TW201704854A - 防塵薄膜組件收納容器以及防塵薄膜組件的取出方法 - Google Patents

Abstract

一種防塵薄膜組件收納容器，適於製造的容易化和量產化且結構簡便，於蓋體在容器本體上嵌合的狀態下，也可進行針的固定・解除。防塵薄膜組件收納容器，包括：容器本體，收納防塵薄膜組件；及蓋體，在蓋體上進行嵌合止動，其中，在容器本體上，載置有：針、及針支持裝置，其中，針的水平方向可動的先端部被插入到防塵薄膜組件框架側面上設置的凹部，針支持裝置對該針加以固定；在蓋體中，設置有貫通至容器本體的內部的開口部；所述針中，在設置從針本體向蓋體的開口部的方向延伸的針操作部的同時，針操作部是，在針操作部的上端部與為了將開口部密閉而貼附的黏著片進行接著固定。

Description

防護薄膜收納容器及防護薄膜的取出方法

本發明是有關於一種在製造半導體裝置、印刷基板或者液晶顯示器等時，對於作為除塵器使用的微影(lithography)用防塵薄膜組件(pellicle)進行收納、保管、運送的防塵薄膜組件收納容器，以及從該防塵薄膜組件收納容器將防塵薄膜組件取出的方法。

大型積體電路(Large Scale Integration, LSI)、超大型積體電路(Very Large Scale Integration, VLSI)等的半導體製造或者液晶顯示器等的製造中，要對半導體晶圓(wafer)或者液晶用原板進行光照射以進行圖案製作，此時，如所用的光罩(photomask)或者標線片(reticle)（以下，簡稱”光罩”）附著了灰塵，該灰塵就會吸收光或使光彎曲，致使轉印的圖案變形、邊緣不齊，此外還會使基底髒污等，還有使尺寸、品質、外觀等受損的問題。

因此，這些作業通常在無塵室中進行，但是，即使如此，也難以總是保持光罩的清潔，因此，要在光罩表面貼附作為防塵器的防塵薄膜組件後，再進行露光。在該場合，異物不會在光罩的表面直接附著，而是附著在防塵薄膜組件上，這樣在微影時只要將焦點對準光罩的圖案即可，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關了。

所述的防塵薄膜組件，一般而言，是將由良好透光的硝化纖維素、醋酸纖維素或者氟樹脂等構成的透明的防塵薄膜組件膜，在鋁、不銹鋼、樹脂複合材料等構成的防塵薄膜組件框架的上端面進行貼附或接著而構成。另外，在防塵薄膜組件框架的下端，設置為了安裝光罩的由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯基樹脂、丙烯酸樹脂、矽樹脂等構成的黏著層，以及為了保護黏著層的離型層（分離片(separator)）。

然而，這樣的防塵薄膜組件，對從光罩貼附後形成的封閉空間的外部向內部的異物的侵入防止雖然有效果，但是，防塵薄膜組件本身附著異物時，由於在封閉空間的內部，所以，難以防止向光罩的異物的附著。因此，也要求有對防塵薄膜組件本身的高清潔性，從而，在保管、運送中也要維持使用的防塵薄膜組件收納容器的清潔性。具體地說，要求了：帶電防止性能優良，即使在摩擦時灰塵發生也少的材質；可以極力防止防塵薄膜組件及構成部件間的接觸的構造；以及在施加外力時的防變形的高剛性的構造。

這樣的防塵薄膜組件收納容器，通常為，可以用丙烯睛-丁二烯-苯乙烯(Acrylonitrile butadiene styrene, ABS)、聚甲基丙烯酸甲脂(Poly methyl methacrylate, PMMA)、聚碳酸酯(Polycarbonate, PC)等的樹脂進行射出成形或者真空成形來製造。利用這樣的成形方法的理由為，具有以下所述的優點：表面平滑，異物的附著和灰塵發生的可能性少；一體成形，接縫發生灰塵和異物侵入的可能性小；複雜形狀的物體也容易製造；量產性優良，成本低。

例如，半導體用和印刷基板用防塵薄膜組件的收納容器是，外形的邊長為大概200~300 mm前後，通常，利用射出成形來製造。這樣邊長為200~300 mm的防塵薄膜組件收納容器，為了保持防塵薄膜組件收納容器的清潔性，而要求在施加外力時也難以變形的高剛性；原本，用於小型時剛性易於確保，另外，射出成形中由於厚度易於局部改變，由於可以對重要位置的壁厚進行補強，所以，在剛性方面很少成為問題。

