TW201600786A - 墊圈與管接頭 - Google Patents

Abstract

本發明係一種介裝於第1管件(1)與第2管件(2)之相互對向之對向面之間、且內周面扣合於形成於第2管件(2)之突出部(23)的環狀墊圈(3)，其包含：環狀之金屬製殼體(6)，其內周面與突出部(23)之外周面對向；及環板狀之金屬製墊圈本體(7)，其係安裝於金屬製殼體(6)；且金屬製墊圈本體(7)係由形成於突出部(23)之前端部之夾持部(24)與形成於第1管件(1)之夾持部(12)所夾持。

Description

墊圈與管接頭

本發明係關於一種介置於相互連接之管件之間，且提高該等管件之對向面之氣密性之墊圈、與使用該墊圈之管接頭。

先前，於半導體及液晶、太陽電池等之製造步驟中，作為用以形成薄膜之材料氣體，使用單矽烷、氨等製程氣體。再者，於裝置之步驟中重要之清潔製程中，使用如全氟化碳或三氟化氮等清潔氣體之各種氣體。又，為了將該等氣體供給至反應器，而包含配管，且已知有氣瓶、閥等各種氣體供給裝置。

由於當該等氣體包含雜質時，對半導體之良率造成顯著之影響，故要求去除雜質之高純度化。

因此，於氣體供給裝置中，氣體之自貯藏設備至反應器，係通過配管供給氣體，但必須注意避免於該配管內混入雜質。

又，由於氣體多為極其有害，故必須防止自配管之氣體洩漏。

尤其，作為容易混入異物、容易產生氣體洩漏之配管之部位之一個，可舉出連接氣瓶與配管、及配管彼此之管接頭。

作為管接頭，於先前例係包含：環狀之墊圈，其係介裝於第1管件與連接於第1管件之第2管件之相互對向之兩個接合面之間，且於形成於第2管件之突出部扣合內周面；及蓋形螺母構件，其係隔著墊圈而使第1管件及第2管件緊固(文獻1(日本特開2013-24343號公報))。

於文獻1之先前例中，墊圈包含：合成樹脂製之環狀本體，其具 有內周尺寸大於突出部之外周尺寸之內周部與形成於該內周部之環狀之嵌合槽；C型彈簧，其係可於該環狀本體之嵌合槽嵌合外周部且於突出部扣合內周部；及金屬製之導環，其係嵌合於環狀本體之外周部。

於文獻1之先前例中，為了更換墊圈時，鬆開蓋形螺母構件，解除第1管件與第2管件之連結，而自蓋形螺母構件拆下第2管件，且自第2管件之突出部拆下墊圈。於文獻1中，由於於環狀本體之內周部之嵌合槽嵌合C型彈簧，故於墊圈之更換作業中，即使形成有突出部之第2管件為任意姿勢，墊圈亦不會意外地脫落。

其後，於第2管件之突出部插入新的墊圈，連接第1管件與第2管件，且將蓋形螺母構件旋入第1管件，而組裝管接頭。由於環狀本體之內周部大於第2管件之突出部之外周部，故墊圈對突出部之插入作業係使墊圈沿著突出部之軸向移動。

如以上般，於文獻1之先前例中，可容易地進行墊圈之更換作業。

於文獻1所示之先前例中，有可容易地進行墊圈之更換作業之優點，但由於環狀本體為合成樹脂製，故管接頭所使用之氣體之種類受限制。

例如，於洗淨半導體或裝置之產線、或洗淨矽晶圓之電漿蝕刻、CVD(Chemical Vapor Deposition：化學氣相沉積)處理室之產線中，有時使用清潔氣體等之特殊氣體，但當此種特殊氣體與合成樹脂製之環狀本體接觸時，有產生火災等不佳狀況之虞。

