KR20220107205A - 회전자 및 다중 스테이지 건식 진공 펌프 - Google Patents

Abstract

다중 스테이지 건식 진공 펌프(1)를 위한 회전자(7)로서, 진공 펌프(1)는, 가스를 유입구(3)와 배출구(4) 사이에서 펌핑되도록 구동하기 위해, 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f) 내에서 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는, 2개의 샤프트(5, 6)를 포함하는 것인, 회전자(7)에 있어서: 진공 펌프(1)의 샤프트들(5, 6) 중 하나에 맞물리도록 구성되는 허브(9), 및 허브(9)를 따라 배열되는 적어도 하나의 제1 및 하나의 제2 회전자 요소(8a, 8b)로서, 각각의 회전자 요소(8a, 8b)는, 개별적인 펌핑 스테이지(1a 내지 1f) 내에서 연장되며 그리고 진공 펌프(1)의 다른 회전자(7)와 결합된 개별적인 회전자 요소(8a, 8b)와 협력하도록 구성되고, 회전자 요소들(8a, 8b) 및 허브(9)는, 일체형으로 이루어지는 것인, 적어도 하나의 제1 및 하나의 제2 회전자 요소(8a, 8b)를 포함하는 것인, 회전자(7)가, 제공된다.

Description

회전자 및 다중 스테이지 건식 진공 펌프

본 발명은, 다중 스테이지 건식 진공 펌프 회전자에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 2개의 상기 회전자를 갖도록 제공되는 다중 스테이지 건식 진공 펌프에 관한 것이다.

건식 진공 펌프는, 펌핑될 가스가 그 내부에서 유입구와 배출구 사이에서 순환하는, 직렬의 하나 이상의 펌핑 스테이지를 포함한다. 공지된 진공 펌프들은, 루츠(Roots) 펌프로 알려진 회전 로브들을 갖는 펌프들, 및 또한 클로(Claw) 펌프로도 알려진 클로들을 갖는 펌프들을 포함한다. 이러한 진공 펌프들은, 작동 시에, 회전자들이, 그들 사이에 또는 고정자와의 사이에 기계적 접촉이 없이, 고정자 내부에서 회전하고, 이것이 펌핑 스테이지들에서 오일을 사용하지 않는 것을 가능하게 하기 때문에, "건식"으로 지칭된다.

가공 및 조립 양자 모두를 가능하게 하기 위해, 건식 진공 펌프들의 회전자들 및 고정자들은 때때로, 복수의 요소의 축방향 조립체로 구성된다. 이러한 부품들의 적층(stack)은, 스테이지마다 기능적 간격들의 조정을 필요로 한다. 이러한 종류의 건식 펌프 구조는, 실제로, 고정자의 각 요소를 별도 가공, 및 이후의 각각의 압축 챔버 내에서의 로브들의 위치를 조정하는 것으로 이루어지는 길고 정교한 조립 작업을 필요로 한다.

진공 펌프의 각각의 압축 스테이지가 밀봉되는 것을 보장하기 위해 회전자의 로브들과 고정자의 벽 사이의 간극들이 매우 작은 경우, 이러한 조립은 특히 길고 정교한 것이 분명하며, 그리고 5개 또는 6개의 스테이지를 갖는 건식 진공 펌프에서 이러한 작업을 위해 여러 시간의 맨 아워(man hour)가 필요한 것으로 추산된다. 부품들의 상호 조절에 대한 이러한 작업은, 결과적으로 한정된 노동에 대해 시간 소모적이다.

공지된 다중 스테이지 건식 진공 펌프의 다른 문제점은, 고정자 또는 회전자 요소를 차례로 정렬하는 것이 어렵고, 이는 오류가 누적될 위험이 있는 것에 주의해야 하며, 결과적으로 대량 생산 시에 회전자와 고정자 사이의 간극을 제어하기가 어렵다는 것이다. 이러한 구성은, 적층된 부품들의 개수가 진공 펌프의 압축 스테이지들의 개수와 더불어 증가함에 따라, 더욱 정확한 부품들의 생산을 필요로 한다.

또한, 예를 들어 문헌 US6,572,351B2로부터, 회전자들의 축에 대체로 평행한 종방향 조립 표면 상에 조립되는, 하프 쉘(half-shell)로 구성되는 고정자를 갖는, 진공 펌프 구조체들이, 알려져 있다. 따라서, 이러한 종류의 펌프를 조립하는 것은, 정렬될 계면들의 수가 적기 때문에 더 빨라야 한다. 또한 이러한 구조를 사용하면, 누적 정렬 오류의 위험을 줄일 수 있다. 따라서, 진공 펌프의 비용이 감소되고 조립이 용이해질 수 있다.

이러한 구성에서, 회전자들은, 말하자면 샤프트 상에 직접적으로 가공되는, 일체형 회전자들일 있다. 이 실시예는, 진공 펌프의 가동 부품의 생산 및 조립을 단순화한다. 부품들의 가공 허용오차는, 샤프트 상에 장착되는 로브들에서와 같이 더 이상 누적되지 않는다.

그러나, 진공 펌프에 영향을 미치는 사고가 일어나는 경우, 예를 들어 회전자와 고정자 사이에 끼임(seizing)이 있는 경우, 회전자-샤프트의 전체를 변경해야만 한다. 하프 쉘 구조를 갖는 건식 진공 펌프는 진공 펌프 전체가 교체되어야 하지만, 단지 하나의 부품만이 손상되었을 수 있기 때문에, 불리하다는 것이 분명하다.

더욱이, 일체형 샤프트-회전자는, 오일 섬프와 펌핑 스테이지 사이에 배치되는 베어링들에 의해 지지되고, 이를 해체하는 것은, 반드시 진공 펌프의 완전한 해체를 수반하며, 이는 이러한 유지보수 작업에 잠재적으로 비용이 들게 한다.

일체형 샤프트 회전자의 다른 단점은, 상이한 펌프 모델들 사이에서의 가능한 모듈성이 부족하다는 것이다. 일체형 샤프트 회전자는, 회전자를 유사한 구성으로의 회전자의 전위를 용이하게 하지 않는, 생산에 대한 일부 경직성을 구비한다. 이것은, 완전히 새로운 펌프를 설계해야만 하지 않는 가운데, 진공 펌프를 특정 고객의 요구 사항에 맞추는 것을 복잡하게 한다.

본 발명의 하나의 목적은, 적어도 부분적으로 전술한 단점들 중 하나를 해결하는 것이다.

이를 위하여, 본 발명은, 상기한 목적을 위한, 다중 스테이지 건식 진공 펌프를 위한 회전자로서, 진공 펌프는, 가스를 유입구와 배출구 사이에서 펌핑되도록 구동하기 위해, 적어도 2개의 펌핑 스테이지 내에서 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는, 2개의 샤프트를 포함하는 것인, 회전자에 있어서,

- 진공 펌프의 샤프트들 중 하나에 맞물리도록 구성되는 허브, 및

- 허브를 따라 배열되는 적어도 하나의 제1 및 하나의 제2 회전자 요소로서, 각각의 회전자 요소는, 개별적인 펌핑 스테이지 내에서 연장되며 그리고 진공 펌프의 다른 회전자와 결합된 개별적인 회전자 요소와 협력하도록 구성되고, 회전자 요소들 및 허브는, 일체형으로 이루어지는 것인, 적어도 하나의 제1 및 하나의 제2 회전자 요소

를 포함하는 것인, 회전자를 구비한다.

일체형 및 제거 가능 회전자들은, 그에 따라, 샤프트를 그의 베어링들로부터 완전히 해체할 필요없이, 교체될 수 있다. 샤프트들은, 유지보수 동안에 진공 펌프의 베어링들 중 적어도 2개에서 제자리에 유지될 수 있으며, 이는, 해체 및 조립 시간의 상당한 감소 그리고 결과적으로 개입의 지속 시간 및 비용의 상당한 감소를 가능하게 할 수 있다. 진공 펌프는, 조립과 관련한 일체형 회전자의 이점들로부터 추가의 이득을 얻을 수 있는 한편, 후속의 유지보수 동안에 간단하고 신속한 해체 및 조립을 가능하게 한다. 회전자는, 단일 가공 작업으로 일체형으로 생성될 수 있으며, 이는 허용오차를 보다 쉽게 준수할 수 있도록 한다. 더욱이, 일체형 회전자들은, 압력이 가장 높은 다중 스테이지 진공 펌프의 배출구 측에 위치되는 펌핑 스테이지에서 매우 얇은 회전자 요소들의 생성을 가능하게 하며, 이는 진공 펌프의 전기 에너지 소비를 감소시킬 수 있도록 한다.

회전자는, 개별적으로 또는 조합으로 취해지는, 이하에서 설명되는 특징부들 중 하나 이상을 더 구비할 수 있다.

허브는, 허브가 그 위에 맞물리게 되는 샤프트의 일 단부를 수용하도록 구성되는, 중심 관통-하우징을 특징적으로 구비할 수 있다.

허브는, 회전자가 샤프트 상으로 밀려들어가는 것을 가능하게 하는 상보적 원추형 샤프트의 일 단부를 수용하도록 구성되는, 원추형 중심 하우징을 특징적으로 구비할 수 있다.

