JPS61275594A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS61275594A JPS61275594A JP11605485A JP11605485A JPS61275594A JP S61275594 A JPS61275594 A JP S61275594A JP 11605485 A JP11605485 A JP 11605485A JP 11605485 A JP11605485 A JP 11605485A JP S61275594 A JPS61275594 A JP S61275594A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- blade
- stator
- casing
- blades
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターボ分子ポンプに係り、特に超高真空を発生
するターボ分子ポンプに関する。
するターボ分子ポンプに関する。
従来技術について、第１図の符号を参照して説明する。
従来ターボ分子ポンプは、ケーシング（１）内を交互に
配設された動翼（３）・静翼（４）のうち、多段の動翼
（３）の形成されるロータ（２）が２０．００Ｏｒ、ｐ
、ｍ、以上の高回転で回転するので、動翼（３）先端と
スペーサ（８）内周、静翼（４）先端とロータ（２）外
周、及びとなりあう動翼（３）と静翼（４）との各間に
数ｌ■程度の間隙を有する様に設計・製作されている。
配設された動翼（３）・静翼（４）のうち、多段の動翼
（３）の形成されるロータ（２）が２０．００Ｏｒ、ｐ
、ｍ、以上の高回転で回転するので、動翼（３）先端と
スペーサ（８）内周、静翼（４）先端とロータ（２）外
周、及びとなりあう動翼（３）と静翼（４）との各間に
数ｌ■程度の間隙を有する様に設計・製作されている。
このため、となりあう動翼（３）と静翼（４）との間隙
は、静翼（４）先端とロータ（２）外周との間隙を通じ
て静翼（４）の吸込み側と吐出側に連結され、またとな
りあう静翼（４）と動翼との間隙も動翼（３）先端とス
ペーサ（８）内面との間隙によって動翼（３）の吸込み
側と吐出側に連結されており、翼の流路の他にこれらの
間隙を通って分子が吸込み側（５）と吐出側（６）との
間をゆききするので、圧力の高い吐出側（６）より吸込
み側（５）へ逆向きに流れる分子が存在し、本来の性能
を充分に発揮できないという欠点を有している。
は、静翼（４）先端とロータ（２）外周との間隙を通じ
て静翼（４）の吸込み側と吐出側に連結され、またとな
りあう静翼（４）と動翼との間隙も動翼（３）先端とス
ペーサ（８）内面との間隙によって動翼（３）の吸込み
側と吐出側に連結されており、翼の流路の他にこれらの
間隙を通って分子が吸込み側（５）と吐出側（６）との
間をゆききするので、圧力の高い吐出側（６）より吸込
み側（５）へ逆向きに流れる分子が存在し、本来の性能
を充分に発揮できないという欠点を有している。
本発明は上記の点に鑑み、高圧の吐出側から吸込み側へ
逆向きに流れる分子を抑えることを目的とするターボ分
子ポンプを提供する。
逆向きに流れる分子を抑えることを目的とするターボ分
子ポンプを提供する。
本発明は上記問題点を解決する手段として、ケーシング
内にその軸線方向に多段に設けられた静翼と、この静翼
間に位置し、かつ前記ケーシングの中心に位置するロー
タ外周に設けられた動翼とを備えるターボ分子ポンプに
おいて、前記静翼先端部にリングを設けるとともに、こ
の静翼と対向する前記ロータ外周にねし溝を形成したこ
とを特徴とする。
内にその軸線方向に多段に設けられた静翼と、この静翼
間に位置し、かつ前記ケーシングの中心に位置するロー
タ外周に設けられた動翼とを備えるターボ分子ポンプに
おいて、前記静翼先端部にリングを設けるとともに、こ
の静翼と対向する前記ロータ外周にねし溝を形成したこ
とを特徴とする。
以上の構成により、ロータ、動翼が回転すると、静翼先
