TW201831789A - 多段真空增壓幫浦轉子 - Google Patents

Abstract

本發明揭示一種用於一多段真空幫浦之轉子、一種多段真空幫浦及一種方法。該轉子包括：複數個旋轉葉片，該複數個旋轉葉片經軸向偏置及同軸對準；一對端軸(軸桿)，各端軸自該複數個旋轉葉片之對置軸向端延伸；及一葉片間軸，其延伸於該複數個旋轉葉片之相鄰旋轉葉片之間，該葉片間軸具有大於該等端軸之直徑的一直徑。依此方式，提供於各旋轉葉片之間的該葉片間軸可具有一增大直徑，其提高該軸之勁度且改變該轉子之模態頻率。模態頻率之此一變化通常足以改良該轉子之操作。

Description

多段真空增壓幫浦轉子

本發明係關於一種用於一多段真空幫浦之轉子、一種多段真空幫浦及一種方法。

吾人已知真空幫浦。此等幫浦通常用作為用於抽空器件之一真空系統之一組件。此外，此等幫浦用於抽空用於(例如)生產半導體之製造設備。眾所周知，不是使用一單一幫浦來在一單一段中執行自真空加壓至大氣壓，而是提供多段真空幫浦，其中各段執行自真空轉變為大氣壓所需之整個加壓過程之一部分。 儘管此等多段真空幫浦有其優點，但其自身亦有缺點。因此，期望提供多段真空幫浦之一改良配置。

