CN110199124B - 用于多级罗茨型真空泵的转子 - Google Patents

Abstract

公开了用于多级真空泵的转子、多级真空泵和方法。该转子包括：多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及叶片间轴，其在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，该叶片间轴具有大于端轴的直径的直径。以这种方式，设置在每个旋转叶片之间的叶片间轴可具有增大的直径，这改进了轴的刚度并且改变了转子的模态频率。模态频率的这种变化通常足以改进其操作。

Description

用于多级罗茨型真空泵的转子

技术领域

本发明涉及用于多级真空泵的转子、多级真空泵和方法。

背景技术

真空泵是已知的。这些泵通常用作用于将装置抽空的真空系统的部件。而且，这些泵用于将在例如生产半导体中所使用的制造装备抽空。不是使用单个泵在单个级中执行从真空到大气的压缩，而是已知提供多级真空泵，其中每个级执行从真空转变到大气压力所需的完整压缩范围的一部分。

虽然这种多级真空泵提供了优点，但它们也有其自身的缺点。因此，期望提供用于多级真空泵的改进装置。

发明内容

根据第一方面，提供了一种用于多级罗茨型真空泵的转子，其包括：多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及叶片间轴，其在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，该叶片间轴具有大于端轴的直径的直径。

第一方面认识到，当提供布置在公共轴上的多个旋转叶片时，在相邻旋转叶片之间延伸的轴的直径可导致转子的模态频率足够接近转子的操作频率从而造成困难。因此，提供了用于真空泵的转子。该转子可以是由多级真空泵使用的罗茨型转子。该转子可具有多于一个的旋转叶片。每个所述旋转叶片可共用公共轴线，并且可共用公共轴。叶片可轴向地移位或分离并且同轴地或同心地对准。转子可设有一对端轴。这些端轴可从所述多个旋转叶片的相对或远侧轴向端部延伸或突出。可提供叶片间轴，其在相邻旋转叶片之间延伸或联接相邻旋转叶片。叶片间轴可构造有大于端轴的直径的直径。以这种方式，设置在每个旋转叶片之间的叶片间轴可具有增大的直径，这改进了轴的刚度并且改变了转子的模态频率。模态频率的这种变化通常足以改进其操作。

在一个实施例中，旋转叶片具有外摆线部分以及由周围内摆线面限定的中心内摆线部分，并且叶片间轴具有超过周围内摆线面的最接近距离的直径。因此，在罗茨型转子中，提供有外摆线部分（其限定转子的径向叶瓣）以及中心内摆线部分（其限定转子的径向内部部分）。叶片间轴的尺寸可设置成具有大于中心内摆线部分的直径的直径，这有助于加强转子并且改变转子的模态频率。

在一个实施例中，旋转叶片具有一对外摆线部分以及由相对内摆线面限定的中心内摆线部分，并且叶片间轴具有超过相对内摆线面的最接近距离的直径。

在一个实施例中，叶片间轴包括配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的套环。因此，可使用被配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的套环来实现叶片间轴的直径的增大。

在一个实施例中，内部轴和相邻旋转叶片是一体式的。因此，内部轴和旋转叶片可由单个一体式构件制成，而不是由不同的可附接的部件部分构成。

在一个实施例中，套环包括可分离部分。提供由可断接或断开部分制成的可分离或分开的套环使得更容易将套环配合到内部轴上。

在一个实施例中，套环包括一对可释放地固定的半圆柱体。所述半圆柱体一起形成具有所需直径的圆柱体。

在一个实施例中，其中，叶片间轴包括被配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的构件。因此，叶片间轴自身可通过配合到内部轴上的单独的构件延伸。

在一个实施例中，内部轴被轴向地刻面以接收所述构件，内部轴和所述构件协作以提供叶片间轴。因此，轴可在制造期间被刻面以便接收所述构件。

在一个实施例中，内部轴具有圆柱形部分，该圆柱形部分具有超过叶片的相对内摆线面的最接近距离的直径，每个刻面由平面表面限定并且所述构件成形成配合所述刻面并续接圆柱形部分。具有平面表面使构件的制造更容易配合所述平坦表面。

