TW201738627A - 檢測或補正位置系統及其方法 - Google Patents

Abstract

一種檢測或補正位置系統，其包含有：一基座；一視覺量測單元，其係設於該基座，該視覺量測單元設有一定位標記；以及一控制單元，其係訊號連接該視覺量測單元；其中，該基座係承載一待測物，該待測物設有複數個待測點；該檢測或補正位置系統係執行一校正程序或一檢測程序；於執行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺量測單元係依序移動至各該預定位置，當該視覺量測單元移動至每一該預定位置，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，並將該影像資訊傳送給該控制單元，該控制單元係計算該影像資訊中的該定位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，而產生對應該預定位置之一補正值，並予以補正及記錄；於執行該檢測程序時，該控制單元配合該補正值而控制該視覺量測單元之位置。

Description

檢測或補正位置系統及其方法

一種檢測或補正位置系統及其方法，尤指一種能夠縮短量測時間與提升量測精準度之方法與系統。

薄膜電晶體液晶顯示器(Thin film transistor liquid crystal display，以下簡稱TFT-LCD)，其係廣泛地應用於人們的日常生活中，然TFT-LCD於製程中需進行量測的動作，以確認TFT-LCD能夠進行後續的製程。

但TFT-LCD量測不可避免會有龍門、探針頭或懸臂，或是移動過程中產生有形變，而造成機構偏移量，使得探針頭定址時的位置產生異常。進而導致量測的不準確性。

若以人工方式進行探針頭定位，則要對TFT-LCD之各電晶體一一進行定位，方能達到準確性的要求，但人工方式又往往會耗費大量的工時，故如何在一較短時間內提升量測的精準性就有可討論的空間。

有鑑於上述之課題，本發明之目的在於提供一種檢測或補正位置系統及其方法，其係將待測物分為多個預定位置，視覺量測單元係量測少量的預定位置，並於每次量測後即進行補正動作，藉以縮短量測時間，並提升量測之精準度。

為了達到上述之目的，本發明之技術手段在於提供一種檢測或補正位置系統，其包含有：一基座；一視覺量測單元，其係設於該基座，該視覺量測單元設有一定位標記；以及一控制單元，其係訊號連接該視覺量測單元；其中，該基座係承載一待測物，該待測物設有複數個待測點；該檢測或補正位置系統係執行一校正程序或一檢測程序；於執行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺量測單元係依序移動至各該預定位置，當該視覺量測單元移動至每一該預定位置，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，並將該影像資訊傳送給該控制單元，該控制單元係計算該影像資訊中的該定位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，而產生對應該預定位置之一補正值，並予以補正及記錄；於執行該檢測程序時，該控制單元配合該補正值而控制該視覺量測單元之位置。

於一實施例，該控制單元具有一演算模組、一補償模組與一記錄模組，該演算單元接收該影像資訊，以計算出該定 位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，並將該距離傳送給該補償模組，以產生該補正值，該補償模組係將該補正值傳送給該視覺量測單元與該紀錄模組，該紀錄模組係儲存該補正值；該待測物係為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一電晶體；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。

於一實施例，檢測或補正位置系統更包含一第一移動機構、一第二移動機構、一第三移動機構與一載台，該第一移動機構係設於該基座，並可相對於該待測物於第一方向移動，該第二移動機構係設於該第一移動機構，該第二移動機構可相對於該待測物於第二方向移動，該第三移動機構係設於該第二移動機構，該第三移動機構係可相對於該待測物於第三方向移動，該第三移動機構、該第二移動機構與該第一移動機構係訊號連接該控制單元；該載台係設於該基座，該載台係供該待測物設置。