관통-오리피스들이, 퍼지 가스를 분사하기 위해 허브 내에 및/또는 회전자 요소들 내에 배열될 수 있다.

퍼지 가스(또는 중성 가스)는, 예를 들어 질소이다.

허브 내에 배치된 관통-오리피스들은, 펌핑된 가스에 대한 그리고 있을 수 있는 분말 또는 입자에 대한 장벽을 형성하기 위해, 펌핑 스테이지들 사이의 허브와 고정자 사이에 위치되는 틈새 내로의 퍼지 가스의 분사를 가능하게 한다. 또한, 관통-오리피스들은, 펌핑된 가스를 희석하기 위해, 진공 펌프의 압축 챔버들 내에서, 회전자 요소들의 레벨에서 방출할 수 있다.

허브는, 진공 펌프의 구동부의 측부에서, 배출구와 연통되는 최종 펌핑 스테이지 내에 배열되도록 의도되는 회전자 요소의 측부 상에 위치되는, 회전자의 하나의 축방향 단부에 노즈부를 특징적으로 구비하고, 시일(seal)이, 회전자의 노즈부와 진공 펌프의 고정자 사이에 배치되도록 의도된다.

시일에 결합된 회전자의 노즈부는, 최종 펌핑 스테이지와 진공 펌프의 구동부 사이의 시일을 보장하는 것을 가능하게 하고, 이는 특히, 건식 펌핑 부품으로부터 나오는 오염 가스 또는 입자에 의한 그의 오염을 방지함으로써, 구동부의 윤활 베어링들의 무결성을 보장하기 위해 필요하다. 이러한 방식으로 획득되는 시일은, 진공 펌프의 구동부의 유지보수 없이, 8 내지 10년만큼 많을 수 있는, 서비스 수명을 증가시킬 수 있도록 한다. 회전자들은, 구동부의 베어링을 해체해야만 하지 않는 가운데, 더욱 빈번한 유지보수 동안, 예를 들어 매 2년마다, 교체되거나 청소될 수 있다.

쌍을 이루는 회전자 요소들은, 예를 들어, 동일한 윤곽을 갖는 로브들(lobe)들을 구비한다.

일 실시예에 따르면, 적어도 하나의 회전자 요소가, 적어도 2개의 로브를 구비한다.

로브들은, 종방향축을 중심으로 하는 나선형 비틀림(helicoidal twist)을 특징적으로 구비할 수 있다.

나선형 비틀림 로브 윤곽들은, 체적 효율을 개선함으로써 유효 펌핑 속도가 증가되는 것을 가능하게 한다. 이러한 실시예는 추가로, 샤프트들이 그 내부에서 수직으로 배향되는, 진공 펌프의 수직 구성을 용이하게 하며, 이는 점유공간의 추가적 감소를 가능하게 하며 그리고 분말 또는 입자의 펌핑을 용이하게 한다.

적어도 하나의 회전자 요소의 로브들은, 중공형일 수 있다.

중공형 로브들은, 진공 펌프의 중량의 감소를 가능하게 한다. 또한, 중공형 회전자 요소들은, 열 관성의 감소를 가능하게 하며 그리고 이동시 적은 질량을 구동할 수 있고, 이는, 접촉하거나 끼이는 회전자들의 경우에, 열화의 위험의 감소를 가능하게 할 수 있다.

회전자 요소들의 윤곽들은, 동일한 유형 또는 상이한 유형일 수 있다. "동일한 유형의 윤곽들"은, 회전자 요소들이 동일한 일반적 형상을 갖는 것을 의미하며, 이는, 동일한 유형의 회전자 요소들의 두께 및/또는 반경방향 치수가, 특히 펌핑 스테이지들이 펌핑 스테이지들과 함께 감소되는(또는 동등하게 유지되는) 생성된 용적을 갖도록, 하나의 펌핑 스테이지로부터 다른 펌핑 스테이지로 변경될 수 있는 것으로 이해된다.

일 실시예에 따르면, 진공 펌프의 유입구와 연통되는 제1 펌핑 스테이지 내에 배열되도록 의도되는 제1 회전자 요소는, 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는 적어도 2개의 로브를 포함하며, 적어도 하나의 제2 회전자 요소는, 적어도 2개의 직선형 로브를 포함한다.

다른 예에 따르면, 회전자는, 6개의 직선형 3중-로브(three-lobe) 회전자 요소를 포함한다.

본 발명은 또한, 상기한 목적을 위한, 다중 스테이지 건식 진공 펌프로서,

- 가스를 유입구와 배출구 사이에서 펌핑되도록 구동하기 위해 적어도 2개의 펌핑 스테이지 내에서 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는, 2개의 샤프트, 및

- 진공 펌프의 개별적인 샤프트 상에 해체 가능하게 맞물리는, 이상에 설명된 바와 같은 2개의 회전자

를 포함하는 것인, 다중 스테이지 건식 진공 펌프를 구비한다.

진공 펌프는, 개별적으로 또는 조합으로 취해지는, 이하에서 설명되는 특징부들 중 하나 이상을 더 구비할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 진공 펌프는, 펌핑된 가스를 대기압에서 방출하도록 구성되는, 일차적 진공 펌프이다.

다른 실시예에 따르면, 진공 펌프는, 사용 시에 일차적 진공 펌프의 상류에 연결되는 2개 또는 3개의 펌핑 스테이지를 갖는 건식 진공 펌프이며, 그리고 그의 배출구 압력은, 일차적 진공 펌프에 의해 생성되는 압력이다.

샤프트들은, 개별적으로, 펌핑 스테이지들의 양 측부에 위치되는 적어도 2개의 베어링에 의해 지지될 수 있다.

다른 예에 따르면, 샤프트들은, 외팔보형으로 장착된다. 외팔보형 샤프트들의 고정은, 임의의 베어링으로부터 샤프트들을 해체하지 않는 가운데, 샤프트들 상에의 그리고 그로부터의 회전자들의 용이한 맞물림 및 맞물림 해제를 가능하게 한다.

샤프트들은, 예를 들어, 진공 펌프의 구동부의 측부 상에서, 배출구와 연통되는 최종 펌핑 스테이지의 측부 상에 위치되는 베어링에 의해 지지되고, 이는 특히, 대기압의 오일 섬프와 최종 펌핑 스테이지 사이의 더 낮은 압력 차이로 인한 오일 섬프로부터 펌핑 스테이지로의 윤활유의 전달의 제한을 가능하게 한다.

일 실시예에 따르면, 회전자들의 허브들이 중공형 관통-허브들인 경우, 진공 펌프는, 허브의 중심 관통-하우징 (또는 보어) 내에 수용되며 그리고 쌍원추형(biconical) 조립체에 의해 회전자를 샤프트에 고정하기 위해 샤프트의 일 단부와 허브 사이에 배치되는, 적어도 하나의 확장가능 클램핑 링을 포함할 수 있다. 따라서, 각각의 회전자는, 확장가능 클램핑 링을 사용하여, 단일 각도 설정 및 클램핑 작업으로 개별적인 샤프트에 조립될 수 있다. 회전자들을 조립 및 해제하는 것은, 이때, 훨씬 더 간단하고 더 빠르다. 더불어, 이러한 방식으로 단순화된 조립 작업을 자동화하는 것이, 가능하다.

회전자들의 허브들이 중공형 관통-허브들인 경우에, 진공 펌프는, 밀봉된 방식으로 허브의 중심 관통-하우징을 폐쇄하도록 구성되는, 회전자의 허브의 중심 관통-하우징 (또는 보어) 내에 장착되는, 플러그-시일을 포함할 수 있다. 플러그-시일은, 샤프트 또는 확장가능 클램핑 링들을 부식시키거나 손상시킬 수 있는 부식성 가스, 분말 등의 중심 관통-하우징 내로의 진입을 방지할 수 있도록 한다. 이어서 중심 관통-하우징은, 이때, 증가된 퍼지 가스 압력에 종속될 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 샤프트의 적어도 하나의 단부는 원추형이며, 그리고 회전자는, 회전자의 허브에 대해 상보적인 원추형 중심 하우징에 의해 샤프트의 원추형 단부 상으로 밀려들어간다.

회전자를 샤프트에 고정하고 밀봉하기 위한 그러한 수단은, 간단하며 그리고 범용이다. 이는, 특히 상이한 회전자 요소 윤곽들의 조합을 가능하게 함으로써, 직선형 로브 또는 나선형 로브 펌핑과 같은, 상이한 펌핑 기술들의 사용을 가능하게 할 수 있다. 이것은, 동일한 기계적 구동 구성요소들을 기반으로 하는 성능과 함께 사용을 위한 진공 펌프를 제조함에 있어서 진정한 유연성을 제공한다.

일 실시예에 따르면, 허브는, 진공 펌프의 구동부의 측부에서, 배출구와 연통되는 최종 펌핑 스테이지 내에 배열되는 회전자 요소의 측부 상에 위치되는, 회전자의 하나의 축방향 단부에 노즈부를 특징적으로 구비하고, 진공 펌프는, 회전자의 노즈부와 고정자 사이에 배치되는 적어도 하나의 시일을 더 포함한다.

