TW201732274A

TW201732274A - 照明裝置及檢查裝置

Info

Publication number: TW201732274A
Application number: TW105139614A
Authority: TW
Inventors: 茂野幸英
Original assignee: 斯庫林集團股份有限公司
Priority date: 2016-02-29
Filing date: 2016-12-01
Publication date: 2017-09-16
Also published as: JP2017156132A; TWI622765B; KR20170101812A; JP6625901B2; CN107132231A; KR101920552B1

Abstract

本發明係容易地使對象物之平均單位面積之光之照射強度提高。本發明之照明裝置具備出射部行與反射部。此處，出射部行具有沿預先設定之排列方向排列且各自朝預先設定之出射方向出射光之複數個出射部。反射部具有於自與排列方向交叉之交叉方向俯視時，以與排列方向正交之方式配置且可反射光之反射面。又，複數個出射部包含出射同種光之2個以上之出射部，且2個以上之出射部包含自靠近反射面之側起依序排列之第1個出射部與第2個出射部。且，於交叉方向俯視時，反射面與第1個出射部之第1間隔為第1個出射部與第2個出射部之第2間隔之一半以下。

Description

照明裝置及檢查裝置

本發明係關於一種照明裝置、及具備該照明裝置之檢查裝置。

已知有一種檢查印刷基板等各種基板之外觀之技術(例如，專利文獻1～5等)。該技術中，例如，對形成有焊接部及金屬之配線圖案等之類的各種構造之基板，藉由利用攝像感測器等進行拍攝而獲得圖像，且藉由以該圖像為對象之圖像處理，而可自動檢測各種構造之狀態及缺陷等。然而，一般之印刷基板等會有於金屬之配線圖案之表面存在多條壓延痕等凹凸之情形。於該情形下，例如，若採用自正面對檢查之對象區域(亦稱為檢查對象區域)照射光之落射照明(直接照明)，會有例如將表面之凹凸拍攝為具有過強之對比度的部分之情形。此時，僅憑圖像處理，難以區分具有過強對比度之部分及其以外之部分，而不易自圖像適當地檢測缺陷等。因此，提出一種使用藉由使來自光源之光於半球狀之圓頂之內表面反射而照射於檢查對象區域，而擴大照射於檢查對象區域之光之角度範圍(亦稱為照射角度範圍、照射立體角)之所謂漫射照明之技術(例如專利文獻1等)。藉此，可抑制於圖像中將凹凸拍攝為具有過強之對比度之部分之異常。另一方面，檢查對象區域只要為壓延痕等凹凸較少之鏡面狀，則藉由漫射照明照射光時，可將檢查對象區域拍攝為極暗之區域。因此，例如，考慮對使用半球狀之圓頂之漫射照明組合落射照明之照明(例如專利文獻2等)。例如，可採用藉由半反射鏡對檢查對象區域照射具有以針對攝像感測器設置之攝像透鏡之光軸為中心軸之光束之光之照明(亦稱為同軸落射照明)。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2004-125644號公報 [專利文獻2]日本專利特開平11-84258號公報 [專利文獻3]日本專利特開平8-29138號公報 [專利文獻4]日本專利特開2000-266681號公報 [專利文獻5]日本專利特開2011-69651號公報

[發明所欲解決之問題] 然而，例如，於專利文獻1之技術中，以半球狀之圓頂之內表面反射之光被大致均一地照射於圓形之較廣區域。因此，例如，於使用線性感測器及矩形狀之區域感測器等之情形時，未藉由感測器拍攝之區域亦會被照射光，而招致光之利用效率下降。又，例如，於專利文獻2之技術中，因存在同軸落射照明用之半反射鏡，故而自檢查對象區域到達攝像感測器之光之強度減小，光之利用效率下降。又，例如，於專利文獻3之技術中，於半球面形狀之框架配置藍色LED(Light Emitting Diode：發光二極體)，而對被檢查物之所有反射面照射照射光。因此，例如，需要配置多個藍色LED，而因藍色LED之配置數增加，招致檢查裝置之製造所需之材料及成本增大、以及檢查裝置之能量消耗量增大。又，例如，於專利文獻4之技術中，將光導器之光出射面形成為包圍被檢查物之線狀照射區域之大致半圓筒面。因此，例如會招致包含光源在內之照明裝置之過度大型化。尤其是於例如攝像元件與光源一同地一面掃描、一面進行拍攝之態樣中，可能產生照明裝置之大型化、及掃描各種構成所需之能量消耗量增大等異常。又，例如，於專利文獻5之技術中，不僅以漫射照明進行落射照明。因此，只要檢查對象區域為壓延痕等凹凸較少之鏡面狀，則為了將檢查對象區域拍攝為較明亮，必須使發光量增大，而可能產生照明裝置之能量消耗量增大等之類的異常。即，於上述專利文獻1～5之檢查技術中，例如尚有一方面抑制消耗能量增大、一方面以簡單之構成改善光之利用效率之餘地。此種課題並非僅限於檢查裝置，而是共通存在於對於期望之區域照射光之一般技術。本發明係鑑於上述課題而完成者，其目的在於提供一種可容易地使對象物之平均單位面積之光之照射強度提高之技術。 [解決問題之技術手段] 為解決上述課題，第1態樣之照明裝置具備：出射部行，其具有沿預先設定之排列方向排列且各自朝預先設定之出射方向出射光之複數個出射部；及反射部，其具有於自與上述排列方向交叉之交叉方向俯視時，以與上述排列方向正交之方式配置且可反射光之反射面；且上述複數個出射部包含出射同種光之2個以上之出射部；上述2個以上之出射部包含自靠近上述反射面之側起依序排列之第1個出射部與第2個出射部；於上述交叉方向俯視時，上述反射面與上述第1個出射部之第1間隔為上述第1個出射部與上述第2個出射部之第2間隔之一半以下。第2態樣之照明裝置係如第1態樣之照明裝置，其中，上述複數個出射部包含出射第1種光之2個以上之第1出射部、與出射第2種光之2個以上之第2出射部；且上述2個以上之第1出射部包含自靠近上述反射面之側起依序排列之第1個第1出射部與第2個第1出射部；上述2個以上之第2出射部包含自靠近上述反射面之側起依序排列之第1個第2出射部與第2個第2出射部；於上述交叉方向俯視時，上述反射面與上述第1個第1出射部之第3間隔為上述第1個第1出射部與上述第2個第1出射部之第4間隔之一半以下；於上述交叉方向俯視時，上述反射面與上述第1個第2出射部之第5間隔為上述第1個第2出射部與上述第2個第2出射部之第6間隔之一半以下；上述第5間隔短於上述第3間隔；上述第6間隔短於上述第4間隔。第3態樣之照明裝置係如第2態樣之照明裝置，其中，上述第1種光包含紅色光，上述第2種光包含藍色光。第4態樣之照明裝置係如第2或第3態樣之照明裝置，其具備：控制部，其可選擇性地設定為包含自上述2個以上之第1出射部分別出射上述第1種光之第1種出射狀態、與自上述2個以上之第2出射部分別出射上述第2種光之第2種出射狀態之2種以上之出射狀態中之1種出射狀態。第5態樣之照明裝置係如第1至第3中任1態樣之照明裝置，其具備：複數行上述出射部行；且該等複數行出射部行具有：第1出射部行，其具有沿上述排列方向排列且各自朝第1出射方向出射光之第1複數個出射部；及第2出射部行，其具有沿上述排列方向排列且各自朝第2出射方向出射光之第2複數個出射部；且於上述排列方向俯視時，上述第1出射方向與上述第2出射方向交叉；且該照明裝置具備：控制部，其可選擇性地設定為包含自上述第1複數個出射部出射光之第1點亮狀態、與自上述第2複數個出射部出射光之第2點亮狀態之2個以上之點亮狀態中之1個點亮狀態。第6態樣之檢查裝置具備：如第1至第5中任1態樣之照明裝置；及受光感測器，其接收來自位於自上述複數個出射部朝上述出射方向虛擬地延伸之直線上之檢查對象區域之光，而可取得與來自該檢查對象區域之光之強度之空間分佈相應之信號。第7態樣之檢查裝置具備：如第2至第4中任1態樣之照明裝置；及受光感測器，其接收來自位於自上述複數個出射部朝上述出射方向虛擬地延伸之直線上之檢查對象區域之光，而可取得與來自該檢查對象區域之光之強度之空間分佈相應之信號；且該受光感測器包含：複數個二極體，其等沿對應於上述排列方向之方向排列且可各自取得與所接收之光之強度相應之信號。 [發明之效果] 根據第1至第5中任一態樣之照明裝置，例如因存在反射面，故出射部行模擬地延伸，因此，可容易地提高對象物之平均單位面積之光之照射強度。根據第2至第4中任一態樣之照明裝置，例如可實現與受光感測器之受光感度相應之照明。根據第3或第4態樣之照明裝置，例如可實現與藍色之感度較紅色更低之受光感測器相應之照明。根據第5態樣之照明裝置，例如可對應於對象物之狀態而切換光之照射角度。根據第6或第7態樣之檢查裝置，例如可容易地提高與以受光感測器獲得之來自檢查對象物之光之強度之空間分佈相應之信號之強度。因此，例如可提高檢查之精度。根據第7態樣之檢查裝置，例如藉由實現與受光感測器之受光感度相應之照明狀態，而可提高檢查之精度。