因此，考慮將環狀本體自合成樹脂製替換成金屬製，且將墊圈之所有零件設為金屬製。

但，於文獻1之先前例中，由於將環狀本體與第2管件之突出部之外周面交叉之接合面作為密封面，故密封性並不充分。

即，由於第2管件之突出部與接合面係以車床等切削而形成，故於將與突出部之外周面交叉之接合面平滑地形成時，突出部成為妨礙，而於使密封面本身平滑方面存在界限。

如文獻1之先前例般，若環狀本體為合成樹脂製，則可藉由使環狀本體變形而與接合面密接，接合面本身之平滑性並非太大之問題。相對於此，若將環狀本體設為金屬製，則由於環狀本體本身難以變形，故當接合面之平滑性不夠充分時，氣體會自管接頭洩漏。

再者，於對第1管件旋入蓋形螺母構件時，為了使洩漏量成為規定值，必須將第1管構件與第2管構件充分地緊固。但，於文獻1之先前例中，由於密封面較突出部形成於徑向之更外側，故成為與環狀本體之接觸面積較大者。因此，於緊固蓋形螺母構件時，需要較大之扭矩，管接頭之組裝作業變得繁雜。而且，過大之緊固亦有可能損傷蓋形螺母構件與第1管件之螺紋部。

再者，為了將墊圈設為金屬製，亦考慮將規格變更成美國CGA規格630/710系列(DISS接頭)，但由於金屬製墊圈與合成樹脂製墊圈相比非常昂貴，故無法容易地轉變成該美國CGA規格。

本發明之目的在於提供一種所使用之氣體之種類不受限制且可確實地防止氣體洩漏之墊圈與管接頭。

本發明之墊圈之特徵在於：其係介裝於第1管件與連通於上述第1管件而連接之第2管件之相互對向之兩個對向面之間，且內周面扣合於形成於上述第1管件與上述第2管件之任一者之突出部的環狀墊圈，且包含：環狀之金屬製殼體，其內周面與上述突出部之外周面對向；及環板狀之金屬製墊圈本體，其係安裝於上述金屬製殼體；且上述金屬製墊圈本體係係由形成於上述突出部之前端部之一夾持部、與形成於上述第1管件及上述第2管件之任一者之另一夾持部所夾持。

於該構成之發明中，由於構成墊圈之殼體及墊圈本體全部為金屬製，故與合成樹脂之情形相比，可使用之氣體之種類不受限制。例如，藉由將殼體及墊圈本體設為不鏽鋼、鎳、鋁等金屬製，亦可利用與合成樹脂等反應或有反應之虞之特殊氣體。

再者，於本發明中，由於金屬製墊圈本體之平面抵接於形成於突出部之前端部之一側之夾持部，故可進行精度較高之密封。即，形成於突出部之前端部之一夾持部的與金屬製墊圈本體之平面抵接之部分成為密封面，但於研磨成為該密封面之一夾持部時，不存在妨礙者，故可精度較佳地進行該夾持部之研磨作業。而且，由於構成密封面之一夾持部係形成於突出部之前端部，故若密封寬度尺寸相同，則與於突出部之徑向外側形成密封面之文獻1相比，可減小密封面積。因此，可以較低之緊固扭矩將洩漏量設為高精度者。

再者，由於金屬製墊圈本體本身可利用通用品，故與使用美國CGA規格之金屬製墊圈之情形相比，可將墊圈降低成本。

於本發明之墊圈中，較佳為如下構成：上述金屬製殼體係裝卸自如地安裝於上述突出部，且於上述金屬製殼體裝卸自如地安裝上述金屬製墊圈本體。

於該構成中，每次更換瓶，或為了更換機器，有時會更換金屬製墊圈本體，但此時，藉由自突出部拆下金屬製殼體，且自金屬製殼體拆下金屬製墊圈本體，可更換金屬製墊圈本體。因此，僅更換金屬製墊圈本體，即可重複使用金屬製殼體，故可將墊圈降低成本。

於本發明之墊圈中，較佳為如下構成：上述金屬製殼體包含：第一殼體，其內周面與上述突出部之外周面對向；及第二殼體，其係於與上述第一殼體之間夾持上述金屬製墊圈本體；且上述第二殼體係裝卸自如地安裝於上述第一殼體。