在一个实施例中，叶片间轴包括配合到在相邻旋转叶片之间延伸的凹入的内部轴上的插入件。因此，内部轴可以是凹入的。这种凹入可在转子的制造期间发生。因此，插入件可配合到那些凹槽中以便使叶片间轴恢复到圆柱形形状。

在一个实施例中，凹入的内部轴限定轴向延伸的凹槽，轴向延伸的凹槽接收互补的轴向延伸的插入件，凹入的内部轴和这些轴向延伸的插入件协作以提供叶片间轴。

在一个实施例中，凹入的内部轴具有圆柱形部分，该圆柱形部分具有超过叶片的周围内摆线面的最接近距离的直径，凹槽由与周围内摆线面匹配的内摆线表面限定并且插入件成形成配合凹槽并续接圆柱形部分。

在一个实施例中，凹入的内部轴限定一对轴向延伸的凹槽，所述一对轴向延伸的凹槽成形成接收一对互补的轴向延伸的插入件，凹入的内部轴和轴向延伸的插入件协作以提供叶片间轴。

在一个实施例中，凹入的内部轴具有圆柱形部分，该圆柱形部分具有超过叶片的相对内摆线面的最接近距离的直径，凹槽由与相对内摆线面匹配的一对相对内摆线表面限定并且插入件成形成配合凹槽并续接圆柱形部分。

在一个实施例中，插入件包括配合内摆线表面的内摆线侧以及具有该直径的圆弧侧。

根据第二方面，提供了一种多级真空泵，其包括：第一级泵；第二级泵；以及根据第一方面的转子，其在第一级泵和第二级泵两者内延伸。

根据第三方面，提供了一种方法，其包括：提供用于多级罗茨型真空泵的转子的多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；提供一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及提供叶片间轴，叶片间轴在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，该叶片间轴具有大于端轴的直径的直径。

在一个实施例中，旋转叶片具有外摆线部分以及由周围内摆线面限定的中心内摆线部分，并且叶片间轴具有超过周围内摆线面的最接近距离的直径。

在一个实施例中，旋转叶片具有一对外摆线部分以及由相对内摆线面限定的中心内摆线部分，并且叶片间轴具有超过相对内摆线面的最接近距离的直径。

在一个实施例中，该方法包括：将套环配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上以形成叶片间轴。

在一个实施例中，内部轴和相邻旋转叶片是一体式的。

在一个实施例中，套环包括可分离部分。

在一个实施例中，套环包括一对可释放地可固定的半圆柱体。

在一个实施例中，该方法包括：将构件配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上以形成叶片间轴。

在一个实施例中，内部轴被轴向地刻面以接收所述构件，内部轴和所述构件协作以提供叶片间轴。

在一个实施例中，内部轴具有圆柱形部分，该圆柱形部分具有超过叶片的相对内摆线面的最接近距离的直径，每个刻面由平面表面限定并且构件成形成配合刻面并续接圆柱形部分。

在一个实施例中，该方法包括：将插入件配合到在相邻旋转叶片之间延伸的凹入的内部轴上以形成叶片间轴。

在一个实施例中，凹入的内部轴限定轴向延伸的凹槽，该轴向延伸的凹槽成形成接收互补的轴向延伸的插入件，凹入的内部轴和轴向延伸的插入件协作以提供叶片间轴。

在一个实施例中，凹入的内部轴具有圆柱形部分，该圆柱形部分具有超过叶片的周围内摆线面的最接近距离的直径，凹槽由与周围内摆线面匹配的内摆线表面限定并且插入件成形成配合凹槽并接续圆柱形部分。

在一个实施例中，凹入的内部轴限定一对轴向延伸的凹槽，所述一对轴向延伸的凹槽成形成接收一对互补的轴向延伸的插入件，凹入的内部轴和该对轴向延伸的插入件协作以提供叶片间轴。

在一个实施例中，凹入的内部轴具有圆柱形部分，该圆柱形部分具有超过叶片的相对内摆线面的最接近距离的直径，凹槽由与相对内摆线面匹配的一对相对内摆线表面限定并且插入件成形成配合凹槽并续接圆柱形部分。

在一个实施例中，插入件包括配合内摆线表面的内摆线侧以及具有该直径的圆弧侧。

在所附独立和从属权利要求中阐述了另外的特定和优选方面。从属权利要求的特征可酌情与从属权利要求的特征组合，以及与除权利要求中明确阐述的特征之外的特征组合。

在设备特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将了解，这包括提供该功能或者适于或被构造成提供该功能的设备特征。