另一方面，主要在液晶用防塵薄膜組件中所使用的邊長為超過500 mm的大型的防塵薄膜組件收納容器，一般而言，利用ABS、PMMA等的合成樹脂片進行真空成形來製造。其原因為，要從1處或者數處的進模口(gate)，向模具內高速注入樹脂的射出成形中，樹脂的流動距離過長，因此，製法上成為困難。雖然，在真空成形的場合，模具中覆蓋加熱的樹脂片，僅進行真空吸引就可以容易地形成大型品，但是，其不能成形壁厚為厚的物體，可以進行凸條(rib)程度的補強，但基本上是僅將具有相同板厚的片折彎，所以，具有難以製作高剛性物體的問題。

順便一提，在防塵薄膜組件收納容器的場合，除了上述那樣的剛性的問題之外，還具有：防塵薄膜組件如何被防塵薄膜組件收納容器收納的問題。例如，在專利文獻1中，記載了：防塵薄膜組件在載置台上用支持體進行支持而載置的同時，蓋體內面的接觸部對防塵薄膜組件框架的上端面進行按壓，來保持且固定防塵薄膜組件不進行上下以及水平移動的收納方法。根據該方法，具有：防塵薄膜組件和容器的各部相互摩擦，發生塵埃等的可能性少，部件個數也少的優點，所以，為在小型的半導體用防塵薄膜組件中被一般利用的手法。

但是，在使用該收納方法的場合中，蓋體和防塵薄膜組件收納容器本體都要高精度成形，在邊長為超過500 mm的大型的液晶用防塵薄膜組件收納容器中不能被使用。其原因為，這樣的大型的防塵薄膜組件收納容器的真空成形製造的場合，難以得到精度良好的成形品之外，還有收納容器本身的剛性確保困難，在處理和搬送時，難以避免收納容器的變形，在該場合，會發生容器和防塵薄膜組件框架的摩擦而發生灰塵，並且使得品質低下。

由此，作為邊長為超過500 mm的大型的防塵薄膜組件的收納方法，專利文獻2中，記載了一種使對光罩黏著層進行保護的襯層(liner)的一部分向外側突出，用黏著帶將其固定在容器本體上的收納方法。但是，在該收納方法的場合中，具有：該作業不得不用人手來進行，難以以清潔的狀態固定在托盤(tray)上的問題。另外，還有在將帶進行剝離而取出時，具有：人手接近防塵薄膜組件框架附近，從而有異物附著的擔心。

另外，專利文獻3中，記載了一種向在防塵薄膜組件框架外側面設置的凹部插入針，從而將防塵薄膜組件在容器本體上進行固定的收納方法。該收納方法的場合中，在裝卸時由於人手不會接近防塵薄膜組件，來自於作業員的異物的附著可能性小，但是，具有：要在運送中，對針的插入位置持續進行維持的問題。為了解決這一問題，專利文獻4中，記載了將針固定在插入位置的方法，根據該方法，可以用簡單的構造，並且在運送中將針進行確實的固定。

進一步，在專利文獻5中，記載了以下的防塵薄膜組件收納容器：為了使在針卸下時的異物附著進一步減低，在容器的蓋體為關閉的狀態，可以從容器的外部，對於將防塵薄膜組件進行固定的針進行操作，以使防塵薄膜組件從容器本體卸下。在該防塵薄膜組件收納容器的場合中，由於防塵薄膜組件異物附著可能性的大的針的解除作業是在蓋體蓋著的狀態下進行，並且從收納容器的外部進行操作，所以，能夠防止：在針的解除操作時，來自作業員的異物向防塵薄膜組件進行附著。

再加上，在該防塵薄膜組件收納容器中，防塵薄膜組件成為在容器本體上解除的狀態後，再將蓋體打開，然後，用處理夾具等將防塵薄膜組件取出，所以，作業員接近防塵薄膜組件的時間就會縮短，因此，來自作業員的異物附著的可能性就會大幅度減低。另外，如果先將針解除，打開蓋體且將防塵薄膜組件取出的作業的裝置化就變得比較容易，特別是，用自動機器將防塵薄膜組件的取出作業，就會變得適宜。

[先行技術文獻]               [專利文獻]               [專利文獻1]    日本實公平6-45965號               [專利文獻2]    日本特開2004-361647號               [專利文獻3]    日本專利4391435號               [專利文獻4]    日本專利5586559號               [專利文獻5]    日本專利5586560號

