TW201907237A - 光束擴散器系統及方法 - Google Patents

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Abstract

一種用以光學擴散光束的擴散器系統及方法。提供至少兩個透射擴散器窗口。該等擴散器窗口經配置成可依序擴散透射穿過彼等的光束。該擴散器系統經組配為可以一角速度連續轉動該等擴散器窗口，用以均勻化該透射光束的擴散圖樣。該等擴散器窗口經組配為可繞著不同的旋轉軸線旋轉。該等不同旋轉軸線互相平行且以一徑向中心距離彼此偏離。該第一擴散器窗口的一轉動副區與該第二轉動擴散器窗口的一轉動副區部分重疊。部分重疊的該等轉動副區界定用以均勻化且擴散該透射光束的一光束窗口。

Description

光束擴散器系統及方法
本揭示內容係有關於用於擴散光束的光學擴散器系統及方法。
光學擴散器可用來擴散光束，例如用於均勻化例如使用於微影技術之光學系統中的光線。例如，美國第7,148,952號專利描述一種微影設備，其包含用以提供輻射投影光束的照明系統。該照明系統包含至少一活動光學元件，致使輻射投影光束可在中央位置附近偏移。根據先前技術，這確保可抹除投影光束之強度分布的不均勻性，接著這可提供要由系統照明之表面的改良曝光均勻性，例如晶圓或其他基板。該光學元件可包含電動機可移動的反射鏡、稜鏡、濾鏡、透鏡、轉向鏡、擴散器、繞射光學陣列，光學積分器等等。
美國第US 2007/0274075 A1號公開案描述一種雷射照明器，其包含能夠修改光學擴散條件的至少一光學擴散構件、與用於抑制光之發散的至少一光學抑制構件，其中，該光學擴散構件與該光學抑制構件沿著自雷射光源放射出之雷射光束的光學路徑設置，且雷射光束藉由穿經光學擴散構件及光學抑制構件被轉換成被擴散而不發散的光束以用於照明或激發物件。
為了充分抹除不均勻性，應以最小的速度移動光學元件。不過，例如透射擴散器的轉動元件在旋轉中心可能具有比邊緣低的速度。因此，擴散器的有效可用表面可能低且對光束的不同部份提供不一致的抹除作用。習知擴散器系統及方法需要進一步改善以緩解這些及其他的問題。
在一方面，本揭示內容提供一種用於光學擴散光束的擴散器系統或方法。提供至少兩個透射擴散器窗口。該等擴散器窗口經配置成可依序擴散透射穿過它們的光束。該擴散器系統經組配為可以一角速度連續轉動該等擴散器窗口，用以均勻化透射光束的擴散圖樣。有利的是，該等擴散器窗口經組配為可繞著不同的旋轉軸線旋轉。該等不同旋轉軸線互相平行且以一徑向中心距離彼此偏離。因此，該第一擴散器窗口的一轉動副區與該第二轉動擴散器窗口的一轉動副區部分重疊。藉此，部分重疊的該等轉動副區界定一光束窗口用以均勻化及擴散該透射光束。
如下文參考附圖更詳細地解釋的，使光束依序透射穿過一對部分重疊的轉動擴散器窗口可提供該等擴散器表面的更一致相對運動。例如，在離第一擴散器中心較遠且離第二擴散器中心較近的區域處，第一擴散器的表面可相對較快地移動，同時第二擴散器相對較慢地移動。這同樣適用於以其他方式小幅修改成離第一擴散器中心較近且離第二擴散器中心較遠的情形。第一擴散器的相對快速或緩慢移動表面因此各自可至少部分補償第二擴散器的的相對緩慢或快速移動表面。因此，在該等擴散器窗口的重疊區可得到更一致的抹除作用。此外，例如，在一擴散器之中心附近的區域可被另一擴散器的移動表面覆蓋。因此，可改善有效可用區及/或節省材料。
用來描述特定具體實施例的術語並非旨在限制本發明。如本文所使用的，「一」與「該」的單數形式旨在也包含複數形式，除非上下文以其他方式清楚表示。用語「及/或」包括列舉相關項目中之一或多個的任何或所有組合。應瞭解，用語「包含」是詳述有列出之特徵的存在，但不預先排除它有或附加一或多個其他特徵的存在。更應瞭解，當方法中之一特定步驟被稱為在另一步驟之後時，它可直接跟隨該另一步驟，或在進行該特定步驟之前，可進行一或多個中間步驟，除非有特定說明。同樣，應瞭解，在描述結構或組件之間的連接時，可直接或通過中間結構或組件來建立此連接，除非有特定說明。