於該構成中，由於金屬製墊圈本體被第一殼體與第二殼體夾 持，故金屬製墊圈本體不會自突出部意外地脫落。

而且，由於第一殼體對第二殼體裝卸自如，故可容易地進行金屬製墊圈本體自金屬製殼體之裝卸。

於本發明之墊圈中，較佳為如下構成：於上述第一殼體螺合上述第二殼體。

於該構成中，可容易地進行金屬製墊圈本體向金屬製殼體之裝卸作業。

於本發明之墊圈中，較佳為如下構成：上述第一殼體與上述第二殼體材質不同。例如，可將第一殼體設為不鏽鋼製，將第二殼體設為鋁製。

當第一殼體與第二殼體為相同材質時，於其等之組裝時，因第一殼體與第二殼體之螺紋部相互緊固螺紋時之摩擦熱，有熔接之虞。

於本發明中，由於第一殼體與第二殼體之材質不同，故於組裝時，螺紋部不會熔接。因此，可容易地進行自第一殼體取下第二殼體之作業。

本發明之管接頭之特徵在於包含：上述構成之墊圈；及緊固件，其係隔著上述墊圈而使上述第1管件及上述第2管件緊固。

於該構成之本發明中，除了可發揮與上述相同之效果以外，亦可使用緊固件而容易地連結第1管件與第2管件。

於本發明之管接頭中，較佳為如下構成：上述一夾持部與上述另一夾持部係分別隔著上述金屬製墊圈本體相互對向且形成為環狀。

於該構成中，由於以相互對向之一夾持部與另一夾持部均等地夾持金屬製墊圈本體之兩個平面，故可防止於第1管件或第2管件之內部流通之流體漏出至管接頭之外部。

1‧‧‧第1管件

1A‧‧‧第1對向面

2‧‧‧第2管件

2A‧‧‧第2對向面

3‧‧‧墊圈

4‧‧‧蓋形螺母構件

5‧‧‧軸承

6‧‧‧金屬製殼體

7‧‧‧金屬製墊圈本體

7A‧‧‧連通孔

8‧‧‧限制構件

11‧‧‧管本體

11A‧‧‧公螺紋

12‧‧‧夾持部

21‧‧‧管本體

22‧‧‧導管部

23‧‧‧突出部

24‧‧‧夾持部

41‧‧‧六角部

42‧‧‧母螺紋

61‧‧‧第一殼體

61A‧‧‧內周部

61B‧‧‧嵌合槽

61C‧‧‧扣止部

62‧‧‧第二殼體

62A‧‧‧內周緣部

63‧‧‧C型彈簧

111‧‧‧第1管通路

111A‧‧‧細徑部

111B‧‧‧粗徑部

222‧‧‧第2管通路

610‧‧‧小徑部

611‧‧‧大徑部

613‧‧‧公螺紋部

621‧‧‧筒部

622‧‧‧環狀扣止部

623‧‧‧母螺紋部

D₁₁‧‧‧內徑尺寸

D₂₃‧‧‧外徑尺寸

D₆₁‧‧‧內徑尺寸

D₆₃‧‧‧內徑尺寸

圖1係本發明之一實施形態之管接頭之剖面圖。

圖2係第2管件之剖面圖。

圖3係金屬製殼體之剖面圖。

圖4係C型彈簧之俯視圖。

圖5係金屬製墊圈本體之俯視圖。

基於圖式說明本發明之一實施形態。

圖1係顯示本實施形態之管接頭之整體之剖面圖。

於圖1中，管接頭具備：第1管件1；第2管件2，其係連通於第1管件1而連接；環狀之墊圈3，其係介置於第1管件1及第2管件2之相互對向之第1對向面1A及第2對向面2A之間；作為緊固件之蓋形螺母構件4，其係隔著墊圈3而使第1管件1及第2管件2緊固；及軸承5，其係介置於蓋形螺母構件4及第2管件2之間。

第1管件1係由不鏽鋼、赫史特合金、蒙乃爾合金等耐蝕性優異之金屬形成，且包含：圓筒狀之管本體11；及未圖示之容器部，其係連續於管本體11之基端而設置。於管本體11之內部形成有第1管通路111，該第1管通路111係沿著軸向且導入收納於容器部之內部之流體。