[發明所要解決的課題]        但是，專利文獻5記載的防塵薄膜組件收納容器，特別是具有：防塵薄膜組件固定部18的構造複雜的問題。例如，在防塵薄膜組件固定部18中，作為將針28的轉動加以防止的轉動防止部件，突出設置了由針28的後端部和凹凸止動的止動部所形成的柱狀部44，所以，具有：難以確保該轉動防止部件的安裝精度的在製造上以及運用上的問題。另外，針28以及針裝著部32等和轉動防止部件為，通過製造誤差的大的蓋體的側面設置的開口部14a而安裝，所以，具有：難以對針28的先端部的位置精度進行管理的問題。因此，在防塵薄膜組件收納容器進行量產的場合，針28和轉動防止部件等的位置調整作業，必須對每個防塵薄膜組件收納容器個別進行，具有：在量產品的運用有實際上困難的問題。

[解決課題的手段]        因此，本發明為，鑒於防塵薄膜組件收納容器的上述問題，對該防塵薄膜組件收納容器進行改良之物，其目的為提供一種防塵薄膜組件收納容器，對防塵薄膜組件收納容器的製造的容易化和量產化適宜且結構簡便，即使蓋體在容器本體上嵌合的狀態下，也可以對針進行嵌合・解除，另外，還提供一種防塵薄膜組件的取出方法，從防塵薄膜組件收納容器中將防塵薄膜組件取出時，異物的附著減低。

本發明人，為了達成上述目的進行了充分的研究，對以往的防塵薄膜組件固定部的針進行了改良，在設置針的嵌合・解除為可能的針操作部的同時，對該針操作部的接著裝置進行了改造，使以往的防塵薄膜組件固定部的複雜的構造的簡便化成為可能。

即，本發明為，一種防塵薄膜組件收納容器，包括：對防塵薄膜組件進行收納的容器本體；和覆蓋容器本體上，並在其周緣部嵌合止動的蓋體，其中，在容器本體上載置有：針、及針支持裝置，其中，所述針的水平方向上可動的先端部被插入到防塵薄膜組件框架側面設置的凹部中，所述針支持裝置對該針進行固定；在蓋體中，設置有：貫通到容器本體內部的開口部；在所述針中，在設置從針本體向蓋體的開口部的方向延伸的針操作部的同時，所述針操作部是，在所述針操作部的上端部與為了密閉開口部而貼附的黏著片進行接著固定。

另外，本發明的針，優選的是，通過以針軸部為中心的回轉操作，從而在針支持裝置上進行嵌合固定，更優選的是，使在所述針上設置的突起部與在針支持裝置上設置的缺口部進行嵌合固定。

進一步，本發明的防塵薄膜組件的取出方法，其中，將在所述防塵薄膜組件收納容器的蓋體的開口部上貼附的黏著片剝離，將開口部開放後，於蓋體在容器本體上嵌合止動的狀態下，從蓋體的外側對針操作部進行操作，將插入凹部的針的先端部拔出，將在容器本體上固定的防塵薄膜組件解除，然後，將蓋體卸下，將防塵薄膜組件取出。

[發明的效果]               根據本發明，提供了一種適宜於量產化的具有簡便的構造的防塵薄膜組件收納容器，在可以將防塵薄膜組件固定部的針確實固定的同時，沒有在其內部收納的防塵薄膜組件的破損和向防塵薄膜組件的異物的附著的可能性，且可靠性高。另外，在防塵薄膜組件取出時，將蓋體的黏著片剝離，開口部開放，將插入防塵薄膜組件框架的凹部的針的先端部拔出，在蓋體原封不動地在容器本體嵌合的狀態下，就可以將防塵薄膜組件從容器本體容易地解除，由此，伴隨著取出作業由作業員帶入的異物的附著被減低。

以下，對本發明的一實施方式，基於附圖進行詳細說明。本發明在用於收納，特別是，收納邊長超過500 mm、主要用於顯示器(display)製造用途的大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件的收納容器的場合效果大，但是，也可適用邊長為150 mm程度的半導體製造用或者邊長300 mm程度的印刷基板製造用的防塵薄膜組件，其用途與尺寸並不進行限定。

防塵薄膜組件收納容器10，如圖1所示的那樣，包括：將防塵薄膜組件20進行載置的容器本體11；以及將容器本體11進行覆蓋的同時，在周緣部進行嵌合的蓋體12。蓋體12與容器本體11，較佳的是，使用夾子(clip)（未圖示）或帶扣(buckle)（未圖示）進行締結，或者使用黏著帶（未圖示）進行密封(seal)。