於一實施例，該視覺量測單元更具有一探針模組，該探針模組係設於該第三移動機構。

於一實施例，該視覺量測單元更具有一視覺擷取模組，該視覺擷取模組係設於該第三移動機構。

於一實施例，檢測或補正位置系統更具有一視覺倍增模組，該視覺倍增模組係設於該第三移動機構。

本發明復提供一種檢測或補正位置方法，其係選擇進行一補正程序時，該補正程序之步驟包含有： 移動視覺至預定位置，一視覺量測單元設有一定位標記，一待測物具有多個待測點，該待測物設定有多個預定位置，各預定位置具有該待測點；選定數個預定位置，已選定之各預定位置之間係具有一預定距離，該預定距離可為數個該預定位置之距離總和；該視覺量測單元係隨機移動至任一預定位置的上方，該視覺量測單元係擷取該預定位置之待測點與該定位標記之影像資訊，該影像資訊係傳送給一控制單元，以使該控制單元能設該定待測點於該定位標記之位置；選擇最近該定位標記之該待測點，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，該影像資訊具有該定位標記與最鄰近的該定位標記之該待測點，該影像資訊傳送給一控制單元；計算該定位標記與該待測點之間的距離，該控制單元依據該影像資訊，以計算出該定位標記與該待測點之間的距離，並依該距離產生一補正值；以及執行記錄及補正，該視覺量測單元依據該補正值進行一補正動作，該控制單元紀錄該補正值。

於一實施例，更具有選擇進行一檢測程序之步驟，該控制單元運用由該補正程序所產生之補正值，而控制該視覺量測單元之位置。

於一實施例，於一是否至下一個預定位置之步驟，若為否，則至結束；若為是，則回至該移動視覺至預定位置之步驟，以產生另一補正值，該控制單元係紀錄該另一補正值，該視 覺量測單元係進行另一補正動作。

本發明又提供一種檢測或補正位置方法，其係選擇進行一檢測程序時，該檢測程序之步驟包含有：一控制單元運用由一補正程序所產生之補正值，而控制一視覺量測單元之位置。

於一實施例，更具有選擇進行一補正程序之步驟，其步驟包含有：移動視覺至預定位置，該視覺量測單元設有一定位標記，一待測物具有多個待測點，該待測物設定有多個預定位置，各預定位置具有該待測點；選定數個預定位置，已選定之各預定位置之間係具有一預定距離，該預定距離可為數個該預定位置之距離總和；該視覺量測單元係隨機移動至任一預定位置的上方，該視覺量測單元係擷取該預定位置之待測點與該定位標記之影像資訊，該影像資訊係傳送給該控制單元，以使該控制單元能設該定待測點於該定位標記之位置；選擇最近該定位標記之該待測點，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，該影像資訊具有該定位標記與最鄰近的該定位標記之該待測點，該影像資訊傳送給該控制單元；計算該定位標記與該待測點之間的距離，該控制單元依據該影像資訊，以計算出該定位標記與該待測點之間的距離，並依該距離產生一補正值；以及執行記錄及補正，該視覺量測單元依據該補正值進行一補正 動作，該控制單元紀錄該補正值。

於一實施例，進一步具有一是否至下一個預定位置之步驟，若為否，則至結束；若為是，則回至該移動視覺至預定位置之步驟，以產生另一補正值，該控制單元係紀錄該另一補正值，該視覺量測單元係進行另一位置補正動作；該待測物係為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一電晶體；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。

於一實施例，更包含有一設定待測點於定位標記之位置之步驟，選定該待測點於該定位標記之位置，以設定該定位標記與該待測點之距離，該設定係傳送給該控制單元，該控制單元係紀錄該設定。

於一實施例，於計算定位標記與待測點之間的距離之步驟，一演算模組依據該量測結果，以計算出該定位標記與該待測點之間的距離，該距離傳送給一補償模組，以產生一補正值，該補正值傳送給該視覺量測單元與一紀錄模組。

綜合上述，本發明之檢測或補正位置系統及其方法，其係使視覺量測單元量測少量的待測物之預定位置，而於每次量測後，即可立即執行補正的動作，藉此縮短量測時間，並提升量測的精準性。