시일은, 마찰(rubbing) 환형 시일을 포함할 수 있다.

진공 펌프는, 회전자의 노즈부와 마찰 환형 시일 사이에 배치되는, 마찰 링을 포함할 수 있다. 마찰 링은, 마찰 환형 시일에 대해 마찰되는 표면 상의 국소적인 마모의 경우에, 회전자의 전체를 교체하는 것을 회피할 수 있도록 한다.

오리피스들이, 퍼지 가스를 분사하기 위해, 마찰 환형 시일 내에 형성될 수 있다. 회전자가 다중 스테이지 회전자이기 때문에 그리고 회전자의 노즈부가 더 높은 압력의 펌핑 스테이지의 측부 상에 위치되기 때문에, 마찰 환형 시일 내로 퍼지 가스를 분사하는 것이 가능하다. 더 낮은 압력의 스테이지는, 유입구에서 펌프 성능이 보장되는 것을 가능하게 한다. 따라서, 마찰 환형 시일 내로 분사되는 퍼지 가스는, 펌핑 성능에 거의 또는 전혀 영향을 미치지 않는 가운데, 개선된 시일을 통해 베어링의 보호의 개선을 가능하게 한다.

다른 예에 따르면, 시일은, 고정자의 횡방향 벽과 대면하도록 위치되는 디스크를 특징적으로 구비하는 동적 밀봉 링을 포함하고, 진공 펌프는, 횡방향 벽과 디스크 사이에서 방출하는 퍼지 가스 유입구를 구비한다. 작동 시에, 퍼지 가스를 디스크와 횡방향 벽 사이에 분사하는 것은, 펌핑되어야 할 가스에 대한 그리고 윤활유에 대한 장벽을 형성하는 가스 스크린을 생성한다.

허브가 회전자의 축방향 단부에 노즈부를 특징적으로 구비하지 않는 다른 실시예에 따르면, 건식 진공 펌프는, 진공 펌프의 구동부의 측부에서, 배출구와 연통되는 최종 펌핑 스테이지 내에 배열되도록 의도되는 회전자 요소의 측부 상에서, 회전자의 축방향 단부에 대항하여 샤프트 상에 장착되는, 설정 및 밀봉 링을 포함한다.

제1 예에 따르면, 진공 펌프는, 설정 및 밀봉 링과 고정자 사이에 배치되는, 적어도 하나의 마찰 환형 시일을 더 포함할 수 있다. 오리피스들이, 퍼지 가스를 분사하기 위해 마찰 환형 시일 내에 형성될 수 있다.

제2 예에 따르면, 설정 및 밀봉 링은, 고정자의 횡방향 벽과 대면하도록 위치되는 디스크를 포함하고, 진공 펌프는, 횡방향 벽과 디스크 사이에서 설정 및 밀봉 링의 노즈부 상에 방출하는 퍼지 가스 유입구를 포함한다.

따라서, 설정 및 밀봉 링은, 한편으로는, 회전자와 고정자 사이의 밀봉 기능을 보장하며, 그리고 다른 한편으로, 회전자의 축방향 위치 설정에 대한 그리고 회전자와 고정자 사이의 간극들에 대한 조절 기능을 보장한다. 설정 및 밀봉 링은, 회전자의 길이보다는 오히려 그러한 링의 길이를 재작업하거나 조절하는 것이 더 간단하기 때문에, 축방향 조절의 단순화를 가능하게 한다. 또한, 설정 및 밀봉 링은, 마찰 방지 및/또는 보호 코팅의 침착을 용이하게 한다.

일 실시예에 따르면, 진공 펌프는, 펌핑 스테이지 내의 개별적인 샤프트에 고정되는 적어도 2개의 부착된 회전자 요소를 포함한다. 이때, 펌핑 스테이지의 부착된 회전자 요소들을 변경함으로써, 펌프 모델을 간단히 적응시키는 것이, 가능하다.

본 발명의 다른 특징부들 및 이점들이, 첨부된 도면을 참조하여 비제한적인 예로서 주어지는 뒤따르는 설명으로부터 나타날 것이다.

도 1은, 하나의 회전자가 다른 회전자로부터 90° 오프셋되어 있는, (플러그-시일 없이 나타나는) 건식 진공 펌프의 단면도 형태의 그리고 위로부터의 부분 도면이다.
도 2는 도 1로부터의 진공 펌프의 요소들의 분해 사시도이다.
도 3은 조립된 상태에서 도 2로부터의 요소들 중의 일부를 도시한다. 2개의 회전자 중 단지 하나만이, 샤프트들에 대한 회전자들의 고정의 시각화를 용이하게 하기 위해, 이 도면에 나타나 있다.
도 4a는 도 1로부터의 진공 펌프의 확장가능 클램핑 링의 사시도이다.
도 4b는 도 4a로부터의 확장가능 클램핑 링의 이론적 도면이다.
도 5는 도 1로부터의 진공 펌프의 밀봉 링의 제1 실시예의 사시도이다.
도 6은 도 1로부터 진공 펌프로부터의 플러그-시일의 제1 실시예의 사시도이다.
도 7은 도 1로부터의 진공 펌프의 회전자의 정면도이다.
도 8은 도 7로부터의 회전자의 위로부터의 도면이다.
도 9는 제2 실시예에 따른 진공 펌프의 2개의 회전자의 사시도를 도시한다.
도 10은 제3 실시예에 따른 진공 펌프의 회전자의 사시도이다.
도 11은 제4 실시예에 따른 진공 펌프의 회전자의 사시도이다.
도 12a는 변경 실시예에 따른 진공 펌프의 요소들을 종방향 단면도로 도시한다.
도 12b는 도 12a로부터의 마찰 링의 사시도이다.
도 13a는 제2 실시예에 따른 시일을 갖는 진공 펌프의 요소들의 종방향 단면도를 도시한다.
도 13b는 도 13a로부터의 진공 펌프의 동적 밀봉 링의 사시도를 도시한다.
도 13c는 도 13a로부터의 진공 펌프의 고정자 내에 배열되는 동적 밀봉 링의 상보적 베어링 표면의 사시도를 도시한다.
도 14a는, 회전자와 고정자 사이의 밀봉 수단의 제3 실시예에 따른, 진공 펌프의 요소들의 종방향 단면도를 도시한다.
도 14b는 도 14a로부터의 진공 펌프의 설정 및 밀봉 링의 사시도를 도시한다.
도 14c는 도 14a로부터의 진공 펌프의 회전자의 사시도를 도시한다.
도 15a는 제2 실시예에 따른 플러그-시일을 갖는 진공 펌프의 요소들의 종방향 단면도를 도시한다.
도 15b는 도 15a로부터의 진공 펌프의 요소들의 부분적 사시도를 도시한다.
도 15c는 도 15a로부터의 진공 펌프의 플러그-시일의 사시도를 도시한다.
도 16은 다른 실시예에 따른 진공 펌프에서의 회전자-샤프트 맞물림에 대한 개략적 부분도를 도시한다.
상기 도면들에서, 동일한 요소들은, 동일한 참조 부호를 갖는다.

뒤따르는 실시예들은, 예들이다. 비록 설명이 하나 이상의 실시예를 언급하지만, 이는 반드시 각각의 참조가 동일한 실시예와 관련되거나 특징부가 단지 하나의 실시예에만 적용된다는 것을 의미하지는 않는다. 상이한 실시예들의 단일 특징부는 또한 다른 실시예를 제공하기 위해 조합되거나 상호교환될 수 있다.

"상류"는, 펌핑되는 가스의 순환 방향에 대하여 다른 요소의 앞에 배치되는 요소를 의미한다. 반대로, "하류"는, 펌핑되는 가스의 순환 방향에 대하여 다른 요소 뒤에 배치되는 요소를 의미한다.

진공 펌프의 종방향 또는 축방향은 샤프트가 연장되는 방향으로서 정의된다.

본 발명은, 임의의 유형의 다중 스테이지 건식 진공 펌프, 즉 2개 내지 10개의 펌핑 스테이지를 포함하는 것과 같은, 적어도 2개의 펌핑 스테이지를 포함하는 펌프에 적용된다. 그러한 진공 펌프는, 대기압에서 펌핑된 가스를 방출하도록 구성되는 일차적 진공 펌프이거나, 또는, 사용 시에 일차적 진공 펌프의 상류에 연결되는 2개 또는 3개의 펌핑 스테이지를 갖는 그리고 그의 배출구 압력이 일차적 진공 펌프에 의해 생성되는 압력인, 건식 진공 펌프일 수 있을 것이다.

도 1은, 진공 펌프(1)의 유입구(3)와 배출구(4) 사이에 직렬로 조립되는 그리고 가스가 그 내부에서 펌핑될 순환될 수 있는, 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f)를, 여기서 6개의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f)를, 형성하는 고정자(2)(또는 펌프 몸체)를 포함하는, 다중 스테이지 건식 진공 펌프(1)의 일 실시예를 나타낸다. 진공 펌프(1)의 유입구(3)와 연통되는 펌핑 스테이지(1a)는, 더 낮은 압력의 스테이지이며, 그리고 배출구(4)와 연통되는 펌핑 스테이지(1f)는 더 높은 압력의 스테이지이다.