以下，基於圖式說明本發明之一實施形態及各種變化例。另，於圖式中對具有相同構成及功能之部分標註相同符號，並於以下說明中省略重複說明。又，圖式為模式性顯示者，各圖之各種構造之尺寸及位置關係等可適當變更。另，於圖1至圖6及圖8中，標註有以測定部5之掃描方向(圖1之右方向)為+X方向，以試樣支持台3之移動方向(圖1之上方向)為+Y方向之右手系之XYZ座標系。又，於圖7、圖9至圖13中，標註有表示上述XYZ座標系中之Y方向之箭頭。＜(1)檢查裝置之概略＞圖1係例示一實施形態之檢查裝置1之概略構成之俯視模式圖。圖2係例示一實施形態之檢查裝置1之概略構成之前視模式圖。檢查裝置1係檢查物體之狀態之裝置。此處，於物體中，例如可包含各種基板等各種工業製品等。於物體之狀態中，例如可包含形成於配線基板上之配線圖案之狀態等之類的各種工業形成之構造之狀態等。且，於構造之狀態中，例如可包含配線圖案之缺陷及斷線等。如圖1及圖2所示，檢查裝置1例如具備基台部2、試樣支持台3、門型構造體4、測定部5、纜線保護鏈條6(Cableveyor，註冊商標)及控制部7。基台部2係成為檢查裝置1之基座之部分。該基台部2例如具有本體部21及線性導引器22L、22R。本體部21係例如具有大致平坦之上表面21U之厚板狀之部分。線性導引器22L、22R具有形成於上表面21U上之相互分開且平行地延伸之2條軌道部22Lr、22Rr、與滑動部22Ls、22Rs。此處，例如，2條軌道部22Lr、22Rr於+Y方向上延伸。且，於線性導引器22L中，將滑動部22Ls於軌道部22Lr上沿該軌道部22Lr之延伸方向(此處，為±Y方向)滑動自如地設置。又，於線性導引器22R中，將滑動部22Rs於軌道部22Rr上沿該軌道部22Rr之延伸方向(此處，為±Y方向)滑動自如地設置。試樣支持台3係例如具有大致平坦之上表面3U之厚板狀之部分。該試樣支持台3安裝於滑動部22Ls、22Rs上。即，試樣支持台3係相對於基台部2沿±Y方向滑動自如地設置。另，試樣支持台3係藉由利用省略圖示之驅動部施加驅動力，而可沿線性導引器22L、22R滑動。於上表面3U，載置檢查之對象物(亦稱為檢查對象物)W1。此處，以一點鏈線描繪載置檢查對象物W1之區域。門型構造體4係於基台部2上設置為門型之部分。此處，門型構造體4固定於基台部2。又，於門型構造體4與基台部2之間，形成有可供試樣支持台3通過之空間SP0。門型構造體4具有於水平方向上延伸之樑部41及設置於該樑部41之上表面之線性導引器42。線性導引器42具有於+X方向上延伸之軌道部42r、及相對於該軌道部42r滑動自如地設置之滑動部42s。測定部5例如具有殼體部51及掃描部52。殼體部51安裝於滑動部42s。即，殼體部51係相對於樑部41沿±X方向滑動自如地設置。另，殼體部51係藉由利用省略圖示之驅動部施加驅動力，而可沿線性導引器42滑動。掃描部52例如設置於殼體部51內，可取得捕捉載置於試樣支持台3之上表面3U上之檢查對象物W1之圖像。於殼體部51之對向於試樣支持台3之面，設置有可藉由掃描部52進行檢查對象物W1之拍攝之窗部。窗部例如可為單純之開口，亦可藉由玻璃板等具有透光性之構件形成。且，於此處，藉由交替地進行測定部5向±X方向之移動(主掃描)、及載置有檢查對象物W1之試樣支持台3向+Y方向之移動(副掃描)，而可取得自上表面側2維地捕捉檢查對象物W1之圖像。另，例如，若以遮光構件覆蓋測定部5之掃描路徑，則自掃描部52照射至檢查對象物W1之光不會洩漏至周圍，可成為良好的作業環境。纜線保護鏈條6係支持配線纜線之部分，該配線纜線係一方面使測定部5可於±X方向移動，一方面可連接測定部5與控制部7之間。控制部7可控制檢查裝置1整體之動作，且取得以測定部5獲得之圖像而進行各種運算。藉由該等各種運算，可檢查檢查對象物W1之狀態。此處，例如，藉由比較以測定部5獲得之圖像或對該圖像施加圖像處理後之圖像、及表示基準構造之圖像，而可檢測各種缺陷等。此處，於檢查裝置1整體之動作中，例如包含測定部5向±X方向之移動(主掃描)、試樣支持台3向+Y方向之移動(副掃描)及掃描部52之動作。另，作為控制部7，例如可採用具有記憶部、可讀出儲存於該記憶部內之程式而執行之處理器、及可暫時記憶資料之記憶體等者。作為控制部7之一例，列舉個人電腦等。＜(2)掃描部＞＜(2-1)掃描部之概略構成＞圖3係例示掃描部52之概略構成之前視模式圖。如圖3所示，掃描部52具備照明部521及受光感測器522。照明部521具備第1～9照明模組M1～M9。第1～9照明模組M1～M9各自具有大致相同之構成，且自+Y方向俯視時，具有以位於檢查對象物W1上之點Ps0為中心之旋轉對稱之關係。另，該點Ps0於自-Z方向俯視之情形時，相當於在檢查對象物W1上於+Y方向上直線狀延伸之光照射之區域(亦稱為照射對象區域)As0(參照圖7等)。又，於圖3中，分別描繪有第m個(m為1～9之整數)第ｍ照明模組Mm之光軸Lpm。此處，於第m照明模組Mm中，例如，自具有沿作為預先設定之方向(亦稱為排列方向)之+Y方向排列之複數個出射部Em之出射部行ELm朝沿著光軸Lpm之方向出射光。且，朝沿著光軸Lpm之方向出射之光例如經由第1透鏡部Lma及第2透鏡部Lmb而照射於點Ps0(照射對象區域As0)。於各出射部Em，例如可應用發光二極體(LED)等指向性強之光源。圖4係例示照明部521之第1透鏡部Lma及第2透鏡部Lmb之排列態樣之立體圖。於圖4中，由於著眼於第1透鏡部Lma及第2透鏡部Lmb，故適當省略複數個出射部E1～E9及反射部Rf1(參照圖7等)之記載。如圖4所示，於第m照明模組Mm中，第1透鏡部Lma及第2透鏡部Lmb各自沿複數個出射部Em之排列方向(+Y方向)延伸。因此，第1～9照明模組M1～M9之第2透鏡部L1b～L9b係排列成半圓筒狀。即，第2透鏡部L1b～L9b係以包圍半圓柱狀之空間Asc之方式配置。進而，於較第2透鏡部L1b～L9b更外側，將第1透鏡部L1a～L9a排列成半圓筒狀。即，將第1透鏡部L1a～L9a以包圍半圓柱狀之空間之方式排列。就其他觀點而言，將第1透鏡部L1a～L9a與第2透鏡部L1b～L9b以隔著半圓筒狀之空間Ahc之方式排列。此處，例如，於半圓筒狀之空間Ahc之一端(-Y側之端部)配置有反射部Rf1(參照圖7等)，於半圓筒狀之空間Ahc之另一端(+Y側之端部)配置有反射部Rf1(參照圖7等)。又，於半圓柱狀之空間Asc之一端(-Y側之端部)配置有反射部Rf1，於半圓柱狀之空間Asc之另一端(+Y側之端部)配置有反射部Rf1(參照圖7等)。又，如圖3所示，於+Y方向俯視之情形時，第1～9照明模組M1～M9之光軸Lp1～Lp9相當於使檢查對象物W1之虛擬之法線Lv0以點Ps0為中心逆時針旋轉67.5、52.5、37.5、22.5、7.5、-22.5、-37.5、-52.5及-67.5度而獲得之直線。