TW201901162A - 探針卡支撐嵌件、容器、系統及用於儲存與傳送一個或多個探針卡的方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種用於儲存與傳送探針卡的容器，該容器具有含內部表面的容器本體，該內部表面組配成用來界定：用於罩覆該探針卡的內部空間、以及經調整尺寸以容許將該探針卡插入及移出該內部空間的開口；罩蓋，組配成用來以可卸除方式裝配至該容器本體的該開口以閉合該開口；以及探針卡支撐嵌件，連接至該容器本體的該內部表面，其中，該探針卡支撐嵌件具有探針卡支撐表面，其組配成用來支撐該容器本體的該內部空間中所罩覆的多一個探針卡，其中，該容器本體的該內部表面及該探針卡支撐嵌件組配成用來以可卸除方式連接。

Description

探針卡支撐嵌件、容器、系統及用於儲存與傳送一個或多個探針卡的方法 [背景]

本文中所揭示的具體實施例是關於用於儲存及傳送一或多個探針卡的技巧。此類技巧包括：用於儲存一或多個探針卡的探針卡支撐嵌件(probe card support insert)、包括該探針卡支撐嵌件的容器、包括該容器及該探針卡支撐嵌件用於傳送一或多個探針卡的系統、以及用於儲存及傳送一或多個探針卡的方法。

大體上，半導體製作程序涉及各種程序設備及製作程序步驟以在晶圓中組建個別積體電路。該等個別積體電路各在晶圓表面的表面上設有一或多個金屬接墊。透過一或多個金屬接墊將信號傳遞至及自該等個別積體電路的各者。

半導體製作程序包括晶圓測試步驟，其中晶圓中的個別積體電路是為了功能缺陷而受測。晶粒製備步驟之前先進行晶圓測試步驟，晶粒製備步驟將晶圓切割成單獨晶粒，各晶粒包括半導電性材料，而該半導電性材料上組建有給定積體電路。

在晶圓測試步驟中，使用電子測試系統、點測器、以及探針卡來測試晶圓中的個別積體電路。通過電子測試系統所發送的一系列電氣測試信號來測試晶圓中的個別積體電路。探針卡為介於電子測試系統與晶圓之間的介面。探針卡在電子測試系統與晶圓中的個別積體電路的金屬接墊之間提供電路徑，從而允許在電子測試系統與晶圓中的積體電路之間傳遞信號。探針卡實際上是一種自定義連接器(custom connector)，其採用給定電子測試系統的通用型樣並變換信號以連接至晶圓的表面上的金屬接墊。探針卡包括多個探針尖部，可移動該等探針尖部與晶圓的表面上的金屬接墊電接觸及機械接觸。電子測試系統與晶圓的積體電路之間的信號是透過通過探針尖部及金屬接墊所形成的電連接來傳遞。積體電路對透過由探針尖部及積體電路的金屬接墊所形成的電連接從電子測試系統傳遞至積體電路的測試信號的響應指出積體電路是否製作正確或不正確。探針卡可具有多個探針尖部以允許有效率地且同時測試晶圓上的多個積體電路。接著可在晶粒製備步驟中移除製作不正確的積體電路。

在晶圓測試步驟中，點測器持固晶圓及探針 卡，並且對準晶圓與探針卡，使探針尖部與晶圓的表面上的金屬接墊電接觸及機械接觸。舉一實施例來說，對於設在晶圓上的動態隨機存取內存(DRAM)裝置及閃存裝置，各該金屬接墊每一側可具有大約40微米至90微米的尺寸。要與對應的金屬接墊接觸的探針卡的各探針尖部的所具尺寸小於金屬接墊的尺寸。

以高精確度製造探針卡，以便確保多個探針尖部的各者與受測晶圓上對應且較小金屬接墊之間的機械接觸及電接觸精確度高。由於探針尖部尺寸小，因此探針卡可能易碎且容易損壞。探針卡的製造成本大約為6千至25萬美元。再者，取決於探針卡的複雜度，再製造及修復損壞的探針卡可能需要數天到數周的時間。

數種習知方法是用於儲存探針卡。探針卡可儲存在持固多個探針卡的卡架上。亦可將單獨探針卡儲存在成型探針卡保護器中，以保護探針卡免受意外損壞。探針卡保護器可在傳送期間保護探針卡，並且可保護探針卡免於與卡架直接接觸。再者，探針卡保護器可提供保護環境，以減少所儲存探針卡對環境污染物的曝露。