附图说明

现在将参考附图来进一步描述本发明的实施例，在附图中：

图1A和图1B图示了根据一个实施例的两级增压泵；

图2是在图1A和图1B的两级增压泵中使用的转子的透视图；

图3图示了图2的转子的弯曲模式；

图4图示了根据一个实施例的套环的设置；

图5更详细地示出了图4的套环；

图6图示了具有套环（如图4中所示）的转子的弯曲模式；

图7图示了根据一个实施例的具有凹入面的转子的一部分；

图8图示了根据一个实施例的具有平面的面和垫片的转子的一部分；以及

图9图示了图8的转子的弯曲模式。

具体实施方式

在更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。实施例提供了一种用于多级罗茨型真空泵的装置。在这种真空泵中，转子设有多个旋转叶片，每个旋转叶片共用公共转子轴。那些旋转叶片通常通过叶片间轴沿公共轴轴向地分离。在不同旋转叶片之间延伸的叶片间轴通常在转子的旋转期间承受高水平应力。转子的弯曲模式频率可以接近转子的操作频率，这导致该转子在操作期间的不可接受的机械偏转。因此，实施例提供了扩大叶片间轴的直径以便将转子的固有频率修改成远离其操作频率的装置。

在一个实施例中，套环被固定到在旋转叶片之间延伸的叶片间轴上，而在其他实施例中，垫片或插入件被附加到叶片间轴，该叶片间轴已在转子的制造期间被机加工成凹入的或带刻面的，以便使该凹入的轴或带刻面的轴恢复成其先前的圆柱形形式。

两级泵

图1A和图1B图示了根据一个实施例的两级增压泵（总体为10）。第一泵送级20经由级间联接单元40与第二泵送级30联接。第一泵送级20具有第一级入口20A和第一级排气部20B。第二泵送级30具有第二级入口30A和第二级排气部30B。

联接件

级间联接件40由第一部分40A和第二部分40B形成。第一部分40A可释放地固定到第二部分40B。当被放在一起时，第一部分40A和第二部分40B限定级间联接单元内的廊道130，气体可在泵的操作期间穿过该廊道。级间联接单元40限定延伸穿过级间联接单元40的宽度的圆柱形内腔100。第一部分40A形成内腔100的第一部分，并且第二部分40B形成内腔100的第二部分。内腔100分离以接收一件式转子50，如现在将更详细描述的。

转子

图2是转子50的透视图。转子50是利用啮合的成对的叶瓣的正排量叶瓣泵中使用的转子类型。每个转子具有围绕可旋转轴对称地形成的一对叶瓣。每个叶瓣55由曲线的交替的切向区段限定。这些曲线可以具有任何合适的形式，诸如众所周知的圆弧曲线、或内摆线和外摆线曲线、或这些曲线的组合。在该示例中，转子50是一体式的、由单个金属元件机加工而成，并且圆柱形内腔58轴向地延伸穿过叶瓣55以减少质量。

轴的第一轴向端部60被接收在由第一泵送级20的顶板（未示出）提供的轴承内，并且从被接收在第一级20的定子内的第一旋转叶片部分90A延伸。中间轴向部分80从第一旋转叶片部分90A延伸，并且被接收在内腔100内。内腔100在中间轴向部分80的表面上提供紧密配合，但不用作轴承。第二旋转叶片部分90B从中间轴向部分80轴向地延伸，并且被接收在第二级30的定子内。第二轴向端部70从第二旋转叶片部分90B轴向地延伸。第二轴向端部70由第二泵送级30的顶板（未示出）中的轴承接收。转子50被机加工为单个部分，其中刀具使成对的叶瓣55的表面成型。轴向部分60、70、80被车削以形成第一旋转叶片部分90A和第二旋转叶片部分90B。

如将理解的，第二转子50（未示出）被接收在第二内腔100内，该第二内腔也延伸穿过级间联接件40的宽度但与第一内腔100侧向地间隔开。第二转子50与前述转子50相同，并且与前述转子旋转偏移90°，使得两个转子50同步啮合。

