TW201723317A - 渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子 - Google Patents

Abstract

本發明係為一種渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，該渦輪分子式真空泵上方突設有一旋轉軸，旋轉軸上套定有一轉子，轉子中心下凹有一鎖接室，其中，該轉子上方設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子周圍分佈有側淺槽，中心朝下延伸有一鎖接內螺孔之螺栓。惟，轉子與轉子蓋子之組合及分離可據一治具及一扳動元件操作；其治具上方突設有旋扳體，底面上凹有可套置轉子蓋子之承窩，承窩周圍分佈有相應嵌入側淺槽之側定部，俾以，側定部相應嵌入側淺槽作為治具穩定操作轉子蓋子與轉子之組合與分離拆卸的事實優異依據者。

Description

渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子

本發明係為一種渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，該渦輪分子式真空泵上方套定有一轉子，轉子中心下凹有鎖接室，以及一封閉鎖接室之轉子蓋子，且轉子蓋子可與轉子組合與分離之的技術領域者。

首按，請參閱第1、2圖所示，【係為習用之渦輪分子式真空泵的轉子組合、蓋子組合剖視圖】；其中，係指一於真空抽氣所用之渦輪分子式真空泵10，渦輪分子式真空泵10是以驅動一轉子20執行真空抽氣作業，而轉子中心下凹有一螺接心軸101之鎖接室201。

然渦輪分子式真空泵10當用在諸如晶元、電子基板等漸鍍覆著加工過程中，容易於鎖接室201積存粉塵顆粒，而鎖接室201所積存的粉塵顆粒極易因不穩之氣流變化而噴灑飛揚，並飛揚之粉塵顆粒會導致粉塵顆粒回溯加工區域污染晶元等產品(如：第1圖所示；另外，晶元與粉塵顆粒在此未繪出及標號)。

而後，為杜絕鎖接室201積存粉塵顆粒，致轉子20上方設計有封閉鎖接室201的蓋子202之產品，蓋子202穿設有鎖固於鎖接室201底側之螺栓30。惟，螺栓30鎖固區域還是有少量空間供粉塵顆粒積存，致蓋子202之阻接並非完美無缺，且螺栓30鎖固也容易過度摧逼蓋子202，令蓋子202於轉子20高速旋轉後有變形及破裂移慮(如：第2圖所示)。

有鑑於此，本案發明人乃針對蓋子202的強度提升之相關領域深入探究，並在不斷研發及修改後，期以解決上述問題。

鑑於以上所述，得知習知蓋子於轉子高速旋轉後有變形及破裂之移慮，因此，促使本案發明人朝增加排水量與減低阻塞可能之方向研發，並經由本案發明人多方思考，遂而思及，據一體製作是為最佳方式。

是之，該渦輪分子式真空泵上方突設有一旋轉軸，旋轉軸上套定有一轉子，轉子中心下凹有一鎖接室，鎖接室周圍具有側壁，而鎖接室中心固接有旋轉軸，其中，該轉子上方設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子周圍等角分佈有側淺槽，並轉子蓋子中心朝下延伸有一螺接於鎖接室底側之螺栓。惟，轉子與轉子蓋子之組合及分離可據一治具及一扳動元件操作；其治具設有：一上方突設之旋扳體與一底面上凹之可套置轉子蓋子的承窩，而承窩周圍分佈有相應側淺槽位置之側定部。而後，治具可操作轉子蓋子與轉子組合與拆卸脫離，其治具的操作步驟為：先將承窩由上套接轉子蓋子，並據側定部嵌入側淺槽，而後，利用扳動元件控制旋扳體順向旋轉治具，同時，治具利用側定部抓持側淺槽同步旋轉轉子蓋子及螺栓，此時，由螺栓旋轉鎖入鎖接室底側至轉子蓋子密封鎖接室，反之，當轉子蓋子需拆卸時，可據扳動元件逆向旋轉治具至轉子蓋子脫離轉子。

惟，該轉子蓋子周圍又恰好等角分佈有二至四道之側淺槽，另外，治具相對側淺槽增設有二至四道等角分佈之側定部貫孔，側定部貫孔另植接有該側定部，且治具周圍增立設有等角分佈之二至四面方便治具在加工時可定位的夾持部，另外，治具上方又立設有一六角柱形之旋扳體， 再者，該扳動元件又可為一扭力扳手。