關於容器本體11和蓋體12，是由ABS、PC、PMMA、聚氯乙烯(Polyvinyl chloride, PVC)等的樹脂，通過射出成形或者真空成形而製作；較佳的是，為了提高附著異物的易於發現度，容器本體11成為黑色，並且，為了易於對內部進行確認，蓋體12成為透明。另外，從異物的附著防止的觀點而言，較佳的是，向樹脂材料摻入導電物質或者在表面進行塗布，來賦予帶電防止功能。

防塵薄膜組件的邊長為超過1000 mm的特別大型的收納容器中，為了確保剛性，容器本體11的外側可以安裝由金屬或纖維強化塑膠等製作的補強體，但是，防塵薄膜組件收納容器10的本體本身也可以用鋁合金等的輕金屬來製作。

在容器本體11上，如圖3所示那樣，四處的針支持裝置14用螺栓（未圖示）進行安裝，其中，針13的針軸部13a插入，這樣，就可以形成不太偏而且可以順利地拔出的間隙。

關於針13，使用環氧樹脂、ABS、聚苯硫醚(Polyphenylene sulfide, PPS)、聚乙烯(Polyethylene, PE)、聚醚醚酮(Polyaryletherketone, PEEK)等的樹脂，以射出成形或者傳遞模塑法(transfer molding)等一體成形地進行製作。根據必要，較佳的是，以將玻璃纖維等的填料等混入，而提高強度。另外，為了對針13的針軸部13a的剛性進行確保，可以用不銹鋼等的金屬構成，將針13的針軸部13a壓入樹脂製作的針本體13b或者進行接著等的構成也很好。

關於針支持裝置14，較佳的是，與針13為同樣地，使用環氧樹脂、ABS、PPS、PE、PEEK等的樹脂，通過射出成形、傳遞模塑法等一體成形地進行製作。將防塵薄膜組件框架21進行固定的針13的個數，在本實施方式中為4處，但是，其他的個數，例如，邊長為特別長的防塵薄膜組件框架也可以為6處或者8處。另外，本實施方式中，在長邊上進行設置，但是在短邊也可，另外，在長邊和短邊的兩方也可。

在針13的先端部設置了台階部13c，該台階部13c上被嵌入了彈性體15，較佳的是，防塵薄膜組件框架21的凹部22不直接與針部件接觸，這是由於如此可以防止灰塵發生。其形狀為，將如圖5例示的那樣的環狀物嵌入針先端的細徑部，另外，台階部本身形成彈性體而進行安裝也可（未圖示）。作為彈性體15的材質，可以利用丁腈橡膠(Nitrile rubber)、乙烯丙烯橡膠(Ethylene propylene rubber)、矽橡膠(silicone rubber)、氟橡膠(fluorine rubber)等。

圖5為本發明的防塵薄膜組件固定部的一實施方式的立體圖。防塵薄膜組件20，如圖5所示那樣，是由在防塵薄膜組件框架21的角部附近設置的凹部22中插入針13來支持，針13是被容器本體11上的針支持裝置14來支持。此處，在針13上設置有：由針本體13b向蓋體12的一方延伸的針操作部13d。針操作部13d可以用與針13全體相同的樹脂進行一體成形，也可以在針本體13b處設置孔，將由不銹鋼等的金屬形成的棒狀的部件壓入、或接著而構成。

在針操作部13d的正上方附近的蓋體12中，如圖5所示的那樣，在設置與內部貫通的開口部12a的同時，開口部12a通過黏著片12b的貼附而被密閉。開口部12a為：在蓋體12成形後利用切削加工而形成，為了將蓋體12的剛性變低抑制在最小限度，其大小為在針操作部13d的操作中為必要的最小限度的大小為好。另外，其形狀可為圓形、橢圓形、矩形等等，但是從提高清潔度的角度來看，可作成無角的形狀，以大約20 x 20 mm ~ 40 x 40 mm的範圍為較佳。

從針本體13b延伸的針操作部13d，具有：其先端到達與蓋體12的外側平面為同一平面的位置的長度，並且，針操作部13d與黏著片12b接觸（接著）而固定，所述黏著片12b是為了對開口部12a進行密閉而貼附的。

當防塵薄膜組件20取出時，將黏著片12b剝離，開口部12a出現的同時，針操作部13d的固定被解除。然後，可以由針操作部13d的後退操作，從防塵薄膜組件框架21的凹部22將針13的先端部拔出，以將在容器本體11上的防塵薄膜組件20的固定解除。

另外，在蓋體12卸下前，通過開口部12a，使防塵薄膜組件收納容器10的內外通氣，所以，不會由於蓋體12的卸下，而使容器內變為負壓，除了卸下容易之外，也可期待防止異物的捲入。