在半導體製作程序中，有時需要將探針卡從一個無塵室設施傳送至另一個無塵室設施。探針卡的傳送可以是多步驟手動程序。在該多步驟手動程序的一實施例中，穿著第一無塵室服裝的技術人員可從第一無塵室取回探針卡，離開第一無塵室，脫下第一無塵室服裝，將探針卡手動傳送至不同位置，穿上第二無塵室服裝，擦拭探針 卡，進入第二個無塵室，並將探針卡裝載至點測器或將探針卡儲存在第二無塵室中的架子中。此手動程序舉例而言，可能需要30分鐘。

需要替代技術才能以降低一或多個探針卡受損可能性的方式儲存該一或多個探針卡。再者，需要替代技術才能更有效率地傳送一或多個探針卡，同時降低傳送期間損壞一或多個探針卡的可能性。

在本發明的一態樣中，提供一種用於儲存及傳送一或多個探針卡的容器。用於儲存一或多個探針卡的容器具有含內部表面的容器本體，該內部表面是組配成用來界定：用於罩覆該一或多個探針卡的內部空間、以及經調整尺寸而容許將該一或多個探針卡插入及移出該內部空間的開口；組配成用來以可卸除方式裝配至該容器本體的該開口以閉合該開口的罩蓋；以及與該容器本體的該內部表面連接的一或多個探針卡支撐嵌件，其中，該一或多個探針卡支撐嵌件各具有一或多個探針卡支撐表面，其是組配成用來支撐該容器本體的該內部空間中所罩覆的該一或多個探針卡的第一者，其中，該容器本體的該內部表面及該一或多個探針卡支撐嵌件的該各者是組配成用來以可卸除方式連接。

在本發明的另一態樣中，提供一種用於與容器配合使用的探針卡支撐嵌件，其中該容器具有：包含內 部表面的容器本體，該內部表面是組配成用來界定：用於罩覆該一或多個探針卡的內部空間，以及開口，其是經調整尺寸而容許將該一或多個探針卡插入及移出該內部空間；以及罩蓋，其是組配成用來以可卸除方式裝配至該容器本體的該開口以閉合該開口，以及其中該探針卡支撐嵌件具有：支撐殼體，其是組配成用來以可卸除方式連接至該容器本體的內部表面；以及連接至該支撐殼體的一或多個支撐表面，其中該一或多個支撐表面各是組配成用來支撐對應的一或多個探針卡。

在本發明的另一態樣中，提供了一種用於傳送一或多個探針卡的系統。

在本發明的另一態樣中，提供一種用於儲存及傳送一或多個探針卡的方法。

本發明的優點將會在以下說明中提出，而且部分將會在本說明書中明顯揭示，或者可通過實際演練本發明來學習。

100‧‧‧容器

300‧‧‧外部容器

302‧‧‧容器本體

304‧‧‧開口

306‧‧‧罩蓋

308‧‧‧夾持部

310A、310B、310C、310D‧‧‧側壁

310E‧‧‧背板

312C1‧‧‧切口

312C2‧‧‧對準銷

314‧‧‧懸臂卡扣

316‧‧‧懸臂卡扣

500‧‧‧探針卡支撐嵌件

502‧‧‧支撐表面

504‧‧‧支撐殼體

506A、506B‧‧‧側壁

508A、508B‧‧‧向外延展凸緣

510A、510B‧‧‧向內延展凸緣

512A、512B‧‧‧突起物

514A、514B‧‧‧對準銷孔

700‧‧‧系統

702‧‧‧自動化傳送系統

704‧‧‧控制器

706‧‧‧用戶介面

708‧‧‧懸吊式傳送載具

800‧‧‧薄板支撐嵌件

802A、802B‧‧‧支撐面板

804‧‧‧支撐板

806‧‧‧支撐件

808‧‧‧支撐板側面板

810‧‧‧向外延展凸緣

812‧‧‧突起物

814‧‧‧對準銷孔

S10~S58‧‧‧步驟

本說明書結論部分特別指出並且清楚地主張本發明的一或多項態樣。本發明的前述及其它目的、特徵、以及優點經由下文的詳細說明配合附圖將顯而易知，其中：

第1圖繪示容器的透視圖，其包括外部容器及探針支撐嵌件，用於持固及傳送一或多個探針卡及/或一 或多個成型探針卡保護器。

第2圖繪示外部容器的透視圖。

第3A至3E圖繪示探針卡支撐嵌件。第3A圖繪示探針卡支撐嵌件的俯視圖。第3B圖繪示探針卡支撐嵌件的透視圖。第3C圖繪示探針卡支撐嵌件的正視圖。第3D圖繪示探針卡支撐嵌件的右側視圖，其中探針卡支撐嵌件的左側視圖為右側視圖的鏡像。第3E圖繪示探針卡支撐嵌件的後視圖。

