JP2015215053A - ガスケット及び管継手 - Google Patents
ガスケット及び管継手 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015215053A JP2015215053A JP2014098657A JP2014098657A JP2015215053A JP 2015215053 A JP2015215053 A JP 2015215053A JP 2014098657 A JP2014098657 A JP 2014098657A JP 2014098657 A JP2014098657 A JP 2014098657A JP 2015215053 A JP2015215053 A JP 2015215053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- housing
- metal
- tube piece
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 55
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 94
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 94
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 11
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 11
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 10
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- FHIJMQWMMZEFBL-HLAPJUAOSA-N DISS Natural products COc1cc(C=CC(=O)OC[C@H]2O[C@H](O[C@]3(CO)O[C@H](CO)[C@@H](O)[C@@H]3OC(=O)C=Cc3cc(OC)c(O)c(OC)c3)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]2O)cc(OC)c1O FHIJMQWMMZEFBL-HLAPJUAOSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
- F16J15/08—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L19/00—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts
- F16L19/02—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Joints With Pressure Members (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
【課題】使用する気体の種類が制限されないとともに気体漏れを確実に防止することができるガスケットを提供する。
【解決手段】第1管ピース1と第2管ピース2との互いに対向する対向面の間に介装され第2管ピース2に形成された突出部23に内周面が係合されるリング状のガスケット3を、突出部23の外周面に内周面が対向するリング状の金属製ハウジング6と、金属製ハウジング6に取り付けられたリング板状の金属製ガスケット本体7と、を備え、金属製ガスケット本体7を突出部23の先端部に形成された挟持部24と第1管ピース1に形成された挟持部12とに挟持させる。
【選択図】図1
【解決手段】第1管ピース1と第2管ピース2との互いに対向する対向面の間に介装され第2管ピース2に形成された突出部23に内周面が係合されるリング状のガスケット3を、突出部23の外周面に内周面が対向するリング状の金属製ハウジング6と、金属製ハウジング6に取り付けられたリング板状の金属製ガスケット本体7と、を備え、金属製ガスケット本体7を突出部23の先端部に形成された挟持部24と第1管ピース1に形成された挟持部12とに挟持させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、互いに接続される管ピースの間に介在され、これら管ピースの対向面における気密性を高めるガスケット、及び、これを用いた管継手に関する。
従来、半導体及び液晶、太陽電池等の製造工程には、薄膜形成するための材料ガスとして、モノシラン、アンモニア等のプロセスガスが使用されている。さらに、デバイスの工程で重要なクリーニングプロセスでは、パーフルオロカーボンや三フッ化窒素等のクリーニングガスのような各種気体が使用されている。また、これらの気体をリアクターへ供給するため、配管を含め、ガスボンベ、バルブ等の各種のガス供給装置が知られている。
これらの気体は不純物が含まれると、半導体の歩留まりに著しい影響を及ぼすため、不純物を除去した高純度化が求められている。
そのため、ガス供給装置では、ガスの貯蔵設備からリアクターまで、配管を通してガスを供給しているが、この配管内に不純物が混入しないように注意する必要がある。
また、気体は極めて有害であることが多いので、配管からのガス漏れは必ず防がなければならない。
特に、異物が混入しやすく、ガス漏れが起きやすい配管の箇所の一つとして、ガスボンベと配管、及び配管同士を接続する管継手が挙げられる。
これらの気体は不純物が含まれると、半導体の歩留まりに著しい影響を及ぼすため、不純物を除去した高純度化が求められている。
そのため、ガス供給装置では、ガスの貯蔵設備からリアクターまで、配管を通してガスを供給しているが、この配管内に不純物が混入しないように注意する必要がある。
また、気体は極めて有害であることが多いので、配管からのガス漏れは必ず防がなければならない。
特に、異物が混入しやすく、ガス漏れが起きやすい配管の箇所の一つとして、ガスボンベと配管、及び配管同士を接続する管継手が挙げられる。