1‧‧‧待測物

10‧‧‧待測點

11‧‧‧預定位置

2‧‧‧視覺量測單元

20‧‧‧基座

21‧‧‧第一移動機構

22‧‧‧第三移動機構

23‧‧‧視覺擷取模組

230‧‧‧定位標記

24‧‧‧探針模組

25‧‧‧第二移動機構

26‧‧‧載台

27‧‧‧對位視覺擷取模組

3‧‧‧控制單元

30‧‧‧演算模組

31‧‧‧補償模組

32‧‧‧紀錄模組

S1~S6‧‧‧步驟

第1圖為一待測物之示意圖。

第2圖為本發明之檢測或補正位置系統之示意圖。

第3圖為本發明之檢測或補正位置系統之示意圖。

第4圖為本發明之檢測或補正位置方法之流程示意圖。

第5圖為定位標記與待測點之示意圖。

第6圖為定位標記與鄰近該定位標記之待測點之示意圖。

第7圖為定位標記位於待測物之預定位置的上方之示意圖。

以下係藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，所屬技術領域中具有通常知識者可由本說明書所揭示之內容，輕易地瞭解本發明之其他優點與功效。

請配合參考第2圖與第3圖所示，本發明係一種檢測或補正位置系統，其係執行一檢測程序或一校正程序，該檢測或補正位置系統包含有一基座20、一視覺量測單元2、一移動單元、一載台26與一控制單元3。

載台26係設於基座20。載台26係供一待測物1設置。請配合參考第1圖至第3圖所示，待測物1具有複數個待測點10，待測點10係以D_m×D_n矩陣排列，m、n為常數，m、n可依實際待測物1之尺寸而變更，故不限定。待測物1設定有複數預定位置11，各預定位置11具有一待測點10。該待測物1係為一待測基板或一待測面板，當該待測物1為待測基板時，該待測點10為一電晶體；當該待 測物1為待測面板時，該待測點10為一像素。

視覺量測單元2具有一視覺擷取模組23、一探針模組24與至少一對位視覺擷取模組27，該視覺擷取模組23與該探針模組24之間隔距離為現有已知技術，故不於此多論述，特先陳明。

移動單元具有一第一移動機構21、一第二移動機構25與一第三移動機構22。

第一移動機構21係滑設於基座20的頂端，並相對於待測物1於第一方向移動。

第二移動機構25係設於第一移動機構21，並相對於待測物1於第二方向移動。

第三移動機構22係設於第二移動機構25，並相對於待測物1於第三方向移動。

視覺擷取模組23係設於第三移動機構22，請配合參考第5圖所示，視覺擷取模組23具有一定位標記230。探針模組24係是設於第三移動機構22。

舉例而言，上述之第一移動機構21、第二移動機構25與第三移動機構係能夠進行上述之第一方向移動、第二方向移動或第三方向移動，直至視覺擷取模組23移動至預定位置11，或者探針模組23移動至預定位置11。

視覺擷取模組23係擷取一影像資訊，該影像資訊包含有定位標記230與鄰近該定位標記230之待測點10，如第6圖所示。探針模組24係對待測點10進行量測，因探針模組24非本案之 重點，故不再進一步論述，特先陳明。

因探針模組24係可依據實際需求，而決定是否要設置探針模組24。若未設置探針模組24，可以用一視覺倍增模組替換探針模組24，該視覺倍增模組係配合視覺擷取模組23，以供工作人員操作，並放大待測點11之影像，以進行人工目視檢查。

對位視覺擷取模組27係設於載台26的至少一側，於本實施例中，對位視覺擷取模組27係設於載台26的兩側。對位視覺擷取模組25係擷取位於載台26之待測物1之影像，擷取該影像係確認待測物1係位於載台26所設定的位置，若由該影像中判定待測物1有偏位的情況，可對待測物1進行調整。以避免待測物1偏位。

控制單元3係訊號連接該基座20與視覺量測單元2。控制單元3具有一演算模組30、一補償模組31與一紀錄模組32。

演算單元30接收該影像資訊，以計算出定位標記230與待測點10之間的距離，並將該距離傳送給補償模組31，以產生一補正值，補償模組31係將該補正值傳送給視覺量測單元2與紀錄模組32，紀錄模組32係儲存該補正值，視覺量測單元2依據該補正值，以進行一補正動作，該補正動作係可視為一校正程序。該控制單元3配合補正值而控制視覺量測單元2之位置，其係可視為一檢測程序。