第4圖繪示薄板支撐嵌件的透視圖。

第5圖繪示用於傳送一或多個探針卡的系統。

第6圖繪示用於傳送一或多個探針卡的方法。

第7圖繪示組配具有探針卡支撐嵌件的外部容器的方法。

第8圖繪示控制自動化傳送系統的方法，用以將儲存在外部容器中的一或多個探針卡從設施A傳送至設施B。

將說明用於儲存及傳送一或多個探針卡的容器100。將參照第1至3圖說明該設備。

容器100可包括外部容器300及一或多個探針卡支撐嵌件500，其是組配成用來以可卸除方式受罩覆 於外部容器300內。

下文將參照第2圖說明外部容器300的結構。

外部容器300可包括形成為盒狀且在一端具有開口304的容器本體302；用於將容器本體302的開口304氣密地覆蓋以使容器本體302的內部與外部環境隔離的罩蓋306；組配成用來受轉移系統的轉移臂夾持以提起外部容器300的夾持部308，以及由技術人員用手夾持以提起外部容器300的一或多個握把(圖未示)。

容器本體302整體可形成為大致立方體形狀。容器本體302可包括四個側壁310A、310B、310C及310D、以及背板310E，並且可在與背板310E對立的前部設有開口304。與容器本體302的底端對應的側壁310B的外側可包括對準用具(圖未示)，例如要在裡面裝配一或多個對應運動銷的一或多個凹槽。夾持部308可設於與容器本體302的頂端對應的側壁310A的外側上。一或多個握把可設於側壁310C及側壁310D的外側上，其可從側壁310B朝向側壁310A大致垂直延展。

在容器本體302的各別側壁310A至310D的末端部分(對應於開口304)處，提供要在裡面裝配罩蓋306的罩蓋接收部分310G。在罩蓋接收部分310G中，提供裝配部分，其為內凹部分，裝配有罩蓋306的閂鎖機構，用以將罩蓋306緊固至容器本體302。

罩蓋306為用於將容器本體302的開口310F 覆蓋的構件。罩蓋306是形成為大致平坦的板材形狀，並且是裝配至容器本體302的罩蓋接收部分310G。罩蓋306與容器本體302之間設有用於固定罩蓋306的閂鎖機構。罩蓋306的外表面上可提供用於操作閂鎖機構的機構。

密封材料可設于罩蓋306與容器本體302之間。密封材料使容器本體302的內部與外部環境氣密地隔離。密封材料可設于罩蓋306的內表面上，用於與容器本體302在其整個周界周圍的罩蓋接收部分310G毗連接觸以密封容器本體302的內部。

下文將參照第1至3圖說明探針卡支撐嵌件500的結構、以及外部容器300的結構，用於將探針卡支撐嵌件500導引到容器本體302的內部、以及用於使探針卡支撐嵌件500固定在容器本體302的內部裡。

可設定探針卡支撐嵌件500的外尺寸，以使得可將探針卡支撐嵌件500以可卸除方式插入容器本體302的內部。再者，外部容器300及探針卡支撐嵌件500可組配成可將探針卡支撐嵌件500緊固至側壁310A至310D的內部側中的一或多者、以及背板310E的內部側。再者，探針卡支撐嵌件500可組配成用來支撐一或多個探針卡，或持固一或多個對應探針卡的一或多個成型塑料探針卡保護器。再進一步，探針卡支撐嵌件500可組配成用來使一或多個探針卡相對於外部容器300的移動達到最小，同時一或多個探針卡是由容器內部本體302的內部裡的探針卡支撐嵌件500所支撐。