以下參考圖示本發明具體實施例的附圖更完整地描述本發明。附圖中，為求清楚，可能誇大系統、組件、層體及區域的絕對及相對大小。具體實施例可參考可能被理想化之本發明具體實施例及中間結構的示意及/或橫截面圖來描述。在說明及附圖中，類似的元件用相同的元件符號表示。相對用語及其衍生詞應被視為指稱如隨後所述或如論及附圖所示的取向。這些相對用語是為了便於描述且並非要求該系統要以特定的取向構造或運作，除非另有說明。
圖1A及圖1B示意地圖示光束擴散器系統100之一具體實施例的原理。
在一具體實施例中，該系統有至少兩個透射擴散器窗口11、21。擴散器窗口11、21經配置成可依序擴散透射光束L1 、L2 。換言之，該光束在透射穿過第二擴散器窗口12之前先透射穿過第一擴散器窗口11。在一具體實施例中，擴散器窗口11、21經組配為可以角速度ω1、ω2連續轉動用以均勻化透射光束L1 、L2 的擴散圖樣。如本文所述，擴散器窗口11、21經組配為可繞著不同的旋轉軸線C1 、C2 旋轉。不同的旋轉軸線C1 、C2 較佳互相平行且以一徑向中心距離d12 彼此偏離。以此方式，第一擴散器窗口11的轉動副區與第二轉動擴散器窗口12的轉動副區部分重疊。該等部分重疊轉動副區界定用於均勻化及/或擴散透射光束L1 、L2 的光束窗口W12 。
在一較佳具體實施例中，擴散器窗口11、21經組配來以相同或幾乎相同的角速度旋轉，亦即，ω1=ω2或例如0.9*ω1＜ω2＜1.1*ω1。如圖1A所示，這可提供表面速度V1 及V2 的補償速度分佈。在一些具體實施例中，可能需要有小差異的角速度，以防該等擴散器在轉一圈後到達完全相同的相對位置。例如，該差異致使在轉一圈後，一擴散器表面與另一擴散器表面互相偏移至少相關距離Lc，例如10微米以上。這可防止照明時出現非所欲的重複圖樣。儘管角速度ω1、ω2因而較佳一樣或很接近，然而為了實現如本文所述的至少一些補償作用，這可能不是永遠必要的。例如，即使速度不同，一擴散器(例如在中心)的較低速度可至少部分由另一擴散器補償。
在一較佳具體實施例中，擴散器窗口11、21經組配為可在相同的角度方向旋轉。換言之，兩者順時鐘或兩者逆時鐘(例如，從圖示擴散器系統的前視圖視之)。藉由在相同的方向旋轉，相對表面速度V12 用V12 =|V1 -V2 |算出的向量長度可為常數，其中，該等表面在重疊區反向運動。儘管角度方向因而較佳是相同的，但為了實現至少一些補償作用，這可能不是永遠必要的。例如，即使該等表面反向旋轉(ω1=-ω2)，然而該等表面皆仍與透射光束相對運動，這可提供至少一些均勻化效果，例如抵消部分相干斑點。
在數個較佳具體實施例中，該等擴散器窗口的表面因此以在光束窗口W12 中不變的相對表面速度V12 運動。例如，擴散器窗口11、21各自包含或耦合至致動或旋轉構件(在此未圖示)。旋轉構件在使用時可使擴散器窗口11、21較佳以相同角速度及/或相同方向旋轉。在其他或進一步的具體實施例中，
在數個較佳具體實施例中，擴散器窗口11、21有相同的直徑D1 =D2 或半徑R1 =R2 。這可提供擴散器材料的最有效利用。就典型應用而言，例如微影，較佳擴散器窗口11、21各自有10至200毫米的直徑D1 、D2 ，50至100毫米更佳，例如約60或80毫米。擴散器窗口越大，則單位表面積的光束強度越小。較大的擴散器窗口對於給定角速度ω1、ω2也可提供較高的徑向或表面速度V1 、V2 。另一方面，可能需要材料便宜且節省系統空間的較小擴散器窗口。
如圖1B所示，光束窗口W12 的直徑可與擴散器窗口11、21的直徑D1 、D2 成正比，而與徑向中心距離d12 成反比。例如，可表明為W12 =D−d12 ，在此D=D1 =D2 。