管継手として、第1管ピースと、第1管ピースに接続される第2管ピースとの互いに対向する両接合面の間に介装され第2管ピースに形成された突出部に内周面が係合されるリング状のガスケットと、ガスケットを挟んで第1管ピース及び第2管ピースを締結させる袋ナット部材とを備えた従来例がある(特許文献1)。
特許文献1の従来例では、ガスケットは、突出部の外周寸法より大きな内周寸法の内周部とこの内周部に形成された環状の嵌合溝とを有する合成樹脂製のリング状本体と、このリング状本体の嵌合溝に外周部が嵌合されるとともに突出部に内周部が係合可能なC型スプリングと、リング状本体の外周部に嵌合する金属製のガイドリングと、を備えている。
特許文献1の従来例では、ガスケットは、突出部の外周寸法より大きな内周寸法の内周部とこの内周部に形成された環状の嵌合溝とを有する合成樹脂製のリング状本体と、このリング状本体の嵌合溝に外周部が嵌合されるとともに突出部に内周部が係合可能なC型スプリングと、リング状本体の外周部に嵌合する金属製のガイドリングと、を備えている。
特許文献1の従来例では、ガスケットを交換するために、袋ナット部材を緩め、第1管ピースと第2管ピースとの連結を解除し、袋ナット部材から第2管ピースを取り外し、第2管ピースの突出部からガスケットを取り外す。特許文献1では、リング状本体の内周部の嵌合溝にC型スプリングが嵌合されているので、ガスケットの交換作業において、突出部が形成された第2管ピースがどのような姿勢であったとしても、ガスケットが誤って外れることがない。
その後、第2管ピースの突出部に新しいガスケットを挿入し、第1管ピースと第2管ピースとを接続し、袋ナット部材を第1管ピースにねじ込んで、管継手を組み立てる。リング状本体の内周部は第2管ピースの突出部の外周部より大きいため、突出部へのガスケットへの挿入作業はガスケットを突出部の軸方向に沿って移動させる。
以上のように、特許文献1の従来例では、ガスケットの交換作業を容易に行うことができる。
その後、第2管ピースの突出部に新しいガスケットを挿入し、第1管ピースと第2管ピースとを接続し、袋ナット部材を第1管ピースにねじ込んで、管継手を組み立てる。リング状本体の内周部は第2管ピースの突出部の外周部より大きいため、突出部へのガスケットへの挿入作業はガスケットを突出部の軸方向に沿って移動させる。
以上のように、特許文献1の従来例では、ガスケットの交換作業を容易に行うことができる。
特許文献1で示される従来例では、ガスケットの交換作業を容易に行うことができるという利点があるものの、リング状本体が合成樹脂製であるため、管継手に用いられる気体の種類が制限される。
例えば、半導体や装置を洗浄するラインや、シリコンウエハーのプラズマエッチング、CVD処理室を洗浄するラインにおいて、クリーニングガス等の特殊な気体が用いられることがあるが、このような特殊な気体が合成樹脂製のリング状本体に触れると、発火等の不都合が生じるおそれがある。
そこで、リング状本体を合成樹脂製から金属製に代え、ガスケットの全ての部品を金属製にすることが考えられる。
例えば、半導体や装置を洗浄するラインや、シリコンウエハーのプラズマエッチング、CVD処理室を洗浄するラインにおいて、クリーニングガス等の特殊な気体が用いられることがあるが、このような特殊な気体が合成樹脂製のリング状本体に触れると、発火等の不都合が生じるおそれがある。
そこで、リング状本体を合成樹脂製から金属製に代え、ガスケットの全ての部品を金属製にすることが考えられる。
しかし、特許文献1の従来例では、リング状本体を第2管ピースの突出部の外周面と交差する接合面をシール面としているため、シール性が十分ではない。
つまり、第2管ピースの突出部と接合面とは旋盤等で切削して形成されるので、突出部の外周面と交差する接合面を平滑に形成にするには、突出部が邪魔となり、シール面自体を平滑にするには限界がある。
特許文献1の従来例のように、リング状本体が合成樹脂製であれば、リング本体が変形することで接合面と密着することが可能となり、接合面自体の平滑性があまり問題とされない。これに対して、リング状本体を金属製とすると、リング状本体自体が変形しにくいため、接合面の平滑性が十分でないと、管継手から気体が漏れることになる。
つまり、第2管ピースの突出部と接合面とは旋盤等で切削して形成されるので、突出部の外周面と交差する接合面を平滑に形成にするには、突出部が邪魔となり、シール面自体を平滑にするには限界がある。
特許文献1の従来例のように、リング状本体が合成樹脂製であれば、リング本体が変形することで接合面と密着することが可能となり、接合面自体の平滑性があまり問題とされない。これに対して、リング状本体を金属製とすると、リング状本体自体が変形しにくいため、接合面の平滑性が十分でないと、管継手から気体が漏れることになる。
さらに、第1管ピースに袋ナット部材をねじ込む際に、漏れ量が規定値となるように、第1管部材と第2管部材とを十分に締め付けることが必要である。しかし、特許文献1の従来例では、シール面は突出部より径方向の外側に形成されているため、リング状本体との接触面積が大きなものとなる。そのため、袋ナット部材を締め付けるにあたり、大きなトルクが必要となり、管継手の組立作業が繁雑となる。その上、過大な締め付けは袋ナット部材と第1管ピースとのねじ部を損傷させることにもなりかねない。
さらに、ガスケットを金属製とするために、規格を米国CGA規格630/710シリーズ(DISS継手)に変更することも考えられるが、金属製ガスケットは、合成樹脂製ガスケットに比べて非常に高価なため、この米国CGA規格に容易に移行することができない。
さらに、ガスケットを金属製とするために、規格を米国CGA規格630/710シリーズ(DISS継手)に変更することも考えられるが、金属製ガスケットは、合成樹脂製ガスケットに比べて非常に高価なため、この米国CGA規格に容易に移行することができない。
本発明の目的は、使用する気体の種類が制限されないとともに気体漏れを確実に防止することができるガスケット及び管継手を提供することにある。
本発明のガスケットは、第1管ピースと、前記第1管ピースに連通して接続される第2管ピースとの互いに対向する両対向面の間に介装され前記第1管ピースと前記第2管ピースとのいずれか一方に形成された突出部に内周面が係合されるリング状のガスケットであって、前記突出部の外周面に内周面が対向するリング状の金属製ハウジングと、前記金属製ハウジングに取り付けられたリング板状の金属製ガスケット本体と、を備え、前記金属製ガスケット本体は、前記突出部の先端部に形成された一方の挟持部と前記第1管ピースと前記第2管ピースとのいずれか他方に形成された他方の挟持部とに挟持されることを特徴とする。