下文將參照第3圖說明探針卡支撐嵌件500的一實施例。

探針卡支撐嵌件500可包括一或多個支撐表面502及支撐殼體504。一或多個支撐表面502及支撐殼體504各可由諸如聚碳酸酯、鋁或不銹鋼的材料所構成。

一或多個支撐表面502各可包括直接支撐上有置放探針卡或成型探針卡保護器的上表面、以及與該上表面對置的下表面。一或多個支撐表面502中各者的上表面可實質平坦。

支撐殼體504將一或多個支撐表面502順著為置放於其上的一或多個探針卡或成型探針卡保護器提供支撐的取向持固。一或多個支撐表面502可通過例如焊接或黏結以固定方式附接至支撐殼體504。或者，一或多個支撐表面502可通過諸如螺絲及扣件的各種附接結構以可卸除方式附接至支撐殼體504。再者，一或多個支撐表面502可包括附接結構，該附接結構與提供至支撐殼體504的所選對應嵌合結構嵌合，以在探針卡支撐嵌件500是設置於容器本體302的內部裡時，改變一或多個支撐表面502的下表面與側壁310B的內表面之間的距離。通過改變一或多個支撐表面502的下表面與側壁310B的內表面之間的距離，可調整支撐表面502以容納其上所支撐具有不同形狀(例如：垂直尺寸)的探針卡及成型探針卡保護器。

支撐殼體504可包括側壁506A、側壁506B、向外延展凸緣508A、向外延展凸緣508B、向內延展凸緣 510A以及向內延展凸緣510B。

側壁506A的內部表面可採固定方式或採可脫離方式連接至一或多個支撐表面502中各者的第一邊緣，並且側壁506B的內部表面可採固定方式或採可脫離方式連接至一或多個支撐表面502中各者的第二邊緣，用來將一或多個支撐表面順著為置放於其上的一或多個探針卡或成型探針卡保護器提供支撐的取向持固。

下文將說明導引探針卡支撐嵌件500插入容器本體302的內部、以及將探針卡支撐嵌件500與容器本體302的內部對準的結構。

向外延展凸緣508A可遠離側壁506A的外部表面延展，而向外延展凸緣508B可遠離側壁506B的外部表面延展。當探針卡支撐嵌件500是設置於容器本體302內時，向外延展凸緣508A可安置於側壁506A將與容器本體302的開口310F最接近的一個端部上。類似的是，當探針卡支撐嵌件500是設置於容器本體302內時，向外延展凸緣508B可安置於側壁506B將與容器本體302的開口310F最接近的一個端部上。

向內延展凸緣510A可遠離側壁506A的內部表面延展，而向內延展凸緣510B可遠離側壁506B的內部表面延展。當探針卡支撐嵌件500是設置於容器本體302內時，向內延展凸緣510A可安置於側壁506A將與容器本體302的背板310E的內部表面最接近的一個端部上。類似的是，當探針卡支撐嵌件500是設置於容器本體302內 時，向內延展凸緣510B可安置於側壁506B將與容器本體302的背板310E的內部表面最接近的一個端部上。

向外延展凸緣508A遠離側壁506A的外部表面延展的前緣可界定一或多個切口及/或一或多個突起物512A。向外延展凸緣508B遠離側壁506B的外部表面延展的前緣可界定一或多個切口及/或一或多個突起物512B。

再者，向外延展凸緣508A可包括一或多個對準銷孔514A，而向外延展凸緣508B可包括一或多個對準銷孔514B。

容器本體302的側壁310C的內部表面可包括與向外延展凸緣508A的一或多個切口512A對應的一或多個突起物312C1、以及與向外延展凸緣508A的一或多個突起物512A對應的一或多個切口312C1。容器本體302的側壁310D的內部表面可包括與向外延展凸緣508B的一或多個切口512B對應的一或多個突起物312D1、以及與向外延展凸緣508B的一或多個突起物512B對應的一或多個切口312D1。

再者，容器本體302的側壁310C可包括與支撐殼體504的向外延展凸緣508A的一或多個對準銷孔514A對應的一或多個對準銷312C2，而容器本體302的側壁310D可包括對應於一或多個對準銷孔514B的一或多個對準銷312D2。

在探針卡支撐嵌件500插入容器本體302的內部空間期間，向外延展凸緣508A及508B可通過突起物 及切口312C1與312C2、以及容器本體302的對準銷312C2與312D2來導引。