在徑向中心距離d12 的較低值，光束窗口W12 可較大，但是擴散器窗口11、21的相對表面速度V12 較低。當徑向中心距離d12 小於擴散器窗口11、21的半徑R1 、R2 或直徑D1 、D2 的一半時，該等表面之間的相對表面速度V12 可小於在擴散器窗口11、21邊緣的最大速度V1 、V2 ，但是由於相對表面速度V12 實際上在光束窗口W12 中可不變，此恆定相對表面速度V12 仍可大於例如各擴散器窗口11、21各在通常沒有表面運動的中心點C1 、C2 的表面速度。應瞭解，藉由提供小於擴散器窗口11、21之半徑R1 、R2 或一半的直徑D1 、D2 的徑向中心距離d12 ，光束窗口W12 可相對大，例如大於各擴散器窗口11、21的半徑R1 、R2 或一半的直徑D1 、D2 。例如，對於相對昂貴的擴散器材料，可能需要相對大的光束窗口W12 以節省成本。
在徑向中心距離d12 的較高值，擴散器窗口11、21的相對表面速度V12 可較高，但是有較小的光束窗口W12 。當徑向中心距離d12 大於擴散器窗口11、21的半徑R1 、R2 或一半的直徑D1 、D2 時，該等表面之間的相對表面速度V12 實際上可大於在擴散器窗口11、21邊緣的最大速度V1 、V2 。因此，原則上可壓低擴散器窗口11、21的個別角速度ω1、ω2同時仍可實現所欲擴散。這可能需要例如以降低相對便宜擴散器材料的振動。
通常，擬合光束窗口W12 的最大圓有較擴散器窗口11、21之個別直徑D1 、D2 為小的直徑，例如在10至90百分比之間，20至80百分比之間為較佳，30至70百分比之間更佳。例如，光束窗口W12 在10至100毫米之間，在40至60毫米之間更佳，例如，典型(擴張)光束尺寸可具有55毫米直徑。較大的光束尺寸每單元表面積有較低的強度但是需要較笨重的光學元件。
，圖2A及圖2B示意地圖示使用兩個較小窗口(圖2B)相較於使用一個較大窗口(圖2A)可如何實際節省昂貴的擴散器材料。參考圖2A，應注意，在單一轉動擴散器上的光束窗口W不應重疊中央旋轉軸線C，因為為了提供擴散圖樣的所欲抹除作用，表面速度V=ωR在小徑向距離R可能太低。參考圖2B，應瞭解，光束窗口W12 可能實際重疊中央旋轉軸線C1 、C2 ，甚至同時提供更一致的相對表面速度V12 。在一些具體實施例中，利用小於一個較大窗口之表面(π⋅R2 )的兩個較小擴散器窗口之總表面(π⋅R1 2 +π⋅R2 2 )，可節省材料成本。替換地或此外，在相同或較低的角速度，相對表面速度可更一致或甚至相對較高，特別是，在旋轉軸線C1 、C2 之間的徑向中心距離增加時。
圖3示意地圖示擴散器系統100之一具體實施例的側面剖視圖。
在一較佳具體實施例中，擴散器窗口11、21在平面中旋轉，亦即，沒有顫動。換言之，擴散器窗口11、21較佳配置成彼等的光學表面橫向於進入的光束L1 、L2 。通常，擴散器窗口11、21有界定各擴散器窗口11、21之角度散射的擴散器角度及/或組合散射角度θs，如同所規定的。較佳地，組合散射角度θs小於5度的平面角度，較佳為小於2度、小於1度、或甚至小於半度，例如在0.1至0.25度之間。例如，為了少浪費光，角度越小越好。
在一較佳具體實施例中，擴散器窗口11、21經配置成彼等的表面以軸向間距Z12 互相平行。例如，軸向間距Z12 小於100毫米，較佳小於50毫米，小於20毫米，或甚至小於10毫米，例如1至5毫米表面至表面的距離。例如，為了減少組合散射效應，越靠近越好。
通常，擴散器窗口11、21有所謂的相關長度Lc，其界定使擴散器窗口11、21之表面相對於橫越光束L1 、L2 移動的最小距離，用以均勻化橫越光束L1 、L2 之中的相干或相關斑點L1S 。較佳地，該相關長度小於100微米，小於50微米，或甚至小於10微米，例如1至5微米。例如，在需要較少表面移動以減輕或消除相干斑點圖樣時，相關長度越小越好。