又於，該轉子蓋子上方具有一中心高起朝周圍低下之圓弧狀或者是尖錐狀的導流面，而後，轉子蓋子下方有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內有伸入鎖接室之延伸段，另外，轉子蓋子底側於延伸段內側上凹有用於減少體積之下凹室，下凹室中心設有螺接於鎖接室底側之螺栓。又轉子蓋子下方另具有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內又具有伸入鎖接室之延伸段，延伸段周圍增設有環凹槽，環凹槽中套置有緊貼鎖接室的側壁之O型環。

再者，該渦輪分子式真空泵於旋轉軸上方又突伸有一階級段，階級段上側增設有一螺紋段，螺紋段中心另下凹有一內螺孔，而後，旋轉軸上套定有該轉子，轉子於鎖接室中心增具有一可供階級段之螺紋段穿透的階級段納孔，且鎖接室中增置入一鎖接螺紋段之螺帽，並轉子上方又設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子中心朝下延伸有一螺接於鎖接室底側之螺紋段中心內螺孔的螺栓。

本發明之首要目的在於，是提供一種安裝在轉子上方用於封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子是一體製作，故鎖接室在封閉後無虞受污，且導流面可作為引導氣流之標的。並轉子蓋子可由治具配合扳動元件操作組裝於轉子上，反之，也可據治具配合扳動元件操作轉子蓋子脫離轉子的效益。

本發明的另一目的在於：提供一治具利用承窩套接轉子蓋子，同時以等角分佈之側定部嵌入相應的側淺槽；而後，據扳動元件操作治具及轉子蓋子一致旋轉，俾此達成轉子蓋子與轉子的組合與拆卸脫離， 惟，側定部與側淺槽之相應嵌接恰可平均轉子蓋子的受力均衡，且扳動元件如為扭力扳手執行轉子蓋子組裝時：其轉子蓋子組裝又可有以扳動元件設定與轉子在預設壓力值內組裝之效益。