第1管通路111包含：於其基端側對容器部之內部空間開口之細徑部111A；及連接於細徑部111A之粗徑部111B。

粗徑部111B係具有特定之深度與內徑尺寸D₁₁之平面圓形之凹部，其開口朝向第2管件2。

粗徑部111B之底面係第1對向面1A。於第1對向面1A，以環狀連續而形成有用以夾持墊圈3之夾持部12。夾持部12之剖面於圖1中形成為圓弧狀，其前端朝向第2管件2。

於管本體11之外周面，形成有自前端側形成之公螺紋11A。

第2管件2係由不鏽鋼、赫史特合金、蒙乃爾合金等耐蝕性優異 之金屬形成，且包含：圓筒狀之管本體21；導管部22，其係自管本體21之基端面朝向軸向而延伸設置；及突出部23，其係自管本體21朝向第1管件1之細徑部111A而突出形成。

於管本體21、導管部22及突出部23之內部，沿著軸向形成有具有與第1管通路111之軸芯相同軸芯之第2管通路222。第2管通路222係與第1管通路111連通，其內徑尺寸與第1管通路111之細徑部111A之內徑尺寸相同。

突出部23之外周面係用以將墊圈3扣合於突出部23之扣合面。

於突出部23之前端面，於隔著墊圈3與夾持部12對向之位置突出而形成有夾持部24。夾持部24係與突出部23之前端面之形狀相同地以環狀連續而形成。

夾持部24係與夾持部12相同，形成為剖面圓弧狀。

夾持部24之前端具有高平滑性。為了使夾持部24之前端平滑，於本實施形態中，使未圖示之研磨構件一面抵接於突出部23之前端一面進行旋轉或往復運動。另，夾持部12之前端亦與夾持部24相同地具有高平滑性。於使夾持部12之前端平滑時，使用較第1管件1之粗徑部111B之內徑小之研磨構件，且使該研磨構件一面抵接於夾持部12之前端一面進行旋轉。

突出部23之外徑尺寸D₂₃小於粗徑部111B之內徑尺寸D₁₁。

管本體21之突出部23之周圍係設為相對於突出部23之前端面具有階差地形成且與墊圈3抵接之第2對向面2A。

圖2至圖5中顯示墊圈3之具體構造。

圖2係第2管件2之剖面圖，圖3係金屬製殼體6之剖面圖。

如圖1至圖3所示，墊圈3包含：環狀之金屬製殼體6，其係裝卸自如地安裝於突出部23之外周面；及環板狀之金屬製墊圈本體7，其係裝卸自如地安裝於金屬製殼體6。

金屬製殼體6具有：不鏽鋼製之第一殼體61，其內周面與突出部23之外周面對向；及鋁製之第二殼體62，其係裝卸自如地安裝於第一殼體61。

於第一殼體61之內周部61A，分別形成有環狀之嵌合槽61B與環狀之扣止部61C。

於嵌合槽61B，嵌合有作為彈性構件之C型彈簧63。

C型彈簧63係如圖4所示，為一部分缺損之不鏽鋼製之環。

C型彈簧63之內周部可扣合於突出部23之外周面。C型彈簧63之內周部之內徑尺寸D₆₃係於彈性變形之前，小於第一殼體61之內周部61A之內徑尺寸D₆₁，於扣合於突出部23之外周面之狀態下，與突出部23之外徑尺寸D₂₃相同。另，於C型彈簧63最大地彈性變形之狀態下，內徑尺寸D₆₃與第一殼體61之內周部61A之內周徑大致相同。