진공 펌프(1)는, 펌핑 스테이지들(1a 내지1f)에서 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는, 서로 평행한 2개의 샤프트(5, 6) 및 진공 펌프(1)의 개별적인 샤프트(5, 6) 상에 맞물리는 2개의 회전자(7)를 추가로 포함한다. 회전자들(7)은 개별적으로, 진공 펌프(1)의 샤프트들(5, 6) 중 하나에 맞물리도록 구성되는 허브(9) 및 허브(9)를 따라 배열되는 적어도 제1 및 제2 회전자 요소(8a, 8b)를 포함하고, 각각의 회전자 요소(8a, 8b)는, 개별적인 펌핑 스테이지(1a 내지 1f) 내에서 연장된다. 각각의 회전자 요소(8a, 8b)는, 다른 회전자(7)의 개별적인 쌍을 이루는 회전자 요소(8a, 8b)와 협력하도록 구성된다.

각각의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f)는, 진공 펌프(1)의 쌍을 이루는 회전자 요소(8a, 8b)를 갖는 2개의 회전자를 수용하는 고정자(2)의 압축 챔버(10)를 한정하고, 챔버들(10)은, 개별적인 유입구들 및 배출구들을 구비한다. 회전 도중에, 유입구로부터 흡입되는 가스는, 펌핑 스테이지(1a 내지 1f)의 회전자 요소들(8a, 8b) 및 압축 챔버(10)에 의해 생성되는 용적 내에 포집되고, 이어서 압축되며, 그리고 배출구를 향하여 그리고 다음 스테이지를 향하여 구동된다.

연속적인 펌핑 스테이지들(1a 내지1f)의 압축 챔버들(10)은, 선행 펌핑 스테이지의 압축 챔버(10)의 배출구를 뒤따르는 스테이지의 압축 챔버(10)의 유입구에 연결하는 적어도 하나의 개별적인 인터-스테이지(inter-stage) 채널(11)에 의해, 차례로 직렬로 연결된다. 인터-스테이지 채널들(11)은, 예를 들어, 고정자(2)의 몸체 내에, 예를 들어 압축 챔버들(10)과 나란히 배열된다. 예를 들어, 압축 챔버(10)의 배출구와 유입구 사이에 병렬로 연결되며, 압축 챔버(10)의 양 측부에 배열되는, 펌핑 스테이지당 2개의 인터-스테이지 채널(11)이, 존재한다.

펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)은, 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)과 함께 감소하는 (또는 동일한) 생성된 용적, 즉 펌핑된 가스 용적을 특징적으로 구비하고, 제1 펌핑 스테이지(1a)는, 가장 높은 생성된 유량을 가지며, 최종 펌핑 스테이지(1f)는, 가장 낮은 생성된 유량을 갖는다.

작동 시에, 샤프트들(5, 6)은, 회전자들을 구동하기 위한 모터(M), 회전자들을 동기화하기 위한 기어들, 및 회전자들의 샤프트들을 지지하는 베어링들을 포함하는, 구동부에 의해 회전 구동된다.

진공 펌프(1)의 모터(M)는, 예를 들어, 진공 펌프(1)의 배출구(4)의 측부 상과 같은, 진공 펌프(1)의 일 단부에서, 샤프트들(5, 6) 중 하나 상에 장착된다.

샤프트들(5, 6)은, 펌프(1)의 구동부의 오일 섬프(12)로부터의 윤활유에 의해 윤활되는 베어링들에 의해 지지되고, 오일 섬프(12)는, 모터(M)와 고정자(2) 사이에 배치된다. 윤활유는, 특히, 진공 펌프(1)의 베어링들의 구름 부재들(13) 및 샤프트들(5, 6)의 동기화 기어들의 윤활을 가능하게 한다. 건식 진공 펌프(1)는 전형적으로, 50Hz 내지 150Hz 사이와 같이, 40Hz 위에서 회전한다.

진공 펌프(1)는, 작동 시에 회전자들(7)이 그들 사이에 또는 고정자(2)와 기계적 접촉이 없이 고정자(2) 내측에서 회전하며 그리고 이것이 압축 챔버(10) 내에 오일이 없는 것을 가능하도록 하기 때문에, "건식"으로 지칭된다.

고정자(2)는, 예를 들어, 복수의 고정자 요소로 형성된다. 고정자(2)는, 예를 들어, 진공 펌프(1)의 샤프트들(5, 6)의 축에 평행한 종방향 조립 표면 상에 반경 방향으로 조립되는, 2개의 하프-쉘(2a, 2b)(도면에서 단 하나만 볼 수 있음)을 포함할 뿐만 아니라, 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)의 하프-쉘들(2a, 2b)과 오일 섬프(12) 사이에 배열되는 시일 지지부(2c) 및 베어링 지지부(2d)를 포함한다.

진공 펌프(1)는, 가스가 그 내부에서 순환하는 건식 펌핑부와 구동부 사이에 배치되는, 윤활유 밀봉 장치(14)를 추가로 포함한다. 밀봉 장치(14)는, 윤활유의 전달을 제한하는 가운데, 건식 펌핑부 내에서의 샤프트들의 회전을 가능하게 한다. 밀봉 장치(14)는, 샤프트 통로들의 레벨에 배열되며, 그리고 시일 지지부(2c)에 의해 지탱된다. 밀봉 장치(14)는, 예를 들어, 비-마찰 동적 시일과 같은 적어도 하나의 시일, 또는 립 시일(lip seal)과 같은 적어도 하나의 마찰 환형 시일, 또는 상기한 것들의 조합을 포함한다.

도 1로부터의 예에서 볼 수 있는 바와 같이, 허브(9)는, 진공 펌프(1)의 샤프트들(5, 6) 중 하나가, 특히 샤프트의 일 단부(5a, 6a)가, 그 내부에 맞물리는, 예를 들어 원통형의 일반적 형상의, 예를 들어 중심 관통-하우징(15)(또는 보어)을 특징적으로 구비한다. 샤프트(4, 5) 상에 맞물리는 회전자(7)는, 샤프트(5, 6)와 함께 회전한다.

회전자 요소들(8a, 8b) 및 허브(9)는 일체형으로 이루어진다. 따라서, 일체형의 그리고 제거 가능한 회전자들(7)은, 샤프트(5, 6)를 그의 베어링으로부터 완전히 해체할 필요 없이, 교체될 수 있다. 샤프트들(5, 6)은, 유지보수 도중에, 진공 펌프(1)의 베어링들 중 적어도 2개에서 제자리에 유지될 수 있으며, 이는, 해체 및 조립 시간 그리고 결과적으로 개입의 지속 시간 및 비용의 상당히 감소를 가능하게 한다. 또한, 진공 펌프(1)는, 조립의 관점에서 일체형 회전자(7)의 이점들로부터 이득을 얻을 수 있는 한편, 미래의 유지보수 시에 간단하고 신속한 해체 및 조립을 가능하게 한다. 일체형 회전자(7)는, 단일 가공 작업에 의해 생성될 수 있으며, 이는 허용오차를 쉽게 준수할 수 있도록 한다. 더욱이, 일체형 회전자(7)는, 압력이 가장 높은 다중 스테이지 진공 펌프(1)의 배출구(4)의 측부에 위치되는 펌핑 스테이지들(1e-1f) 내에 매우 정교한 회전자 요소들(8a, 8b)이 생성되는 것을 가능하게 하며, 이는 진공 펌프(1)의 전기 에너지 소비의 감소를 가능하게 한다. 다른 이점은, 그들의 제거 가능한 본성으로 인해, 회전자들(7)이, 예를 들어 일부 적용에서 회전자(7)를 보호하기 위해 또는 슬라이딩을 개선하기 위해 회전자 요소들(8a, 8b)의 코팅을 변경함으로써, 고객 요건에 쉽게 맞춰질 수 있다는 것이다.

일 실시예에 따르면, 샤프트들(5, 6)은 개별적으로, 펌핑 스테이지들(1a 내지 1e)의 양 측부 상에 위치되는 적어도 2개의 베어링에 의해 지지된다. 그러나, 회전자들(7)의 조립 및 해체를 추가로 용이하게 하기 위해, 샤프트들(5, 6)은, 외팔보형으로 장착될 수 있다. 다시 말하면, 샤프트들(5, 6)은, 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)의 고정자(2)의 단지 하나의 측부 상에만 위치되는 베어링들에 의해 지지된다. 그러한 측부는, 예를 들어, 진공 펌프(1)의 배출구(4)의 측부이며, 이는 대기압에서의 오일 섬프(12)와 최종 펌핑 스테이지(1f) 사이의 더 낮은 압력 차이 때문에, 오일 섬프(12)로부터 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)로의 윤활유의 전달의 제한을 가능하게 한다.

예를 들어 다른 측부 상에, 즉 유입구(3)의 측부 상에, 안내 수단이 존재하지 않는다. 샤프트들(5, 6)의 외팔보형 장착은, 특히 일체형 회전자들(7)의 높은 기계적 강도에 의해 가능해진다. 샤프트들(5, 6)의 외팔보형 장착은, 베어링들로부터 샤프트들(5, 6)을 해체하지 않는 가운데, 샤프트들(5, 6) 상에의 그리고 그로부터의 회전자들(7)의 쉬운 맞물림 및 맞물림 해제를 가능하게 한다.