在一些具體實施例中，擴散器窗口11、21包含例如在有表面粗糙度或波紋的光學表面出現散射時，用以使透射光束L1 、L2 擴散的一表面結構。又在數個具體實施例中，該表面結構決定相關長度Lc。例如，該表面結構為特設表面結構用以提供一致又可預測的相關長度Lc。在其他或進一步的具體實施例中，擴散器窗口11、21包含擴散性透射材料，例如，其中，光在橫越材料時被散射。又在數個具體實施例中，該透射材料決定相關長度Lc。這些及其他散射效應的組合也有可能。
在圖示具體實施例中，擴散器窗口11、21 (在周圍邊緣)被個別的可轉動環12、22固持。可轉動環12、22各自在軸承結構13、23內旋轉。應瞭解，這允許完全利用擴散器窗口表面，例如相較於用中央軸線來固持擴散器，且在徑向中心距離d12 小於擴散器窗口11、21之半徑R1 、R2 或一半的直徑D1 、D2 時，可具有獨特優勢。在一較佳具體實施例中，可轉動環12、22及/或軸承結構13、23設有空氣軸承用以平滑及/或低磨擦地旋轉。在一較佳具體實施例中，可轉動環12、22及/或軸承結構13、23設有磁性變速器以驅動擴散器窗口11、21的旋轉。例如，軸承結構13、23包含由電子訊號經由訊號線14、24提供的電磁鐵，以驅動可轉動環12、22中的各個磁鐵。
在圖示具體實施例中，軸承結構13、23兩者固定在共用框架31中。如圖示，軸承結構13、23的徑向偏離可根據擴散器窗口11、21之間的徑向中心距離d12 。此外，軸承結構13、23的軸向偏離可根據擴散器窗口11、21之間的軸向間距Z12 。在一較佳具體實施例中，利用例如彈簧的回彈性構件32a、32b懸掛共用框架31。例如，擴散器窗口11、21的共用框架31懸掛至外部框架33。外部框架33可直接或間接連接至光學系統的其餘部份。
圖4的前視圖示意地圖示根據圖3之擴散器系統100的具體實施例。
在所示具體實施例中，共用框架31經懸掛具有共振或自然頻率Fn。在一較佳具體實施例中，自然頻率Fn低於擴散器窗口11、21的旋轉頻率。當該等擴散器窗口的旋轉頻率(f=ω/2π)高於由懸掛決定的自然頻率時，由旋轉造成的振動可以不太有效地耦合至外部框架33。較佳地，自然頻率Fn至少小於擴散器窗口11、21之旋轉頻率的十分之一，至少小於二十分之一更佳，或更多。例如，可將共用框架31的組件質量與回彈性構件32a~32d的彈簧常數組配為決定所欲相對低的自然頻率Fn。
圖5的側視圖示意地圖示微影系統1000之一具體實施例，其包含如本文所述的擴散器系統100。
通常，微影系統1000包含或耦合至經組配為可產生光束的光源101。例如，該光束包含用於執行微影的光化輻射。在一些具體實施例中，微影系統1000包含或耦合至擴束器102以放大光束。在所示具體實施例中，擴束器102包含一對透鏡。較佳地，有較小光強度的擴散器系統100被安置在擴束器102之後之一光學路徑的擴張光束中。在一些具體實施例中，微影系統1000包含透鏡陣列103，例如用以把高斯光束分佈重新分配成平頂分佈。視需要，透鏡陣列103按需要可包含變跡(apodization)遮罩以進一步塑形光束分佈。較佳地，擴散器系統100放置在透鏡陣列103之前的光路徑中，例如呈高斯光束分佈，可免受較少邊緣效應。在所示具體實施例中，微影系統1000包含一傅立葉透鏡104，用以投影均勻光束到一遮罩圖樣M上。如方塊所示意圖示的，微影系統1000通常包含一投影系統105，其經組配為可投影遮罩圖樣到例如被基板台106固持的晶圓或基板S上。
通常，光源101經組配為可提供預定光脈衝間隔T，亦即，脈衝之間的時間，其係脈衝頻率的倒數。如本文所述，較佳，相對表面速度(V12 ，如圖1A及圖1B所示)至少等於相關長度(Lc，如圖3所示)除以該光脈衝間隔T。並且，可使用較高的速度因子。該速度因子例如可決定是否取樣擴散器窗口的不同位置以用於後續光脈衝的曝光，使得它們的斑點圖樣不相關。較高的速度可能較佳，但是可能受限於實際應用。例如，為了取樣在5微秒(200 kHz)光脈衝間隔T內有相關長度Lc=10微米之擴散器表面的不同部份，相對表面速度V12 較佳至少等於10微米/5微秒=2米/秒。此可藉由在徑向中心距離d12 =20毫米且以角速度ω=100弧度/秒(=955每分鐘轉速)旋轉及(V12 =ω*d12 =100*20毫米=2米/秒)的一對擴散器來達成。