泵级定子

返回到图1A，第一泵送级20包括一体式定子22，一体式定子22在其内形成腔室24。腔室24在一个端部处由顶板（未示出）密封，并且在另一端部处由级间联接单元40密封。一体式定子22具有第一内表面20C。在该实施例中，第一内表面20C由联接到笔直区段的相等半圆形部分限定，所述笔直区段在半圆形部分之间切向地延伸以限定接收转子50的内腔/腔室24。然而，实施例也可限定大致呈8字形的横截面的内腔。第二泵送级30包括一体式定子32，一体式定子32在其内形成腔室34。腔室34在一个端部处由顶板（未示出）密封，并且在另一个端部处由级间联接单元40密封。一体式定子32具有第二内表面30C，第二内表面30C限定接收转子50的略微呈8字形的横截面的腔室34。一体式定子22、32的存在大幅提高了机械完整性，并且降低了第一泵送级20和第二泵送级30的复杂性。在替代性实施例中，顶板也可集成到每个定子单元22、32中以形成桶型装置，这种方法将进一步减少存在的部件的数量。

转子50的第一旋转叶片部分90A在操作中啮合并循着第一内表面20C，以压缩在第一级入口20A处由上游装置或设备提供的气体并且在第一级排气部20B处提供经压缩的气体。在第一级排气部20B处提供的经压缩的气体穿过形成在级间联接单元40的第一面110A中的入口孔120A。第一面110A表示第一泵送级20和廊道130之间的边界。经压缩的气体行进通过形成在级间联接单元40内的廊道130，并且通过级间联接单元40的第二面110B中的出口孔120B离开。第二面110B表示廊道130和第二泵送级30之间的边界。离开出口孔120B的经压缩的气体在第二级入口30A处被接收。在第二级入口30A处接收的经压缩的气体在转子50的第二旋转叶片部分90B啮合并循着第二内表面30C时进一步被转子50的第二旋转叶片部分90B压缩，并且气体经由第二级排气部30B离开。

组装

通常在翻转夹具上执行两级增压泵10的组装。将第一泵送级20的一体式定子22固定到构建夹具。将顶板附接到定子22，并且然后将组件旋转180度。

使两个转子50下降到第一级定子22中。使级间联接件40的第一部分40A和第二部分40B在中间轴向部分80上一起滑动以使第一旋转叶片部分90A保持在第一泵送级20内。然后，通常将级间联接单元40的第一部分40A和第二部分40B用榫钉连接和用螺栓连接在一起。然后，将级间联接件40的已组装的半部附接到第一泵送级20的一体式定子22。

现在将第二泵送级30的一体式定子32小心地下降到第二旋转叶片部分90B上并将其附接到级间联接单元40。

现在将顶板附接到第二级泵30的一体式定子32。两个转子50由两个顶板中的轴承保持。

转子修改

分析转子50以理解其固有频率。可以表明，转子50在施加到第一旋转叶片部分90A和第二旋转叶片部分90B两者的一侧的100,000 N均匀分布载荷下的过渡位移高达1.4 mm。如可以了解的，取决于两级增压泵10的公差和操作频率，该位移量可导致级间联接件40内的损坏。

图3图示了转子50的弯曲模式。如可以看到，第一弯曲模式发生在119 Hz（其接近转子50的操作频率）处。

增强套环

图4图示了根据一个实施例的套环（通常为200）的设置。在图5中更清楚地示出的套环200包括一对半圆柱形元件210A、210B，该对半圆柱形元件的尺寸设置成被接收在中间轴向部分80的外表面上。该对半圆柱形元件210A、210B一旦被一起固定到中间轴向部分80上就扩大中间轴向部分80的直径。在该实施例中，该对半圆柱形元件210A、210B将中间轴向部分80的直径扩大到100 mm。在该实施例中，M8螺钉由螺钉孔220接收，以便将半圆柱形元件210A、210B机械地固定在一起。然而，将了解，可使用多种不同的技术将半圆柱形元件210A、210B固定在一起。而且，将了解，套环200可由不同构型的部分制造而成。

可以表明，具有套环200的转子50在施加到第一旋转叶片部分90A和第二旋转叶片部分90B两者的一侧的100,000 N均匀分布载荷下的过渡位移减小到1.02 mm。