この構成の発明では、ガスケットを構成するハウジング及びガスケット本体が全て金属製であるため、合成樹脂の場合に比べて使用できる気体の種類が制限されない。例えば、ハウジング及びガスケット本体をステンレス、ニッケル、アルミニウム等の金属製とすることで、合成樹脂等に反応しもしくは反応するおそれのある特殊な気体でも利用することができる。
さらに、本発明では、金属製ガスケット本体の平面が突出部の先端部に形成された一方の挟持部に当接するため、精度の高いシールをすることができる。つまり、突出部の先端部に形成された一方の挟持部の金属製ガスケット本体の平面と当接する部分がシール面となるが、このシール面となる一方の挟持部を研磨するにあたり、邪魔するものがないので、当該挟持部の研磨作業を精度よく行うことが可能となる。その上、シール面を構成する一方の挟持部は、突出部の先端部に形成されているため、シール幅寸法が同じであれば突出部の径方向外側にシール面が形成される特許文献1に比べて、シール面積を小さくすることができる。そのため、低い締め付けトルクで漏れ量を高精度なものとすることができる。
さらに、金属製ガスケット本体自体は、汎用品を利用することができるので、米国CGA規格の金属製ガスケットを用いる場合に比べて、ガスケットを安価なものにできる。
さらに、本発明では、金属製ガスケット本体の平面が突出部の先端部に形成された一方の挟持部に当接するため、精度の高いシールをすることができる。つまり、突出部の先端部に形成された一方の挟持部の金属製ガスケット本体の平面と当接する部分がシール面となるが、このシール面となる一方の挟持部を研磨するにあたり、邪魔するものがないので、当該挟持部の研磨作業を精度よく行うことが可能となる。その上、シール面を構成する一方の挟持部は、突出部の先端部に形成されているため、シール幅寸法が同じであれば突出部の径方向外側にシール面が形成される特許文献1に比べて、シール面積を小さくすることができる。そのため、低い締め付けトルクで漏れ量を高精度なものとすることができる。
さらに、金属製ガスケット本体自体は、汎用品を利用することができるので、米国CGA規格の金属製ガスケットを用いる場合に比べて、ガスケットを安価なものにできる。
本発明のガスケットでは、前記金属製ハウジングは、前記突出部に着脱自在に取り付けられ、前記金属製ハウジングに前記金属製ガスケット本体が着脱自在に取り付けられる構成が好ましい。
この構成では、ボンベ交換の都度、もしくは機器交換のために、金属製ガスケット本体を交換することがあるが、その際に、突出部から金属製ハウジングを取り外し、金属製ハウジングから金属製ガスケット本体を取り外すことで、金属製ガスケット本体を交換することができる。そのため、金属製ガスケット本体のみを交換し、金属製ハウジングを使い回すことが可能となるため、ガスケットを安価なものにできる。
この構成では、ボンベ交換の都度、もしくは機器交換のために、金属製ガスケット本体を交換することがあるが、その際に、突出部から金属製ハウジングを取り外し、金属製ハウジングから金属製ガスケット本体を取り外すことで、金属製ガスケット本体を交換することができる。そのため、金属製ガスケット本体のみを交換し、金属製ハウジングを使い回すことが可能となるため、ガスケットを安価なものにできる。
本発明のガスケットでは、前記金属製ハウジングは、前記突出部の外周面に内周面が対向する第一ハウジングと、前記第一ハウジングとの間で前記金属製ガスケット本体を挟持する第二ハウジングとを備え、前記第二ハウジングは前記第一ハウジングに着脱自在に取り付けられる構成が好ましい。
この構成では、金属製ガスケット本体が第一ハウジングと第二ハウジングとに挟持されているので、金属製ガスケット本体が突出部から誤って外れることがない。
しかも、第一ハウジングが第二ハウジングに着脱自在とされているので、金属製ガスケット本体の金属製ハウジングからの着脱を容易に行うことができる。
この構成では、金属製ガスケット本体が第一ハウジングと第二ハウジングとに挟持されているので、金属製ガスケット本体が突出部から誤って外れることがない。
しかも、第一ハウジングが第二ハウジングに着脱自在とされているので、金属製ガスケット本体の金属製ハウジングからの着脱を容易に行うことができる。
本発明のガスケットでは、前記第一ハウジングに前記第二ハウジングが螺合される構成が好ましい。
この構成では、金属製ハウジングの金属製ガスケット本体の着脱作業を容易に行うことができる。
この構成では、金属製ハウジングの金属製ガスケット本体の着脱作業を容易に行うことができる。
本発明のガスケットでは、前記第一ハウジングと前記第二ハウジングとは材質が異なる構成が好ましい。例えば、第一ハウジングをステンレス製とし、第二ハウジングをアルミニウム製とすることができる。
第一ハウジングと第二ハウジングとが同じ材質であると、これらの組立時に、第一ハウジングと第二ハウジングとのねじ部が互いにねじを締め付ける際の摩擦熱により、焼き付くおそれがある。
本発明では、第一ハウジングと第二ハウジングとの材質が異なるので、組立時に、ねじ部が焼き付くことがない。そのため、第一ハウジングから第二ハウジングを外す作業を容易に行うことができる。
第一ハウジングと第二ハウジングとが同じ材質であると、これらの組立時に、第一ハウジングと第二ハウジングとのねじ部が互いにねじを締め付ける際の摩擦熱により、焼き付くおそれがある。
本発明では、第一ハウジングと第二ハウジングとの材質が異なるので、組立時に、ねじ部が焼き付くことがない。そのため、第一ハウジングから第二ハウジングを外す作業を容易に行うことができる。
本発明の管継手は、前述の構成のガスケットと、前記ガスケットを挟んで前記第1管ピース及び前記第2管ピースを締結させる締結具と、を備えたことを特徴とする。
この構成の本発明では、前述と同様の効果を奏することができる他、締結具を用いて第1管ピースと第2管ピースとを容易に連結することができる。
この構成の本発明では、前述と同様の効果を奏することができる他、締結具を用いて第1管ピースと第2管ピースとを容易に連結することができる。