根據一第一態樣，提供一種用於一多段羅茨型(roots-type)真空幫浦之轉子，其包括：複數個旋轉葉片，該複數個旋轉葉片經軸向偏置及同軸對準；一對端軸，各端軸自該複數個旋轉葉片之對置軸向端延伸；及一葉片間軸，其延伸於該複數個旋轉葉片之相鄰旋轉葉片之間，該葉片間軸具有大於該等端軸之直徑的一直徑。 第一態樣認識到，當提供配置於一共同軸上之複數個旋轉葉片時，延伸於相鄰旋轉葉片之該軸之直徑可引起該轉子之模態頻率足夠接近該轉子之操作頻率以帶來困難。因此，提供用於一真空幫浦之一轉子。該轉子可為由一多段真空幫浦使用之一羅茨型轉子。該轉子可具有一個以上旋轉葉片。該等旋轉葉片之各者可共用一共同軸線且可共用一共同軸。該等葉片可經軸向偏置或分離及同軸或同心對準。該轉子可具有一對端軸。該等端軸自該複數個旋轉葉片之對置或遠端軸向端延伸或突出。可提供延伸於相鄰旋轉葉片之間或連接相鄰旋轉葉片的一葉片間軸。該葉片間軸可經構形以具有大於該等端軸之直徑的一直徑。依此方式，提供於各旋轉葉片之間的該葉片間軸可具有一增大直徑，其提高該軸之勁度且改變該轉子之模態頻率。模態頻率之此一變化通常足以改良該轉子之操作。 在一實施例中，該等旋轉葉片具有外擺線部分及由周圍內擺線面界定之一中心內擺線部分且該葉片間軸具有超過該等周圍內擺線面之一最接近距離的一直徑。因此，在一羅茨型轉子中，提供外擺線部分(其等界定該轉子之徑向葉瓣)以及一中心內擺線部分(其界定該轉子之徑向內部件)。該葉片間軸可經設定尺寸以具有大於該中心內擺線部分之直徑的一直徑，其有助於加固該轉子且改變該轉子之模態頻率。 在一實施例中，該等旋轉葉片具有一對外擺線部分及由對置內擺線面界定之一中心內擺線部分且該葉片間軸具有超過該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑。 在一實施例中，該葉片間軸包括配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一內部軸上之一軸環。因此，可使用配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間之一內部軸上之一軸環來達成該葉片間軸之直徑之增大。 在一實施例中，該內部軸及該等相鄰旋轉葉片係一整體。因此，該內部軸及該等旋轉葉片可由一單一整體構件製成，而非由不同可附接組成部件製成。 在一實施例中，該軸環包括可分離部分。提供由可斷接或斷開之部分製成之一可分離或分開軸環使將該軸環配合至該內部軸上變得更容易。 在一實施例中，該軸環包括一對可釋放地固定之半圓柱體。該等半圓柱體一起形成具有所需直徑之一圓柱體。 在一實施例中，該葉片間軸包括配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間之一內部軸上之構件。因此，該葉片間軸本身可隨配合至該內部軸上之個別構件延伸。 在一實施例中，該內部軸經軸向刻面以接納該等構件，該內部軸及該等構件結合以提供該葉片間軸。因此，該軸可在製造期間刻面以接納該等構件。 在一實施例中，該內部軸具有一圓柱形部分，其具有超過該等葉片之該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑，各刻面由一平坦表面界定且該等構件經塑形以配合該等刻面且接續該圓柱形部分。具有一平坦表面使製造該等構件以配合該平坦表面變得更容易很多。 在一實施例中，該葉片間軸包括配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間之一凹進內部軸上之嵌件。因此，該內部軸可為凹進式的。此凹進可發生於該轉子之製造期間。因此，該等嵌件可配合至該等凹口中以使該葉片間軸復原成一圓柱形形狀。 在一實施例中，該凹進內部軸界定經塑形以接納互補軸向延伸嵌件之軸向延伸凹口，該凹進內部軸及該等軸向延伸嵌件結合以提供該葉片間軸。 在一實施例中，該凹進內部軸具有一圓柱形部分，其具有超過該等葉片之該等周圍內擺線面之一最接近距離的一直徑，該等凹口由匹配該等周圍內擺線面之內擺線表面界定且該等嵌件經塑形以配合該等凹口且接續該圓柱形部分。 