CN102023239B - 探针卡搬送过程中保护探针的装置 - Google Patents

探针卡搬送过程中保护探针的装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102023239B
CN102023239B CN 200910057927 CN200910057927A CN102023239B CN 102023239 B CN102023239 B CN 102023239B CN 200910057927 CN200910057927 CN 200910057927 CN 200910057927 A CN200910057927 A CN 200910057927A CN 102023239 B CN102023239 B CN 102023239B
Authority
CN
China
Prior art keywords
probe
shaped
spring
pcb board
leg
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN 200910057927
Other languages
English (en)
Other versions
CN102023239A (zh
Inventor
辛吉升
桑浚之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Original Assignee
Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd filed Critical Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd
Priority to CN 200910057927 priority Critical patent/CN102023239B/zh
Publication of CN102023239A publication Critical patent/CN102023239A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102023239B publication Critical patent/CN102023239B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明公开了一种探针卡搬送过程中保护探针的装置;包括:L形支脚,其通过轴安装在PCB板上并绕轴旋转,L形支脚的一端为支脚,另一端与支脚成一角度,所述L形支脚在旋转到一定角度后,其另一端可以和簧片相抵;簧片,其位于PCB板的下平面上,可以延PCB板平面方向左右移动;弹簧,其一端固定在可以左右移动的L形簧片上,另一端固定在PCB板上。本发明可以有效保护探针不受损坏;并且本发明结构简单、操作简便,易于实现,且生产成本低。

Description

探针卡搬送过程中保护探针的装置
技术领域
本发明涉及一种大规模集成电路在晶圆上进行测试的设备,具体是涉及一种测试用设备的保护装置。
背景技术
目前,在对晶圆进行测试时,都需要用到探针卡。如图1所示,一般的探针卡主要由PCB(Printed Circuit Board)以及装载在其上的探针两部分组成。探针卡制作完毕后,在搬送过程中,可能因为不小心,导致探针直接和桌面接触而损坏。探针的更换和维修成本较高,这种误操作造成的探针损坏会造成测试成本的上升。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可以在探针卡搬送过程中有效保护探针的装置。
为了解决以上技术问题,本发明提供了一种探针卡搬送过程中保护探针的装置;包括:L形支脚,其通过轴安装在PCB板上并绕轴旋转,L形支脚的一端为支脚,另一端与支脚成一角度,所述L形支脚在旋转到一定角度后,其另一端可以和簧片相抵;簧片,其位于PCB板的下平面上,可以延PCB板平面方向左右移动;弹簧,其一端固定在可以左右移动的L形簧片上,另一端固定在PCB板上。
本发明的有益效果在于:本发明公开了一种对探针卡搬送过程中实现自我保护探针的方法,通过该发明公布的独特的机关,打开装置在探针卡上支脚,从而可以避免探针和桌面的直接接触,有效保护探针不受损坏;并且本发明结构简单、操作简便,易于实现,且生产成本低。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
图1是现有探针卡的示意图;
图2是本发明方案中的保护装置在关闭状态的示意图;
图3是本发明方案中的保护装置在使用时的示意图;
图4是保护装置局部放大图。
具体实施方式
当搬送探针卡时,因为不小心,导致探针直接和桌面接触而损坏,该发明就是为了解决这个问题。
本发明使用一种独特的机械装置,来达到保护探针卡探针的目的。如图4所示:1为轴;2为弹簧固定点;3为可以左右移动的L形簧片,固定在弹簧2上;4为弹簧;5为一个L形支脚;6为可以左右移动的L形簧片3的拉手端。L形支脚5可以绕轴1旋转。弹簧2一端固定在可以左右移动的L形簧片上,另一端固定在PCB板9上。上述的所有部件均位于PCB板上,且装置关闭后的厚度小于等于PCB的厚度。
当探针卡需要移动时,向下扳L形支脚5,L形支脚5的另外一端会碰到可以左右移动的L形簧片3,弹簧4被拉长,L形支脚5继续向下,L形支脚5的另外一端越过簧片3,由于弹簧4的拉力,可以左右移动的L形簧片3弹回,L形支脚5的另外一端和可以左右移动的L形簧片相抵住,使L形支脚5形成支撑,最终形成图3所示的状态
该装置在不需要的时候,具有关闭功能:向外拉可以左右移动的L形簧片3的拉手端6,把L形支脚5收回,放开可以左右移动的L形簧片3的拉手端6,恢复到如图2所示的状态。装置关闭后的厚度小于等于PCB的厚度。
本发明并不限于上文讨论的实施方式。以上对具体实施方式的描述旨在于为了描述和说明本发明涉及的技术方案。基于本发明启示的显而易见的变换或替代也应当被认为落入本发明的保护范围。以上的具体实施方式用来揭示本发明的最佳实施方法,以使得本领域的普通技术人员能够应用本发明的多种实施方式以及多种替代方式来达到本发明的目的。

Claims (5)