因此，例如，若於+Y方向俯視，則第1照明模組M1之光軸Lp1相對於法線Lv0朝以點Ps0為中心逆時針旋轉之方向傾斜67.5度，第2照明模組M2之光軸Lp2相對於法線Lv0朝以點Ps0為中心逆時針旋轉之方向傾斜52.5度。又，若於+Y方向俯視，則第3照明模組M3之光軸Lp3相對於法線Lv0朝以點Ps0為中心逆時針旋轉之方向傾斜37.5度，第4照明模組M4之光軸Lp4相對於法線Lv0朝以點Ps0為中心逆時針旋轉之方向傾斜22.5度。又，若於+Y方向俯視，第5照明模組M5之光軸Lp5相對於法線Lv0向以點Ps0為中心逆時針旋轉之方向傾斜7.5度。又，若於+Y方向俯視，則第6照明模組M6之光軸Lp6相對於法線Lv0向以點Ps0為中心順時針旋轉之方向傾斜22.5度，第7照明模組M7之光軸Lp7相對於法線Lv0向以點Ps0為中心順時針旋轉之方向傾斜37.5度。又，若於+Y方向俯視，則第8照明模組M8之光軸Lp8相對於法線Lv0向以點Ps0為中心順時針旋轉之方向傾斜52.5度，第9照明模組M9之光軸Lp9相對於法線Lv0向以點Ps0為中心順時針旋轉之方向傾斜67.5度。根據上述第1～9照明模組M1～M9，可自各種角度對檢查對象物W1上之點Ps0(照射對象區域As0)進行照明。此時，於各第m照明模組Mm中，點Ps0(照射對象區域As0)位於沿光自複數個出射部Em出射之方向(亦稱為出射方向)直線延伸之光軸Lpm上。然而，此處，可藉由控制部7之控制，控制照明部521之點亮及熄滅。因此，既可視為由單體之照明部521構成照明裝置8，亦可視為由包含照明部521與控制部7之構成而構成照明裝置8。且，於照明裝置8包含照明部521與控制部7之情形時，於照明裝置8中，可藉由控制部7而控制第1～9照明模組M1～M9之點亮狀態。例如，可將第1～9照明模組M1～M9中之1個以上之照明模組選擇性地設定為點亮之狀態。具體而言，例如，可設定為於自第m照明模組Mm之複數個出射部Em出射光之狀態(亦稱為第m點亮狀態)中之至少1個點亮狀態。例如，可選擇性地設定為包含第1點亮狀態與第2點亮狀態之2個以上之點亮狀態中之1個點亮狀態。受光感測器522例如具有線性感測器Ls1。線性感測器Ls1包含沿對應於排列方向(+Y方向)之方向排列之複數個受光元件Ae1。於各受光元件Ae1中，例如可藉由矽二極體等二極體，分別取得與接收之光之強度相應之信號。另，作為受光感測器522之具體例，例如可考慮CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互補金屬氧化物半導體)感測器等。又，此處，於對應於排列方向(+Y方向)之方向中，例如亦可包含排列方向(+Y方向)自身、及因反射及折射等而光路曲折之情形時之光學等價方向。且，例如，對於藉由照明部521照明之檢查對象物W1，亦可藉由受光感測器522，取得與來自檢查對象物W1之光之強度之空間分佈相應之信號。此處，例如，藉由使包含掃描部52之測定部5朝+X方向或-X方向移動1次，而可對檢查對象物W1中之於+Y方向上具有與掃描部52於+Y方向延伸之長度相應之寬度且+X方向為長度方向之細長區域，取得與光之強度之空間分佈相應之信號。以受光感測器522獲得之信號係例如經由纜線保護鏈條6而被送出至控制部7。又，於受光感測器522中，例如接收來自藉由第1～9照明模組M1～M9中之至少1個照明模組照明之照射對象區域As0之光，而可取得與來自該照射對象區域As0之光之強度之空間分佈相應之信號。然而，於自+Y方向俯視之情形時，受光感測器522之光軸Ln1自法線Lv0以點Ps0為中心朝順時針旋轉之方向傾斜7.5度。因此，於自+Y方向俯視之情形時，受光感測器522之光軸Ln1與第5照明模組M5之光軸Lp5具有以法線Lv0為對稱軸之線對稱之關係。藉此，例如，於檢查對象物W1之上表面大致平坦之情形時，於藉由第5照明模組M5照明檢查對象物W1之表面之情形時，於受光感測器522中可接收於檢查對象物W1產生之正反射光。即，例如，能夠以受光感測器522接收利用第5照明模組M5之照明而於檢查對象物W1產生之正反射光，且以受光感測器522接收利用第1～4、6～9照明模組M1～M4、M6～M9之照明於檢查對象物W1產生之散射光。因此，自受光感測器522來看，第5照明模組M5實質上可發揮作為直接照明之作用，第1～4、6～9照明模組M1～M4、M6～M9實質上可發揮作為散射照明之作用。因此，於本實施形態中，例如，藉由第5照明模組M5，可設定為受光感測器522自檢查對象物W1接收正反射光之狀態(亦稱為直接照明狀態)。又，例如，藉由第1～4、6～9照明模組M1～M4、M6～M9，可設定為受光感測器522自檢查對象物W1接收散射光之狀態(亦稱為散射照明狀態)。又，例如，藉由第5照明模組M5與第1～4、6～9照明模組M1～M4、M6～M9，可實現受光感測器522自檢查對象物W1接收正反射光與散射光兩者之狀態(亦稱為混合照明狀態)。且，藉由採用適於檢查對象物W1之狀態之照明狀態，可提高檢查對象物W1之檢查精度。此處，例如，於檢查對象物W1之表面為鏡面狀之情形時，若設定為散射照明狀態，則以受光感測器522獲得之信號之強度變低，若設定為直接照明狀態，則可提高以受光感測器522獲得之信號之強度。但，若設定為直接照明狀態，則由於凹凸可能會產生過度之對比度，故適當設定為混合照明狀態即可。圖5及圖6係模式性顯示檢查對象物W1之具體例之圖。如圖5及圖6所示，例如，假設檢查對象物W1為形成有配線圖案Cu0之樹脂製之基板Bs0之情形。於該情形時，若設定為直接照明狀態，則於銅等金屬之配線圖案Cu0中容易產生朝向受光感測器522之正反射光，於基板Bs0中因光散射而不易產生朝向受光感測器522之正反射光。其結果，於以受光感測器522獲得之信號中，配線圖案Cu0之信號之強度可能變得較基板Bs0之信號之強度相對更高。藉此，可精度良好地檢測配線圖案Cu0之斷線Df1或缺陷Df2等。但，例如，於配線圖案Cu0之表面之凹凸較大之情形時，若設定為混合照明狀態，則該凹凸不易產生過度之對比度。此時，於以受光感測器522獲得之信號中，可使配線圖案Cu0之輪廓部分之信號之強度之變化增大至某種程度，且使配線圖案Cu0上之凹凸之信號之強度之變化減小至某種程度。藉此，可精度良好地檢測配線圖案Cu0之斷線Df1或缺陷Df2等。另，例如，於檢查對象物W1為金屬製者，且欲檢查其金屬表面有無損傷及劃痕等之情形時，若設定為散射照明狀態而非直接照明狀態，則可在金屬表面之損傷及劃痕容易變得醒目之狀態下，藉由受光感測器522拍攝。進而，此時，例如，可藉由利用第1～4、6～9照明模組M1～M4、M6～M9，適當變更對檢查對象物W1照射光之角度(亦稱為照射角度)，而調整金屬表面之損傷及劃痕之醒目容易度。＜(2-2)照明模組＞圖7係例示第1～9照明模組M1～M9之概略構成之側視模式圖。