端部に設けられたリングと、ロータ外周に設けられたね
し溝との間隙に存在する気体分子は、ねじ溝に沿って吐
出側へ送り込まれることになり、高圧の吐出側から吸込
み側への逆向きの流れを抑えることができる。
端部に設けられたリングと、ロータ外周に設けられたね
し溝との間隙に存在する気体分子は、ねじ溝に沿って吐
出側へ送り込まれることになり、高圧の吐出側から吸込
み側への逆向きの流れを抑えることができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図は本発明のターボ分子ポンプの一実施例を示す縦断
面図である。
１図は本発明のターボ分子ポンプの一実施例を示す縦断
面図である。
ケーシング１内で回転するロータ２は、一体に回転する
多段の動翼３を外周に有し、動翼３の先端には、第２図
、第３図、第４図、第５図に示す様にロータ２の回転を
中心とする円周上に、リング部３ａが一体に形成されて
いる。リング部３ａはワイヤーカット加工等により、各
段の動翼３と同時に一体に形成される。又は動翼３の先
端に溶接加工等により一体に固着して形成される。
多段の動翼３を外周に有し、動翼３の先端には、第２図
、第３図、第４図、第５図に示す様にロータ２の回転を
中心とする円周上に、リング部３ａが一体に形成されて
いる。リング部３ａはワイヤーカット加工等により、各
段の動翼３と同時に一体に形成される。又は動翼３の先
端に溶接加工等により一体に固着して形成される。
ロータ２の外周面で、静翼４の先端と対向する外周面に
は、ねじ溝２ａが形成されている。ねじ溝２ａは、ロー
タ２の回転方向（第２図、第３図等に矢印Ｎで示す）に
対応して、いわゆる左おねじの形体を成しており、その
溝角度、深さ、幅、条数等は、排気する分子の運動速度
とロータ２の回転速度・開口率等から算出される分子の
輸送確率を高く保つように設計される。本実施例におい
ては、動翼４の先端径１２５ｎ＋、動翼根元径８０ｎ、
一枚の動翼高さ３１■の１０段のターボ分子ポンプに対
して、ロータ２各段に溝角度２５＠、溝深さ１．５ｍｍ
、溝幅１，５鰭のねじ溝が全周に６０条形成されている
。またロータ２の各段はボルト７によって一体に締結さ
れている。尚、第２図、第３図においてロータ２の回転
方向Ｎが上記回転方向と逆の場合は、ねじ溝２ａはいわ
ゆる右ねじの形体となることは言うまでもない。 ゛ま
た、ケーシング１内部で各段の動翼３の間に位置して交
互に組合わされる多段の静翼４は、各段の静翼４の先端
部に第３図、第７図に示す様なリング部４ａが一体に形
成されている。リング部４ａは、第７図に示す様にその
円周上で２分割される様に形成された後、リング部４ａ
がロータ２の回転軸を中心とする円周上に、かつロータ
２のねじ溝２ａと対向する様に位置を固定される。静翼
４の根元は、ケーシング１内に配設される環状のスペー
サ８によって挟まれて固定される。
は、ねじ溝２ａが形成されている。ねじ溝２ａは、ロー
タ２の回転方向（第２図、第３図等に矢印Ｎで示す）に
対応して、いわゆる左おねじの形体を成しており、その
溝角度、深さ、幅、条数等は、排気する分子の運動速度
とロータ２の回転速度・開口率等から算出される分子の
輸送確率を高く保つように設計される。本実施例におい
ては、動翼４の先端径１２５ｎ＋、動翼根元径８０ｎ、
一枚の動翼高さ３１■の１０段のターボ分子ポンプに対
して、ロータ２各段に溝角度２５＠、溝深さ１．５ｍｍ
、溝幅１，５鰭のねじ溝が全周に６０条形成されている
。またロータ２の各段はボルト７によって一体に締結さ
れている。尚、第２図、第３図においてロータ２の回転
方向Ｎが上記回転方向と逆の場合は、ねじ溝２ａはいわ
ゆる右ねじの形体となることは言うまでもない。 ゛ま
た、ケーシング１内部で各段の動翼３の間に位置して交
互に組合わされる多段の静翼４は、各段の静翼４の先端
部に第３図、第７図に示す様なリング部４ａが一体に形
成されている。リング部４ａは、第７図に示す様にその
円周上で２分割される様に形成された後、リング部４ａ