중공 회전자들(7)을 샤프트들(5, 6)에 고정하기 위해, 진공 펌프(1)는, 예를 들어, 적어도 하나의 확장가능 클램핑 링(17)을 포함한다. 확장가능 클램핑 링(17)은, 허브(9)의 중심 관통-하우징(15) 내에 수용되며, 그리고 쌍원추형 조립체에 의해 회전자(7)를 샤프트(5, 6)에 고정하기 위해 샤프트(5, 6)의 일 단부(5a, 6a)와 허브(9) 사이에 반경 방향으로 배치된다. 따라서, 각각의 회전자(7)를 개별적인 샤프트(5, 6)에 고정하기 위한 2개의 확장가능 클램핑 링(17)이 존재한다(도 1 내지 도 3). 따라서 샤프트(5, 6)와 허브(9) 사이의 연결은, 확장가능 클램핑 링들(17)을 끼워 넣음으로써 획득된다. 확장가능 클램핑 링들(17)은, 기계적 클램핑 및 샤프트(5, 6)로부터 회전자(7)로의 토크의 전달을 가능하게 한다.

도 4a에서 더 잘 볼 수 있는 바와 같이, 확장가능 클램핑 링(17)은 전형적으로, 예를 들어 규칙적으로 분포되는 3개의 개별적인 축방향 슬롯에 의해 분할되는, 2개의 원추형 분할 링(18a, 18b)을 포함한다. 원추형 링들(18a, 18b)은, 하나가 다른 하나의 내부에 동축으로 장착된다. 확장가능 클램핑 링(17)은 또한, 원추형 링들(18a, 18b)에 결합되는, 단일 축방향 너트(20)와 같은, 적어도 하나의 너트를 포함한다.

확장가능 클램핑 링(17)은, 샤프트(5, 6)의 단부(5a, 6a) 상에 장착되고, 후자는 예를 들어 반경 방향으로 얇아지며, 이는 너트(20)가 회전자(7)의 중심 관통-하우징(15) 내로 삽입되는 스패너에 접근가능하게 하고, 후자는 또한 예를 들어 반경 방향으로 국부적으로 확대된다. 조립 시에, 너트(20)를 조이는 것은, 2개의 링(18a, 18b)을 함께 클램핑하고, 이는 외부 원추형 링(18b)을 확장시키는 가운데, 내부 원추형 링(18a)은, 도 4b의 이론적 도면에 예시된 바와 같이 회전자(7)를 샤프트(5, 6) 상에 끼워 넣도록, 샤프트(5, 6a)의 단부(5a, 6a) 상에 더 큰 압력을 가하도록 한다. 각각의 회전자(7)는, 확장가능 클램핑 링들(17)에 의한 단일 클램핑 및 각도 설정 작업으로, 개별적인 샤프트(5, 6) 상에 조립될 수 있다. 이때, 회전자(7)를 조립 및 해체하는 것은, 훨씬 더 간단하고 빠르다. 더욱이, 이러한 방식으로 단순화된 조립 작업을 자동화하는 것이 가능하다.

샤프트들(5, 6)은, 예를 들어, 샤프트들(5, 6)의 단부(5a, 6a)와 회전자들(7)의 단부 사이에 빈 공간을 남기도록, 회전자들(7)의 중심 관통-하우징들(15) 내에서 연장된다.

허브(9)는, 진공 펌프(1)의 구동부의 측부에서, 배출구(4)와 연통되는 최종 펌핑 스테이지(1f) 내에 배열되도록 의도되는 회전자 요소(8b)의 측부 상에 위치되는, 회전자(7)의 하나의 축방향 단부에 노즈부(28)를 추가로 특징적으로 구비할 수 있다(도 1). 이러한 노즈부(28)는 특히, 회전자(7)의 노즈부(28)와 고정자(2) 사이의 통로를 밀봉하기 위해, 진공 펌프(1)의 적어도 하나의 시일(29)이 노즈부(28)와 고정자(2) 사이에 배치하는 것을 가능하게 한다.

시일(29)에 결합된 회전자(7)의 노즈부(28)는, 최종 펌핑 스테이지(1f)와 진공 펌프(1)의 구동부 사이의 시일을 보장하는 것을, 필요하게는 특히 건식 펌핑부로부터 나오는 오염 가스 또는 입자에 의한 구동부의 윤활 베어링의 오염의 방지함에 의해 구동부의 윤활 베어링의 무결성을 보장하는 것을, 가능하게 한다. 이러한 방식으로 획득되는 시일은, 진공 펌프(1)의 구동부의 유지보수 없이, 수명을 증가시키는 것을 가능하게 하며, 이는 8 내지 10년만큼 많을 수 있다. 회전자(7)는, 구동부의 베어링들을 해체해야만 하지 않는 가운데, 보다 빈번한 유지보수 도중에, 예를 들어 매 2년마다, 교체되거나 청소될 수 있다.

시일(29)은, 마찰 환형 시일 및/또는 비-마찰 동적 시일일 수 있다.

도 1 내지 도 8에 표현되는 제1 실시예에서, 시일(29)은, 립(lip) 또는 이중 립 마찰 환형 시일을 포함한다(도 5). 마찰 환형 시일의 립들은, 예를 들어 PTFE로 제조된다. 이것은, 예를 들어, 알루미늄 또는 스테인리스강으로 이루어지는 환형 시일의 링에 장착된다. 마찰 환형 시일의 링은, 고정자(2)에 고정되며 그리고 립들은, 회전하는 노즈부(28) 상에서 마찰된다.

오리피스들(30)이, 특히 립들 사이에 퍼지 가스를 분사하기 위해 마찰 환형 시일 내에 형성될 수 있다. 오리피스들(30)은, 예를 들어, 시일 상에 규칙적으로 분포되며 그리고 작동 시에 펌프(1)의 건식 펌핑부와 구동부 사이에 환형 가스 장벽을 생성한다.

회전자(7)가 다중 스테이지 회전자이며 그리고 회전자(7)의 노즈부(28)가 고압 펌핑 스테이지(1f)의 측부에 위치되기 때문에, 마찰 환형 시일 내로 퍼지 가스를 분사하는 것이 가능하다. 더 낮은 압력의 스테이지는, 유입구(3)에서의 펌핑 성능을 보장하는 것을 가능하게 한다. 따라서 마찰 환형 시일 내로 분사되는 퍼지 가스는, 펌핑 성능에 거의 또는 전혀 영향을 미치지 않는 가운데, 개선된 시일로 인해 베어링들의 개선된 보호를 가능하게 한다.

또한, 진공 펌프(1)는, 회전자(7)의 중심 관통-하우징(15) 내로 퍼지 가스를 분사하기 위한 수단을 포함할 수 있다. 퍼지 가스는, 예를 들어, 샤프트(5, 6) 내에 형성되는 채널(표시되지 않음)을 통과할 수 있다.

관통-오리피스들이, 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f) 사이에서 허브(9)와 고정자(2) 사이에 위치되는 틈새 내로 퍼지 가스를 분사하기 위해, 허브(9) 내에 형성될 수 있다. 작동 시, 회전하는 오리피스들을 통해 분사되는 퍼지 가스는, 펌핑된 가스에 대한 그리고 임의의 분말 또는 입자에 대한 장벽을 형성하는, 가스 스크린을 형성한다.

또한, 관통-오리피스들은, 펌핑된 가스를 희석하기 위해 회전자 요소들(8a, 8b)의 레벨에서 진공 펌프(1)의 압축 챔버들(10) 내로 방출할 수 있다.

진공 펌프(1)는, 허브(9)의 중심 관통-하우징(15)을 밀봉된 방식으로 폐쇄하도록 구성되는, 회전자(7)의 허브(9)의 중심 관통-하우징(15) 내에 장착되는, 적어도 하나의 플러그-시일(21)을 추가로 포함할 수 있다(도 2 및 도 3). 플러그-시일(21)은, 샤프트(5, 6) 또는 확장가능 클램핑 링(17)을 부식시키거나 손상시킬 수 있는, 부식성 가스, 분말 등의 중심 관통-하우징(15) 내로의 진입을 방지하는 것을 가능하게 한다. 이때, 중심 관통-하우징(15) 내의 퍼지 가스의 압력이 또한, 증가될 수 있다.

도 6에서 더 잘 볼 수 있는 바와 같이, 플러그-시일(21)은 예를 들어, 예를 들어 원통형의, 중심 관통-하우징(15)의 대략적 형상에 정합하는 대략적 형상의의, 본체(22)를 포함한다. 본체(22)는, 예를 들어 강철로 이루어진다.

플러그-시일(21)은 또한, 본체(22)와 중심 관통-하우징(15) 사이에 배치되는, 예를 들어 본체(22)의 주변 홈(25) 내에 배치되는, O-링 시일(23)을 포함한다. O-링 시일(23)은, 예를 들어 FKM(또는 FPM) 또는 FFKM(또는 FFPM)과 같은, 불화탄성중합체로 이루어진다.