如在图6中可以看到，具有套环200的转子50的模态频率已显著增大。第一模式现处于147 Hz处。这些模态频率显著地进一步远离转子50的操作频率。

插入件

图7图示了根据一个实施例的转子50A的一部分。在该实施例中，中间轴向部分80A具有100 mm的扩大直径。在叶瓣55A的机加工期间，凹入面230被机加工成中间轴向部分80A。在该实施例中，中间轴向部分80A的直径为100 mm。然后插入件（未示出）配合到这些凹入面中以便使中间轴向部分80A恢复到具有100 mm的恒定直径的圆柱形形状。因此，插入件在轴向方向是细长的且具有相交的相对面。因此，插入件的横截面由与内摆线相交的节段（segment）限定。将了解，插入件可沿中间轴向部分80A的长度延伸，或者可提供在第一面110A和第二面110B附近设置在中间轴向部分80A的任一端部处的至少一对插入件。插入件可最初被机加工成具有与凹入面230接合并固定就位的内摆线内部面。然后，插入件可被车削以形成圆柱形外部面。

垫片

图8示出了根据一个实施例的转子50B的一部分。在该实施例中，转子50B具有中间轴向部分80B，该中间轴向部分具有100 mm的扩大的初始直径。最初机加工凹入面（如上文所提到的），但是然后铣削该面以提供平坦表面240，圆柱形节段250（垫片）被配合到该平坦表面上以便使中间轴向部分80B恢复回到其具有恒定外直径的原始圆柱形形状。因此，圆柱形节段250在轴向方向是细长的且具有相交的相对面。因此，圆柱形节段250的横截面由与直线相交的节段限定。将了解，圆柱形节段250可沿中间轴向部分80B的长度延伸，或者可提供在第一面110A和第二面110B附近设置在中间轴向部分80B的任一端部处的至少一对圆柱形节段250。将了解，制造圆柱形节段比制造上文提到的插入件显著更容易。圆柱形节段250可最初被机加工成具有与平坦表面240接合并固定就位的平坦内部面。然后，圆柱形节段250可被车削以形成圆柱形外部面。

如在图9中可以看到，形成有平坦部的具有较大直径的图8的转子50B的模态频率显著地增大超过图3中所图示的轴50的情况。第一模式现在是180 Hz。该模态频率显著地进一步远离转子50的操作频率。

实施例提供了两级增压转子加强套环、插入件和/或垫片。一件式转子的机械强度通过附加转子加强套环和/或插入件或垫片配合到其上的面而提高。在一个实施例中，一件式转子设计是用于6000/2000 m³增压器。

如上文所提到的，通过板坯铣削（slab-milling）过程来制造转子使用大直径铣削刀具。为切割出全轮廓，刀具必须横切轮廓，直到刀具的中心线已穿过转子轮廓的端部。因此，如果级间轴直径大于根部宽度，则刀具因此凿入到级间直径中。如果级间轴直径增大到大于转子轮廓的根部宽度的直径，则将需要铣削车削过程来机加工转子轮廓。这很耗时，并且需要昂贵的铣削车削机器。转子加强套环、插入件和/或垫片使得能够板坯铣削转子轮廓，并且可在磨削轴直径之后附接到转子轴。可在附接加强套环之后完成转子平衡。

实施例维持一件式转子的简单制造和强度，但附加了加强套环、插入件和/或垫片以提高转子的固有频率。这可以用于多级泵（特别是罗茨设计）中。该装置避免了增大转子的根部直径的需求。假设维持了轴中心距离和旋转速度，则必须减小尖端直径并且这减小了扫掠体积。为克服该问题，将需要增大轴中心距离以实现较大根部和尖端直径，以便给出相同位移。

尽管本文中已参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但应理解，本发明不限于精确的实施例，并且在不脱离由所附权利要求及其等同方式限定的本发明的范围的情况下，本领域技术人员可在其中实现各种改变和修改。