がロータ２の回転軸を中心とする円周上に、かつロータ
２のねじ溝２ａと対向する様に位置を固定される。静翼
４の根元は、ケーシング１内に配設される環状のスペー
サ８によって挟まれて固定される。
スペーサ８の内周面にはロータ２の回転と対応して第３
図、第６図に示す様に右めねじ形体を成すねじ溝８ａが
形成されている。ねじ溝８ａは、上記ロータ２における
ねじ溝２ａとほぼ同様に設計されており、本実施例にお
いては溝角度２５°、深さ１．５ｍｍ、溝幅３．５ ｖ
ｍのねじ溝が全周に６０条形成されている。
図、第６図に示す様に右めねじ形体を成すねじ溝８ａが
形成されている。ねじ溝８ａは、上記ロータ２における
ねじ溝２ａとほぼ同様に設計されており、本実施例にお
いては溝角度２５°、深さ１．５ｍｍ、溝幅３．５ ｖ
ｍのねじ溝が全周に６０条形成されている。
第１図において、ケーシング１の内部においてロータ２
が回転すると動翼３及び静翼４の作用により、気体分子
は真空チャンバに連結される吸込み側の吸気口５より排
気口６へ排気される。ロータ２及びシャフト９は、モー
タ回転子１０、モータ固定子１１から成る高周波モータ
により駆動され、シャフト９は軸受１２及び軸受１３に
よって支えられている。
が回転すると動翼３及び静翼４の作用により、気体分子
は真空チャンバに連結される吸込み側の吸気口５より排
気口６へ排気される。ロータ２及びシャフト９は、モー
タ回転子１０、モータ固定子１１から成る高周波モータ
により駆動され、シャフト９は軸受１２及び軸受１３に
よって支えられている。
次に本発明の作用について第１図、第２図、第３図、第
８図、第９図を用いて以下説明する。
８図、第９図を用いて以下説明する。
−組の動翼３と静翼４について、スペーサ８内周面のね
じ溝８ａと動翼３の先端のリング３ａ部との間隙に存在
し、ロータ２が高速回転するために回転方向Ｎに運動量
を受けた分子流状態の気体分子Ｘ１は、第８図に示す様
にねじ溝８ａのＡ面に衝突する確率が高くなり、更にＡ
面に衝突した分子Ｘ１は余弦側により反射する訳である
が角度α１〉角度β１であるために、第１図において下
向き方向、ターボ分子ポンプ全体よりみれば吐°出側へ
と送り込まれることとなる。
じ溝８ａと動翼３の先端のリング３ａ部との間隙に存在
し、ロータ２が高速回転するために回転方向Ｎに運動量
を受けた分子流状態の気体分子Ｘ１は、第８図に示す様
にねじ溝８ａのＡ面に衝突する確率が高くなり、更にＡ
面に衝突した分子Ｘ１は余弦側により反射する訳である
が角度α１〉角度β１であるために、第１図において下
向き方向、ターボ分子ポンプ全体よりみれば吐°出側へ
と送り込まれることとなる。
同様の作用がロータ２外周面のねじ溝２ａと静翼４先端
のリング部４ａの間隙に存在する分子流状態の気体分子
Ｘ２にも促される。第９図に示す様に分子ＸＺはロータ
２が高速回転するため、ロータ２のねじ溝２ａのＢ面に
衝突する確率が高くなり、角度α２〉角度β２であるた
めに、やはり吐出側へと送り込まれのこととなる。
のリング部４ａの間隙に存在する分子流状態の気体分子
Ｘ２にも促される。第９図に示す様に分子ＸＺはロータ
２が高速回転するため、ロータ２のねじ溝２ａのＢ面に
衝突する確率が高くなり、角度α２〉角度β２であるた
めに、やはり吐出側へと送り込まれのこととなる。
これらの作用は静止したねじ溝に相対した平面壁がねし
溝方向に動く時に、誘起されるねじ溝内のねじ溝方向へ
の気体の流れを利用したスパイラルグループポンプと同
じ作用である。
溝方向に動く時に、誘起されるねじ溝内のねじ溝方向へ
の気体の流れを利用したスパイラルグループポンプと同
じ作用である。
上述のごとく、動翼３、静翼４の各翼先端にリング３ａ
、４ａを有し、翼先端と対向するロータ２外周面及びス
ペーサ８内周面にねじ溝を有するターボ分子ポンプは、
従来では連通して分子のゆききが自由であった静翼４、
動翼３の吸込み側と吐出し側を、各段にリング３ａ、４
ａとねじ溝２ａ、３ａとを、設けることによってポンプ
作用をさせ、リング３ａ、４ａとねじ溝２ａ、８ムの空