根據一些方面，本揭示內容也有關於用於擴散光束的對應方法。在一些具體實施例中，該方法包含：提供至少兩個透射擴散器窗口，例如，其中，該等擴散器窗口經配置成可依序擴散一透射光束，其中，該等擴散器窗口以一角速度連續轉動用以均勻化該透射光束的一擴散圖樣，其中，該等擴散器窗口繞著不同的旋轉軸線旋轉，其中，該等不同旋轉軸線互相平行且以一徑向中心距離彼此偏離，其中，該第一擴散器窗口的一轉動副區與該第二轉動擴散器窗口的一轉動副區部分重疊，其中，該等部分重疊轉動副區界定一光束窗口用以均勻化且擴散該透射光束。在數個較佳具體實施例中，該等擴散器窗口有一相關長度Lc，且該光源提供一光脈衝間隔T，其中，該角速度ω乘以徑向中心距離d12 至少等於該相關長度Lc除以該光脈衝間隔T (或乘以光脈衝頻率)。
為了描述清楚及簡潔，在此描述為相同或個別具體實施例之一部份的數個特徵，不過，應瞭解，本發明範疇可包括具有所述特徵中之一些或所有之組合的具體實施例。例如，儘管圖示用於透射擴散器的具體實施例，受益於本揭示內容的熟諳此藝者也可想出用以實現類似功能及結果的替代方式。例如，可組合光學元件或分成一或多個的替代組件。論及且圖示之具體實施例的各種元件提供某些優點，例如改善光束均勻性。當然，應瞭解，在尋找及匹配設計和優勢時，上述具體實施例或製程中之任一者可與一或多個其他具體實施例或製程組合以提供更進一步的改善。應瞭解，本揭示內容提供微影系統的獨特優勢，且大體可應用於光束均勻化的任何應用。
在解釋隨附請求項時，應瞭解，單詞「包含」不排除存在除列舉於給定請求項之外的其他元件或動作；元件前面的單詞「一(a)」或「一(an)」不排除存在複數個元件；請求項中的任何參考符號不限定它們的範疇；數個「構件」可用相同或不同的項目(或數個)或實作結構或功能表示；揭露裝置或其部份中之任一者可組合在一起或分開成為其他部份，除非特別說明。在一請求項參考另一請求項時，這可能表明由彼等之各自特徵之組合達成的協同優勢。但是事實上，陳述於互不相同請求項的某些措施不表明這些措施的組合也無法帶來優勢。因此，本發明具體實施例可包括請求項的所有運作組合，其中，各請求項原則上可參考前面任一請求項，除非上下文明確排除在外。
11‧‧‧(透射)擴散器窗口；第一擴散器窗口
12‧‧‧第二(轉動)擴散器窗口；可轉動環
13、23‧‧‧軸承結構
14、24‧‧‧訊號線
21‧‧‧(透射)擴散器窗口
22‧‧‧可轉動環
31‧‧‧共用框架
32a~32d‧‧‧回彈性構件
33‧‧‧外部框架
100‧‧‧擴散器系統
101‧‧‧光源
102‧‧‧擴束器
103‧‧‧透鏡陣列
104‧‧‧傅立葉透鏡
105‧‧‧投影系統
106‧‧‧基板台
1000‧‧‧微影系統
C‧‧‧中央旋轉軸線
C1、C2‧‧‧(中央)旋轉軸線
d12‧‧‧徑向中心距離
D1、D2‧‧‧直徑
Fn‧‧‧自然頻率
L1、L2‧‧‧(透射)光束；橫越光束
L1S‧‧‧相干或相關斑點
LC‧‧‧相關長度
M‧‧‧遮罩圖樣
R‧‧‧徑向距離
R1、R2‧‧‧半徑
S‧‧‧晶圓或基板
T‧‧‧(預定)光脈衝間隔
V‧‧‧表面速度
V1、V2‧‧‧表面速度；最大速度
V12‧‧‧相對表面速度
W、W12‧‧‧光束窗口
Z12‧‧‧軸向間距
ω、ω1、ω2‧‧‧角速度