在一實施例中，該凹進內部軸界定經塑形以接納一對互補軸向延伸嵌件之一對軸向延伸凹口，該凹進內部軸及該對軸向延伸嵌件結合以提供該葉片間軸。 在一實施例中，該凹進內部軸具有一圓柱形部分，其具有超過該等葉片之該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑，該等凹口由匹配該等對置內擺線面之一對對置內擺線表面界定且該等嵌件經塑形以配合該等凹口且接續該圓柱形部分。 在一實施例中，該等嵌件包括配合該等內擺線表面之一內擺線側及具有該直徑之一圓弧側。 根據一第二態樣，提供一種多段真空幫浦，其包括：一第一段幫浦；一第二段幫浦；及根據第一態樣之一轉子，其延伸於該第一段幫浦及該第二段幫浦兩者內。 根據一第三態樣，提供一種方法，其包括：提供用於一多段羅茨型真空幫浦之一轉子之複數個旋轉葉片，該複數個旋轉葉片經軸向偏置及同軸對準；提供一對端軸，各端軸自該複數個旋轉葉片之對置軸向端延伸；及提供延伸於該複數個旋轉葉片之相鄰旋轉葉片之間的一葉片間軸，該葉片間軸具有大於該等端軸之直徑的一直徑。 在一實施例中，該等旋轉葉片具有外擺線部分及由周圍內擺線面界定之一中心內擺線部分且該葉片間軸具有超過該等周圍內擺線面之一最接近距離的一直徑。 在一實施例中，該等旋轉葉片具有一對外擺線部分及由對置內擺線面界定之一中心內擺線部分且該葉片間軸具有超過該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑。 在一實施例中，該方法包括：配合一軸環，該軸環配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一內部軸上以形成該葉片間軸。 在一實施例中，該內部軸及該等相鄰旋轉葉片係一整體。 在一實施例中，該軸環包括可分離部分。 在一實施例中，該軸環包括一對可釋放地固定之半圓柱體。 在一實施例中，該方法包括：將構件配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一內部軸上以形成該葉片間軸。 在一實施例中，該內部軸經軸向刻面以接納該等構件，該內部軸及該等構件結合以提供該葉片間軸。 在一實施例中，該內部軸具有一圓柱形部分，其具有超過該等葉片之該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑，各刻面由一平坦表面界定且該等構件經塑形以配合該等刻面且接續該圓柱形部分。 在一實施例中，該方法包括：將嵌件配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一凹進內部軸上以形成該葉片間軸。 在一實施例中，該凹進內部軸界定經塑形以接納互補軸向延伸嵌件之軸向延伸凹口，該凹進內部軸及該等軸向延伸嵌件結合以提供該葉片間軸。 在一實施例中，該凹進內部軸具有一圓柱形部分，其具有超過該等葉片之該等周圍內擺線面之一最接近距離的一直徑，該等凹口由匹配該等周圍內擺線面之內擺線表面界定且該等嵌件經塑形以配合該等凹口且接續該圓柱形部分。 在一實施例中，該凹進內部軸界定經塑形以接納一對互補軸向延伸嵌件之一對軸向延伸凹口，該凹進內部軸及該對軸向延伸嵌件結合以提供該葉片間軸。 在一實施例中，該凹進內部軸具有一圓柱形部分，其具有超過該等葉片之該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑，該等凹口由匹配該等對置內擺線面之一對對置內擺線表面界定且該等嵌件經塑形以配合該等凹口且接續該圓柱形部分。 在一實施例中，該等嵌件包括配合該等內擺線表面之一內擺線側及具有該直徑之一圓弧側。 隨附獨立及附屬技術方案中闡述進一步特定及較佳態樣。附屬技術方案之特徵可視情況且依除技術方案中明確闡述之組合之外之組合與獨立技術方案之特徵組合。 儘管將一裝置特徵描述為可經操作以提供一功能，但應瞭解，此包含提供該功能或經調適或構形以提供該功能之一裝置特徵。