請配合參考第1圖至第4圖所示，本發明係一種檢測或補正位置方法，其係選擇進行一補正程序，該檢測或補正位置方法之步驟包含有：

S1，設定待測點於定位標記之位置，如第5圖所示，視覺擷取模組23設有定位標記230，如上所述與第1圖所示，待測物1設有多個預定位置11，為了便於說明，故預定位置11以第1圖之D₁至D_n或D₁至D_m表示。

若選擇D₃、D₆、D₉至D_3X，或者D₂、D₄、D₆至D_2X。X為常數。如前所述，已選定之各預定位置11之間係具有預定距離，該預定距離可為數個預定位置11之距離總和，預定位置11的數量係不限定，其係依現場之工作人員所設定。

舉例而言，選擇預定位置11時，應考量移動單元於移動過程有可會產生機械誤差，視覺量測單元2原本預定移至D₉，但因機械誤差量過大，有可能移動至D₈或D₁₀，所以該移動單元於移動上述之距離總和的機械誤差值係小於一個待測點10的尺寸，以避免移動單元將視覺量測單元2移動至偏離已選定之預定位置11的位置。

設定待測點10於定位標記230之位置時，視覺擷取模組23係選定或隨機移動至一待測點10的上方，並選定該待測點10於該定位標記230之位置。如第5圖所示，選定該電晶體(待測點10)於該定位標記230之位置。視覺擷取模組23係擷取該待測點10與定位標記230之影像資訊，該影像資訊係傳送給控制單元3，以使控制單元3能設定待測點10於定位標記230之位置。

S2，移動視覺至預定位置，上述之移動單元係進行第一方向移動、第二方向移動或第三方向移動，以使視覺擷取模 組23移動至一預定位置11。

S3，選擇最近定位標記之待測點，如步驟S2所述，視覺擷取模組23的定位標記230係位於待測物1之預定位置11的上方，視覺擷取模組23係擷取一影像資訊，該影像資訊包含定位標記230與鄰近的定位標記230之待測點10，該影像資訊係傳送給一控制單元3，而選出最鄰近定位標記230之待測點10。若更進一步說明，該影像資訊應為定位標記230與所選擇的最鄰近定位標記230之待測點10之影像。

S4，計算定位標記與待測點之間的距離，控制單元3之演算模組30依據影像資訊，以計算出定位標記230與最鄰近的定位標記230之待測點10之間的距離，該距離傳送給補償模組31，以產生一補正值，補償模組31係將補正值傳送給視覺量測單元2與紀錄模組32。

S5，執行記錄及補正，視覺量測單元2依據補正值進行一補正動作，而使視覺擷取模組23的定位標記230位於待測物1之預定位置11的上方，紀錄模組紀錄補正值，如第7圖所示。

S6，是否至下一個預定位置，若為否，則至結束；若為是，則回至步驟S2，以產生另一補正值，控制單元3係紀錄另一補正值，視覺量測單元2係進行另一補正動作。舉例而言，若以上述之D₃、D₆、D₉至D_3X說明，而第一個預定位置11可為D₃，則下一個預定位置係可依序為D₆、D₉至D_3X。

而於上述之D₃、D₆、D₉至D_3X係各產生一補正值。

如上所述之補正程序，若以執行上述之補正程序，則可進一步選擇進行一檢測程序之步驟，該控制單元3運用由該補正程序所產生之補正值，而控制該視覺量測單元2之位置。

本發明係一種檢測或補正位置方法，其係可進一步選擇進行一檢測程序，該檢測或補正位置方法之步驟包含有：控制單元3運用由一補正程序所產生之補正值，而控制視覺量測單元2之位置。

當視覺量測單元2移動至預定位置11時，視覺量測單元2因受到上述之補正值補正，因此定位標記230會接近一待測點10，如第7圖所示，以使探針模組24量測最接近定位標記230的待測點10。或者以視覺擷取模組23配合視覺倍增模組進行檢測程序。