扣止部61C係扣止金屬製墊圈本體7之外周緣部之槽，形成於接近於第1管件1之凹部底面之位置。

第一殼體61之外周部具有：小徑部610，其係接近於第1管件1；及大徑部611，其係遠離第1管件1。於小徑部610之外周形成有公螺紋部613。

第二殼體62具有：筒部621；及環狀扣止部622，其係形成於筒部621之接近於第1管件1之位置。

於筒部621之內周部，形成有螺合於第一殼體61之公螺紋部613之母螺紋部623。筒部621之外周徑與第一殼體61之大徑部611之外周徑為相同尺寸。

以環狀扣止部622之內周緣部62A與扣止部61C夾持金屬製墊圈本體7之外周緣部。

環狀扣止部622之內周徑係設為不與夾持部12干涉之尺寸。

圖5中顯示金屬製墊圈本體7之構成。

於圖1、圖3及圖5中，金屬製墊圈本體7係於其中心部形成有連通第1管通路111與第2管通路222之連通孔7A之環板。

金屬製墊圈本體7其外周徑係與第一殼體61之扣止部61C之內徑相同或略小之尺寸，其厚度尺寸與扣止部61C之沿著第一殼體61之厚度尺寸之尺寸相同或略小。

金屬製墊圈本體7其一平面係抵接於形成於第1管件1之夾持部12之前端，其另一平面係抵接於形成於第2管件2之夾持部24之前端。即，隔著金屬製墊圈本體7而將一夾持部24與另一夾持部12相互對向配置。

金屬製墊圈本體7係鎳製或不鏽鋼製。金屬製墊圈本體7之兩個面經研磨至成為平滑。

於圖1中，蓋形螺母構件4係正交於軸向之剖面形狀形成為六邊形之不鏽鋼製之六角筒構件，且包含：六角部41，其係形成於外周；及母螺紋42，其係自前端側形成於前端側之內壁面。

於蓋形螺母構件4之筒內，介隔軸承5而收納有第2管件2，且蓋形螺母構件4相對於第2管件2旋轉自如。再者，藉由將母螺紋42螺合於形成於第1管件1之公螺紋11A，而將第1管件1與第2管件2緊固。

於蓋形螺母構件4之內壁，沿著內周方向扣止有環狀之限制構件8。

限制構件8係介置於管本體21之外周面與蓋形螺母構件4之內壁之間，以避免軸承5自蓋形螺母構件4之筒內脫落之方式進行限制。

接著，說明管接頭之更換方法。

首先，鬆開蓋形螺母構件4，解除第1管件1與第2管件2之連結。再者，自蓋形螺母構件4拆下第2管件2，且自第2管件2之突出部23拆下墊圈3。

然後，鬆開構成墊圈3之第二殼體62而自第一殼體61取下。自第 一殼體61拆下舊的金屬製墊圈本體7，且將新的金屬製墊圈本體7安裝於第一殼體61。再者，將第二殼體62旋入第一殼體61，而完成新的墊圈3。

當將新的墊圈3朝向第2管件2之突出部23壓抵時，預先嵌合於第一殼體61之嵌合槽61B之C型彈簧63藉由突出部23之前端部分而擴開之後，被引導至突出部23之外周面。於該狀態下，C型彈簧63係嵌合於嵌合槽63B，且藉由其彈性力而保持第一殼體61，故不論第2管件2之姿勢如何，墊圈3都不會自第2管件2脫落。

以於第2管件2之突出部23保持有墊圈3之狀態，對第2管件2覆蓋蓋形螺母構件4。於蓋形螺母構件4與第2管件2之管本體21之間介裝軸承5。然後，使第1管件1之公螺紋11A與蓋形螺母構件4之母螺紋42螺合。

此時，以扳手等夾住蓋形螺母構件4之六角部41，旋轉該扳手等，而以特定之緊固扭矩緊固蓋形螺母構件4。由於於第2管件2及蓋形螺母構件4之間介置有軸承5，故僅蓋形螺母構件4旋轉，第2管件2不旋轉。因此，於緊固時第1管件1及第2管件2與墊圈3之抵接部分不會摩擦而產生傷痕。即，於文獻1所示之先前例中，由於墊圈之環狀本體為合成樹脂製，故即使第1管件及第2管件與環狀本體摩擦亦難以產生傷痕。相對於此，當完全洗淨金屬製之墊圈3、第1管件1及第2管件2時，墊圈3與第1管件1及第2管件2容易摩擦而產生傷痕，但因存在軸承5，可與先前例之合成樹脂製之環狀本體相同，或更不會產生傷痕。