제1 실시예에 따르면, 플러그-시일(21)은, 진공 펌프(1)의 샤프트(5, 6)에 고정된다. 이를 위해 플러그-시일(21)의 본체(22)는, 예를 들어, 플러그-시일(21)을 샤프트(5, 6) 상에 위치시키는 것을 용이하게 하기 위해, 샤프트(5, 6)의 단부(5a, 6a)에 있는 상보적 축방향 오리피스 내로 삽입되도록 구성되는, 축방향 로드(24)를 특징적으로 구비한다. 축방향 로드(24)는, 예를 들어 나사 가공되며 그리고, 예를 들어 본체(22)의 외부 표면 상에 형성되는 2개의 블라인드 구멍(26)과 협력하는 공구에 의해, 샤프트(5, 6)의 나사 가공된 축방향 오리피스 내에 클램핑된다.

회전자(7)를 샤프트(5, 6)에 고정하고 밀봉하기 위한 이러한 수단은, 간단하며 그리고 범용이다. 이것은, 추가로 상이한 회전자 요소 윤곽들의 조합을 가능하게 하도록, 직선형 로브 또는 나선체형 로브 펌핑과 같은, 상이한 펌핑 기술들의 사용을 가능하게 할 수 있다. 이는 동일한 기계적 구동요소를 기반으로 하는 성능과 함께 사용을 위한 진공 펌프를 제조함에 있어서 진정한 유연성을 제공한다.

도 7에서 더 잘 볼 수 있는 바와 같이, 쌍을 이루는 회전자 요소들(8a, 8b)은, 예를 들어 동일한 윤곽을 갖는 로브들(16)을 특징적으로 구비한다.

적어도 하나의 회전자 요소(8a, 8b)는 예를 들어, 예컨대 2개, 3개, 4개, 5개 이상의 로브(16)와 같은, 적어도 2개의 로브(16)를 포함한다. 로브들(16)은, 원주 방향으로 규칙적으로 분포된다.

더욱이, 일부 회전자 요소들(8a)의 로브들(16)은, 중공형일 수 있다. 예를 들어, 적은 누설 위험을 동반하는 제1 또는 처음 2개의 부피가 더 큰 펌핑 스테이지(1a, 1b)의 로브들(16)은, 중공형일 수 있다. 그러나, 회전자(7)의 모든 회전자 요소(8a)가, 중공형일 수 있다. 회전자 요소들(8a, 8b)은, 상이한 크기의 캐비티들을 특징적으로 구비할 수 있다. 예를 들어, 소위 저압 펌핑 스테이지들(1a 내지 1c)의 회전자 요소들(8a)의 로브들(16)은, 소위 고압 펌핑 스테이지들(1d 내지 1f)의 회전자 요소들(8b)의 로브들(16)의 것보다 더 큰 직경의 구멍들에 의해 관통된다. 중공형 로브들(16)은, 진공 펌프(1)의 중량의 감소를 가능하게 한다. 마찬가지로, 중공형 회전자 요소들(8a)은, 열 관성의 감소를 가능하게 하며, 그리고 이동 시에 더 적은 질량을 구동하며, 이는, 접촉하거나 끼이는 회전자들(7)의 경우에, 열화의 위험의 감소를 가능하게 할 수 있다.

다중 스테이지 회전자(7)의 회전자 요소들(8a, 8b)은, 동일한 유형 또는 상이한 유형의 윤곽들을 특징적으로 구비할 수 있다. "동일한 유형의 윤곽들"은 동일한 대략적 형상을 갖는 회전자 요소들(8a, 8b)을 의미하며, 동일한 유형의 회전자 요소들(8a, 8b)의 두께 및/또는 반경방향 치수가 하나의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f)로부터 다른 펌핑 스테이지로 변경될 수 있으며, 특히 그에 따라, 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)이 펌핑 스테이지들(1a 내지 1f)과 함께 감소되는(또는 동일한) 생성된 용적을 구비하는 것으로 이해된다.

따라서, 도 1 내지 도 8로부터의 예에서, 회전자(7)의 6개의 회전자 요소(8a, 8b)의 윤곽들은 모두, 동일한 유형이다. 회전자(7)의 회전자 요소들(8a, 8b) 및 쌍을 이루는 회전자 요소들(8a, 8b)은, 삼중-로브 회전자 요소이며, 말하자면 개별적으로 3개의 로브(16)를 구비한다. 개별적으로 6개의 직선형 삼중-로브 회전자 요소를 특징적으로 구비하는 2개의 회전자(7)를 포함하는 이러한 진공 펌프(1)는, 대기압에서 펌핑된 가스를 방출하도록 구성되는, 일차적 진공 펌프이다.

다른 실시예들이 가능하다.

따라서, 도 9로부터의 예에서, 회전자 요소들(8a, 8b) 및 쌍을 이루는 회전자 요소들(8a, 8b)은, 개별적으로, 직경 방향으로 서로 반대편의 2개의 로브(16)를 구비한다. 회전자 요소들(8a, 8b)의 단면이 실질적으로 숫자 8의 형상인, 이러한 이중-로브 구성은, 또한 루츠 구성으로도 지칭된다. 더욱이, 6개의 회전자 요소(8a, 8b)의 윤곽들은 모두, 동일한 유형이다.

도 10 및 도 11은 2개의 다른 실시예를 도시한다.

이러한 예들에서, 적어도 하나의 회전자 요소(8a)는, 또한 회전자(7)의 회전축이기도 한 종방향축에 대한 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는, 적어도 2개의 로브(16)를 포함한다. 나선형 비틀림은, 예를 들어, 1/4 회전(one quarter-turn)보다 작다. 이것은 예를 들어 60° 내지 90°이다.

나선형 비틀림 로브 윤곽들은, 용적 효율을 개선함으로써 유효 펌핑 유량이 증가되는 것을 가능하게 한다.

더욱이, 이러한 예들에서, 회전자(7)의 회전자 요소들(8a, 8b)의 윤곽들은, 상이하다.

예를 들어, 진공 펌프(1)의 유입구(3)와 연통되는 제1 펌핑 스테이지(1a) 내에 배열되도록 의도되는 제1 회전자 요소(8a)는, 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는 적어도 2개의 로브(16)를 구비하며, 그리고 적어도 하나의 제2 회전자 요소(8b)는, 적어도 2개의 직선형 로브(16)를 구비한다.

진공 펌프(1)는 예를 들어, 사용 시에 일차적 진공 펌프의 상류에 연결되며 그리고 그의 배출구 압력이 일차적 진공 펌프에 의해 생성되는 것인, 2개 또는 3개의 펌핑 스테이지를 갖는 건식 진공 펌프이다. 회전자(7)는, 예를 들어, 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는 2개의 로브(16)를 구비하는 제1 회전자 요소(8a) 및 3개의 직선형 로브(16)를 구비하는 1개 또는 2개의 제2 회전자 요소(8b)를 포함한다(도 10). 다른 예에 따르면, 회전자(7)는, 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는 3개의 로브(16)를 구비하는 제1 회전자 요소(8a) 및 3개의 직선형 로브(16)를 구비하는 1개 또는 2개의 제2 회전자 요소(8b)를 포함한다(도 11). 회전자(7)는, 진공 펌프의 구동부의 측부에서, 배출구(4)와 연통되는 최종 펌핑 스테이지(1f) 내에 배열되도록 의도되는 회전자 요소(8b)의 측부에 위치되는, 회전자(7)의 하나의 축방향 단부에 노즈부(28)를 갖는다.

다른 예에 따르면, 진공 펌프(1)는, 대기압에서 펌핑된 가스를 방출하도록 구성되는 일차적 진공 펌프이다. 회전자(7)는, 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는 2개 또는 3개의 로브(16)를 구비하는 제1 회전자 요소(8a), 및 3개의 직선형 로브(16)를 구비하는 4개 내지 8개의 제2 회전자 요소(8b)를 포함한다. 회전자(7)는, 진공 펌프의 구동부의 측부에서, 배출구와 연통되는 최종 펌핑 스테이지 내에 배열되도록 의도되는 회전자 요소(8b)의 측부에 위치되는, 회전자(7)의 하나의 축방향 단부에 노즈부(28)를 특징적으로 구비한다.

이제, 회전자(7)와 진공 펌프(1)의 구동부 사이의 밀봉 수단의 세 가지 변형 실시예를 설명한다.

도 12a 및 도 12b는, 제1 변형 실시예를 도시한다.

이러한 예에서, 진공 펌프(1)는, 회전자(7)의 노즈부(28)와 마찰 환형 시일 사이에 배치되는, 마찰 링(35)을 포함한다.

마찰 링(35)은, 예를 들어, 경질강 또는 마르텐사이트강으로 이루어진다. 마찰 링(35)은, 예를 들어 마찰에 의한 마모를 감소시키기 위해 또는 펌핑된 가스에 대한 보호를 개선하기 위해, 코팅을 특징적으로 구비할 수 있다. 이 경우, 회전자(7)의 노즈부(28)에 대한 것보다 작은 마찰 링(35)에 코팅을 적용하는 것이 더 용이하다.