舉例而言，若以上述之D₃、D₆、D₉至D_3X說明，假若於檢測時，視覺擷取模組23或探針模組24可能移動至D₆與D₉之間，所以控制單元選擇D₆之補正值與D₉之補正值，並以一數學運算，而得出一新的補正值，該新的補正值係提供給視覺量測單元2，以使視覺量測單元2進行一位置補正動作，待位置補正動作完成後，則可進行一檢測程序。

若更進一步說明，若視覺量測單元2於進行檢測程序，移動至非預定位置11時，控制單元3係選擇位於該非預定位置11之前一預定位置11的補正值與後一預定位置11的補正值，並將二補正值以一數學運算，以得出新的補正值，該新的補正值係提供給視覺量測單元2，以使視覺量測單元2進行一位置補正動作， 待位置補正動作完成後，則可進行一檢測程序。

如上所述之檢測程序，其可進一步選擇進行補正程序，該補正程序係如上所述，故不於此贅述。

綜合上述，本發明之檢測或補正位置系統及其方法，其係將待測物1分為複數預定位置11，視覺量測單元2只需量測所選定的預定位置11，預定位置11的數量可依實際數量而決定，因此可於較短的時間內，即可使視覺量測單元2進行補正。

另外，檢測或補正位置系統係可選擇進行補正程序或檢測程序，其係依據實據需求，而設定檢測或補正位置系統進行檢測程序與補正程序的順序或僅執行其一。

以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本發明之特點及功效，而非用於限定本發明之可實施範疇，於未脫離本發明上揭之精神與技術範疇下，任何運用本發明所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。

綜上所述，本發明雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

1‧‧‧待測物

2‧‧‧視覺量測單元

20‧‧‧基座

21‧‧‧第一移動機構

22‧‧‧第三移動機構

23‧‧‧視覺擷取模組

24‧‧‧探針模組

25‧‧‧第二移動機構

26‧‧‧載台

3‧‧‧控制單元

30‧‧‧演算模組

31‧‧‧補償模組

32‧‧‧紀錄模組

Claims (13)