如圖3所示，第1～9照明模組M1～M9相互具有旋轉對稱之關係，且相互具有大致相同之構成。因此，此處，舉出第5照明模組M5之構成作為一例進行說明。圖8係例示第5照明模組M5之概略構成之前視模式圖。如圖7所示，第5照明模組M5具備出射部行EL5及反射部Rf1。出射部行EL5具有沿預先設定之排列方向(+Y方向)排列之複數個出射部E5。各出射部E5分別朝預先設定之出射方向出射光。藉此，可照明檢查對象物W1之上表面之照射對象區域As0。此處，複數個出射部E5具有大致形同構成，且包含出射同種光之2個以上之出射部E5。於本實施形態中，複數個出射部E5與2個以上之出射部E5係相同。又，於出射部行EL5中，例如以一定之間距(間隔)P0排列有複數個出射部E5。另，此處言及之「同種光」中，例如可包含相同之波長域之光及具有相同之能量強度之光等。作為相同之波長域之光，例如可包含相同顏色之光等。反射部Rf1具有於自與複數個出射部E5之排列方向(+Y方向)交叉之方向(亦稱為交叉方向)俯視時，以與排列方向(+Y方向)正交之方式配置之反射面Sf1。藉此，自複數個出射部E5發出之光可在反射面Sf1反射，而朝向檢查對象物W1照射。此時，自檢查對象物W1觀看，因存在反射面Sf1，故出射部行EL5得以模擬地延伸。即，實際上未使出射部E5之數量增加，但可實現與使出射部E5之數量增加之情形同等之狀態。其結果，不會招致裝置之大型化，而能夠以簡易之構成容易地提高檢查對象物W1之平均單位面積之光之照射強度。於該情形時，尤其可消除照射對象區域As0之兩端附近之部分之光之照射強度下降之異常。另，於本實施形態中，排列方向(+Y方向)與交叉方向正交，反射面Sf1係與正交於排列方向之XY平面平行之面。若採用此種複數個出射部E5與反射面Sf1之配置關係，則例如可容易地實現第5照明模組M5之設計及製造。然而，於構成出射部行EL5之2個以上之出射部E5中，包含自靠近反射面Sf1之側起依序排列之第1個出射部E5f、與第2個出射部E5s。此處，自上述交叉方向俯視時，反射面Sf1與第1個出射部E5f之間隔(亦稱為第1間隔)M0為第1個出射部E5f與第2個出射部E5s之間隔(亦稱為第2間隔)P0之一半以下。即，滿足下式(1)之關係。由此，模擬地延伸之出射部行EL5之模擬出射部E5之間距為實際之出射部E5之間距P0以下。其結果，可容易地提高檢查對象物W1之平均單位面積之光之照射強度。此處，理論上，例如若滿足M0=P0/2之關係，則模擬地延伸之出射部行EL5之模擬出射部E5之間距為與實際之出射部E5之間距P0相同，而可容易地提高檢查對象物W1之平均單位面積之光之照射強度。但，根據受光感測器522之攝像透鏡之性能等，會有產生將表示來自照射對象區域As0中之兩端附近之區域之光檢測為較來自其他區域之光更弱強度之光之傾向之現象(亦稱為周邊減光)之情形。於此種情形時，例如若以滿足M0＜P0/2之關係之方式配置出射部E5與反射面Sf1，則會產生模擬地延伸之出射部行EL5之模擬出射部E5之間距未達與實際之出射部E5之間距P0之部分，而可減少周邊減光之影響。又，例如，於自出射部E5之出射方向俯視之情形時，若將反射面Sf1以與檢查對象物W1之照射對象區域As0不重疊之方式配置，則藉由反射面Sf1遮擋自出射部E5出射之光之一部分，而不易產生照射於照射對象區域As0之異常。又，如圖7及圖8所示，於第5照明模組M5中，例如，以自複數個出射部E5出射之光聚光在檢查對象物W1之表面之直線狀之照射對象區域As0之方式，設計第1透鏡部L5a及第2透鏡部L5b。於本實施形態中，雖如圖3及圖8所示，將第1～9照明模組M1～M9之各者之聚光角設定為10～15度左右，但並不限於此，例如，亦可設定為10～20度左右。具體而言，如圖8所示，例如，可將自出射部E5出射之光中之朝X方向及Z方向擴展之光束藉由第1透鏡部L5a及第2透鏡部L5b聚光至線狀之照射對象區域As0。此處，第1透鏡部L5a及第2透鏡部L5b例如可由圓柱透鏡或線性費涅透鏡等構成。又，例如，若對第2透鏡部L5b追加使光朝±Y方向漫射之功能，則於檢查對象物W1上之線狀之照射對象區域As0中，照射光之強度不易產生不均。此處，例如，若追加有雙凸透鏡或使光朝某一方向散射之漫射板(例如美國Luminit公司之光成形擴散片(light Shaping Diffusers)等)，則可對第2透鏡部L5b追加使光朝±Y方向散射之功能。此處，例如，可採用於第2透鏡部L5b之第1透鏡部L5a側之表面、或與第2透鏡部L5b分開配置雙凸透鏡或漫射板等之構成。另，於本實施形態中，於第2透鏡部L5b之第1透鏡部L5a側附加有雙凸透鏡。更具體而言，於本實施形態中，可將自出射部E5出射之光束擴展之光藉由作為第1透鏡部L5a之焦點距離f為15 mm之線性費涅透鏡，轉換為自+Y方向俯視時光束大致平行之光。進而，藉由配置於焦點距離f為50 mm之線性費涅透鏡之第1透鏡部L5a側形成有雙凸透鏡者作為第2透鏡部L5b，而可將於+Y方向俯視時光束大致平行之光轉換為光束縮小之光，且聚光至檢查對象物W1之線狀之照射對象區域As0。圖9及圖10係用以說明雙凸透鏡之作用之圖。於圖9中，針對假設採用自本實施形態之第5照明模組M5之第2透鏡部L5b去除雙凸透鏡之透鏡Lc0後之情形，模式性顯示照射於照射對象區域As0之1點Pe1之光之路徑作為參考例。於圖10中，模式性顯示本實施形態之第5照明模組M5之照射於照射對象區域As0之1點Pe1之光之路徑。於圖9所示之參考例中，顯示自9個出射部E5以9條路徑對1點Pe1照射光之情況。相對於此，如圖10所示，可藉由存在雙凸透鏡而將自9個出射部E5朝向1點Pe1之光之路徑增加為多於9條。藉此，自更多角度對照射對象區域As0照射光。其結果，於線狀之照射對象區域As0，照射之光之強度不易產生不均。又，此處，如圖11所示，於出射部E5之出射方向上，將反射面Sf1與出射部E5之距離設為S0，將檢查對象物W1與出射部E5之距離設為L0。又，將於出射部E5之出射方向俯視檢查對象物W1之情形之、反射面Sf1與檢查對象物W1之距離該反射面Sf1最遠之部分之距離設為F0。此時，藉由使距離S0例如盡可能接近零，自檢查對象物W1觀看，可容易地實現出射部行EL5利用反射面Sf1之模擬延伸。另，例如，根據第5照明模組M5之構造，亦可假想難以使距離S0接近零之情形。於該情形時，以自最靠近反射面Sf1之第1個出射部E5出射之光在該反射面Sf1反射、而照射於檢查對象物W1中之距該反射面Sf1最遠之部分之方式，就幾何上之配置，以滿足下式(2)之關係之方式設定距離S0即可。但，於自第1個出射部E5f出射之光之光束擴展之角度(亦稱為擴展角度)較窄之情形時，根據該擴展角度適當設定距離S0即可。＜(3)一實施形態之總結＞如以上，於本實施形態之照明裝置8中，例如於各照明模組M1～M9中，於與複數個出射部E5之排列方向(+Y方向)交叉之交叉方向俯視之情形時，設置有正交於排列方向(+Y方向)之反射面Sf1。