마찰 링(35)은, 예를 들어, 마찰 링(35)과 노즈부(28) 사이에 반경 방향으로 배치되는 O-링 시일(36)과 함께, 노즈부(28) 상에 장착된다. O-링 시일(36)은, 예를 들어 마찰 링(35)의 환형 홈(37) 내에 장착된다.

마찰 링(35)은, 마찰 O-링 시일에 대해 마찰되는 표면의 국부적 마모가 발생할 경우, 회전자(7) 전체를 교체하는 것을 피할 수 있도록 한다. 사실, 마찰 O-링 시일과 접촉하는 표면만이 시간이 지남에 따라 마모되는 것이, 발생될 수 있다. 이어서, 제거 가능 마찰 링(35) 상에 국한되는 이러한 마모된 표면은, 회전자(7)를 변경하지 않는 가운데, 교체될 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 마찰 링은, 예를 들어 플라즈마 토치를 사용하여 침착되는, 세라믹 유형 침착물을 포함한다. 그러한 침착물은, 유지보수 동안에 다시 표면처리하기에 단순하다.

도 13a, 도 13b 및 도 13c는, 회전자(7)의 노즈부(28)와 진공 펌프(1)의 구동부 사이의 밀봉 수단에 대한 제2 변형 실시예를 도시한다.

이러한 변형예에서, 회전자(7)의 노즈부(28)에 결합되는 시일(38)은, 비-마찰(non-rubbing) 동적 시일이다.

일 실시예에 따르면, 시일(38)은, 동적 밀봉 링을 포함한다(도 13b). 동적 밀봉 링은, 예를 들어, 동적 밀봉 링과 노즈부(28) 사이에 반경 방향으로 배치되는 O-링 시일(41)과 함께(도 13a), 회전자(7)의 노즈부(28) 상에 장착된다. O-링 시일(41)은 예를 들어, 동적 밀봉 링의 환형 홈 내에 장착된다.

동적 밀봉 링은, 진공 펌프(1) 내에서, 고정자의 횡방향 벽(43)과 대면하도록 위치되는, 디스크(42)를 특징적으로 구비한다. 횡방향 벽들(43)은, 고정자 내에 형성되는 상보적 베어링 표면 내에 형성될 수 있다(도 13c).

고정자(2)와 대면하는 디스크(42)의 면은, 디스크(42) 주위에서 퍼지 가스의 더 양호한 분배를 가능하게 하는, 나선형 홈들(44)을 특징적으로 구비할 수 있다(도 13b).

동적 밀봉 링은, 예를 들어, Al₂O₃와 같은 알루미나 세라믹, 또는 Si₃N₄와 같은 질화물계 세라믹, 또는 경질강 또는 마르텐사이트계 강으로 이루어지거나 또는 이들의 코팅을 포함한다.

진공 펌프(1)는, 횡방향 벽(43)과 디스크(42) 사이에서, 회전자(7)의 회전축에 수직인 방향으로 방출하는, 고정자(2) 내에 형성되는 퍼지 가스 유입구(45)를 추가로 구비한다.

작동 시, 디스크(42)와 고정자(2)의 횡방향 벽(43) 사이에 퍼지 가스를 분사하는 것은, 회전하는 디스크(42)와 고정자(2)의 고정된 횡방향 벽(43) 사이에 가스 스크린을 생성한다.

가스 스크린은, 펌핑될 가스에 대한 그리고 윤활유에 대한 장벽을 형성한다. 따라서 시일(38)은, 고정자(2)와 회전자(7) 사이에 "비-마찰 동적" 시일을 생성한다.

도 14a, 도 14b 및 도 14c는, 회전자(7)와 진공 펌프(1)의 구동부 사이의 밀봉 수단의 제3 변형 실시예를 도시한다.

이러한 예에서, 허브(9)는, 회전자(7)의 축방향 단부에 노즈부(28)를 갖지 않는다(도 14c). 다른 한편, 진공 펌프는, 진공 펌프(1)의 구동부의 측부에서, 배출구(4)와 연통되는 최종 펌핑 스테이지(1f) 내에 배열되도록 의도되는 회전자(7)의 회전자 요소(8b)의 측부 상에서, 회전자(7)의 축방향 단부에 대항하여 샤프트(5) 상에 장착되는, 설정 및 밀봉 링(46)을 포함한다. 따라서, 설정 및 밀봉 링(46)은, 회전자(7) 상에 장착되는 "노즈부"를 형성한다.

설정 및 밀봉 링(46)은, 예를 들어, 축방향으로 설정 및 밀봉 링(46)과 회전자(7) 사이에 배치되는 O-링 시일(47)과 함께, 샤프트(5) 상에 장착된다. O-링 시일(47)은, 예를 들어 설정 및 밀봉 링(46)의 환형 홈(48) 내에 장착된다(도 14b).

제1 예에 따르면, 진공 펌프(1)는, 설정 및 밀봉 링(46)과 고정자(2) 사이에 반경 방향으로 배치되는 립 시일과 같은, 적어도 하나의 마찰 환형 시일(29)을 추가로 포함한다(도 14a). 마찰 환형 시일의 링은, 고정자(2)에 고정되며, 그리고 립들은, 회전하는 설정 및 밀봉 링(46) 상에서 마찰된다. 오리피스들이, 퍼지 가스를 분사하기 위해 마찰 환형 시일 내에 형성될 수 있다.

도시되지 않은 제2 예에 따르면, 설정 및 밀봉 링(46)은, 진공 펌프(1) 내에서, 고정자(2)의 횡방향 벽(43)과 대면하도록 위치되는, 디스크를 포함하며, 진공 펌프(1)는, 회전하는 디스크와 고정자(2)의 고정된 횡방향 벽(43)과 사이에 가스 스크린을 생성하기 위해, 횡방향 벽(43)과 디스크 사이의 설정 및 밀봉 링(46)의 노즈부 상으로 방출하는, 퍼지 가스 유입구(45)를 구비한다. 동적 밀봉 링에 대해 전술한 바와 같이, 고정자(2)와 대면하는 설정 및 밀봉 링(46)의 디스크의 면은, 나선형 홈을 특징적으로 구비할 수 있다.

회전자(7)와 고정자(2) 사이에 밀봉 기능을 제공하는 것에 부가하여, 설정 및 밀봉 링(46)은 또한, 회전자(7)를 축방향으로 위치설정하며 그리고 회전자(7)와 고정자(2) 사이의 간극을 조절하기 위한, 조절 설정 기능을 제공한다. 설정 및 밀봉 링(46)은, 완전한 회전자(7)의 길이보다는 이러한 링(46)의 길이를 재작업하거나 조절하는 것이 더 간단하기 때문에, 축방향 조절의 단순화를 가능하게 한다. 마찬가지로, 설정 및 밀봉 링(46)은, 회전자(7)의 치수들에 대비되는 그들의 작은 치수들 때문에, 마찰 방지 및/또는 보호 코팅의 있을 수 있는 침착을 용이하게 한다.

도 15a, 도 15b, 도 15c는, 플러그-시일의 변형 실시예를 도시한다.

이 예에서, 플러그-시일(21)은, 예를 들어, 적어도 2개의 나사, 예를 들어 4개의 나사에 의해, 회전자(7)에 고정된다.

이를 위해, 플러그-시일(21)의 본체(22)는, 예를 들어, 고정 구멍들(40)을 갖도록 제공되는 프레임(27)을 특징적으로 구비한다. 상보적 베어링 표면이, 회전자(7)의 단부에 형성된다. 플러그-시일(21)은, 플러그 시일(21)의 고정 구멍들(40)을 통해 회전자(7)의 상보적 베어링 표면 내에 형성되는 나사 구멍들에 스크류들(39)을 조임으로써, 회전자(7)에 고정된다.

이러한 실시예는, 플러그 시일(21)을 견고한 방식으로 중심 관통-하우징(15) 내로 고정하는 것을 가능하게 한다.

도 16은 샤프트들의 외팔보형 장착의 다른 실시예를 도시한다.

다른 수단에 의해, 예를 들어 기계 공구들 상에서 사용되는 바와 같은 그리고 이러한 도 16에 도시된 바와 같은 "모르스 콘(Morse cone)" 유형의 장착에 의해, 회전자(7)를 외팔보형 샤프트(5, 6) 상에 고정하는 것이, 가능하다.

이 경우, 샤프트(5, 6)의 적어도 하나의 단부(5a, 6a)는, 원추형이다. 더욱이, 회전자(7)의 허브(9)는, 회전자(7)가 샤프트(5, 6)의 원추형 단부(5a, 6a) 상으로 밀려들어가는 것을 가능하게 하는, 상보적 원추형 중심 하우징(32)을 특징적으로 구비한다.

회전자(7)는, 샤프트(5, 6)의 단부(5a, 6a) 상에 억지끼워맞춤되고, 이는, 회전자(7)의 원추형 중심 하우징(32)을 상당히 변형시키며 그리고 샤프트(5, 6) 상에 회전자(7)를 유지한다.