在更詳細討論實施例之前，將首先提供一概述。諸實施例提供一多段羅茨型真空幫浦之一配置。在此種真空幫浦中，一轉子具有各共用一共同轉子軸之多個旋轉葉片。該等旋轉葉片通常由一葉片間軸沿該共同軸軸向分離。延伸於該等不同旋轉葉片之間的該葉片間軸通常在該轉子之旋轉期間承受高位準應力。該轉子之彎曲模式頻率可接近該轉子之操作頻率，其導致該轉子在操作期間之無法接受的機械偏轉。因此，實施例提供擴大該葉片間軸之直徑以將該轉子之固有頻率修改成遠離其操作頻率之配置。 在一實施例中，一軸環固定至延伸於該等旋轉葉片之間的該葉片間軸上，而在其他實施例中，墊片或嵌件新增至該葉片間軸(其已在該轉子之製造期間加工成帶凹口或刻面)以使該凹進或刻面軸復原成其先前圓柱形外形。兩段式幫浦 圖1A及圖1B繪示根據一實施例之一兩段式增壓幫浦(大體上以10標示)。一第一幫浦段20經由一段間連接單元40與一第二幫浦段30連接。第一幫浦段20具有一第一段入口20A及一第一段排放口20B。第二幫浦段30具有一第二段入口30A及一第二段排放口30B。連接器 段間連接器40由一第一部分40A及一第二部分40B形成。第一部分40A可釋放地固定至第二部分40B。第一部分40A及第二部分40B在接合在一起時界定段間連接單元內之一廊道130，氣體可在幫浦之操作期間通過廊道130。段間連接單元40界定延伸穿過段間連接單元40之寬度之一圓柱形孔洞100。第一部分40A形成孔洞100之一第一部分且第二部分40B形成孔洞100之一第二部分。孔洞100經分離以接納一單件式轉子50，如現將更詳細描述。轉子 圖2係轉子50之一透視圖。轉子50係用於利用嚙合葉瓣對之一正排量葉瓣泵中之一轉子類型。各轉子具有圍繞一可旋轉軸對稱形成之一對葉瓣。各葉瓣55由曲線之交替切線斷面界定。曲線可具有任何適合形式，諸如總所周知之圓弧或內外擺線或此等之一組合。在此實例中，轉子50係由一單一金屬元件加工之單體且圓柱形孔洞58軸向延伸穿過葉瓣55以減少質量。 軸之一第一軸向端60接納於由第一幫浦段20之一頂板(圖中未展示)提供之一軸承內且自接納於第一段20之一定子內之一第一旋轉葉片部分90A延伸。一中間軸向部分80自第一旋轉葉片部分90A延伸且接納於孔洞100內。孔洞100在中間軸向部分80之表面上提供一緊密配合，但不充當一軸承。一第二旋轉葉片部分90B自中間軸向部分80軸向延伸且接納於第二段30之一定子內。一第二軸向端70自第二旋轉葉片部分90B軸向延伸。第二軸向端70由第二幫浦段30之一頂板(圖中未展示)中之一軸承接納。轉子50經加工成一單一部件，且銑刀形成葉瓣對55之表面。軸向部分60、70、80經轉動以形成第一旋轉葉片部分90A及第二旋轉葉片部分90B。 應瞭解，一第二轉子50 (圖中未展示)接納於亦延伸穿過段間連接器40之寬度但與第一孔洞100橫向隔開之一第二孔洞100內。第二轉子50相同於前述轉子50且自前述轉子旋轉偏移90°，使得兩個轉子50同步嚙合。幫浦段定子 返回至圖1A，第一幫浦段20包括其內形成一腔室24之一單體定子22。腔室24之一端由頂板(圖中未展示)密封且另一端由段間連接單元40密封。單體定子22具有一第一內表面20C。在此實施例中，第一內表面20C由連接至筆直區段之相等半圓形部分界定，該等筆直區段切向延伸於半圓形部分之間以界定接納轉子50之一孔洞/腔室24。然而，實施例亦可界定一大體呈8字形之橫截面孔洞。第二幫浦段30包括其內形成腔室34之一單體定子32。腔室34之一端由頂板(圖中未展示)密封且另一端由段間連接單元40密封。單體定子32具有一第二內表面30C，其界定接納轉子50之一稍呈8字形之橫截面腔室34。單體定子22、32之存在大幅提升機械完整性且降低第一幫浦段20及第二幫浦段30之複雜性。在一替代實施例中，頂板亦可整合至各定子單元22、32中以形成一桶型配置，此一方法將進一步減少組件之存在數目。 轉子50之第一旋轉葉片部分90A在操作中嚙合且跟隨第一內表面20C以壓縮在一第一段入口20A處由一上游器件或裝置提供之氣體且在一第一段排放口20B處提供壓縮氣體。第一段排放口20B處所提供之壓縮氣體通過段間連接單元40之一第一面110A中所形成之一入口孔120A。第一面110A表示第一幫浦段20與廊道130之間的一邊界。壓縮氣體行進通過段間連接單元40內所形成之一廊道130且透過段間連接單元40之一第二面110B中之一出口孔120B排出。第二面110B表示廊道130與第二幫浦段30之間的一邊界。自出口孔120B排出之壓縮氣體接收於一第二段入口30A處。當轉子50之第二旋轉葉片部分90B嚙合且跟隨第二內表面30C時，第二段入口30A處所接收之壓縮氣體由轉子50之第二旋轉葉片部分90B進一步壓縮，且氣體經由一第二段排放口30B排出。組裝 通常在一翻轉夾具上執行兩段式增壓幫浦10之組裝。將第一幫浦段20之單體定子22固定至構建夾具。將頂板附接至定子22且接著使總成旋轉180度。 將兩個轉子50降低至第一段定子22中。使段間連接器40之第一部分40A及第二部分40B在中間軸向部分80上一起滑動以使第一旋轉葉片部分90A保持於第一幫浦段20內。