1.一种探针卡搬送过程中保护探针的装置;其特征在于,包括:
L形支脚,其通过轴安装在PCB板上并绕轴旋转,L形支脚的一端为支脚,另一端与支脚成一角度,所述L形支脚在旋转到一定角度后,其另一端可以和L形簧片相抵;
L形簧片,其位于PCB板的下平面上,可以延PCB板平面方向左右移动;
弹簧,其一端固定在可以左右移动的L形簧片上,另一端固定在PCB板上。
2.如权利要求1所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置;其特征在于,所述L形簧片为L形,其远离支脚的一端为拉手端。
3.如权利要求2所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置;其特征在于,所述L形簧片的两端呈90度。
4.如权利要求1所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置;其特征在于,所述L形支脚和弹簧、L形簧片的高度小于或等于PCB板的厚度。
5.如权利要求1所述的探针卡搬送过程中保护探针的装置;其特征在于,所述L形支脚的两端呈90度。
CN 200910057927 2009-09-22 2009-09-22 探针卡搬送过程中保护探针的装置 Active CN102023239B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910057927 CN102023239B (zh) 2009-09-22 2009-09-22 探针卡搬送过程中保护探针的装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910057927 CN102023239B (zh) 2009-09-22 2009-09-22 探针卡搬送过程中保护探针的装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102023239A CN102023239A (zh) 2011-04-20
CN102023239B true CN102023239B (zh) 2013-01-09

Family

ID=43864780

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200910057927 Active CN102023239B (zh) 2009-09-22 2009-09-22 探针卡搬送过程中保护探针的装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102023239B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10261109B2 (en) 2017-05-17 2019-04-16 Globalfoundries Inc. Probe card support insert, container, system and method for storing and transporting one or more probe cards

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6137725B2 (ja) * 2012-12-04 2017-05-31 日本電産リード株式会社 搬送装置及び接触子組立装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007142631A1 (en) * 2006-06-02 2007-12-13 Neoconix, Inc. A connector (17) including elastic contact arms (15)
CN201115014Y (zh) * 2007-09-29 2008-09-10 深圳市龙岗区龙岗爱联宇宙机器设备厂 用于支撑pcb设备的支腿结构
CN201182049Y (zh) * 2008-04-23 2009-01-14 杭州华三通信技术有限公司 单板及具有该单板的电子设备

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007142631A1 (en) * 2006-06-02 2007-12-13 Neoconix, Inc. A connector (17) including elastic contact arms (15)
CN201115014Y (zh) * 2007-09-29 2008-09-10 深圳市龙岗区龙岗爱联宇宙机器设备厂 用于支撑pcb设备的支腿结构
CN201182049Y (zh) * 2008-04-23 2009-01-14 杭州华三通信技术有限公司 单板及具有该单板的电子设备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10261109B2 (en) 2017-05-17 2019-04-16 Globalfoundries Inc. Probe card support insert, container, system and method for storing and transporting one or more probe cards

Also Published As

Publication number Publication date
CN102023239A (zh) 2011-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102023239B (zh) 探针卡搬送过程中保护探针的装置
CN102967806A (zh) 测高压治具
CN101583254A (zh) 保护盖结构
CN200990441Y (zh) 微型计算机主板插槽保护装置
CN104577718A (zh) 带风向标的避雷针
CN202956401U (zh) 具有可分段裁切的金手指结构的测试板卡
CN209980138U (zh) 一种固态硬盘用保护转接卡
CN203672924U (zh) 防短路信号测试探针
CN201926676U (zh) 一种晶圆测试卡
CN203480496U (zh) 一种带有磁感应开关的电子触摸屏
CN204022058U (zh) 一种纸带缓冲机构
CN202330641U (zh) 一种板卡测试装置
CN204792643U (zh) 一种高压断路器分、合闸防过位装置
CN201707665U (zh) 一种测试用的内存转接卡
CN201465861U (zh) 波段开关导电装置
CN203746399U (zh) 一种读取显示器edid数据的辅助治具
CN207817153U (zh) 一种漏电断路器的漏电试验机构
CN202372538U (zh) 防溃Pin测试治具
CN102548192A (zh) Pcb板保护罩
CN201569949U (zh) 改进固定装置的内存转接卡扣
CN208622664U (zh) 一种漏电断路器
CN202454339U (zh) 扁铜线绝缘薄膜缠绕装置的断带断路器
CN202886511U (zh) 断电保护测试台
CN209707563U (zh) 一种测试探针
CN203368898U (zh) 一种pcb板的保护板

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SHANGHAI HUAHONG GRACE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

Free format text: FORMER OWNER: HUAHONG NEC ELECTRONICS CO LTD, SHANGHAI

Effective date: 20140115

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201206 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20140115

Address after: 201203 Shanghai city Zuchongzhi road Pudong New Area Zhangjiang hi tech Park No. 1399

Patentee after: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corporation

Address before: 201206, Shanghai, Pudong New Area, Sichuan Road, No. 1188 Bridge

Patentee before: Shanghai Huahong NEC Electronics Co., Ltd.