附图标记

两级增压泵	10；10’
		第一级泵	20；20’
第一级入口	20A；20A’
		第一级排气部	20B
第一内表面	20C；20C’
		第二级泵	30；30’
第二级入口	30A
		第二级排气部	30B；30B’
第二内表面	30C
		级间联接件	40；40C
第一部分	40A；40A’
		第二部分	40B；40B’
转子	50；50A；50B
		第一轴向端部	60
第二轴向端部	70
		中间轴向部分	80；80A
第一旋转叶片部分	90A
		第二旋转叶片部分	90B
内腔	100；100’
		第一面	110A；110C；110E
第二面	110B；110D；110F
		入口孔	120A；120A’；120C
出口孔	120B；120B’；120D；120E
		廊道	130；130’
传输导管	140；140’
		再循环入口孔	150
再循环出口孔	160A；160B
		再循环导管	170A
共用导管	175
		阀	180A；180B
共用入口	185
		弹簧	190A；190B
套环	200；200A
		半圆柱形元件	210A、210B
螺钉孔	220
		凹入面	230
表面	240
		圆柱形节段	250

Claims (15)

1.一种用于多级罗茨型真空泵的转子，包括：

多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；

一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及

叶片间轴，其在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，所述叶片间轴具有大于所述端轴的直径的直径，

其中，所述叶片间轴包括被配合到在所述相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的套环，所述套环包括可分离部分，以及所述内部轴和所述相邻旋转叶片是一体式的。

2.根据权利要求1所述的转子，其中，所述旋转叶片具有外摆线部分以及由周围内摆线面限定的中心内摆线部分，并且所述叶片间轴具有超过所述周围内摆线面的最接近距离的直径。

3.根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述旋转叶片具有一对外摆线部分以及由相对的内摆线面限定的中心内摆线部分，并且所述叶片间轴具有超过所述相对内摆线面的最接近距离的直径。

4.根据权利要求1所述的转子，其中，所述套环包括一对可释放地可固定的半圆柱体。

5.根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述叶片间轴包括被配合到在所述相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的构件。

6.根据权利要求5所述的转子，其中，所述内部轴被轴向地刻面以接收所述构件，所述内部轴和所述构件协作以提供所述叶片间轴。

7.根据权利要求6所述的转子，其中，所述内部轴具有圆柱形部分，所述圆柱形部分具有超过所述叶片的所述相对内摆线面的最接近距离的直径，每个刻面由平面表面限定并且所述构件成形成配合所述刻面并续接所述圆柱形部分。

8.根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述叶片间轴包括被配合到在所述相邻旋转叶片之间延伸的凹入的内部轴上的插入件。

9.根据权利要求8所述的转子，其中，所述凹入的内部轴限定轴向延伸的凹槽，所述轴向延伸的凹槽成形成接收互补的轴向延伸的插入件，所述凹入的内部轴和所述轴向延伸的插入件协作以提供所述叶片间轴。

10.根据权利要求9所述的转子，其中，所述凹入的内部轴具有圆柱形部分，所述圆柱形部分具有超过所述叶片的周围内摆线面的最接近距离的直径，所述凹槽由与所述周围内摆线面匹配的内摆线表面限定并且所述插入件成形成配合所述凹槽并续接所述圆柱形部分。

11.根据权利要求8所述的转子，其中，所述凹入的内部轴限定一对轴向延伸的凹槽，所述一对轴向延伸的凹槽成形成接收一对互补的轴向延伸的插入件，所述凹入的内部轴和所述一对轴向延伸的插入件协作以提供所述叶片间轴。

12.根据权利要求11所述的转子，其中，所述凹入的内部轴具有圆柱形部分，所述圆柱形部分具有超过所述叶片的所述相对内摆线面的最接近距离的直径，所述凹槽由与所述相对内摆线面匹配的一对相对内摆线表面限定并且所述插入件成形成配合所述凹槽并续接所述圆柱形部分。

13.根据权利要求8所述的转子，其中，所述插入件包括配合所述内摆线表面的内摆线侧以及具有所述直径的圆弧侧。

14.一种多级真空泵，其包括：

第一级泵；

第二级泵；以及

根据前述权利要求中任一项所述的转子，其在所述第一级泵和所述第二级泵两者内延伸。

15.一种方法，其包括：

提供用于多级罗茨型真空泵的转子的多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；

提供一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及

提供叶片间轴，所述叶片间轴在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，所述叶片间轴具有大于所述端轴的直径的直径，

其中，所述叶片间轴包括被配合到在所述相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的套环，所述套环包括可分离部分，以及所述内部轴和所述相邻旋转叶片是一体式的。

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