隙に存在する分子を積極的に吐出側に送り込むことによ
り、となりあう動翼３と静翼４との間隙、及び静翼４と
動翼３との間隙に存在する高圧側気体分子の低圧側の洩
れを極力抑えることができる。
、４ａを有し、翼先端と対向するロータ２外周面及びス
ペーサ８内周面にねじ溝を有するターボ分子ポンプは、
従来では連通して分子のゆききが自由であった静翼４、
動翼３の吸込み側と吐出し側を、各段にリング３ａ、４
ａとねじ溝２ａ、３ａとを、設けることによってポンプ
作用をさせ、リング３ａ、４ａとねじ溝２ａ、８ムの空
隙に存在する分子を積極的に吐出側に送り込むことによ
り、となりあう動翼３と静翼４との間隙、及び静翼４と
動翼３との間隙に存在する高圧側気体分子の低圧側の洩
れを極力抑えることができる。
尚第４図はロータの側面図、第５図は第４図のＡ−Ａ線
に沿う断面図、第６図はスペーサの斜視図、第７図は静
翼の上面図である。
に沿う断面図、第６図はスペーサの斜視図、第７図は静
翼の上面図である。
本発明は動・静翼先端とスペーサ内周及びロータ外周の
空隙を通って高圧側より低圧側に逆流する気体分子を極
力抑えることを目的としているが、動翼３先端のリング
３ａとスペーサ８内周のねじ溝８ａ、或いは静翼４先端
のリング４ａとロータ２外周のねじ溝２ａのどちらか一
方をそなえたターボ分子ポンプにおいても、前者は各段
の動翼３の吸込み側と吐出側との間で、また後者は各段
の静翼４の吸込み側と吐出側との間で気体分子の高圧側
から低圧側への洩れを抑えることができ、ターボ分子ポ
ンプの到達真空度を良好にすると共に、ポンプ起動時よ
り必要な真空度に達するまでの所要時間を短（すること
ができる。
空隙を通って高圧側より低圧側に逆流する気体分子を極
力抑えることを目的としているが、動翼３先端のリング
３ａとスペーサ８内周のねじ溝８ａ、或いは静翼４先端
のリング４ａとロータ２外周のねじ溝２ａのどちらか一
方をそなえたターボ分子ポンプにおいても、前者は各段
の動翼３の吸込み側と吐出側との間で、また後者は各段
の静翼４の吸込み側と吐出側との間で気体分子の高圧側
から低圧側への洩れを抑えることができ、ターボ分子ポ
ンプの到達真空度を良好にすると共に、ポンプ起動時よ
り必要な真空度に達するまでの所要時間を短（すること
ができる。
また、上述の実施例については全ての段で動・静翼３．
４にはリング３ａ、４ａを、ロータ２外周、スペーサ８
内周にはねじ溝２ａ、 ８ａを形成したが、設計・製
作の際、気体分子の洩れの影響が大きい段においてのみ
ねじ溝２ａ、８ａとリング３ａ、４ａを有する構造とし
ても上述と同様の効果がある。
４にはリング３ａ、４ａを、ロータ２外周、スペーサ８
内周にはねじ溝２ａ、 ８ａを形成したが、設計・製
作の際、気体分子の洩れの影響が大きい段においてのみ
ねじ溝２ａ、８ａとリング３ａ、４ａを有する構造とし
ても上述と同様の効果がある。
更にスペーサ８を介さず、直接ケーシング１内に静翼が
形成されるものに関してもケーシング１内部の静翼４と
静翼４間にねじ溝を形成しても良い。
形成されるものに関してもケーシング１内部の静翼４と
静翼４間にねじ溝を形成しても良い。
以上述べた様に、吸込み側と吐出側との間で気体分子の
高圧側から低圧側への洩れを抑えることができ、ターボ
分子ポンプによる到達真空度を良好にすると共に、ポン
プ起動時から所定の真空度に達するまでの所要時間を短
くすることができるといった優れた効果を有する。
高圧側から低圧側への洩れを抑えることができ、ターボ
分子ポンプによる到達真空度を良好にすると共に、ポン
プ起動時から所定の真空度に達するまでの所要時間を短
くすることができるといった優れた効果を有する。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図はロ
ータの斜視図、第３図はロータの部分断面斜視図、第４
図はロータの側面図、第５図は第４図におけるＡ−Ａ線
に沿う断面図、第６図はスペーサの斜視図、第７図は静