隨著緊固蓋形螺母構件4，以第1管件1之夾持部12與第2管件2之夾持部24將金屬製墊圈本體7之兩個平面以特定之壓力按壓。如此，完成第1管件1及第2管件2之緊固。

於此種構成之本實施形態中，可發揮如下之效果。

(1)一種介裝於第1管件1與第2管件2之相互對向之對向面之間、且內周面扣合於形成於第2管件2之突出部23的環狀墊圈3係構成為包含：環狀之金屬製殼體6，其內周面與突出部23之外周面對向；及環板狀之金屬製墊圈本體7，其係安裝於金屬製殼體6；因此與將墊圈之零件設為合成樹脂之情形相比，可使用之氣體之種類不受限制。

(2)由於金屬製墊圈本體7係由形成於突出部23之前端部之夾持部24與形成於第1管件1之夾持部12所夾持，故於研磨形成於突出部23之前端部之夾持部24時，可使研磨構件一面抵接於突出部23之前端一面進行作業。因此，於夾持部24之研磨作業時，為了驅動研磨構件，由於不存在成為妨礙者，故可正確地進行研磨，而可形成精度較高之密封面。而且，由於夾持部24係形成於突出部23之前端，故可減小密封面積，因此可以較低之緊固扭矩將洩漏量設為高精度者。

(3)由於於突出部23裝卸自如地安裝金屬製殼體6，且於金屬製殼體6裝卸自如地安裝金屬製墊圈本體7，故僅更換最有必要更換之金屬製墊圈本體7，即可重複使用金屬製殼體6，因此可將墊圈3降低成本。

(4)金屬製殼體6包含：第一殼體61，其內周面與突出部23之外周面對向；及第二殼體62，其係安裝於第一殼體61；且於第一殼體61與第二殼體62之間夾持金屬製墊圈本體7；因此金屬製墊圈本體7不會自突出部23意外地脫落。

(5)由於第一殼體61對第二殼體62裝卸自如，故可容易地進行金屬製墊圈本體7自金屬製殼體6之裝卸。因此，可容易地進行墊圈3之組裝作業。

(6)由於第二殼體62螺合於第一殼體61，故可容易地進行金屬製墊圈本體7對金屬製殼體6之裝卸作業。

(7)第一殼體61係設為不鏽鋼製，第二殼體62係設為鋁製。即， 由於第一殼體61與第二殼體62之材質不同，故於其等之組裝時，第一殼體61之公螺紋部613與第二殼體62之母螺紋部623不會熔接。因此，可容易地進行自第一殼體61取下第二殼體62之作業。

(8)由於一夾持部12與另一夾持部24係隔著金屬製墊圈本體7而相互對向配置，且分別形成為環狀，故均等地夾持金屬製墊圈本體7之兩個平面，而可防止於第1管件1或第2管件2之內部流通之流體漏出至管接頭之外部。

(9)由於包含以下構件而構成管接頭：第1管件1；第2管件2，其係連通於該第1管件1而連接；上述之構成之墊圈3；及蓋形螺母構件4，其係隔著墊圈3而使第1管件1及第2管件2緊固；因此可提供一種可容易地進行墊圈3之更換作業之管接頭。而且，藉由蓋形螺母構件4，可以介裝有墊圈3之狀態容易地連結第1管件1與第2管件2。

另，本發明並非限定於上述之實施形態，在可達成本發明目的之範圍內之變形、改良等係包含於本發明者。

例如，於上述實施形態中，一夾持部12與另一夾持部24之剖面形狀係形成為圓弧狀，但於本發明中，並非限定於該形狀，亦可為其他形狀，例如三角形、橢圓形，但較佳為與墊圈3抵接之部分較少之形狀。