下文將說明以可卸除方式連接外部容器300及探針卡支撐嵌件500的結構。

外部容器300可包括懸臂卡扣314及懸臂卡扣316。懸臂卡扣314與316各可包括樑柱及突出部分。懸臂卡扣314的樑柱的基端可固定連接至容器本體302的側壁310C的內部表面，並且懸臂卡扣314的樑柱的前端可朝向容器本體302的開口304延展。懸臂卡扣314的突出部分可從懸臂卡扣314的樑柱的前端徑向凸出。懸臂卡扣316具有類似結構。懸臂卡扣316的樑柱的基端可固定連接至容器本體302的側壁310D的內部表面，並且懸臂卡扣316的樑柱的前端可朝向容器本體302的開口304延展。懸臂卡扣316的突出部分可從懸臂卡扣314的樑柱的前端徑向凸出。

當探針卡支撐嵌件500正在插入並受導引到容器本體302的內部空間時，向外延展凸緣508A與508B的突起物512A與512B接合容器本體302的懸臂卡扣314。亦即，向外延展凸緣508A的突起物512A接合懸臂卡扣314的突出部分的入口側，以使懸臂卡扣314的樑柱偏離樑柱的鬆弛位置。當探針卡支撐嵌件500受導引朝向容器本體302的背板310E時，突起物512A持續接合突出部分，直到突起物512A伸抵突出部分的回縮側，以允許懸臂卡扣314的樑柱返回到該鬆弛位置，從而將向外延展凸緣 508A緊固至容器本體302。透過突起物512B與懸臂卡扣316的突出部分的接合，以類似方式使向外延展凸緣508B緊固至容器本體302。

為了將各向外延展凸緣508A及508B從容器本體302釋放，可使懸臂卡扣314的突出部分、及懸臂316的突出部分凹陷，以使懸臂卡扣314與316的樑柱偏斜，而向外延展凸緣508A與508B則受導引遠離容器本體302的背板310E以通過容器本體302的開口304。

下文將說明當支撐表面502上置放一或多個探針卡或成型探針卡保護器時，使該一或多個探針卡或該一或多個成型探針卡保護器的移動達到最小的結構。

向內延展凸緣510A遠離側壁506A的內部表面延展的前緣、及向內延展凸緣510B遠離側壁506B的內部表面延展的前緣可界定切口及突起物518A與518B，其對應於由支撐表面502支撐的一或多個成型探針卡保護器的外輪廓。

再者，背板310E的內表面可包括與向內延展凸緣510A的外表面、及向內延展凸緣510B的外表面接觸的一或多個突起物，以界定介於向內延展凸緣510A及510B與背板310E的內表面之間的空間。

當一或多個成型探針卡保護器由支撐表面502支撐時，一或多個成型探針卡保護器的一部分是朝向背板310E通過向內延展凸緣510A與510B插入介於向內延展凸緣510A及510B與背板310E的內表面之間的空間。 在此一配置中，一或多個成型探針卡保護器的外輪廓的一部分可接觸由向內延展凸緣510A與510B的前緣所界定的切口及突起物，以使一或多個成型探針卡保護器、及順著遠離支撐表面502且橫切支撐表面502延展的方向受持固於其中的探針卡的移動達到最小。

再者，作為各支撐表面502的平坦上表面的一替代方案，各支撐表面502的上表面可透過例如成型來形成，以具有與受支撐探針卡的外部輪廓的底端、或受支撐成型探針卡保護器的外部輪廓的底端相符的輪廓，其可使受支撐探針卡或受支撐成型探針卡保護器的移動達到最小。

如以上所述，可在容器本體302內以可卸除方式罩覆探針卡支撐嵌件500。容器本體302亦可組配成用來罩覆其它嵌件結構。在一項實施例中，容器本體302可組配成用來罩覆薄板支撐嵌件800。

薄板支撐嵌件800是組配成用來支撐一或多個薄板。薄板的一實施例可包括但不限於半導體晶圓、磁性記錄媒體碟、光學記錄媒體碟，用於液晶的玻璃基板、或用於可撓性顯示設備的薄膜基板。

薄板支撐嵌件800是進一步組配成用來以可脫離方式附接至容器本體302。

下文將參照圖式中的第4圖說明薄板支撐嵌件800的一實施例。

薄板支撐嵌件800可包括支撐面板802A及 支撐面板802B。支撐面板802B的結構可以是支撐面板802A的結構的鏡像。

支撐面板802A可包括支撐板804及多個支撐件806。

支撐板804是組配成用來以可脫離方式附接至側壁310A、側壁310B、側壁310C、側壁310D及背板310E中的一或多者的內部表面。再者，支撐板804是組配成用來在多個支撐件806是以預定間隔平行佈置的狀態下支撐多個支撐件806。