本発明の管継手では、前記一方の挟持部と前記他方の挟持部とは、それぞれ前記金属製ガスケット本体を挟んで互いに対向し環状に形成される構成が好ましい。
この構成では、互い対向する一方の挟持部と他方の挟持部とで金属製ガスケット本体の両平面が均等に挟持されるので、第1管ピースや第2管ピースの内部を流通する流体が管継手の外部に漏出することを防止できる。
この構成では、互い対向する一方の挟持部と他方の挟持部とで金属製ガスケット本体の両平面が均等に挟持されるので、第1管ピースや第2管ピースの内部を流通する流体が管継手の外部に漏出することを防止できる。
本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は本実施形態にかかる管継手の全体を示す断面図である。
図1において、管継手は、第1管ピース1と、第1管ピース1に連通して接続される第2管ピース2と、第1管ピース1及び第2管ピース2の互いに対向する第1対向面1A及び第2対向面2Aの間に介在されるリング状のガスケット3と、ガスケット3を挟んで第1管ピース1及び第2管ピース2を締結させる締結具としての袋ナット部材4と、袋ナット部材4及び第2管ピース2の間に介在されたベアリング5とを備えている。
図1は本実施形態にかかる管継手の全体を示す断面図である。
図1において、管継手は、第1管ピース1と、第1管ピース1に連通して接続される第2管ピース2と、第1管ピース1及び第2管ピース2の互いに対向する第1対向面1A及び第2対向面2Aの間に介在されるリング状のガスケット3と、ガスケット3を挟んで第1管ピース1及び第2管ピース2を締結させる締結具としての袋ナット部材4と、袋ナット部材4及び第2管ピース2の間に介在されたベアリング5とを備えている。
第1管ピース1は、ステンレス、ハステロイ、モネル等の耐食性の優れた金属から形成され、円筒状の管本体11と、管本体11の基端に連続して設けられた図示しない容器部とを備えている。管本体11の内部には軸方向に沿って容器部の内部に収納された流体を導入する第1管通路111が形成されている。
第1管通路111は、その基端側で容器部の内部空間に開口された細径部111Aと、細径部111Aに連接される太径部111Bとを備えている。
太径部111Bは、所定の深さと内径寸法D11とを有する平面円形の凹部であり、その開口が第2管ピース2に向けられている。
太径部111Bの底面は第1対向面1Aである。第1対向面1Aには、ガスケット3を挟持するための挟持部12が環状に連続して形成されている。挟持部12の断面は、図1では円弧状に形成されており、その先端が第2管ピース2を向いている。
管本体11の外周面には、先端側から形成された雄ねじ11Aが形成されている。
第1管通路111は、その基端側で容器部の内部空間に開口された細径部111Aと、細径部111Aに連接される太径部111Bとを備えている。
太径部111Bは、所定の深さと内径寸法D11とを有する平面円形の凹部であり、その開口が第2管ピース2に向けられている。
太径部111Bの底面は第1対向面1Aである。第1対向面1Aには、ガスケット3を挟持するための挟持部12が環状に連続して形成されている。挟持部12の断面は、図1では円弧状に形成されており、その先端が第2管ピース2を向いている。
管本体11の外周面には、先端側から形成された雄ねじ11Aが形成されている。
第2管ピース2は、ステンレス、ハステロイ、モネル等の耐食性の優れた金属から形成され、円筒状の管本体21と、管本体21の基端面から軸方向へ向かって延設されたパイプ部22と、管本体21から第1管ピース1の細径部111Aに向けて突出形成される突出部23とを備えている。
管本体21、パイプ部22及び突出部23の内部には、第1管通路111の軸芯と同じ軸芯を有する第2管通路222が軸方向に沿って形成される。第2管通路222は、第1管通路111と連通されており、その内径寸法は第1管通路111の細径部111Aの内径寸法と同じである。
管本体21、パイプ部22及び突出部23の内部には、第1管通路111の軸芯と同じ軸芯を有する第2管通路222が軸方向に沿って形成される。第2管通路222は、第1管通路111と連通されており、その内径寸法は第1管通路111の細径部111Aの内径寸法と同じである。
突出部23の外周面は、ガスケット3が突出部23に係合するための係合面である。
突出部23の先端面には、ガスケット3を挟んで挟持部12に対向する位置に挟持部24が突出して形成されている。挟持部24は、突出部23の先端面の形状と同様に環状に連続して形成されている。
挟持部24は、挟持部12と同様に、断面円弧状に形成されている。
挟持部24の先端は、高い平滑性を有する。挟持部24の先端を平滑にするため、本実施形態では、図示しない研磨部材を突出部23の先端に当接しながら回転あるいは往復運動させる。なお、挟持部12の先端も挟持部24と同様に高い平滑性を有する。挟持部12の先端を平滑にするには、第1管ピース1の太径部111Bの内径より小さな研磨部材を用い、この研磨部材を挟持部12の先端に当接しながら回転させる。
突出部23の外径寸法D23は太径部111Bの内径寸法D11より小さい。
管本体21の突出部23の周囲は、突出部23の先端面に対して段差をもって形成されガスケット3と当接する第2対向面2Aとされている。
突出部23の先端面には、ガスケット3を挟んで挟持部12に対向する位置に挟持部24が突出して形成されている。挟持部24は、突出部23の先端面の形状と同様に環状に連続して形成されている。
挟持部24は、挟持部12と同様に、断面円弧状に形成されている。
挟持部24の先端は、高い平滑性を有する。挟持部24の先端を平滑にするため、本実施形態では、図示しない研磨部材を突出部23の先端に当接しながら回転あるいは往復運動させる。なお、挟持部12の先端も挟持部24と同様に高い平滑性を有する。挟持部12の先端を平滑にするには、第1管ピース1の太径部111Bの内径より小さな研磨部材を用い、この研磨部材を挟持部12の先端に当接しながら回転させる。
突出部23の外径寸法D23は太径部111Bの内径寸法D11より小さい。
管本体21の突出部23の周囲は、突出部23の先端面に対して段差をもって形成されガスケット3と当接する第2対向面2Aとされている。
ガスケット3の具体的な構造が図2から図5に示されている。
図2は第2管ピース2の断面図であり、図3は金属製ハウジング6の断面図である。