至於本發明的技術內容及其它目的與特點參照下面配合圖式的詳細實施例說明即可完全明白。

〔習用〕

10‧‧‧渦輪分子式真空泵

101‧‧‧心軸

20‧‧‧轉子

201‧‧‧鎖接室

202‧‧‧蓋子

30‧‧‧螺栓

〔本發明〕

1‧‧‧渦輪分子式真空泵

11‧‧‧旋轉軸

111‧‧‧階級段

112‧‧‧螺紋段

113‧‧‧內螺孔

12‧‧‧轉子

13‧‧‧鎖接室

13A‧‧‧階級段納孔

13B‧‧‧螺帽

131‧‧‧側壁

2‧‧‧轉子蓋子

21‧‧‧側淺槽

22‧‧‧螺栓

23‧‧‧導流面

24‧‧‧平接面

25‧‧‧延伸段

251‧‧‧環凹槽

252‧‧‧O型環

26‧‧‧下凹室

26A‧‧‧圓頂

3‧‧‧治具

31‧‧‧旋扳體

32‧‧‧承窩

33‧‧‧側定部

34‧‧‧夾持部

35‧‧‧側定部貫孔

4‧‧‧扳動元件

第1圖 係為習用之渦輪分子式真空泵的轉子組合圖。

第2圖 係為習用之蓋子組合剖視圖。

第3圖 係為本發明之渦輪分子式真空泵的轉子蓋子組合圖。

第4圖 係為本發明之轉子蓋子與治具立體示意圖。

第5圖 係為本發明之轉子蓋子與治具操作示意圖。

第6圖 係為本發明之轉子蓋子具尖錐狀的導流面示意圖。

第7圖 係為本發明之圓弧狀導流面具圓頂的下凹室示意圖。

第8圖 係為本發明之尖錐狀導流面具圓頂的下凹室示意圖。

第9圖 係為本發明之薄殼的轉子蓋子具圓弧狀導流面示意圖。

第10圖 係為本發明之薄殼的轉子蓋子具尖錐狀導流面示意圖。

第11圖 係為本發明之實心的轉子蓋子具圓弧狀導流面示意圖。

第12圖 係為本發明之實心的轉子蓋子具尖錐狀導流面示意圖。

第13圖 係為本發明之平面片體的轉子蓋子示意圖。

第14圖 係為本發明之平面片體的轉子蓋子具延伸段示意圖。

第15圖 係為本發明之渦輪分子式真空泵的轉子蓋子另一組合圖。

今為使 貴審查委員對本創作有更進一步之瞭解，茲佐以下列實施例說明之。

請 貴審查委員參閱第3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15圖所示，【係為本發明之渦輪分子式真空泵的轉子蓋子組合、轉子蓋子與治具立體示意、轉子蓋子與治具操作示意、轉子蓋子具尖錐狀的導流面示意、圓弧狀導流面具圓頂的下凹室示意、尖錐狀導流面具圓頂的下凹室示意圖、薄殼的轉子蓋子具圓弧狀導流面示意、薄殼的轉子蓋子具尖錐狀導流面示意、實心的轉子蓋子具圓弧狀導流面示意、實心的轉子蓋子具尖錐狀導流面示意、平面片體的轉子蓋子示意、平面片體的轉子蓋子具延伸段示意、渦輪分子式真空泵的轉子蓋子另一組合圖】；係指一種渦輪分子式真空泵1用之轉子蓋子2，該渦輪分子式真空泵1上方突設有一旋轉軸11，旋轉軸11上套定有一轉子12，轉子12中心下凹有一鎖接室13，鎖接室13周圍具有側壁131，而鎖接室13中心固接有旋轉軸11，其中。該轉子12上方設有封閉鎖接室13之轉子蓋子2，轉子蓋子2周圍等角分佈有側淺槽21，並轉子蓋子2中心朝下延伸有一螺接於鎖接室13底側之螺栓22；惟，轉子12與轉子蓋子2之組合及分離可據一治具3及一扳動元件4操作；其治具3至少設有：一上方突設之旋扳體31與一底面上凹之可套置轉子蓋子2的承窩32，而承窩32周圍分佈有相應側淺槽21位置之側定部33，而後，治具3可操作轉子蓋子2與轉子12組合與拆卸脫離，其治具3的操作步驟為：先將承窩32由上套接轉子蓋子2，並據側定部33嵌入側淺槽21，而後，利用扳動元件4控制旋扳體31順向旋轉治具3，同時，治具3利用側定部33抓持側淺槽21同步 旋轉轉子蓋子2及螺栓22，此時，由螺栓22旋轉鎖入鎖接室13底側至轉子蓋子2密封鎖接室13，反之，當轉子蓋子2需拆卸時，可據扳動元件4逆向旋轉治具3至轉子蓋子2脫離轉子12(如：第3或5圖所示)。

是之，該轉子蓋子2上方另具有一中心高起朝周圍低下之圓弧狀或是尖錐狀的導流面23可對氣流增效排出之順暢度，以及讓污物及粉塵顆粒循導流面23全面排出渦輪分子式真空泵1，由此安裝，在轉子12上方轉子蓋子2係用於封閉鎖接室13之轉子蓋子2，轉子蓋子2是一體製作，故鎖接室13在轉子蓋子2封閉後無虞受污，且導流面23可作為引導氣流之標的。並轉子蓋子2可由治具3配合扳動元件4操作組裝於轉子12上(如：第3或5圖所示；尖錐狀的導流面23如：第6圖所示；另外，污物及粉塵顆粒在此未繪出及標號)。

又於，該轉子蓋子2下方另具有一平貼轉子12上緣之平接面24，平接面24範圍內又具有伸入鎖接室13之延伸段25，延伸段25周圍增設有環凹槽251，環凹槽251中又套置有緊貼鎖接室的側壁之O型環252，俾此，藉延伸段25佐以O型環252增效轉子蓋子2對鎖接室13的封閉效果及組接穩固效益。又延伸段25內側增上凹有用於減少轉子蓋子2整體體積之下凹室26，由下凹室26設置主要避免轉子蓋子2干涉旋轉中的轉子12之穩定性，而後，下凹室26中心又設有螺接於鎖接室13底側之螺栓22。(延伸段25與下凹室26於第3或5或6圖所示；而環凹槽251與O型環252僅於：第6圖所示)。

另外，轉子蓋子2周圍又恰好等角分佈有二至四道之側淺槽21，又治具3周圍增立設有等角分佈之二至四面方便治具3加工時定位的夾持部34，並治具3由夾持部34定位後可加工有：上方六角柱形之旋扳體31、 相對側淺槽21增設有二至四道等角分佈之側定部貫孔35，側定部貫孔35另植接有該側定部33(如：第4圖所示)。惟，當側定部33與側淺槽21之相應嵌接恰可平均轉子蓋子2的受力均衡。再者，該扳動元件4又可為一扭力扳手，且扳動元件4如為扭力扳手執行轉子蓋子2組裝時，其轉子蓋子2組裝又可有以扳動元件4設定與轉子12在預設壓力值內組裝之效益(如：第3或5圖所示)。