支撐板804可包括支撐板側面板808。多個支撐片806是固定連接至要以預定間隔平行佈置的支撐板側面板808的內表面。

支撐板804可進一步包括從支撐板804的外部表面延展的向外延展凸緣810。當支撐面板802A是配置在容器本體302內時，可將向外延展凸緣810置於支撐板側面板808與容器本體302的開口304最接近的一個端部上。向外延展凸緣810遠離支撐板804外部表面延展的前緣可界定一或多個切口及/或一或多個突起物812。再者，向外延展凸緣810可界定一或多個對準銷孔814。一或多個切口及或突起物812與一或多個對準銷孔814的相對間距可實質等同於一或多個切口及/或突起物512A與一或多個對準銷孔514A的相對間距，使得向外延展凸緣810(及支撐面板802A)可在支撐面板802A插入容器本體302的內部空間期間通過容器本體302的上述結構來導引，並且通 過容器本體302的上述結構予以緊固至容器本體302。舉例而言，在支撐面板802A插入容器本體302的內部空間期間，隨著支撐面板802A朝向背板310E通過容器本體302的開口304，可將多個切口及/或突起物812與容器本體的對應突起物及切口312C1對準，並且可將多個對準銷孔814與對應的對準銷312C2對準，使得突起物及切口312C1導引切口及/或突起物812，並且對準銷312C2導引對準銷孔814朝向支撐面板802A緊固至容器本體302的位置。隨著支撐面板802A受到導引，支撐面板802A接合容器本體302的懸臂卡扣314。亦即，向外延展凸緣810的突起物812接合懸臂卡扣314的突出部分的入口側，以使懸臂卡扣314的樑柱偏離樑柱的鬆弛位置。當支撐面板802A受導引朝向容器本體302的背板310E時，突起物812持續接合突出部分，直到突起物812伸抵突出部分的回縮側，以允許懸臂卡扣314的樑柱返回到該鬆弛位置，從而將支撐面板802A緊固至容器本體302。

為了將支撐面板802A從容器本體302釋放，可使懸臂卡扣314的突出部分凹陷，以使懸臂卡扣314的樑柱偏斜，而支撐面板802A則受導引遠離容器本體302的背板310E以通過容器本體302的開口304。

可提供用於將薄板支撐嵌件800連接至容器本體302的其它連接結構。舉例而言，支撐板804及容器本體302的側壁310C的內部表面可設有干涉配合的組件。此一干涉配合可包括位在支撐板804中的多個軸件、以及 位在側壁310C的內部表面中的多個對應孔洞。可將支撐板804中的多個軸件推入側壁310C中的多個孔洞，藉此通過該等軸件與界定該多個孔洞的側壁310C的表面之間的摩擦使支撐板804連接至側壁310C。

多個支撐件806各可具有與通過支撐件806所支撐的薄板的形狀相符的形狀。舉例而言，在將支撐面板802A緊固至容器本體302時，提供支撐件806，以便從最接近背板310E的內區延展至最接近側壁310C的中間區域，以及從該中間區域延展至最接近開口304的外區。多個支撐件806各具有可對薄板的外周緣區域提供直接接觸及支撐的輪廓，同時避開薄板的可用區域。

上述探針卡支撐嵌件500及上述薄板支撐嵌件800可透過連接至諸如懸臂卡扣314與316的公用連接結構而可取代地緊固至相同容器本體302。因此，可預見的是，可將相同容器本體302調適成適於傳送諸如薄板及探針卡等不同物項，端視插入及連接至容器本體302的可插入結構(例如：探針卡支撐嵌件500及薄板支撐嵌件800)而定。此一可互換特徵是用於下文所述的系統及方法具體實施例中。

接下來，將在下文參照第5圖說明用於儲存及傳送一或多個探針卡的系統700。

系統700可包括自動化傳送系統702、控制器704、用戶介面706、外部容器300以及探針卡支撐嵌件500(及/或可與探針卡支撐嵌件500互換的薄板支撐嵌件 800)。