図1から図3に示される通り、ガスケット3は、突出部23の外周面に着脱自在に取り付けられるリング状の金属製ハウジング6と、金属製ハウジング6に着脱自在に取り付けられるリング板状の金属製ガスケット本体7とを備える。
金属製ハウジング6は、突出部23の外周面に内周面が対向するステンレス製の第一ハウジング61と、第一ハウジング61に着脱自在に取り付けられるアルミニウム製の第二ハウジング62とを有する。
図2は第2管ピース2の断面図であり、図3は金属製ハウジング6の断面図である。
図1から図3に示される通り、ガスケット3は、突出部23の外周面に着脱自在に取り付けられるリング状の金属製ハウジング6と、金属製ハウジング6に着脱自在に取り付けられるリング板状の金属製ガスケット本体7とを備える。
金属製ハウジング6は、突出部23の外周面に内周面が対向するステンレス製の第一ハウジング61と、第一ハウジング61に着脱自在に取り付けられるアルミニウム製の第二ハウジング62とを有する。
第一ハウジング61の内周部61Aには、環状の嵌合溝61Bと環状の係止部61Cとがそれぞれ形成されている。
嵌合溝61Bには、弾性部材としてのC型スプリング63が嵌合されている。
C型スプリング63は、図4に示される通り、一部が欠損されたステンレス製のリングである。
C型スプリング63の内周部は突出部23の外周面に係合可能とされる。C型スプリング63の内周部の内径寸法D63は、弾性変形する前では、第一ハウジング61の内周部61Aの内径寸法D61より小さく、突出部23の外周面に係合された状態では、突出部23の外径寸法D23と同じになる。なお、C型スプリング63が最大に弾性変形した状態では、内径寸法D63は、第一ハウジング61の内周部61Aの内周径と略同じになる。
嵌合溝61Bには、弾性部材としてのC型スプリング63が嵌合されている。
C型スプリング63は、図4に示される通り、一部が欠損されたステンレス製のリングである。
C型スプリング63の内周部は突出部23の外周面に係合可能とされる。C型スプリング63の内周部の内径寸法D63は、弾性変形する前では、第一ハウジング61の内周部61Aの内径寸法D61より小さく、突出部23の外周面に係合された状態では、突出部23の外径寸法D23と同じになる。なお、C型スプリング63が最大に弾性変形した状態では、内径寸法D63は、第一ハウジング61の内周部61Aの内周径と略同じになる。
係止部61Cは、金属製ガスケット本体7の外周縁部を係止する溝であり、第1管ピース1の凹部底面に近接した位置に形成されている。
第一ハウジング61の外周部は、第1管ピース1に近接する小径部610と、第1管ピース1から離れた大径部611とを有する。小径部610の外周には雄ねじ部613が形成されている。
第一ハウジング61の外周部は、第1管ピース1に近接する小径部610と、第1管ピース1から離れた大径部611とを有する。小径部610の外周には雄ねじ部613が形成されている。
第二ハウジング62は、筒部621と、筒部621の第1管ピース1に近接した位置に形成されたリング状係止部622とを有する。
筒部621の内周部には、第一ハウジング61の雄ねじ部613に螺合される雌ねじ部623が形成されている。筒部621の外周径は、第一ハウジング61の大径部611の外周径と同じ寸法である。
リング状係止部622の内周縁部62Aと係止部61Cとで金属製ガスケット本体7の外周縁部を挟持する。
リング状係止部622の内周径は挟持部12と干渉しない寸法とされている。
筒部621の内周部には、第一ハウジング61の雄ねじ部613に螺合される雌ねじ部623が形成されている。筒部621の外周径は、第一ハウジング61の大径部611の外周径と同じ寸法である。
リング状係止部622の内周縁部62Aと係止部61Cとで金属製ガスケット本体7の外周縁部を挟持する。
リング状係止部622の内周径は挟持部12と干渉しない寸法とされている。
金属製ガスケット本体7の構成が図5に示されている。
図1、図3及び図5において、金属製ガスケット本体7は、その中心部に第1管通路111と第2管通路222とを連通する連通孔7Aが形成されたリング板である。
金属製ガスケット本体7は、その外周径が第一ハウジング61の係止部61Cの内径と同じかやや小さい寸法であり、その厚さ寸法が係止部61Cの第一ハウジング61の厚さ寸法に沿った寸法と同じあるいはやや小さい。
金属製ガスケット本体7は、その一方の平面が第1管ピース1に形成された挟持部12の先端に当接し、その他方の平面が第2管ピース2に形成された挟持部24の先端に当接する。つまり、金属製ガスケット本体7を挟んで一方の挟持部24と他方の挟持部12とが互いに対向配置される。
金属製ガスケット本体7は、ニッケル製あるいはステンレス製である。金属製ガスケット本体7の両面は、平滑となるように研磨されている。
図1、図3及び図5において、金属製ガスケット本体7は、その中心部に第1管通路111と第2管通路222とを連通する連通孔7Aが形成されたリング板である。
金属製ガスケット本体7は、その外周径が第一ハウジング61の係止部61Cの内径と同じかやや小さい寸法であり、その厚さ寸法が係止部61Cの第一ハウジング61の厚さ寸法に沿った寸法と同じあるいはやや小さい。
金属製ガスケット本体7は、その一方の平面が第1管ピース1に形成された挟持部12の先端に当接し、その他方の平面が第2管ピース2に形成された挟持部24の先端に当接する。つまり、金属製ガスケット本体7を挟んで一方の挟持部24と他方の挟持部12とが互いに対向配置される。
金属製ガスケット本体7は、ニッケル製あるいはステンレス製である。金属製ガスケット本体7の両面は、平滑となるように研磨されている。
図1において、袋ナット部材4は、軸方向に直交する断面形状が六角形に形成されたステンレス製の六角筒部材であり、外周に形成された六角部41と、先端側の内壁面に、先端側から形成された雌ねじ42とを備える。
袋ナット部材4の筒内には、ベアリング5を介して、第2管ピース2が収納され、第2管ピース2に対して袋ナット部材4が回転自在とされる。さらに、雌ねじ42が、第1管ピース1に形成された雄ねじ11Aに螺合することにより、第1管ピース1と第2管ピース2とが締結される。
袋ナット部材4の内壁には、内周方向に沿って環状の規制部材8が係止される。
規制部材8は、管本体21の外周面と袋ナット部材4の内壁の間に介在され、ベアリング5が袋ナット部材4の筒内から抜けないように規制する。