本發明的防塵薄膜組件20，除了在防塵薄膜組件框架21的側面要設置凹部22之外，沒有特別限制的事項。另外，凹部22是，由於和針13的先端部的嵌合以及加工容易，較佳為，直徑是0.5~4 mm、深度是1~5 mm的圓孔，但是，其他的形狀也可。

防塵薄膜組件框架21，是由以鋁合金為首的金屬、以及樹脂或者樹脂複合材料等而製成，在其上可以設置通氣孔（未圖示）、和安裝將其表面覆蓋的過濾器(filter)（未圖示）。另外，在其側面上，為了進行處理，也可以在各個位置設置溝和凹部等。

在防塵薄膜組件框架21的一個面上，如圖5所示的那樣，光罩黏著層23被形成，其表面上安裝了保護用的分離片24。防塵薄膜組件框架21是，以矩形為一般形狀，但是，多角形狀，圓形等的其他的形狀也可。分離片24是，如果有代替其的其他的裝置來進行光罩黏著層23的保護的話，也可省略。另外，在光罩黏著層23的相反側的面上，防塵薄膜組件膜接著層25被設置，且防塵薄膜組件膜26被拉伸設置。

圖5所示防塵薄膜組件固定部的一實施方式中，針支持裝置14上的針13的固定，僅依賴黏著片12b和針操作裝置13d的接著，有可靠性稍有不足之處。

因此，為了使針13的固定更確實，採用圖6以及圖7所示的另一個實施方式，此為較佳。即，在針13的一部分上設置突起部13e的同時，在針支持裝置14中也設置與突起部13e嵌合的缺口部14c。在該實施方式中，通過對以針軸部13a為中心的回轉操作，使嵌合/解除成為可能，也設置從針本體13b延伸的操作部13d，這樣的組合，如通過回轉操作使針13固定的話，即成為圖8所示的防塵薄膜組件固定部的實施方式。

圖9為，在黏著片12b和針操作裝置13d的接著之外，用圖8所示的防塵薄膜組件固定部，將針支持裝置14上的針13更確實固定的另一實施方式的立體圖。

在圖9所示的另一實施方式中，針支持裝置14是，如圖6所示那樣，具有：作為孔的針插入部14a以及向一個方向開放的U字型的溝的導入部14b，在導入部14b的一部分中，進一步設置缺口部14c。所述突起部13e是，如圖8所示那樣，將針13插入，直至與針支持裝置14的導入部14b的深處相碰，並且，設計為在回轉時，突起部13e與缺口部14c嵌合。然後，通過該構成，就可以通過回轉操作，使針進行嵌合・解除。此時的回轉操作角度，從操作性和嵌合的確實性的觀點，較佳為30~180度，進一步較佳為45~90度的範圍。

針操作部13d為，如圖5所示實施方式同樣，其長度要達到與蓋體12的外面為同一平面的位置，並且，針操作部13d與黏著片12b接觸（接著）而被固定，所述黏著片12b是以將開口部12a密閉的方式而進行貼附。另外，在該另一實施方式中，如圖9所示那樣，通過將針支持裝置14的缺口部14c和針13的突起部13e嵌合，將針13的位置固定，進而，針操作部13d進一步通過與蓋體12上的黏著片12b接觸（接著）而固定，所以，可以更確實地將針13的位置固定。

在本發明的圖5以及圖9所示那樣的實施方式中，蓋體12上沒有設置任何保持針13的位置的機械部件，各部件的製造誤差和組裝誤差的積累少。另外，針13的固定和從外部的操作，通過將針操作部13d、蓋體12上設置的開口部12a以及黏著片12b進行組合的簡便的構成來達成，因此，對於尺寸誤差的容許度大，極其適合量產化。

另外，圖9所示實施方式中，其操作方法，與圖5所示實施方式沒有大的差別，僅為加上針13的旋轉動作。即，將蓋體12上貼附的黏著片12b剝離，使開口部12a開放後，從蓋體12的外側使用可與針接合或類似的工具，使針操作部13d進行回轉操作，而使針13和針支持裝置14的嵌合解除，之後，使其後退，將防塵薄膜組件框架21的凹部22中插入的針13的先端部拔出，而使容器本體11和防塵薄膜組件20的締結解除。然後，將蓋體12卸下，用處理夾具（未圖示）等將防塵薄膜組件20取出即可。

因此，即使圖9所示實施方式，由於伴隨針解除的作業員的手與防塵薄膜組件接近時，防塵薄膜組件20為被蓋體12覆蓋的狀態，所以，來自作業員的異物的附著可以大幅度地減低。