1. 一種檢測或補正位置系統，其包含有：一基座；一視覺量測單元，其係設於該基座，該視覺量測單元設有一定位標記；以及一控制單元，其係訊號連接該視覺量測單元；其中，該基座係承載一待測物，該待測物設有複數個待測點；該檢測或補正位置系統係執行一校正程序或一檢測程序；於執行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺量測單元係依序移動至各該預定位置，當該視覺量測單元移動至每一該預定位置，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，並將該影像資訊傳送給該控制單元，該控制單元係計算該影像資訊中的該定位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，而產生對應該預定位置之一補正值，並予以補正及記錄；於執行該檢測程序時，該控制單元配合該補正值而控制該視覺量測單元之位置。
2. 如申請專利範圍第1項所述之檢測或補正位置系統，其中該控制單元具有一演算模組、一補償模組與一記錄模組，該演算單元接收該影像資訊，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，並將該距離傳送給該補償模組，以產生該補正值，該補償模組係將該補正值傳送給該視覺量測單元與該紀錄模組，該紀錄模組係儲存該補正值；該待測物係為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一電晶體；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。
3. 如申請專利範圍第1項所述之檢測或補正位置系統，其更包含一第一移動機構、一第二移動機構、一第三移動機構與一載台，該第一移動機構係設於該基座，並可相對於該待測物於第一方向移動，該第二移動機構係設於該第一移動機構，該第二移動機構可相對於該待測物於第二方向移動，該第三移動機構係設於該第二移動機構，該第三移動機構係可相對於該待測物於第三方向移動，該第三移動機構、該第二移動機構與該第一移動機構係訊號連接該控制單元；該載台係設於該基座，該載台係供該待測物設置。
4. 如申請專利範圍第3項所述之檢測或補正位置系統，其中該視覺量測單元更具有一探針模組，該探針模組係設於該第三移動機構。
5. 如申請專利範圍第3項所述之檢測或補正位置系統，其中該視覺量測單元更具有一視覺擷取模組，該視覺擷取模組係設於該第三移動機構。
6. 如申請專利範圍第5項所述之檢測或補正位置系統，其更具有一視覺倍增模組，該視覺倍增模組係設於該第三移動機構。
7. 一種檢測或補正位置方法，其係選擇進行一補正程序時，該補正程序之步驟包含有：移動視覺至預定位置，一視覺量測單元設有一定位標記，一待測物具有多個待測點，該待測物設定有多個預定位置，各預定位置具有該待測點；選定數個預定位置，已選定之各預定位置之間係具有一預定距離，該預定距離可為數個該預定位置之 距離總和；該視覺量測單元係隨機移動至任一預定位置的上方，該視覺量測單元係擷取該預定位置之待測點與該定位標記之影像資訊，該影像資訊係傳送給一控制單元，以使該控制單元能設該定待測點於該定位標記之位置；選擇最近該定位標記之該待測點，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，該影像資訊具有該定位標記與鄰近的該定位標記之該待測點，該影像資訊傳送給一控制單元，由控制單元選出最鄰近該定位標記之待測點；計算該定位標記與該待測點之間的距離，該控制單元依據該影像資訊，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，並依該距離產生一補正值；以及執行記錄及補正，該視覺量測單元依據該補正值進行一位置補正動作，該控制單元紀錄該補正值。
8. 如申請專利範圍第7項所述之檢測或補正位置方法，其更具有選擇進行一檢測程序之步驟，該控制單元運用由該補正程序所產生之補正值，而控制該視覺量測單元之位置。
9. 一種檢測或補正位置方法，其係選擇進行一檢測程序時，該檢測程序之步驟包含有：一控制單元運用由一補正程序所產生之補正值，而控制一視覺量測單元之位置。
10. 如申請專利範圍第9項所述之檢測或補正位置方法，其更具有選擇進行一補正程序之步驟，其步驟包含有：移動視覺至預定位置，該視覺量測單元設有一定位標 記，一待測物具有多個待測點，該待測物設定有多個預定位置，各預定位置具有該待測點；選定數個預定位置，已選定之各預定位置之間係具有一預定距離，該預定距離可為數個該預定位置之距離總和；該視覺量測單元係隨機移動至任一預定位置的上方，該視覺量測單元係擷取該預定位置之待測點與該定位標記之影像資訊，該影像資訊係傳送給該控制單元，以使該控制單元能設該定待測點於該定位標記之位置；選擇最近該定位標記之該待測點，該視覺量測單元係擷取一影像資訊，該影像資訊具有該定位標記與鄰近的該定位標記之該待測點，該影像資訊傳送給該控制單元，由控制單元選出最鄰近該定位標記之待測點；計算該定位標記與該待測點之間的距離，該控制單元依據該影像資訊，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記之該待測點之間的距離，並依該距離產生一補正值；以及執行記錄及補正，該視覺量測單元依據該補正值進行一位置補正動作，該控制單元紀錄該補正值。
11. 如申請專利範圍第7或10項所述之檢測或補正位置方法，其進一步具有一是否至下一個預定位置之步驟，若為否，則至結束；若為是，則回至該移動視覺至預定位置之步驟，以產生另一補正值，該控制單元係紀錄該另一補正值，該視覺量測單元係進行另一位置補正動作；該待測物係為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一電晶體；當該待測物為待測 面板時，該待測點為一像素。
12. 如申請專利範圍第7或10項所述之檢測或補正位置方法，其更包含有一設定待測點於定位標記之位置之步驟，選定該待測點於該定位標記之位置，以設定該定位標記與該待測點之距離，該設定係傳送給該控制單元，該控制單元係紀錄該設定。
13. 如申請專利範圍第7或10項所述之檢測或補正位置方法，其中於計算定位標記與待測點之間的距離之步驟，一演算模組依據該量測結果，以計算出該定位標記與該待測點之間的距離，該距離傳送給一補償模組，以產生一補正值，該補正值傳送給該視覺量測單元與一紀錄模組。