接著，通常將段間連接單元40之第一部分40A及第二部分40B用榫釘連接且栓接在一起。接著，將段間連接器40之組裝半體附接至第一幫浦段20之單體定子22。 現將第二幫浦段30之單體定子32小心地降低至第二旋轉葉片部分90B上且附接至段間連接單元40。 現將一頂板附接至第二段幫浦30之單體定子32。兩個轉子50由兩個頂板中之軸承保持。轉子修改 轉子50經分析以瞭解其固有頻率。結果表明，轉子50在施加於第一旋轉葉片部分90A及第二旋轉葉片部分90B兩者之一側之一100,000 N均勻分佈負載下之過渡位移係高達1.4 mm。應瞭解，取決於兩段式增壓幫浦10之容限及操作頻率，此位移量可導致段間連接器40內之損壞。 圖3繪示轉子50之彎曲模式。如圖中可見，第一彎曲模式發生於119 Hz (其接近轉子50之操作頻率)處。加強軸環 圖4繪示根據一實施例之一軸環(大體上以200標示)之提供。如圖5中所更清楚展示，軸環200包括經設定尺寸以接納於中間軸向部分80之一外表面上之一對半圓柱形元件210A、210B。半圓柱形元件對210A、210B一旦固定至中間軸向部分80上，則一起擴大中間軸向部分80之直徑。在此實施例中，半圓柱形元件對210A、210B將中間軸向部分80之直徑擴大至100 mm。在此實施例中，M8螺絲由螺絲孔220接納以將半圓柱形元件210A、210B機械地固定在一起。然而，應瞭解，各種不同技術可用於將半圓柱形元件210A、210B固定在一起。此外，應瞭解，軸環200可由不同構形之部件製造。 結果表明，具有軸環200之轉子50在施加於第一旋轉葉片部分90A及第二旋轉葉片部分90B兩者之一側之一100,000 N均勻分佈負載下之過渡位移減小至1.02 mm。 如圖6中可見，具有軸環200之轉子50之模態頻率已顯著增大。第一模式現處於147 Hz。此等模態頻率進一步顯著遠離轉子50之操作頻率。嵌件 圖7繪示根據一實施例之一轉子50A之一部分。在此實施例中，中間軸向部分80A具有100 mm之一擴大直徑。在葉瓣55A之加工期間，將一凹進面230加工至中間軸向部分80A中。在此實施例中，中間軸向部分80A之直徑係100 mm。接著，將嵌件(圖中未展示)配合至此等凹進面中以使中間軸向部分80A復原成具有100 mm恆定直徑之一圓柱形形狀。因此，嵌件經軸向伸長以與對置面相交。因此，嵌件之橫截面由與一外擺線相交之一分段界定。應瞭解，嵌件可沿中間軸向部分80A之長度延伸或可提供安置於第一面110A及第二面110B附近之中間軸向部分80A之兩端處之至少一對嵌件。首先，可將嵌件加工成具有與凹進面230接合且固定在適當位置中之內擺線內面。接著，可轉動嵌件以形成圓柱形外面。墊片 圖8展示根據一實施例之一轉子50B之一部分。在此實施例中，轉子50B具有一中間軸向部分80B，其具有100 mm之一擴大初始直徑。首先加工一凹進面(如上文所提及)，但接著銑削該面以提供一平坦表面240，圓柱形分段250 (墊片)配合至平坦表面240上以使中間軸向部分80B復原成具有一恆定外徑之其原始圓柱形形狀。因此，圓柱形分段250經軸向伸長以與對置面相交。因此，圓柱形分段250之橫截面由與一直線相交之一分段界定。應瞭解，圓柱形分段250可沿中間軸向部分80B之長度延伸或可提供安置於第一面110A及第二面110B附近之中間軸向部分80B之兩端處之至少一對圓柱形分段250。應瞭解，製造圓柱形分段比製造上文所提及之嵌件容易得多。首先，可將圓柱形分段250加工成具有與平坦表面240接合且固定在適當位置中之平坦內面。接著，可轉動圓柱形分段250以形成圓柱形外面。 如圖9中可見，具有形成有平坦部之一較大直徑之圖8之轉子50B之模態頻率比圖3中所繪示之軸50情況顯著增大。第一模式現為180 Hz。此模態頻率進一步顯著遠離轉子50之操作頻率。 實施例提供兩段式增壓轉子加固軸環、嵌件及/或墊片。一單件式轉子之機械強度因新增一轉子加固軸環及/或嵌件或墊片配合至其上之面而提高。在一實施例中，單件式轉子設計係用於一6000/2000m³ 增壓器。 如上文所提及，藉由一平面銑削(slab-milling)程序來製造一轉子使用大直徑銑刀。為切割全輪廓，銑刀必須橫切輪廓，直至銑刀之中心線已通過轉子輪廓之端。因此，若段間軸直徑大於根寬，則銑刀將挖削至軸直徑中。若段間軸直徑增大至大於轉子輪廓之根寬的一直徑，則將需要一銑車(mill turning)程序來加工轉子輪廓。此很耗時且需要一昂貴銑車機。轉子加固軸環、嵌件及/或墊片能夠平面銑削轉子輪廓且可在磨削軸直徑之後附接至轉子軸。轉子平衡可在附接加固軸環之後完成。 實施例維持一單件式轉子之容易製造及強度，但新增一加強軸環、嵌件及/或墊片以升高轉子之固有頻率。此可用於多段幫浦(尤其是羅茨設計)中。此配置避免需要增大轉子之根徑。若軸中心距離及旋轉速度保持不變，則必須減小尖端直徑且此減少工作容積。為克服此問題，將需要增大軸中心距離以實現一大根部及尖端直徑以給出相同偏置。 儘管已在本文中參考附圖詳細揭示本發明之繪示性實施例，但應瞭解，本發明不受限於精確實施例且熟習技術者可在不背離由隨附申請專利範圍及其等效物界定之本發明之範疇之情況下對實施例進行各種改變及修改。

