圖。請參考圖9及圖7，第二實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台2’大體上類似於第二實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台2，類似的元件標示類似的標號，其差異在於第二實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台2’更包括：至少一第二治具21’，該第二治具21’可為本發明之用於無電鍍製程的治 具1、用於電鍍的治具1’、用於無電鍍的治具1”、或用於電鍍的治具1'''，該至少一第二治具21’也是用於將至少一待鍍基板20’浸入該槽體22所容納之該處理液23中，且該支架24也與該第二治具21’連接。該支架24用以使該第一治具21及該至少一第二治具21’於該處理液23中移動，例如旋轉移動241。該第一治具21及該至少一第二治具21’是以其法線方向垂直於該旋轉移動241的切線方向而排列，特別適用於縱向鍍液循環之系統，例如在鍍液槽體中，其鍍液噴孔由下往上噴出的狀況。該用於電鍍或無電鍍製程的機台2’可增加更多電池片同時進行電鍍或無電鍍製程，以加大產能。
圖10為本發明之第三實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台之局部立體示意圖。請參考圖10，第三實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台2”大體上類似於第二實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台2’，類似的元件標示類似的標號，其差異在於第三實施例之用於電鍍或無電鍍製程的機台2”之該第一治具21及該至少一第二治具21’是以其法線方向平行於該旋轉移動241的切線方向而排列，特別適用於二種系統包括橫向鍍液循環或縱向鍍液循環之系統，例如在鍍液槽體中，其鍍液噴孔由一側壁往對向側壁方向噴出的狀況，或是在鍍液槽體中，其鍍液噴孔由下往上噴出的狀況。該用於電鍍或無電鍍製程的機台2”可增加更多電池片同時進行電鍍或無電鍍製程，以加大產能。
綜上所述，乃僅記載本發明為呈現解決問題所採用的技術手段之較佳實施方式或實施例而已，並非用來限定本發明專利實施之範圍。即凡與本發明專利申請範圍文義相符，或依本發明專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

Claims (14)

  1. 一種用於電鍍或無電鍍製程的治具，包括：一載座；一載座保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時裝設於該載座上，並形成有一凹部，該凹部用以承載一待鍍基板；一上蓋保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座保護層結合以夾持該待鍍基板，藉此該上蓋保護層壓合該待鍍基板之一表面的環形邊緣區域；以及一上蓋，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座結合以固定該載座保護層及上蓋保護層。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該上蓋包括多個第一上蓋穿孔，該上蓋保護層包括多個凸起部，該些凸起部於該上蓋與上蓋保護層結合時分別穿過該些第一上蓋穿孔而裸露出。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該上蓋更包括多個第二上蓋穿孔，該上蓋及該載座的結合方式，為以多個螺絲分別穿過該些第二上蓋穿孔而鎖入該載座。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該載座包括多個載座穿孔，該載座保護層包括多個載座保護層穿孔，該上蓋保護層包括多個上蓋保護層穿孔，該些載座穿孔、該些載座保護層穿孔、該些上蓋保護層穿孔及該些第二上蓋穿孔依序對應而分別供該些螺絲穿過，每一該些載座保護層穿孔及每一該些上蓋保護層穿孔的孔徑大於其對應的該載 座穿孔。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中每一該些載座保護層穿孔及每一該些上蓋保護層穿孔的孔徑大於其對應的及該第二上蓋穿孔的孔徑。
  6. 如申請專利範圍第3項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該些第一上蓋穿孔及該些第二上蓋穿孔彼此交替地沿環狀路徑排列。
  7. 一種用於電鍍或無電鍍製程的治具，包括：一載座；一第一及一第二載座保護層，分別於該電鍍或無電鍍製程進行時裝設於該載座之一正面及一背面上，並分別形成有一第一及一第二凹部，該第一及該第二凹部用以承載一第一及一第二待鍍基板；一第一及一第二上蓋保護層，於該電鍍或無電鍍製程進行時分別與該第一及該第二載座保護層結合，以分別夾持該第一待鍍基板及該第二待鍍基板，藉此該第一及該第二上蓋保護層分別壓合該第一待鍍基板之一表面的環形邊緣區域及該第二待鍍基板之一表面的環形邊緣區域；一第一上蓋，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座結合以固定該第一載座保護層及第一上蓋保護層；以及一第二上蓋，於該電鍍或無電鍍製程進行時與該載座結合以固定該第二載座保護層及第二上蓋保護層。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該第一及該第二上蓋包括多個第一上蓋穿孔，該第一及該 第二上蓋保護層包括多個凸起部，該些凸起部於該第一及該第二上蓋與第一及該第二上蓋保護層結合時分別穿過該些第一上蓋穿孔而裸露出。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該第一及該第二上蓋更包括多個第二上蓋穿孔，該第一及該第二上蓋及該載座的結合方式，為以多個螺絲分別穿過該些第二上蓋穿孔而鎖入該載座。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，其中該載座包括多個載座穿孔，該第一及該第二載座保護層包括多個載座保護層穿孔，該第一及該第二上蓋保護層包括多個上蓋保護層穿孔，該些載座穿孔、該些載座保護層穿孔、該些上蓋保護層穿孔及該些第二上蓋穿孔依序對應而分別供該些螺絲穿過，每一該些載座保護層穿孔及每一該些上蓋保護層穿孔的孔徑大於其對應的該載座穿孔及該第二上蓋穿孔的孔徑。
  11. 一種用於電鍍或無電鍍製程的機台，包括：一槽體，用於容納該電鍍或無電鍍製程之一處理液；以及一第一治具，其為申請專利範圍第1至10項之其中一項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，用於將該至少一待鍍基板浸入該槽體所容納之該處理液中。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之用於電鍍或無電鍍製程的機台，更包括：一支架，該支架與該第一治具連接，並用以帶動該第一治具於該處理液中移動。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之用於電鍍或無電鍍製程的機台，更包括：至少一第二治具，其為申請專利範圍第1至10項之其中一項所述之用於電鍍或無電鍍製程的治具，且該支架 與該第二治具連接。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之用於電鍍或無電鍍製程的機台，其中該支架用以使該第一治具及該至少第二治具於該處理液中旋轉。
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