可在包括設施A及設施B的環境中操作系統700。設施A的一實施例可以是用於一或多個探針卡的潔淨儲存設施。設施B的一實施例可以是進行晶圓測試步驟的潔淨測試設施。

自動化傳送系統702可包括可基於技術人員透過用戶介面706輸入的指令通過控制器704來控制的懸吊式傳送載具708。

懸吊式傳送載具708是組配成用來沿著至少在設施A與設施B之間延展的高架軌道系統行進。懸吊式傳送載具708是組配成用來通過例如夾持及釋放外部容器300的夾持部308而在設施A與設施B處存取及積存外部容器300。

用戶介面706是組配成用來接收來自技術人員用以將一或多個探針卡從設施A傳送至設施B的指令。控制器704可組配成用來透過顯示器或另一輸出裝置來指示技術人員取回外部容器300。或者，控制器704可組配成用來控制自動化取回系統(或懸吊式傳送載具708)以取回外部容器300。技術人員接著可將外部容器300的罩蓋306從容器本體302移除，以使開口304曝露，並且以探針卡支撐嵌件500取代外部容器300中的薄板支撐嵌件800。之後，技術人員可接著將一或多個探針卡及/或一或多個成型探針卡保護器(其中具有一或多個探針卡)裝載到要由一或多個支撐表面502來支撐的外部容器300。之後， 技術人員可接著將外部容器300的罩蓋306緊固至容器本體302以閉合開口304。接下來，技術人員可將外部容器300置入諸如裝載端口的區域，在該裝載端口處，懸吊式傳送載具708可夾持外部容器300的夾持部308。

控制器704可組配成用來控制懸吊式傳送載具708，以夾持外部容器300的夾持部308，從設施A移動至設施B，以及釋放外部容器300的夾持部308從而將外部容器積存在設施B中。

在以上說明中，控制器704可通過包括一或多個處理器的計算機來實施，該一或多個處理器是組配成用來讀取內存中所儲存的指令以執行上述功能及控制。再者，用戶介面706可通過諸如鍵盤、鼠標及/或觸控屏幕用戶介面等裝置來實施。

接下來，將在下文參照第6至8圖說明用於儲存及傳送一或多個探針卡的方法。

請參閱第6圖，該方法可包括步驟S10：組配具有探針卡支撐嵌件500的外部容器300；步驟S30：將一或多個探針卡及/或成型探針卡保護器(其中具有一或多個探針卡)裝載到內有插入探針卡支撐嵌件500的外部容器300內；以及步驟S50：控制自動化傳送系統702以將外部容器300、探針卡支撐嵌件500及一或多個探針卡及/或成型探針卡保護器從設施A傳送至設施B。

請參閱第7圖，組配具有探針卡支撐嵌件500的外部容器300的步驟S10還可包括步驟S12：將外部容 器300的罩蓋306從容器本體302移除以使開口304曝露。步驟S10還可包括步驟S14：將薄板支撐嵌件800與容器本體302分開並且移除薄板支撐嵌件800。步驟S10還可包括步驟S16：導引探針卡支撐嵌件500穿過開口304並進入容器本體302的內部。步驟S16可包括安置向外延展凸緣508A與508B，使得切口及突起物512A及512B以及對準銷孔514A及514B與突起物及切口312C1及312D1以及容器本體302的對準銷312C2及312D2對準，並且沿著突起物及切口312C1及312D1以及對準銷312C2及312D2朝向容器本體302的背板310E導引探針卡支撐嵌件500。步驟S10還可包括步驟S18：將探針卡支撐嵌件500與附接結構接合，以將探針卡支撐嵌件500以可卸除方式附接至容器體302。步驟S18可包括將探針卡支撐嵌件500的突起物512A及512B與容器本體302的懸臂卡扣314及316接合，以將探針卡支撐嵌件500附接至容器本體302。

接下來，步驟S30可包括將探針卡及/或成型探針卡保護器(其中具有探針卡)的各者置放於探針卡支撐嵌件500的支撐表面502上。再者，可朝向容器本體302的背板310E插入成型探針卡保護器，直到成型探針卡保護器的一部分是配置在背板310E與探針卡支撐嵌件500的向內延展凸緣510A及510B之間的空間中，使得成型探針卡保護器接合向內延展凸緣510A及510B的切口及突起物518A及518B，以使成型探針卡保護器在傳送期間的移 動達到最小。步驟S30還可包括將外部容器300的罩蓋306緊固至容器本體302以使開口304閉合。