此處，對於自靠近反射面Sf1之側起依序配置之第1個出射部E5f、與第2個出射部E5s，於上述交叉方向俯視之情形時，將反射面Sf1與第1個出射部E5f之第1間隔M0設為第1個出射部E5f與第2個出射部E5s之第2間隔P0之一半以下。由此，若自檢查對象物W1觀看，因存在反射面Sf1，故出射部行EL5得以模擬地延伸。且，將模擬地延伸之出射部行EL5之模擬出射部E5之間距被設為實際之出射部E5之間距以下，可容易地提高檢查對象物W1之平均單位面積之光之照射強度。又，於本實施形態之檢查裝置1中，例如，對於由照明部521照明之檢查對象物W1，可藉由受光感測器522而取得與來自檢查對象物W1之光之強度之空間分佈相應之信號。此時，根據本實施形態之照明部521，例如可容易地提高與以受光感測器522獲得之來自檢查對象物W1之光之強度之空間分佈相應之信號強度。其結果，例如可提高檢查之精度。＜(4)變化例＞另，本發明並非限定於上述之一實施形態，可於不脫離本發明之要旨之範圍內進行各種變更、改良等。＜(4-1)第1變化例＞例如，於上述一實施形態中，對出射光之出射部E1～E9，應用作為自發光之光源之LED，但並不限於此。例如，亦可於出射部E1～E9以外設置光源，而藉由光纖等導光部，將光導至出射部E1～E9。圖12係例示第1變化例之第1～9照明模組M1A～M9A(若m為1～9之整數，則亦稱為第m照明組MmA)之概略構成之側視模式圖。第1～9照明模組M1A～M9A可相互具有旋轉對稱之關係，且相互具有大致相同之構成。因此，此處，舉出第5照明模組M5A之構成作為一例進行說明。如圖12所示，例如，將以光源盒EB1發出之光以光纖之束即光纖束BF1導至第5照明模組M5A，進而，藉由將光纖分支至各出射部E5，而可自各出射部E5出射光。若採用此種構成，則例如光纖之徑容易設為較LED之徑更小，而於1個出射部行EL5中，可高密度地配置更多出射部E5。藉此，例如可自更多角度對照射對象區域As0上之1點Pe1照射光。其結果，即使未如上述一實施形態般，於雙凸透鏡或漫射板等之類的第2透鏡部L5b附加使光朝±Y方向漫射之功能，但線狀之照射對象區域As0中，照射之光之強度亦不易產生不均。＜(4-2)第2變化例＞又，於上述一實施形態中，雖自各出射部行EL1～EL9中所含之所有出射部E1～E9出射同種光，但並不限於此。例如，亦可採用排列有各自出射不同種光之2種以上之出射部之出射部行EL1B～EL9B(若m為1～9之整數，則亦稱為出射部行ELmB)。圖13係例示第2變化例之第1～9照明模組M1B～M9B(若m為1～9之整數，則亦稱為第m照明組MmB)之概略構成之側視模式圖。第1～9照明模組M1B～M9B可相互具有旋轉對稱之關係，且相互具有大致相同之構成。因此，此處，舉出第5照明模組M5B之構成作為一例進行說明。如圖13所示，例如，構成出射部行EL5B之複數個出射部包含出射第1種光之2個以上之第1出射部R5、與出射第2種光之2個以上之第2出射部B5。另，於圖13所示之例中，於構成出射部行EL5B之複數個出射部中，包含出射第3種光之2個以上之第3出射部G5。於圖13所示之例中，出射部行EL5B由包含5個第1出射部R5、10個第2出射部B5及6個第3出射部G5之21個出射部構成。此處，例如，沿+Y方向並排之21個出射部之中，6個第3出射部G5係於+Y方向上配置於第1、5、9、13、17、21個者。又，例如，沿+Y方向並排之21個出射部之中，5個第1出射部R5係於+Y方向上配置於第3、7、11、15、19個者。又，例如，沿+Y方向並排之21個出射部之中，10個第2出射部B5係於+Y方向上配置於第2、4、6、8、10、12、14、16、18、20個者。於本變化例中，例如將21個出射部沿+Y方向以大致等間隔(大致等間距)排列。即，例如，將5個第1出射部R5以大致相同之間距Pr0排列，將10個第2出射部B5以間距Pr0之約1/2之間距Pb0排列。例如，將6個第3出射部G5以大致相同之間距Pr0排列。又，例如，位於21個出射部之兩端之第3出射部G5係例如各自配置於反射面Sf1之延長線上。然而，例如，於2個以上之第1出射部R5中，包含自靠近反射面Sf1之側起依序排列之第1個第1出射部R5f、與第2個第1出射部R5s。又，例如，於2個以上之第2出射部B5中，包含自靠近反射面Sf1之側起依序排列之第1個第2出射部B5f、與第2個第2出射部B5s。此處，於沿著與21個出射部E5之排列方向(+Y方向)交叉之反射面Sf1之方向(交叉方向)俯視時，反射面Sf1與第1個第1出射部R5f之間隔(亦稱為第3間隔)Mr0為第1個第1出射部R5f與第2個第1出射部R5s之間隔(亦稱為第4間隔)Pr0之一半以下。即，例如，針對出射同種光之2個以上之出射部，自上述交叉方向俯視時，反射面Sf1與第1個出射部之間隔為第1個出射部與第2個第1出射部之間隔之一半以下即可。且，自上述交叉方向俯視時，反射面Sf1與第1個第2出射部B5f之間隔(亦稱為第5間隔)Mb0為第1個第2出射部B5f與第2個第2出射部B5s之間隔(亦稱為第6間隔)Pb0之一半以下。且，第5間隔Mb0短於第3間隔Mr0，第6間隔Pb0短於第4間隔Pr0。採用此種構成時，例如假想如下情形：藉由控制部7，可選擇性地設定為包含自2個以上之第1出射部R5分別出射第1種光之狀態(亦稱為第1種出射狀態)、與自上述2個以上之第2出射部B5分別出射上述第2種光之狀態(亦稱為第2種出射狀態)之2種以上之出射狀態中之1種出射狀態。另，於2種以上之出射狀態中，例如可包含自2個以上之第3出射部G5分別出射第3種光之狀態(亦稱為第3種出射狀態)。此時，例如，若將2個以上之第1出射部R5及2個以上之第2出射部B5各者個別地點亮，則自檢查對象物W1觀看時，因存在反射面Sf1，故出射部行EL5B得以模擬地延伸。且，模擬地延伸之出射部行EL5B之模擬之第1出射部R5之間距可成為實際之第1出射部R5之間距Pr0以下，且模擬地延伸之出射部行EL5B之模擬之第2出射部B5之間距可成為實際之第2出射部B5之間距Pb0以下。其結果，於照射同種光之條件下，可容易地提高檢查對象物W1之平均單位面積之光之照射強度。又，此處，2個以上之第2出射部B5之排列數多於2個以上之第1出射部R5之排列數。因此，於受光感測器522中，即使對自2個以上之第2出射部B5出射之第2種光之受光感度低於對自2個以上之第1出射部R5出射之第1種光之受光感度，亦可實現例如與受光感測器522之受光感度相應之照明。且，若第1種光包含紅色光，第2種光包含藍色光，則可實現例如與對藍色光之受光感度低於紅色光之受光感測器522相應之照明。於本實施形態中，第1種光為紅色光，第2種光為藍色光，第3種光為綠色光。