袋ナット部材4の筒内には、ベアリング5を介して、第2管ピース2が収納され、第2管ピース2に対して袋ナット部材4が回転自在とされる。さらに、雌ねじ42が、第1管ピース1に形成された雄ねじ11Aに螺合することにより、第1管ピース1と第2管ピース2とが締結される。
袋ナット部材4の内壁には、内周方向に沿って環状の規制部材8が係止される。
規制部材8は、管本体21の外周面と袋ナット部材4の内壁の間に介在され、ベアリング5が袋ナット部材4の筒内から抜けないように規制する。
次に、管継手の交換方法を説明する。
まず、袋ナット部材4を緩め、第1管ピース1と第2管ピース2との連結を解除する。さらに、袋ナット部材4から第2管ピース2を取り外し、第2管ピース2の突出部23からガスケット3を取り外す。
そして、ガスケット3を構成する第二ハウジング62を緩めて第一ハウジング61から外す。第一ハウジング61から古い金属製ガスケット本体7を取り外し、新しい金属製ガスケット本体7を第一ハウジング61に装着する。さらに、第一ハウジング61に第二ハウジング62をねじ込んで、新しいガスケット3を完成させる。
新しいガスケット3を第2管ピース2の突出部23に向けて押し付けると、第一ハウジング61の嵌合溝61Bに予め嵌合されたC型スプリング63は、突出部23の先端部分により押し広げられた後、突出部23の外周面に案内される。この状態では、C型スプリング63は嵌合溝63Bに嵌合されるとともに、その弾性力によって第一ハウジング61を保持するため、第2管ピース2の姿勢にかかわらず、ガスケット3が第2管ピース2から脱落することがない。
まず、袋ナット部材4を緩め、第1管ピース1と第2管ピース2との連結を解除する。さらに、袋ナット部材4から第2管ピース2を取り外し、第2管ピース2の突出部23からガスケット3を取り外す。
そして、ガスケット3を構成する第二ハウジング62を緩めて第一ハウジング61から外す。第一ハウジング61から古い金属製ガスケット本体7を取り外し、新しい金属製ガスケット本体7を第一ハウジング61に装着する。さらに、第一ハウジング61に第二ハウジング62をねじ込んで、新しいガスケット3を完成させる。
新しいガスケット3を第2管ピース2の突出部23に向けて押し付けると、第一ハウジング61の嵌合溝61Bに予め嵌合されたC型スプリング63は、突出部23の先端部分により押し広げられた後、突出部23の外周面に案内される。この状態では、C型スプリング63は嵌合溝63Bに嵌合されるとともに、その弾性力によって第一ハウジング61を保持するため、第2管ピース2の姿勢にかかわらず、ガスケット3が第2管ピース2から脱落することがない。
第2管ピース2の突出部23にガスケット3が保持された状態で、第2管ピース2に袋ナット部材4を被せる。袋ナット部材4と第2管ピース2の管本体21との間にベアリング5を介装しておく。そして、第1管ピース1の雄ねじ11Aを袋ナット部材4の雌ねじ42と螺合させていく。
このとき、袋ナット部材4の六角部41をレンチ等で挟み、そのレンチ等を回して、袋ナット部材4を所定の締め付けトルクで締結する。第2管ピース2及び袋ナット部材4との間には、ベアリング5が介在されているため、袋ナット部材4のみが回転し、第2管ピース2が回転しない。従って、締め付けの際に第1管ピース1及び第2管ピース2とガスケット3との当接部分が擦れて傷がつかない。つまり、特許文献1で示される従来例では、ガスケットのリング状本体が合成樹脂製であるため、第1管ピース及び第2管ピースとリング状本体とが擦れても傷がつきにくい。これに対して、金属製のガスケット3、第1管ピース1及び第2管ピース2を完全に洗浄すると、ガスケット3と第1管ピース1及び第2管ピース2とは擦れて傷がつきやすくなるが、ベアリング5があることで、従来例の合成樹脂製のリング状本体と同様に、あるいはそれ以上に傷がつくことがない。
袋ナット部材4を締め付けるにつれて、第1管ピース1の挟持部12と第2管ピース2の挟持部24とで金属製ガスケット本体7の両平面が所定の圧力で押圧される。このようにして、第1管ピース1及び第2管ピース2の締結が完了する。
このとき、袋ナット部材4の六角部41をレンチ等で挟み、そのレンチ等を回して、袋ナット部材4を所定の締め付けトルクで締結する。第2管ピース2及び袋ナット部材4との間には、ベアリング5が介在されているため、袋ナット部材4のみが回転し、第2管ピース2が回転しない。従って、締め付けの際に第1管ピース1及び第2管ピース2とガスケット3との当接部分が擦れて傷がつかない。つまり、特許文献1で示される従来例では、ガスケットのリング状本体が合成樹脂製であるため、第1管ピース及び第2管ピースとリング状本体とが擦れても傷がつきにくい。これに対して、金属製のガスケット3、第1管ピース1及び第2管ピース2を完全に洗浄すると、ガスケット3と第1管ピース1及び第2管ピース2とは擦れて傷がつきやすくなるが、ベアリング5があることで、従来例の合成樹脂製のリング状本体と同様に、あるいはそれ以上に傷がつくことがない。
袋ナット部材4を締め付けるにつれて、第1管ピース1の挟持部12と第2管ピース2の挟持部24とで金属製ガスケット本体7の両平面が所定の圧力で押圧される。このようにして、第1管ピース1及び第2管ピース2の締結が完了する。
このような構成の本実施形態では、次のような効果を奏することができる。
(1)第1管ピース1と第2管ピース2との互いに対向する対向面の間に介装され第2管ピース2に形成された突出部23に内周面が係合されるリング状のガスケット3を、突出部23の外周面に内周面が対向するリング状の金属製ハウジング6と、金属製ハウジング6に取り付けられたリング板状の金属製ガスケット本体7と、を備えて構成したので、ガスケットの部品を合成樹脂とした場合に比べて、使用できる気体の種類が制限されない。
(1)第1管ピース1と第2管ピース2との互いに対向する対向面の間に介装され第2管ピース2に形成された突出部23に内周面が係合されるリング状のガスケット3を、突出部23の外周面に内周面が対向するリング状の金属製ハウジング6と、金属製ハウジング6に取り付けられたリング板状の金属製ガスケット本体7と、を備えて構成したので、ガスケットの部品を合成樹脂とした場合に比べて、使用できる気体の種類が制限されない。