10‧‧‧兩段式增壓幫浦

20‧‧‧第一幫浦段

20A‧‧‧第一段入口

20B‧‧‧第一段排放口

20C‧‧‧第一內表面

22‧‧‧第一段定子

24‧‧‧腔室

30‧‧‧第二幫浦段

30A‧‧‧第二段入口

30B‧‧‧第二段排放口

30C‧‧‧第二內表面

32‧‧‧定子

34‧‧‧腔室

40‧‧‧段間連接單元/段間連接器

40A‧‧‧第一部分

40B‧‧‧第二部分

50‧‧‧轉子

50A‧‧‧轉子

50B‧‧‧轉子

55‧‧‧葉瓣

55A‧‧‧葉瓣

58‧‧‧孔洞

60‧‧‧第一軸向端

70‧‧‧第二軸向端

80‧‧‧中間軸向部分

80A‧‧‧中間軸向部分

80B‧‧‧中間軸向部分

90A‧‧‧第一旋轉葉片部分

90B‧‧‧第二旋轉葉片部分

100‧‧‧孔洞

110A‧‧‧第一面

110B‧‧‧第二面

120A‧‧‧入口孔

120B‧‧‧出口孔

130‧‧‧廊道

200‧‧‧軸環

210A‧‧‧半圓柱形元件

210B‧‧‧半圓柱形元件

220‧‧‧螺絲孔

230‧‧‧凹進面

240‧‧‧平坦表面

250‧‧‧圓柱形分段

現將參考附圖進一步描述本發明之實施例，其中： 圖1A及圖1B繪示根據一實施例之一兩段式增壓幫浦； 圖2係用於圖1A及圖1B之兩段式增壓幫浦中之一轉子之一透視圖； 圖3繪示圖2之轉子之彎曲模式； 圖4繪示根據一實施例之一軸環之提供； 圖5更詳細展示圖4之軸環； 圖6繪示具有軸環(如圖4中所展示)之轉子之彎曲模式； 圖7繪示根據一實施例之具有一凹進面之一轉子之一部分； 圖8繪示根據一實施例之具有一平坦面及墊片之一轉子之一部分；及 圖9繪示圖8之轉子之彎曲模式。