再者，雖採用於第2管件2形成突出部23，且於該突出部23扣合墊圈3之構成，但於本發明中，亦可採用於第1管件1形成突出部23，且於該突出部23扣合墊圈3之構成。

又，於上述實施形態中，雖採用使金屬製殼體6包含相互裝卸自如之第一殼體61與第二殼體62之構成，但於本發明中，並未要求必須使金屬製殼體6包含複數個構件，亦可包含1個構件。例如，亦可為使金屬製殼體6僅包含第一殼體61者。

假設，即使採用使金屬製殼體6包含第一殼體61與第二殼體62之 構成，亦並非限定於使該等螺合而成之構成。

再者，第一殼體61與第二殼體62雖由不同之材質形成，但只要進行防止咬入之處理，即可為由相同材質形成者。即便為第一殼體61與第二殼體62之材質不同之情形，亦並非限定於上述實施形態，亦可將第一殼體61設為鋁製，將第二殼體62設為不鏽鋼製。

又，於環狀本體31之外周面形成有供導環33安裝之安裝槽31C，但於本發明中，由於將導環33壓入至環狀本體31之外周面，故並未要求必須設置安裝槽31C。但，藉由形成安裝槽31C，可防止安裝後之導環33意外地自環狀本體31脫落。

再者，雖使用1個C型彈簧63作為彈性構件，但於本發明中，亦可為準備複數個周向較C型彈簧63短之圓弧狀構件，且使該等圓弧狀構件嵌合於嵌合槽31B之構成。

又，雖採用將C型彈簧63嵌合於形成於第一殼體61之嵌合槽61B之構成，但於本發明中，亦可為沿著突出部23之外周形成嵌合槽，且使C型彈簧63嵌合於該嵌合槽之構成。

1‧‧‧第1管件

1A‧‧‧第1對向面

2‧‧‧第2管件

2A‧‧‧第2對向面

3‧‧‧墊圈

4‧‧‧蓋形螺母構件

5‧‧‧軸承

6‧‧‧金屬製殼體

7‧‧‧金屬製墊圈本體

8‧‧‧限制構件

11‧‧‧管本體

11A‧‧‧公螺紋

12‧‧‧夾持部

21‧‧‧管本體

22‧‧‧導管部

23‧‧‧突出部

24‧‧‧夾持部

41‧‧‧六角部

42‧‧‧母螺紋

61‧‧‧第一殼體

62‧‧‧第二殼體

63‧‧‧C型彈簧

111‧‧‧第1管通路

111A‧‧‧細徑部

111B‧‧‧粗徑部

222‧‧‧第2管通路

D₁₁‧‧‧內徑尺寸

D₂₃‧‧‧外徑尺寸

Claims (7)

1. 一種墊圈，其特徵在於：介裝於第1管件與連通於上述第1管件而連接之第2管件之相互對向之兩個對向面之間、且內周面扣合於形成於上述第1管件與上述第2管件之任一者之突出部的環狀墊圈，且包含：環狀之金屬製殼體，其內周面與上述突出部之外周面對向；及環板狀之金屬製墊圈本體，其係安裝於上述金屬製殼體；且上述金屬製墊圈本體係由形成於上述突出部之前端部之一夾持部、與形成於上述第1管件及上述第2管件之任一者之另一夾持部所夾持。
2. 如請求項1之墊圈，其中上述金屬製殼體係裝卸自如地安裝於上述突出部；且於上述金屬製殼體裝卸自如地安裝上述金屬製墊圈本體。
3. 如請求項2之墊圈，其中上述金屬製殼體包含：第一殼體，其內周面與上述突出部之外周面對向；及第二殼體，其係於與上述第一殼體之間夾持上述金屬製墊圈本體；且上述第二殼體係裝卸自如地安裝於上述第一殼體。
4. 如請求項3之墊圈，其中上述第二殼體螺合於上述第一殼體螺合。
5. 如請求項4之墊圈，其中上述第一殼體與上述第二殼體材質不同。
6. 一種管接頭，其特徵在於包含如請求項1至5中任一項之墊圈；及緊固件，其係隔著上述墊圈而使上述第1管件及上述第2管件緊固。
7. 如請求項6之管接頭，其中上述一夾持部與上述另一夾持部係分別隔著上述金屬製墊圈本體相互對向且形成為環狀。