[實施例]         以下，對本發明的實施例進行詳細的說明。在實施例中，首先，使用樹脂的片材，由真空成形而製作圖1、圖2、圖3以及圖4所示形狀的容器本體11以及與其嵌合的蓋體12。圖1為兩者組合的狀態的所示立體圖，該外尺寸為1080 x 960 mm，高度為92 mm。容器本體11為黑色，其厚度為5 mm的難以燃燒的ABS。蓋體12為，厚度為5 mm的透明的難以燃燒的PMMA，在成形後，進行帶電防止塗裝（商品名：SEPLEGYDA，信越聚合物（公司）製造）。

接著，在將ABS進行射出成形、且製作針支持裝置14的同時，將PPS進行射出成形，而製作針13。圖6以及圖7為各個的詳細的形狀的立體圖，圖8為兩者組合的狀態的立體圖。

針13為，如圖7所示的那樣，具有：針軸部13a、針本體13b、針操作部13d、以及突起部13e。針軸部13a是由SUS304不銹鋼進行機械切削而製作，被壓入將PPS樹脂進行射出成形的針本體13b中。另外，針操作部13d也同樣用SUS304不銹鋼機械切削製作，被壓入針本體13b上的設置的孔。進一步，在針軸部13a的先端設置了台階部13c，其中將粗0.5 mm的氟橡膠製的環狀彈性體15嵌入。

另一方面，針支持裝置14為，如圖6所示那樣，具有：針插入部14a、導入部14b、以及缺口部14c。然後，針13的針軸部13a被插入針支持裝置14的針插入部14a，在右方向上旋轉45度時，突起部13e與針支持裝置的缺口部14c嵌合，成為如圖8所示那樣的，針13和針支持裝置14的組合狀態。

接著，將圖8所示狀態組合的部件載置於容器本體11上，如圖9所示那樣，對針13在防塵薄膜組件框架21上所設置的凹部22中的嵌合位置進行調整，從外側用不銹鋼製螺栓（未圖示）進行安裝。另外，在蓋體12上，在嵌合於容器本體11時，在針操作部13d的正上方的領域，通過機械加工而設置20 x 30 mm的大小的角孔12a。

然後，將這樣組裝的防塵薄膜組件收納容器10一次量產20台，實際地將防塵薄膜組件20收納，且對安裝狀態進行確認，可得知：都沒有部件交換和再調整必要的話，20台的全數都維持了完整的使用可能的品質。

接著，將該防塵薄膜組件收納容器10搬入到10級(Class 10)的無塵室，用界面活性劑和純水進行良好洗淨後，進行完全乾燥。然後，為了對該防塵薄膜組件收納容器10進行評價，將防塵薄膜組件20收納，進行了運送試驗。

該試驗使用的防塵薄膜組件20為，外尺寸為937.5 x 756 mm，內尺寸為925.5 x 740 mm，高度為約7.2 mm。另外，使用的防塵薄膜組件框架21為A5052鋁合金製，進行了表面黑色氧皮鋁(alumite)處理，外尺寸為937.5 x 756 mm，內尺寸為925.5 x 740 mm，高度為5.8 mm。進一步，其角部為外側R5，內側為R2的同時，在各長邊中，以100 mm為間隔而設置4處的j 1.5 mm的通氣孔（未圖示）、和以850 mm為間隔而設置2個j 2.5 mm x深度1.8 mm的凹部22。在通氣孔中，使用聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene, PTFE)製膜，將片狀過濾器用丙烯酸(acrylate)黏著劑進行安裝。

作為光罩黏著層23，在使用厚度約1.2 mm的矽黏著劑（信越化學工業（公司）製造）的同時，為了表面保護，作為分離片24，而將離型劑塗布了厚度為0.1 mm的乙烯對苯二甲酸酯(Polyethylene terephthalate, PET)片進行安裝。作為防塵薄膜組件膜26的接著層25，進行厚度約0.1 mm的矽黏著劑（信越化學工業（公司）製造）塗布，在此上面，黏接了作為防塵薄膜組件膜26的厚度3.0 µm的氟系樹脂（商品名CYTOP，旭硝子（公司）製造）。

接著，將防塵薄膜組件20搬入暗室內，用集光燈進行異物檢查後，在上述防塵薄膜組件收納容器10的容器本體11上進行載置的同時，將針13的先端部插入防塵薄膜組件框架21側面的凹部22，利用回轉操作，使突起部13e與針支持裝置14的缺口部14c嵌合。其後，將蓋體12關閉，在開口部12a，貼附用PET製黏著帶製作的黏著片12b，在將開口部12a密封的同時，使黏著片12b與從開口部12a出現的針操作部13d的端部進行接著。