(2)金属製ガスケット本体7を突出部23の先端部に形成された挟持部24と第1管ピース1に形成された挟持部12とに挟持させたので、突出部23の先端部に形成された挟持部24を研磨するにあたり、研磨部材を突出部23の先端に当接しながら作業を行うことができる。そのため、挟持部24の研磨作業に際して研磨部材を駆動させるために邪魔となるものがないので、研磨を正確に行うことが可能となり、精度の高いシール面を形成できる。その上、挟持部24が突出部23の先端に形成されているため、シール面積を小さくすることができるから、低い締め付けトルクで漏れ量を高精度なものとすることができる。
(3)突出部23に金属製ハウジング6が着脱自在に取り付けられ、金属製ハウジング6に金属製ガスケット本体7が着脱自在に取り付けられるため、最も交換が必要な金属製ガスケット本体7のみを交換し、金属製ハウジング6を使い回すことが可能となるため、ガスケット3を安価なものにできる。
(4)金属製ハウジング6は、突出部23の外周面に内周面が対向する第一ハウジング61と、第一ハウジング61に取り付けられた第二ハウジング62とを備え、第一ハウジング61と第二ハウジング62との間で金属製ガスケット本体7を挟持することにしたので、金属製ガスケット本体7が突出部23から誤って外れることがない。
(5)第一ハウジング61が第二ハウジング62に着脱自在とされているので、金属製ガスケット本体7の金属製ハウジング6からの着脱を容易に行うことができる。そのため、ガスケット3の組立作業を容易に行うことができる。
(6)第一ハウジング61に第二ハウジング62が螺合されるから、金属製ハウジング6への金属製ガスケット本体7の着脱作業を容易に行うことができる。
(7)第一ハウジング61をステンレス製とし、第二ハウジング62をアルミニウム製とした。つまり、第一ハウジング61と第二ハウジング62との材質が異なるので、これらの組立時に、第一ハウジング61の雄ねじ部613と第二ハウジング62の雌ねじ部623とが焼き付くことがない。そのため、第一ハウジング61から第二ハウジング62を外す作業を容易に行うことができる。
(8)一方の挟持部12と他方の挟持部24とは、金属製ガスケット本体7を挟んで互いに対向配置され、かつ、それぞれ環状に形成されるので、金属製ガスケット本体7の両平面が均等に挟持されることになり、第1管ピース1や第2管ピース2の内部を流通する流体が管継手の外部に漏出することを防止できる。
(9)第1管ピース1と、この第1管ピース1に連通して接続される第2管ピース2と、前述の構成のガスケット3と、ガスケット3を挟んで第1管ピース1及び第2管ピース2を締結させる袋ナット部材4とを備えて管継手を構成したから、ガスケット3の交換作業を容易に行うことができる管継手を提供することができる。その上、袋ナット部材4によって、ガスケット3を介装した状態で第1管ピース1と第2管ピース2とを容易に連結することができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、一方の挟持部12と他方の挟持部24との断面形状は円弧状としたが、本発明では、この形状に限定されるものではなく、他の形状、例えば、三角形、楕円形であってもよいが、ガスケット3と当接する部分が少ない形状であることが好ましい。
さらに、第2管ピース2に突出部23が形成され、この突出部23にガスケット3が係合される構成としたが、本発明では、第1管ピース1に突出部23を形成し、この突出部23にガスケット3を係合させる構成としてもよい。
例えば、前記実施形態では、一方の挟持部12と他方の挟持部24との断面形状は円弧状としたが、本発明では、この形状に限定されるものではなく、他の形状、例えば、三角形、楕円形であってもよいが、ガスケット3と当接する部分が少ない形状であることが好ましい。
さらに、第2管ピース2に突出部23が形成され、この突出部23にガスケット3が係合される構成としたが、本発明では、第1管ピース1に突出部23を形成し、この突出部23にガスケット3を係合させる構成としてもよい。
また、前記実施形態では、金属製ハウジング6を、互いに着脱自在とされた第一ハウジング61と第二ハウジング62とを備えた構成としたが、本発明では、必ずしも、金属製ハウジング6を複数の部材から構成することを要せず、1つの部材から構成してもよい。例えば、金属製ハウジング6を第一ハウジング61のみから構成するものであってもよい。
仮に、金属製ハウジング6を第一ハウジング61と第二ハウジング62とを備えた構成としても、これらが螺合される構成に限定されるものではない。
さらに、第一ハウジング61と第二ハウジング62とを異なる材質から形成したが、かじり防止の処理がされているのであれば、同じ材質から形成するものであってもよい。第一ハウジング61と第二ハウジング62との材質が相違する場合であっても、前記実施形態に限定されるものではなく、第一ハウジング61をアルミニウム製とし、第二ハウジング62をステンレス製としてもよい。
仮に、金属製ハウジング6を第一ハウジング61と第二ハウジング62とを備えた構成としても、これらが螺合される構成に限定されるものではない。
さらに、第一ハウジング61と第二ハウジング62とを異なる材質から形成したが、かじり防止の処理がされているのであれば、同じ材質から形成するものであってもよい。第一ハウジング61と第二ハウジング62との材質が相違する場合であっても、前記実施形態に限定されるものではなく、第一ハウジング61をアルミニウム製とし、第二ハウジング62をステンレス製としてもよい。
また、リング状本体31の外周面にガイドリング33が取り付けられる取付溝31Cを形成したが、本発明では、ガイドリング33をリング状本体31の外周面に圧入するので、取付溝31Cを必ずしも設けることを要しない。但し、取付溝31Cを形成することで、装着後のガイドリング33が誤ってリング状本体31から脱落することを防止できる。
さらに、弾性部材として1つのC型スプリング63を用いたが、本発明では、C型スプリング63より周方向の短い円弧状部材を複数個用意し、これらの円弧状部材を嵌合溝31Bに嵌合させる構成であってもよい。
また、C型スプリング63を第一ハウジング61に形成された嵌合溝61Bに嵌合する構成としたが、本発明では、突出部23の外周に沿って嵌合溝を形成し、この嵌合溝にC型スプリング63を嵌合させる構成でもよい。