請參閱第8圖，控制自動化傳送系統702以將外部容器300、探針卡支撐嵌件500及一或多個探針卡及/或成型探針卡保護器從設施A傳送至設施B的步驟S50可包括步驟S52：將裝載的外部容器300置入諸如設施A的裝載端口的區域以等待傳送。接下來，在步驟S54中，控制器704可接收透過用戶介面706輸入的將裝載的外部容器300從設施A傳送至設施B的指令。接下來，在步驟56中，控制器704可以控制懸吊式傳送載具708以抓住所裝載外部容器300的夾持部308，並且沿著高架導軌將抓住的外部容器300從設施A傳送至設施B。接下來，在步驟S58中，控制器704可控制懸吊式傳送載具708將所裝載外部容器300傳送至設施B中的指定區域或接收架間，並且釋放外部容器300的夾持部308上的夾持部，從而完成將探針卡及/或儲存該等探針卡的成型探針卡保護器遞送至設施B。

對所屬領域技術人員顯而易見的是，可對本發明進行各種修改及改變而不脫離本發明的精神與範疇。由於將本發明的精神與要旨併入的所揭示具體實施例可由所屬領域技術人員進行修改、組合、次組合及變化，因而應該將本發明解讀為包括申請專利範圍及其均等內容的範疇內的所有內容。

Claims (7)

1. 一種用於儲存一或多個探針卡的容器，該容器包含：容器本體，包含內部表面組配成用來界定：內部空間，用於罩覆該一或多個探針卡，以及開口，經調整尺寸以容許將該一或多個探針卡插入及移出該內部空間；罩蓋，組配成用來以可卸除方式裝配至該容器本體的該開口以閉合該開口；以及一或多個探針卡支撐嵌件，連接至該容器本體的該內部表面，其中，各該一或多個探針卡支撐嵌件包含：一或多個探針卡支撐表面，組配成用來支撐該容器本體的該內部空間中所罩覆的該一或多個探針卡中第一者，其中，該容器本體的該內部表面及各該一或多個探針卡支撐嵌件組配成用來以可卸除方式連接。
2. 如申請專利範圍第1項所述的容器，其中，該容器本體的該內部表面包含容器本體側連接結構，其中，各該一或多個探針卡支撐嵌件包含探針卡支撐嵌件側連接結構，該探針卡支撐件嵌件側連接結構組配成用來以可卸除方式連接至該容器本體側連接結構，以連接該容器本體的該內部表面及各該一或多個探 針卡支撐嵌件。
3. 如申請專利範圍第2項所述的容器，其中，該探針卡支撐嵌件側連接結構包含突起物，以及其中，該容器本體的該內部表面包含卡扣嵌合結構，該卡扣嵌合結構組配成用來與該探針卡支撐嵌件側連接結構的該突起物嵌合，以將各該一或多個探針卡支撐嵌件以可卸除方式連接至該容器本體的該內部表面。
4. 如申請專利範圍第3項所述的容器，其中，該探針卡支撐嵌件側連接結構的該突起物界定一或多個對準銷孔，以及其中，該容器本體的該內部表面包含一或多個對應的對準銷，該一或多個對準銷組配成用來與該一或多個對準銷孔嵌合，以將該探針卡支撐嵌件導引嵌入到該容器本體的該內部空間內。
5. 如申請專利範圍第1項所述的容器，其中，該容器本體的該開口經界定以允許該一或多個探針卡順著實質垂直於重力方向的方向匯入到及匯出自該容器本體的該內部空間。
6. 如申請專利範圍第1項所述的容器，其中，該容器本體還包含頭部，該頭部組配成用來以可卸除方式連接至用於將該容器從第一區域傳送至第二區域的傳送機構。
7. 一種用於與容器配合使用的探針卡支撐嵌件，其中，該容器包含：容器本體，包含內部表面組配成用來界定：內部空間，用於罩覆該一或多個探針卡，以及開口，經調整尺寸而容許將該一或多個探針卡插入及移出該內部空間；以及罩蓋，組配成用來以可卸除方式裝配至該容器本體的該開口以閉合該開口，以及其中，該探針卡支撐嵌件包含：支撐殼體，組配成用來以可卸除方式連接至該容器本體的內部表面；一或多個支撐表面，連接至該支撐殼體，其中，各該一或多個支撐表面組配成用來支撐對應的一或多個探針卡。