另外，在容器本體11和蓋體12的周緣部，使用寬度為35 mm的PET製黏著帶（未圖示）貼附固定後，利用內部用清潔洗滌的帶電防止PVC製袋進行雙重包裝，且在內部配置有緩衝材，而收納在強化瓦楞紙製包裝箱（未圖示）。

將這樣包裝的防塵薄膜組件收納容器10裝上卡車，進行約1000 km的運送。然後，將運送後的防塵薄膜組件收納容器10搬入到10級的無塵室，對內部進行確認，得知蓋體12貼附的黏著片12b為保持密封狀態。

另外，將黏著片12b剝離，對容器內部進行目視觀察，針13的突起部13e處於與針支持裝置14的缺口部14c嵌合的狀態，針13的先端部也與防塵薄膜組件框架21的凹部22處於嵌合的狀態。

接著，用先端有橡膠的針組件（未圖示），通過操作部13d使針13回轉，向後方進行約10 mm程度移動後，將蓋體12卸下，對內部進行確認，可以看到防塵薄膜組件20在容器本體11上，無異常地處於載置狀態。然後，在該狀態下使周圍變暗，用集光燈對容器本體11和防塵薄膜組件20進行照射，且對表面進行觀察，得知沒有看到異物的附著。

防塵薄膜組件20是，在針13拔出、使防塵薄膜組件20從容器本體11解除的作業期間，由於蓋體12覆蓋，所以，沒有必要擔心來自於作業員的手的異物附著在防塵薄膜組件20上，該作業可以極容易地進行。另外，在蓋體12卸下時，會從開口部12a通氣，可以將蓋體12順利地拿起。

最後，對於從容器本體11解除的防塵薄膜組件20，使用專用處理夾具（未圖示）而搬運到暗室內，用集光燈對表面附著的異物進行檢查，防塵薄膜組件20完全沒有異物的附著，處於極清潔的狀態。

[比較例]         圖10是為了比較而製作的防塵薄膜組件固定部30的立體圖。在該比較例中，防塵薄膜組件固定部30具有：針31、和針支持裝置14，在防塵薄膜組件框架的凹部使針被插入而固定的方式是與上述實施例為相同，但是，如圖10所示的那樣，在針31上，與實施例的針操作部13d相當的裝置沒有被設置的方面，與實施例不同。進而，針支持裝置14是，與實施例同樣，使突起部31e被設置。

比較例的針31具有：針軸部31a、針本體31b、以及突起部31e，是在將PPS樹脂用射出成形的針本體31b上，壓入SUS304不銹鋼製作的針軸部31a而構成。另外，突起部31e是，以使針31進行回轉時，和針支持裝置14的缺口部14c嵌合的方式來構成，在針31進行回轉固定的狀態下將蓋體12覆蓋時，該突起部31e的高度設定為：要達到與蓋體12的內面接觸的高度。進一步，在針本體31b的端部，設置了操作用的六角穴31f，在針軸部31a的先端的台階部31c，安裝有氟橡膠所構成的彈性體15。

在該比較例中，與實施例同樣，在容器本體將與實施例相同的規格的防塵薄膜組件20進行收納後，在該容器本體上將蓋體嵌合，從而防塵薄膜組件收納容器被組裝，該蓋體12中，與實施例的開口部12a和黏著片12b相當的物體沒有被設置。

接著，這樣組裝的防塵薄膜組件收納容器，在進行完全同樣的運送試驗的同時，將運送後的防塵薄膜組件收納容器搬入到10級的無塵室，其後，從容器本體將蓋體卸下，進行內部確認，可得知，防塵薄膜組件20處於由針31在容器本體上被確實地固定的狀態。

另外，作業員的手被良好地吹風且洗滌後，小心地將六角扳手插入位於針31的後端的六角穴31f中，在將針31進行回轉而解除嵌合的同時，將針31向後方移動，從凹部22拔出。然後，保持該狀態使周圍變暗，用集光燈照射，對容器本體和防塵薄膜組件20的表面上進行觀察，防塵薄膜組件20的膜面清潔，但是，容器本體上和防塵薄膜組件固定部30的周邊，發現大小為5~20 µm的異物有數個飛散。