此處，例如，假想受光感測器522包含沿對應於+Y方向之方向排列且可各自取得與所接收之光之強度相應之信號之複數個二極體之情形。此時，複數個二極體一般為例如對藍色光之受光感度低於紅色光之情形。因此，例如藉由實現與受光感測器522之受光感度相應之照明狀態，而可提高以檢查對象物W1為對象之檢查之精度。此處，例如，紅色光係波長為600～760 nm左右之光，綠色光係波長為500～570 nm左右之光，藍色光係波長為400～500 nm左右之光。又，此處，作為複數個二極體，例如可採用矽二極體等。又，作為受光感測器522，例如可採用將複數個二極體等之類的複數個受光元件Ae1排列於一方向之線性感測器Ls1等。另，此處，例如，於在各受光元件之正面配置彩色濾光片之態樣中，若增加配置有所需顏色(例如、藍色)之彩色濾光片之受光元件於所有受光元件中所佔之比例，則可適當調整對所需顏色之光之受光感度。然而，例如，若檢查對象物W1為於樹脂製之基板上形成有銅等金屬製之配線圖案之印刷基板，假想樹脂製之基板之紅色光之吸收率相對高於配線圖案之紅色光之吸收率之情形。於該情形時，例如，若對印刷基板照射紅色光，則可成為照明為配線圖案明亮、而作為背景之樹脂製之基板暗淡之狀態。另一方面，假設樹脂製之基板之藍色光之吸收率相對低於配線圖案之藍色光之吸收率之情形。此時，例如，若對印刷基板照射藍色光，則可成為照明為配線圖案暗淡、而作為背景之樹脂製之基板明亮之狀態。又，若自具有相對於作為檢查對象物W1之印刷基板之上表面之法線Lv0所成之角度較大之光軸之照明模組向印刷基板照射藍色光，則可成為樹脂製之基板較配線圖案被照明為相對明亮之狀態。又，例如，若以附著於檢查對象物W1之表面之皮脂污染之有無為檢查之對象，則假想例如皮脂之藍色光之吸收率高於未附著皮脂之其他部分之藍色光之吸收率之情形。此時，例如，若對檢查對象物W1照射藍色光，則可成為照明為附著有皮脂之部分暗淡、而其他部分明亮之狀態。又，於採用聚醯亞胺製之基板之情形時，紅色光容易透過該基板，藍色光不易透過該基板。因此，例如，於在基板之背面亦形成有配線圖案之情形時，照射藍色光而非紅色光，可更適當地進行基板之表面之檢查。惟於聚醯亞胺製之基板較厚之情形、及於該基板之背面未形成有配線圖案之情形時，照射可將配線圖案照明為相對明亮之紅色光，可更適當地進行基板之表面之檢查。因此，例如，若對應於對於檢查對象物W1之檢查內容，而決定對檢查對象物W1照射紅色光及藍色光之何者之光，可提高檢查精度。又，此處，作為第3種光，亦可取代綠色光而例如使用紅外光(IR(Infrared)光)。此處，作為紅外光，例如可採用約800 nm左右之光。於該情形時，例如，若檢查對象物W1為形成有配線圖案之印刷基板，則基板之紅外光之吸收率顯著高於配線圖案之紅外光之吸收率。因此，若對檢查對象物W1照射紅外光，則可提高檢查之精度。另，作為第3種光，例如亦可採用紫外光(UV(Ultraviolet)光)。即，本申請案之「光」中，例如不僅包含可視光，亦包含紅外光(IR光)及紫外光(UV光)等。＜(4-3)其他變化例＞例如，於上述一實施形態之各第m照明模組Mm中，沿作為排列方向之+Y方向排列之複數個出射部Em例如亦可配置於自沿+Y方向虛擬地延伸之直線上略微偏移之位置。又，於上述一實施形態中，針對於各第m照明模組Mm，採用將複數個出射部Em並排成一行之出射部行ELm，但並不限於此。例如，各第m照明模組Mm亦可具有相互大致平行地並排之2行以上之出射部行ELm。此時，例如，若將發出第1～3種光之出射部以形成棋盤圖案之方式排列，則複數個出射部Em之配設密度提高，而可提升對檢查對象物W1照射之光之強度。又，於上述一實施形態中，於各出射部行ELm中排列複數個出射部Em之間距大致一定，但並不限於此。例如，為了減少因受光感測器522之攝像透鏡之性能等而可能產生之周邊減光之影響，亦可於各出射部行ELm中，於較排列方向之中央附近更靠兩端附近，以排列複數個出射部Em之間距變短之方式設定。又，於上述一實施形態中，相對於各出射部行ELm之複數個出射部Em之排列方向而垂直地配置反射面Sf1，但並不限於此。例如，只要滿足相對於包含自複數個出射部Em出射光之出射方向與排列方向之虛擬之平面(亦稱為虛擬平面)為垂直之條件，則反射面Sf1亦可相對於出射部行ELm略微傾斜。惟，此時，若反射面Sf1以朝與出射部行ELm分開之方向旋轉之方式傾斜，則自檢查對象物W1看到之模擬之出射部Em之間距可成為實際之出射部Em之間距以下。另，例如，只要滿足相對於上述虛擬平面為垂直之條件，則亦可於反射面Sf1設置若干凹凸。又，於上述一實施形態中，照明部521具有9個照明模組M1～M9，但並不限於此。例如，可將照明部521變更為配置有實現直接照明狀態之第5照明模組M5、與實現散射照明狀態之第1～4、6～9照明模組M1～M4、M6～M9中之至少1個照明模組之照明部，亦可變更為配置有9個照明模組M1～M9中之任意2個以上照明模組之照明部。於該情形時，自2個以上照明模組出射之光之出射方向、與檢查對象物W1之上表面所成之角度可適當變更。若如此般採用具有2個以上照明模組之照明部，則照明部具備複數個出射部行，該等複數個出射部行包含具有第1複數個出射部之第1出射部行、與具有第2複數個出射部行之第2出射部行。此處，構成第1出射部行之第1複數個出射部係沿排列方向(例如+Y方向)排列，且各自朝第1出射方向出射光。又，構成第2出射部行之第2複數個出射部係沿上述排列方向(例如+Y方向)排列，且各自朝第2出射方向出射光。且，於自上述排列方向俯視時，若第1出射方向與第2出射方向於點Ps0(即，照射對象區域As0)交叉，則可例如對應於檢查對象物W1之狀態，而切換對檢查對象物W1之光照射角度。又，例如，亦可將照明部521變更為配置有9個照明模組M1～M9中之1個照明模組之照明部。但，此時，省去切換對檢查對象物W1之光照射角度之功能。又，於上述一實施形態中，於檢查裝置1中，交替地進行主掃描與副掃描，但並不限於此。例如，亦可採用進行主掃描及副掃描中之任意一者之掃描之構成。又，於上述一實施形態中，採用線性感測器Ls1作為受光感測器522，但並不限於此。例如，亦可將受光感測器522變更為具有相互平行之複數個受光元件之行者，該等受光元件之行各自包含於對應於各第m照明模組Mm之複數個出射部Em之排列方向之方向分別排列之複數個受光元件。又，於上述一實施形態中，於各第m照明模組Mm中，藉由第1透鏡部Lma及第2透鏡部Lmb將光聚光至照射對象區域As0，但並不限於此。例如，亦可藉由1個透鏡部將光聚光至照射對象區域As0，且於自各出射部Em出射具有較薄之平板狀之光路之指向性較強之光之情形時，亦可省去第1透鏡部Lma及第2透鏡部Lmb兩者。另，當然亦可於不矛盾之範圍內將構成上述一實施形態及各種變化例之全部或一部分適當地組合。且，可對第1變化例及第2變化例，於不矛盾之範圍內適當地應用其他變化例之特徵。