由以下說明、隨附申請專利範圍及附圖可更加了解本揭示內容之設備、系統及方法以上及其他的特徵、方面及優點，其中： 圖1A及圖1B示意地圖示擴散器系統之一具體實施例的原理； 圖2A及圖2B示意地比較有一轉動窗口的擴散器系統與有兩個轉動窗口的擴散器系統； 圖3示意地圖示擴散器系統之一具體實施例的側面剖視圖； 圖4示意地圖示該具體實施例的前視圖； 圖5的側視圖示意地圖示包含擴散器系統之微影系統的一具體實施例。

Claims (15)

  1. 一種用以光學擴散光束之擴散器系統，該擴散器系統包含至少兩個透射擴散器窗口，其中該等擴散器窗口經配置成可依序擴散透射穿過該等擴散器窗口的該光束，其中該擴散器系統經組配為以一角速度連續轉動該等擴散器窗口，用以均勻化透射光束的一擴散圖樣，其中該等擴散器窗口經組配來繞著不同的旋轉軸線旋轉，其中該等不同旋轉軸線互相平行且以一徑向中心距離彼此偏離，其中該第一擴散器窗口的一轉動副區與該第二轉動擴散器窗口的一轉動副區部分重疊，其中部分重疊的該等轉動副區界定用以均勻化且擴散該透射光束的一光束窗口，其中該等擴散器窗口被各自的可轉動環固持，其中該等可轉動環經組配來在各自的軸承結構內旋轉，其中該徑向中心距離小於該等擴散器窗口的半徑或一半的直徑。
  2. 如請求項1之擴散器系統，其中該等擴散器窗口的該等軸承結構皆固定在一共用框架中。
  3. 如請求項2之擴散器系統，其中該共用框架經懸掛成有一共振或自然頻率，其中該自然頻率低於該等擴散器窗口的一旋轉頻率。
  4. 如請求項1至3中之任一項的擴散器系統，其中該光束窗口大於該等擴散器窗口的該半徑或一半的直徑。
  5. 如請求項1至4中之任一項的擴散器系統，其包含一旋轉構件，其經組配為可使該等擴散器窗口以相同的角速度旋轉。
  6. 如請求項1至5中之任一項的擴散器系統，其包含一旋轉構件，其經組配為可使該等擴散器窗口在相同的角度方向旋轉。
  7. 如請求項1至6中之任一項的擴散器系統，其中該等擴散器窗口的表面經組配為可以在該光束窗口中不變的一相對表面速度移動。
  8. 如請求項1至7中之任一項的擴散器系統，其中該等擴散器窗口有相同的直徑或半徑。
  9. 如請求項1至8中之任一項的擴散器系統，其中該光束窗口具有一直徑小於個別擴散器窗口的直徑。
  10. 如請求項1至9中之任一項的擴散器系統，其中該等擴散器窗口在平面中旋轉。
  11. 如請求項1至10中之任一項的擴散器系統，其中該等擴散器窗口經配置成該等擴散器窗口的表面以一軸向間距互相平行，其中該軸向間距小於50毫米。
  12. 如請求項1至11中之任一項的擴散器系統，其中該等擴散器窗口包含用於使該透射光束擴散的一表面結構。
  13. 一種微影系統，其包含如請求項1至12中之任一項的擴散器系統。
  14. 如請求項13之微影系統，其中該等擴散器窗口的表面經組配為可以在該光束窗口中不變的一相對表面速度移動，該相對表面速度等於該角速度乘以該徑向中心距離，其中該等擴散器窗口有一相關長度，其界定一最小距離以使該等擴散器窗口的該表面相對於橫越光束移動，用以均勻化該橫越光束中的一相干或相關斑點，其中該微影系統包含經組配為可產生該光束的一光源，其中該光源經組配為可提供一預定光脈衝間隔，其中該相對表面速度至少等於該相關長度除以該光脈衝間隔。
  15. 一種用以擴散光束之方法，該方法包含：提供至少兩個透射擴散器窗口，其中該等擴散器窗口經配置成可依序擴散一透射光束，其中該等擴散器窗口以一角速度連續轉動用以均勻化該透射光束的一擴散圖樣，其中該等擴散器窗口繞著不同的旋轉軸線旋轉，其中該等不同旋轉軸線互相平行且以一徑向中心距離彼此偏離，其中該第一擴散器窗口的一轉動副區與該第二轉動擴散器窗口的一轉動副區部分重疊，其中部分重疊的該等轉動副區界定用以均勻化且擴散該透射光束的一光束窗口，其中該等擴散器窗口被個別的可轉動環固持，其中該等可轉動環在個別的軸承結構內旋轉，其中該徑向中心距離小於該等擴散器窗口的半徑或一半的直徑。
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