進一步，在該比較例中，其針31的解除作業為：在從容器本體將蓋體卸下的狀態，即防塵薄膜組件膜面露出的狀態，非常慎重地進行，但是，如果與實施例那樣的蓋體在容器本體嵌合的狀態下進行的解除作業相比，其所要時間為大約1.5倍。

最後，將從容器本體被解除的防塵薄膜組件20，使用專用的處理夾具（未圖示）而搬入暗室內，利用集光燈對表面附著的異物進行檢查，發現：防塵薄膜組件膜上，有直徑10~20 µm程度的異物1個附著。該異物，可以用壓力2 kgf/cm² 的吹風容易地除去，但是，在容器本體上的觀察時，防塵薄膜組件20的膜面是清潔的，所以，可以推測是，防塵薄膜組件20在從容器本體11搬起的時候，容器本體上的異物被捲起，而附著在防塵薄膜組件膜面上。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器
11‧‧‧容器本體
12‧‧‧蓋體
12a‧‧‧開口部
12b‧‧‧黏著片
13‧‧‧針
13a‧‧‧針軸部
13b‧‧‧針本體
13c‧‧‧台階部
13d‧‧‧針操作部
13e‧‧‧突起部
14‧‧‧針支持裝置
14a‧‧‧針插入部
14b‧‧‧導入部
14c‧‧‧缺口部
15‧‧‧彈性體
20‧‧‧防塵薄膜組件
21‧‧‧防塵薄膜組件框架
22‧‧‧凹部
23‧‧‧光罩黏著層
24‧‧‧分離片
25‧‧‧防塵薄膜組件膜接著層
26‧‧‧防塵薄膜組件膜
30‧‧‧防塵薄膜組件固定部（比較例）
31‧‧‧針
31a‧‧‧針軸部
31b‧‧‧針本體
31c‧‧‧台階部
31e‧‧‧突起部
31f‧‧‧六角穴

圖1是本發明的一實施方式的立體圖。         圖2是本發明的一實施方式的平面圖。         圖3是本發明的一實施方式的平面圖（蓋體透視）。         圖4是本發明的一實施方式的圖3的AA斷面圖。         圖5是本發明的一實施方式的圖4的B部擴大圖（防塵薄膜組件固定部）。         圖6是本發明另一實施方式的針支持裝置的立體圖。         圖7是本發明另一實施方式的具有突起部的針的立體圖。         圖8是本發明另一實施方式具有突起部的針和針支持裝置組合後的立體圖。         圖9是本發明另一實施方式的具有突起部的針和針支持裝置的缺口部組合的防塵薄膜組件固定部的立體圖。         圖10是比較例的防塵薄膜組件固定部的立體圖。

11‧‧‧容器本體

12‧‧‧蓋體

12a‧‧‧開口部

12b‧‧‧黏著片

13‧‧‧針

13a‧‧‧針軸部

13b‧‧‧針本體

13c‧‧‧台階部

13d‧‧‧針操作部

14‧‧‧針支持裝置

15‧‧‧彈性體

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧凹部

23‧‧‧光罩黏著層

24‧‧‧分離片

25‧‧‧防塵薄膜組件膜接著層

26‧‧‧防塵薄膜組件膜

Claims (4)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，包括：     容器本體，收納防塵薄膜組件；以及     蓋體，覆蓋所述容器本體，並在所述蓋體的周緣部進行嵌合止動，     其中，在所述容器本體上，載置有：針、及針支持裝置，其中，所述針的水平方向上可動的先端部被插入到防塵薄膜組件框架側面設置的凹部，所述針支持裝置對於所述針進行固定，     所述蓋體中，設置有：貫通到所述容器本體的內部的開口部，     在所述針中，在設置從針本體向所述蓋體的開口部的方向延伸的針操作部的同時，所述針操作部是，在所述針操作部的上端部與為了將所述開口部密閉而貼附的黏著片接觸，而被接著固定。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，     通過以針軸部為中心的回轉操作，所述針被固定於所述針支持裝置。
3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，     所述針是，通過在所述針設置的突起部與所述針支持裝置上設置的缺口部進行嵌合，而被固定。
4. 一種防塵薄膜組件的取出方法，為從申請專利範圍第1項至第3項任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，將防塵薄膜組件取出的方法，其特徵在於：     將所述蓋體的開口部上貼附的所述黏著片剝離，使所述開口部開放後，於所述蓋體在容器本體上嵌合止動的狀態下，從所述蓋體的外側對所述針操作部進行操作，將插入所述凹部的針的先端部拔出，將所述容器本體上固定的防塵薄膜組件解除，然後，將所述蓋體卸下，將防塵薄膜組件取出。