Claims (18)

1. 一種用於一多段羅茨型真空幫浦之轉子，其包括： 複數個旋轉葉片，該複數個旋轉葉片經軸向偏置及同軸對準； 一對端軸，各端軸自該複數個旋轉葉片之對置軸向端延伸；及 一葉片間軸，其延伸於該複數個旋轉葉片之相鄰旋轉葉片之間，該葉片間軸具有大於該等端軸之直徑的一直徑。
2. 如請求項1之轉子，其中該等旋轉葉片具有外擺線部分及由周圍內擺線面界定之一中心內擺線部分且該葉片間軸具有超過該等周圍內擺線面之一最接近距離的一直徑。
3. 如請求項1或2之轉子，其中該等旋轉葉片具有一對外擺線部分及由對置內擺線面界定之一中心內擺線部分且該葉片間軸具有超過該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑。
4. 如前述請求項中任一項之轉子，其中該葉片間軸包括配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一內部軸上之一軸環。
5. 如請求項4之轉子，其中該內部軸及該等相鄰旋轉葉片係一整體。
6. 如請求項4或5之轉子，其中該軸環包括可分離部分。
7. 如請求項4至6中任一項之轉子，其中該軸環包括一對可釋放地固定之半圓柱體。
8. 如前述請求項中任一項之轉子，其中該葉片間軸包括配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一內部軸上之構件。
9. 如請求項8之轉子，其中該內部軸經軸向刻面以接納該等構件，該內部軸及該等構件結合以提供該葉片間軸。
10. 如請求項9之轉子，其中該內部軸具有一圓柱形部分，該圓柱形部分具有超過該等葉片之該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑，各刻面由一平坦表面界定且該等構件經塑形以配合該等刻面且接續該圓柱形部分。
11. 如前述請求項中任一項之轉子，其中該葉片間軸包括配合至延伸於該等相鄰旋轉葉片之間的一凹進內部軸上之嵌件。
12. 如請求項11之轉子，其中該凹進內部軸界定經塑形以接納互補軸向延伸嵌件之軸向延伸凹口，該凹進內部軸及該等軸向延伸嵌件結合以提供該葉片間軸。
13. 如請求項11或12之轉子，其中該凹進內部軸具有一圓柱形部分，該圓柱形部分具有超過該等葉片之該等周圍內擺線面之一最接近距離的一直徑，該等凹口由匹配該等周圍內擺線面之內擺線表面界定且該等嵌件經塑形以配合該等凹口且接續該圓柱形部分。
14. 如請求項11至13中任一項之轉子，其中該凹進內部軸界定經塑形以接納一對互補軸向延伸嵌件之一對軸向延伸凹口，該凹進內部軸及該對軸向延伸嵌件結合以提供該葉片間軸。
15. 如請求項11至14中任一項之轉子，其中該凹進內部軸具有一圓柱形部分，該圓柱形部分具有超過該等葉片之該等對置內擺線面之一最接近距離的一直徑，該等凹口由匹配該等對置內擺線面之一對對置內擺線表面界定且該等嵌件經塑形以配合該等凹口且接續該圓柱形部分。
16. 如請求項11至15中任一項之轉子，其中該等嵌件包括配合該等內擺線表面之一內擺線側及具有該直徑之一圓弧側。
17. 一種多段真空幫浦，其包括： 一第一段幫浦； 一第二段幫浦；及 如前述請求項中任一項之轉子，其延伸於該第一段幫浦及該第二段幫浦兩者內。
18. 一種方法，其包括： 提供用於一多段羅茨型真空幫浦之一轉子之複數個旋轉葉片，該複數個旋轉葉片經軸向偏置及同軸對準； 提供一對端軸，各端軸自該複數個旋轉葉片之對置軸向端延伸；及 提供延伸於該複數個旋轉葉片之相鄰旋轉葉片之間的一葉片間軸，該葉片間軸具有大於該等端軸之直徑的一直徑。