이전 예들에서와 같이, 진공 펌프(1)는, 허브(9) 내에 장착되는 그리고, 부식성 가스, 분말 등의 유입을 방지하기 위해, 허브(9)의 중심 하우징(32)(이것이 관통-하우징인 경우)을 밀봉 방식으로 폐쇄하도록 구성되는, 적어도 하나의 플러그-시일(21)을 포함할 수 있다.

유지보수를 위해 회전자(7)를 제거할 필요가 있을 때, 그러한 작업의 일 예에서, 플러그-시일(21)이 제거되며, 그리고 커넥터가, 샤프트(5,6)의 내부 채널(33)을 통해 샤프트(5, 6) 내로 고압의 오일을 분사하기 위해, 플러그-시일(21) 대신에 샤프트(5, 6)의 단부(5a, 6a) 내로에 삽입된다. 내부 채널(33)을 빠져나가는 오일은, 회전자(7)의 "비점착(unsticking)" 및 이어지는 해체를 가능하게 하는, 특히 샤프트(5, 6) 내에 형성되는 나선형 홈(34)에 기인하는, 샤프트(5, 6)와 회전자(7) 사이에 오일막을 형성한다.

Claims (21)

1. 다중 스테이지 건식 진공 펌프(1)를 위한 회전자(7)로서, 상기 진공 펌프(1)는, 가스를 유입구(3)와 배출구(4) 사이에서 펌핑되도록 구동하기 위해, 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f) 내에서 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는, 2개의 샤프트(5, 6)를 포함하는 것인, 회전자(7)에 있어서,
   - 상기 진공 펌프(1)의 샤프트들(5, 6) 중 하나에 맞물리도록 구성되는 허브(9), 및
   - 상기 허브(9)를 따라 배열되는 적어도 하나의 제1 및 하나의 제2 회전자 요소(8a, 8b)로서, 각각의 회전자 요소(8a, 8b)는, 개별적인 펌핑 스테이지(1a 내지 1f) 내에서 연장되며 그리고 상기 진공 펌프(1)의 다른 회전자(7)와 결합된 개별적인 회전자 요소(8a, 8b)와 협력하도록 구성되고, 상기 회전자 요소들(8a, 8b) 및 상기 허브(9)는, 일체형으로 이루어지는 것인, 적어도 하나의 제1 및 하나의 제2 회전자 요소(8a, 8b)
   를 포함하는 것인, 회전자.
2. 제1항에 있어서,
   상기 허브(9)는, 상기 진공 펌프(1)의 구동부의 측부에서 상기 배출구(4)와 연통되는 최종 펌핑 스테이지(1f) 내에 배열되도록 의도되는 상기 회전자 요소(8b)의 측부 상에 위치되는, 상기 회전자(7)의 하나의 축방향 단부에 노즈부(nose)(28)를 특징적으로 구비하고, 시일(29; 38)이, 상기 회전자(7)의 상기 노즈부(28)와 상기 진공 펌프(1)의 고정자(2) 사이에 배치되도록 의도되는 것을 특징으로 하는 회전자.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   적어도 하나의 회전자 요소(8a, 8b)가, 적어도 2개의 로브(lobe)(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전자.
4. 제3항에 있어서,
   상기 로브들(16)은, 종방향축을 중심으로 하는 나선형 비틀림(helicoidal twist)을 특징적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 회전자.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 회전자 요소들(8a, 8b)의 윤곽들은 상이하고, 상기 제1 회전자 요소(8a)는, 나선형 비틀림을 특징적으로 구비하는 적어도 2개의 로브(16)를 포함하여, 상기 진공 펌프(1)의 유입구(3)와 연통되는 제1 펌핑 스테이지(1a) 내에 배열되도록 의도되며, 상기 적어도 하나의 제2 회전자 요소(8b)는, 적어도 2개의 직선형 로브를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전자.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 허브(9)는, 그가 그 위에 맞물리게 되는 상기 샤프트(5, 6)의 일 단부(5a, 6a)를 수용하도록 구성되어 상기 일 단부를 관통시키는, 중심 개구(15)를 구비하는 것을 특징으로 하는 회전자.
7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 허브(9)는, 상기 회전자(7)가 상기 샤프트(5, 6) 상으로 밀려들어가는 것을 가능하게 하는 상보적 원추형 샤프트(5, 6)의 일 단부(5a, 6a)를 수용하도록 구성되는, 원추형 중심 하우징(32)을 특징적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 회전자.
8. 다중 스테이지 건식 진공 펌프(1)로서,
   - 가스를 유입구(3)와 배출구(4) 사이에서 펌핑되도록 구동하기 위해 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a 내지 1f) 내에서 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는, 2개의 샤프트(5, 6), 및
   - 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 2개의 로터로서, 상기 진공 펌프(1)의 개별적인 샤프트(5,6) 상에 해체 가능하게 맞물리는 것인, 2개의 회전자(7)
   를 포함하는 것인, 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
9. 제8항에 있어서,
   상기 허브(9)는, 상기 진공 펌프(1)의 구동부의 측부에서 상기 배출구(4)와 연통되는 최종 펌핑 스테이지(1f) 내에 배열되는 상기 회전자 요소(8b)의 측부 상에 위치되는, 상기 회전자(7)의 하나의 축방향 단부에 노즈부(28)를 특징적으로 구비하고, 상기 진공 펌프(1)는, 상기 회전자(7)의 상기 노즈부(28)와 상기 고정자(2) 사이에 배치되는 적어도 하나의 시일(29; 38)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
10. 제9항에 있어서,
    상기 시일(38)은, 상기 고정자(2)의 횡방향 벽(43)과 대면하도록 위치되는 디스크(42)를 특징적으로 구비하는 동적 밀봉 링을 포함하고, 상기 진공 펌프(1)는, 상기 횡방향 벽(43)과 상기 디스크(42) 사이에서 방출하는 퍼지 가스 유입구(45)를 구비하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
11. 제9항에 있어서,
    상기 시일(29)은, 마찰(rubbing) 환형 시일을 포함하고, 상기 진공 펌프(1)는, 상기 회전자(7)의 노즈부(28)와 상기 마찰 환형 시일 사이에 배치되는, 마찰 링(35)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
12. 제8항에 있어서,
    상기 진공 펌프(1)의 구동부의 측부에서 상기 배출구(4)와 연통되는 상기 최종 펌핑 스테이지(1f) 내에 배열되도록 의도되는 상기 회전자(7)의 측부 상에서, 상기 회전자(7)의 하나의 축방향 단부에 대항하여 상기 샤프트(5, 6) 상에 장착되는, 설정 및 밀봉 링(46)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
13. 제12항에 있어서,
    상기 설정 및 밀봉 링(46)은, 상기 고정자(2)의 횡방향 벽(43)과 대면하도록 위치되는 디스크를 포함하고, 상기 진공 펌프(1)는, 상기 횡방향 벽(43)과 상기 디스크 사이의 상기 설정 및 밀봉 링(46)의 노즈부 상에서 방출하는 퍼지 가스 유입구(45)를 구비하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
14. 제12항에 있어서,
    상기 설정 및 밀봉 링(46)과 상기 고정자(2) 사이에 배치되는 적어도 하나의 마찰 환형 시일(29)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
15. 제11항 또는 제14항에 있어서,
    오리피스들(30)이, 퍼지 가스를 분사하기 위해 상기 마찰 환형 시일 내에 배열되는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
16. 제8항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 샤프트들(5, 6)은, 외팔보형으로 장착되는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
17. 제16항에 있어서,
    상기 샤프트들(5, 6)은, 진공 펌프(1)의 구동부의 측부 상에서 상기 배출구(4)와 연통되는 상기 최종 펌핑 스테이지(1f)의 측부 상에 위치되는 베어링들에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
18. 제16항 또는 제17항에 있어서,
    상기 회전자들(7)의 상기 허브들(9)은, 중공형 관통-허브들이고, 상기 진공 펌프(1)는, 상기 회전자(7)의 허브(9)의 중심 관통-하우징(15) 내에 장착되는, 밀봉된 방식으로 상기 중심 관통-하우징(15)을 폐쇄하도록 구성되는, 플러그 시일(21)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
19. 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전자들(7)의 상기 허브들(9)은, 중공형 관통-허브들이고, 상기 진공 펌프(1)는, 쌍원추형(biconical) 조립체에 의하여 회전자(7)를 샤프트(5, 6)에 고정하도록 샤프트(5, 6)의 하나의 단부(5a, 6a)와 상기 허브(9) 사이에 배치되는, 상기 허브(9)의 중심 관통-하우징(15) 내에 수용되는, 적어도 하나의 확장가능 클램핑 링(17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
20. 제16항 또는 제17항에 있어서,
    상기 샤프트(5, 6)의 적어도 하나의 단부(5a, 6a)는 원추형이며, 그리고 상기 회전자(7)는, 상기 회전자(7)의 허브(9)에 대해 상보적인 원추형 중심 하우징(32)의 도움으로, 상기 샤프트(5, 6)의 원추형 단부(5a, 6a) 상으로 밀려들어가는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
21. 제8항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 샤프트들(5, 6)은 개별적으로, 적어도 상기 펌핑 스테이지들(1a 내지 1e)의 양 측부 상에 위치되는 2개의 베어링에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 다중 스테이지 건식 진공 펌프.
    

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