然，轉子蓋子2上方另具有一中央高起、朝周圍低下之圓弧狀或是尖錐狀的導流面23，且轉子蓋子2底側具有上凹呈圓頂26A之下凹室26，俾以，下凹室26令轉子蓋子2薄殼化，且轉子蓋子2僅以平接面24封閉鎖接室13(如：第7圖所示；而尖錐狀的導流面23於第8圖所示)。

惟，轉子蓋子2上方另具有一中央高起、朝周圍低下之圓弧狀或是尖錐狀的導流面23，且轉子蓋子2底側具有順應圓弧狀或是尖錐狀上凹之下凹室26，俾以，下凹室26令轉子蓋子2薄殼化，且轉子蓋子2僅以平接面24封閉鎖接室13(如：第9圖所示；而尖錐狀的導流面23於第10圖所示)。

又，轉子蓋子2上方另具有一中央高起朝周圍低下之圓弧狀或是尖錐狀的導流面23，且轉子蓋子2可順應轉子12不同使用環境需求製作成一實心物件(如：第11圖所示；而尖錐狀的導流面23於第12圖所示)。

另，轉子蓋子2平面片體，且轉子蓋子2下方另具有一平貼轉子12上緣之平接面24，平接面24範圍內又具有伸入鎖接室之延伸段25，延伸段25恰可近貼於鎖接室13的側壁131。且延伸段25周圍增設有環凹槽251，環凹槽251中又套置有緊貼鎖接室13的側壁131之O型環252，(如：第 13圖所示；而延伸段25於第14圖所示)。

其中，該渦輪分子式真空泵1於旋轉軸11上方又突伸有一階級段111，階級段111上側增設有一螺紋段112，螺紋段112中心另下凹有一內螺孔113，而後，旋轉軸11上套定有該轉子12，轉子12於鎖接室13中心增具有一可供階級段111之螺紋段112穿透的階級段納孔13A，且鎖接室13中增置入一鎖接螺紋段112之螺帽13B，並轉子12上方又設有封閉鎖接室13之轉子蓋子2，轉子蓋子2中心朝下延伸有一螺接於鎖接室13底側之螺紋段112中心內螺孔113的螺栓22(如：第15圖所示)。

經由以上敘述可知：本發明轉子蓋子2是一體製作完整構件，且轉子蓋子2以導流面23作為引導氣流與粉塵顆粒排出渦輪分子式真空泵1之依據，俾此，一體製作之轉子蓋子2來消弭習知鎖固過度摧逼可能造成的變形及破裂的缺失問題。另外，轉子蓋子2之使用可徹底封閉鎖接室13，令鎖接室13無法成為粉塵顆粒積存的密閉空間效果之優異目的，確實具符合新穎性、進步性及產業利用性之發明專利要件。

另一優點可知：提供一治具3利用承窩32套接轉子蓋子2，同時以等角分佈之側定部33嵌入相應的側淺槽21；而後，據扳動元件4操作治具3及轉子蓋子2一致旋轉，俾此達成轉子蓋子2與轉子12的組合與拆卸脫離，惟，側定部33與側淺槽21之相應嵌接恰可平均轉子蓋子2的受力均衡，且扳動元件4如為扭力扳手執行轉子蓋子2組裝時：其轉子蓋子2組裝又可有以扳動元件4設定與轉子12在預設壓力值內組裝，據此，可防護轉子12與轉子蓋子2在組合時減少破壞之虞的效益。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例，當不能以此限定 本創作實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及創作說明書內容所作之等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

1‧‧‧渦輪分子式真空泵

11‧‧‧旋轉軸

12‧‧‧轉子

13‧‧‧鎖接室

131‧‧‧側壁

2‧‧‧轉子蓋子

21‧‧‧側淺槽

22‧‧‧螺栓

23‧‧‧導流面

24‧‧‧平接面

25‧‧‧延伸段

26‧‧‧下凹室

3‧‧‧治具

31‧‧‧旋扳體

32‧‧‧承窩

33‧‧‧側定部

4‧‧‧扳動元件

Claims (10)