1‧‧‧檢查裝置
2‧‧‧基台部
3‧‧‧試樣支持台
3U‧‧‧上表面
4‧‧‧門型構造體
5‧‧‧測定部
6‧‧‧纜線保護鏈條
7‧‧‧控制部
8‧‧‧照明裝置
21‧‧‧本體部
21U‧‧‧上表面
22L‧‧‧線性導引器
22Lr‧‧‧軌道部
22Ls‧‧‧滑動部
22R‧‧‧線性導引器
22Rr‧‧‧軌道部
22Rs‧‧‧滑動部
41‧‧‧樑部
42‧‧‧線性導引器
42r‧‧‧軌道部
42s‧‧‧滑動部
51‧‧‧殼體部
52‧‧‧掃描部
521‧‧‧照明部
522‧‧‧受光感測器
Ae1‧‧‧受光元件
Ahc‧‧‧空間
As0‧‧‧照射對象區域
Asc‧‧‧空間
B5‧‧‧第2出射部
B5f‧‧‧第1個第2出射部
B5s‧‧‧第2個第2出射部
BF1‧‧‧光纖束
Bs0‧‧‧基板
Cu0‧‧‧配線圖案
Df1‧‧‧斷線
Df2‧‧‧缺陷
E‧‧‧出射部
E1～E9‧‧‧出射部
E5‧‧‧出射部
E5f‧‧‧第1個出射部
E5s‧‧‧第2個出射部
EB1‧‧‧光源盒
EL1～EL9‧‧‧出射部行
EL5‧‧‧出射部行
ELm‧‧‧出射部行
EL1B～EL9B‧‧‧出射部行
ELmB‧‧‧出射部行
Em‧‧‧出射部
F0‧‧‧距離
G5‧‧‧第3出射部
L0‧‧‧距離
L1a～L9a‧‧‧第1透鏡部
L5a‧‧‧第1透鏡部
L5b‧‧‧第2透鏡部
L5b～L9b‧‧‧第2透鏡部
Lc0‧‧‧透鏡
Ln1‧‧‧光軸
Lp1～Lp9‧‧‧光軸
Ls1‧‧‧線性感測器
Lv0‧‧‧法線
M0‧‧‧第1間隔
M1～M9(Mm)‧‧‧第1～9照明模組(第m照明模組)
M1A～M9A(MmA)‧‧‧第1～9照明模組(第m照明模組)
M1B～M9B(MmB)‧‧‧第1～9照明模組(第m照明模組)
Mb0‧‧‧第5間隔
Mr0‧‧‧第3間隔
P0‧‧‧第2間隔
Pb0‧‧‧第6間隔
Pe11‧‧‧點
Pr0‧‧‧第4間隔
Ps0‧‧‧點
R5‧‧‧第1出射部
R5f‧‧‧第1個第1出射部
R5s‧‧‧第2個第1出射部
Rf1‧‧‧反射部
S0‧‧‧距離
SP0‧‧‧空間
Sf1‧‧‧反射面
W1‧‧‧檢查對象物
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
Z‧‧‧方向