翼の上面図、第８図。 第９図は各々本発明の詳細な説明に供する図である。 １・・・ケーシング、２・・・ロータ、２ａ・・・ねじ
溝。 ３・・・動翼、３ａ・・・リング、４・・・静翼、４ａ
・・・リング、５・・・吸気口、６・・・吐出口、７・
・・ボルト ８・・・スペーサ、９・・・シャフト。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１図 第２図 第 ３［，１ 第４図 第５図 第６図 第７図 ４つ 第８図 第９図 Ｚ４ ｚａ
ータの斜視図、第３図はロータの部分断面斜視図、第４
図はロータの側面図、第５図は第４図におけるＡ−Ａ線
に沿う断面図、第６図はスペーサの斜視図、第７図は静
翼の上面図、第８図。 第９図は各々本発明の詳細な説明に供する図である。 １・・・ケーシング、２・・・ロータ、２ａ・・・ねじ
溝。 ３・・・動翼、３ａ・・・リング、４・・・静翼、４ａ
・・・リング、５・・・吸気口、６・・・吐出口、７・
・・ボルト ８・・・スペーサ、９・・・シャフト。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１図 第２図 第 ３［，１ 第４図 第５図 第６図 第７図 ４つ 第８図 第９図 Ｚ４ ｚａ
Claims (2)
- （１）ケーシング内にその軸線方向に多段に設けられた
静翼と、この静翼間に位置し、かつ前記ケーシングの中
心に位置するロータ外周に設けられた動翼とを備えるタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記静翼先端部にリングを設
けるとともに、この静翼と対向する前記ロータ外周にね
じ溝を形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - （２）前記動翼先端部にリングを設けるとともに、この
動翼と対向する前記ケーシング内周にねじ溝を形成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のターボ分
子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11605485A JPS61275594A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11605485A JPS61275594A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61275594A true JPS61275594A (ja) | 1986-12-05 |
Family
ID=14677559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11605485A Pending JPS61275594A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61275594A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001153087A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプ |
| JP2008280977A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP11605485A patent/JPS61275594A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001153087A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプ |
| JP2008280977A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
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