1. 一種渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，該渦輪分子式真空泵上方突設有一旋轉軸，旋轉軸上套定有一轉子，轉子中心下凹有一鎖接室，鎖接室周圍具有側壁，而鎖接室中心固接有旋轉軸，其特徵係在：該轉子上方設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子周圍等角分佈有側淺槽，並轉子蓋子中心朝下延伸有一螺接於鎖接室底側之螺栓；惟，轉子與轉子蓋子之組合及分離可據一治具及一扳動元件操作；其治具至少設有：一上方突設之旋扳體與一底面上凹之可套置轉子蓋子的承窩，而承窩周圍分佈有相應側淺槽位置之側定部；而後，治具可操作轉子蓋子與轉子組合與拆卸脫離，其治具的操作步驟為：先將承窩由上套接轉子蓋子，並據側定部嵌入側淺槽，而後，利用扳動元件控制旋扳體順向旋轉治具，同時，治具利用側定部抓持側淺槽同步旋轉轉子蓋子及螺栓，此時，由螺栓旋轉鎖入鎖接室底側至轉子蓋子密封鎖接室，反之，當轉子蓋子需拆卸時，可據扳動元件逆向旋轉治具至轉子蓋子脫離轉子。
2. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該轉子蓋子周圍又恰好等角分佈有二至四道之側淺槽，另外，治具相對側淺槽增設有二至四道等角分佈之側定部貫孔，側定部貫孔另植接有該側定部，且治具周圍增立設有等角分佈之二至四面方便治具加工時定位的夾持部，另外，治具上方又立設有一六角柱形之旋扳體，再者，該扳動元件又可為一扭力扳手。
3. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該轉子蓋子下方另具有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內又具有 伸入鎖接室之延伸段，延伸段周圍增設有環凹槽，環凹槽中又套置有緊貼鎖接室的側壁之O型環。
4. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該轉子蓋子上方另具有一中心高起朝周圍低下之圓弧狀的導流面，而後，轉子蓋子下方另具有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內又具有伸入鎖接室之延伸段，另外，轉子蓋子底側於延伸段內側增上凹有用於減少體積之下凹室，下凹室中心又設有螺接於鎖接室底側之該螺栓。
5. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該轉子蓋子上方另具有一中心高起朝周圍低下之尖錐狀的導流面，而後，轉子蓋子下方另具有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內又具有伸入鎖接室之延伸段，另外，轉子蓋子底側於延伸段內側增上凹有用於減少體積之下凹室，下凹室中心又設有螺接於鎖接室底側之該螺栓。
6. 如申請專利範圍第1項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該渦輪分子式真空泵於旋轉軸上方又突伸有一階級段，階級段上側增設有一螺紋段，螺紋段中心另下凹有一內螺孔，而後，旋轉軸上套定有該轉子，轉子於鎖接室中心增具有一可供階級段之螺紋段穿透的階級段納孔，且鎖接室中增置入一鎖接螺紋段之螺帽，並轉子上方又設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子中心朝下延伸有一螺接於鎖接室底側之螺紋段中心內螺孔的螺栓。
7. 如一種渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，該渦輪分子式真空泵上方突設有一旋轉軸，旋轉軸上套定有一轉子，轉子中心下凹有一鎖接室，鎖接室周圍具有側壁，而鎖接室中心固接有旋轉軸，其特徵係在：該轉子上 方設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子周圍等角分佈有側淺槽，並轉子蓋子中心朝下延伸有一螺接於鎖接室底側之螺栓。
8. 如申請專利範圍第7項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該轉子蓋子周圍又恰好等角分佈有二至四道之側淺槽，另外，轉子蓋子下方另具有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內又具有伸入鎖接室之延伸段，延伸段周圍增設有環凹槽，環凹槽中又套置有緊貼鎖接室的側壁之O型環。
9. 如申請專利範圍第7項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該轉子蓋子上方另具有一中心高起朝周圍低下之導流面，而後，轉子蓋子下方另具有一平貼轉子上緣之平接面，平接面範圍內又具有伸入鎖接室之延伸段，另外，轉子蓋子底側於延伸段內側增上凹有用於減少體積之下凹室，下凹室中心又設有該螺栓。
10. 如申請專利範圍第7項所述之渦輪分子式真空泵用之轉子蓋子，其中，該渦輪分子式真空泵於旋轉軸上方又突伸有一階級段，階級段上側增設有一螺紋段，螺紋段中心另下凹有一內螺孔，而後，旋轉軸上套定有該轉子，轉子於鎖接室中心增具有一可供階級段之螺紋段穿透的階級段納孔，且鎖接室中增置入一鎖接螺紋段之螺帽，並轉子上方又設有封閉鎖接室之轉子蓋子，轉子蓋子中心朝下延伸有一螺接於鎖接室底側之螺紋段中心內螺孔的螺栓者。