圖1係例示檢查裝置之概略構成之俯視模式圖。圖2係例示檢查裝置之概略構成之前視模式圖。圖3係例示掃描部之概略構成之前視模式圖。圖4係例示照明部之透鏡之排列態樣之立體圖。圖5係模式性顯示檢查對象物之具體例之圖。圖6係模式性顯示檢查對象物之具體例之圖。圖7係例示照明模組之概略構成之側視模式圖。圖8係例示照明模組之概略構成之前視模式圖。圖9係用以說明雙凸透鏡之作用之參考圖。圖10係用以說明雙凸透鏡之作用之圖。圖11係用以說明反射部之配置條件之圖。圖12係例示第1變化例之照明模組之概略構成之側視模式圖。圖13係例示第2變化例之照明模組之概略構成之側視模式圖。

As0‧‧‧照射對象區域

E5‧‧‧出射部

E5f‧‧‧第1個出射部

E5s‧‧‧第2個出射部

EL5‧‧‧出射部行

ELm‧‧‧出射部行

L5a‧‧‧第1透鏡部

L5b‧‧‧第2透鏡部

M0‧‧‧第1間隔

P0‧‧‧第2間隔

Rf1‧‧‧反射部

Sf1‧‧‧反射面

W1‧‧‧檢查對象物

Y‧‧‧方向

Claims

一種照明裝置，其具備：出射部行，其具有沿預先設定之排列方向排列且各自朝預先設定之出射方向出射光之複數個出射部；及反射部，其具有於自與上述排列方向交叉之交叉方向俯視時，以與上述排列方向正交之方式配置且可反射光之反射面；且上述複數個出射部包含出射同種光之2個以上之出射部；上述2個以上之出射部包含自靠近上述反射面之側起依序排列之第1個出射部與第2個出射部；於上述交叉方向俯視時，上述反射面與上述第1個出射部之第1間隔為上述第1個出射部與上述第2個出射部之第2間隔之一半以下。
如請求項1之照明裝置，其中上述複數個出射部包含出射第1種光之2個以上之第1出射部、與出射第2種光之2個以上之第2出射部；且上述2個以上之第1出射部包含自靠近上述反射面之側起依序排列之第1個第1出射部與第2個第1出射部；上述2個以上之第2出射部包含自靠近上述反射面之側起依序排列之第1個第2出射部與第2個第2出射部；於上述交叉方向俯視時，上述反射面與上述第1個第1出射部之第3間隔為上述第1個第1出射部與上述第2個第1出射部之第4間隔之一半以下；於上述交叉方向俯視時，上述反射面與上述第1個第2出射部之第5間隔為上述第1個第2出射部與上述第2個第2出射部之第6間隔之一半以下；上述第5間隔短於上述第3間隔；上述第6間隔短於上述第4間隔。
如請求項2之照明裝置，其中上述第1種光包含紅色光；上述第2種光包含藍色光。
如請求項2之照明裝置，其具備：控制部，其可選擇性地設定為包含自上述2個以上之第1出射部分別出射上述第1種光之第1種出射狀態、與自上述2個以上之第2出射部分別出射上述第2種光之第2種出射狀態之2種以上之出射狀態中之1種出射狀態。
如請求項1之照明裝置，其具備：複數行上述出射部行；且該等複數行出射部行具有：第1出射部行，其具有沿上述排列方向排列且各自朝第1出射方向出射光之第1複數個出射部；及第2出射部行，其具有沿上述排列方向排列且各自朝第2出射方向出射光之第2複數個出射部；且於上述排列方向俯視時，上述第1出射方向與上述第2出射方向交叉；且該照明裝置具備：控制部，其可選擇性地設定為包含自上述第1複數個出射部出射光之第1點亮狀態、與自上述第2複數個出射部出射光之第2點亮狀態之2個以上之點亮狀態中之1個點亮狀態。
一種檢查裝置，其具備：如請求項1至5中任一項之照明裝置；及受光感測器，其接收來自位於自上述複數個出射部朝上述出射方向虛擬地延伸之直線上之檢查對象區域之光，而可取得與來自該檢查對象區域之光之強度之空間分佈相應之信號。
一種檢查裝置，其具備：如請求項2至4中任一項之照明裝置；及受光感測器，其接收來自位於自上述複數個出射部朝上述出射方向虛擬地延伸之直線上之檢查對象區域之光，而可取得與來自該檢查對象區域之光之強度之空間分佈相應之信號；且該受光感測器包含：複數個二極體，其等沿對應於上述排列方向之方向排列且可各自取得與所接收之光之強度相應之信號。