さらに、弾性部材として1つのC型スプリング63を用いたが、本発明では、C型スプリング63より周方向の短い円弧状部材を複数個用意し、これらの円弧状部材を嵌合溝31Bに嵌合させる構成であってもよい。
また、C型スプリング63を第一ハウジング61に形成された嵌合溝61Bに嵌合する構成としたが、本発明では、突出部23の外周に沿って嵌合溝を形成し、この嵌合溝にC型スプリング63を嵌合させる構成でもよい。
本発明は、2つの管ピースを締結する管継手に利用できる他、ある2つの部材を、隙間無く接続するための接続具にも利用することができる。
1…第1管ピース、1A…第1対向面、12…挟持部、2…第2管ピース、2A…第2対向面、23…突出部、24…挟持部、3…ガスケット、4…袋ナット部材(締結具)、6…金属製ハウジング、61…第一ハウジング、62…第二ハウジング、63…C型スプリング、613…雄ねじ部、623…雌ねじ部、7…金属製ガスケット本体
Claims (7)
- 第1管ピースと、前記第1管ピースに連通して接続される第2管ピースとの互いに対向する両対向面の間に介装され前記第1管ピースと前記第2管ピースとのいずれか一方に形成された突出部に内周面が係合されるリング状のガスケットであって、
前記突出部の外周面に内周面が対向するリング状の金属製ハウジングと、
前記金属製ハウジングに取り付けられたリング板状の金属製ガスケット本体と、を備え、
前記金属製ガスケット本体は、前記突出部の先端部に形成された一方の挟持部と前記第1管ピースと前記第2管ピースとのいずれか他方に形成された他方の挟持部とに挟持される
ことを特徴とするガスケット。 - 請求項1に記載されたガスケットにおいて、
前記金属製ハウジングは、前記突出部に着脱自在に取り付けられ、
前記金属製ハウジングに前記金属製ガスケット本体が着脱自在に取り付けられる
ことを特徴とするガスケット。 - 請求項2に記載されたガスケットにおいて、
前記金属製ハウジングは、前記突出部の外周面に内周面が対向する第一ハウジングと、前記第一ハウジングとの間で前記金属製ガスケット本体を挟持する第二ハウジングとを備え、前記第二ハウジングは前記第一ハウジングに着脱自在に取り付けられる
ことを特徴とするガスケット。 - 請求項3に記載されたガスケットにおいて、
前記第一ハウジングに前記第二ハウジングが螺合される
ことを特徴とするガスケット。 - 請求項4に記載されたガスケットにおいて、
前記第一ハウジングと前記第二ハウジングとは材質が異なる
ことを特徴とするガスケット。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載されたガスケットと、前記ガスケットを挟んで前記第1管ピース及び前記第2管ピースを締結させる締結具と、を備えた
ことを特徴とする管継手。 - 請求項6に記載された管継手において、
前記一方の挟持部と前記他方の挟持部とは、それぞれ前記金属製ガスケット本体を挟んで互いに対向し環状に形成される
ことを特徴とする管継手。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014098657A JP2015215053A (ja) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | ガスケット及び管継手 |
PCT/JP2015/058846 WO2015174142A1 (ja) | 2014-05-12 | 2015-03-24 | ガスケット及び管継手 |
TW104113581A TW201600786A (zh) | 2014-05-12 | 2015-04-28 | 墊圈與管接頭 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014098657A JP2015215053A (ja) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | ガスケット及び管継手 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015215053A true JP2015215053A (ja) | 2015-12-03 |
Family
ID=54479687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014098657A Pending JP2015215053A (ja) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | ガスケット及び管継手 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015215053A (ja) |
TW (1) | TW201600786A (ja) |
WO (1) | WO2015174142A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019078387A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-23 | 日東工器株式会社 | 管継手 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7686351B2 (en) * | 2007-07-27 | 2010-03-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Soft insert gasket |
CN102016364B (zh) * | 2008-04-22 | 2016-07-06 | 株式会社富士金 | 流体接头以及流体接头用保持器 |
JP5608463B2 (ja) * | 2010-08-02 | 2014-10-15 | 株式会社フジキン | 流体継手 |
JP5967797B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2016-08-10 | セントラル硝子株式会社 | ガス充填容器用継手、ガス充填容器、ガスケット、及び管継手 |
-
2014
- 2014-05-12 JP JP2014098657A patent/JP2015215053A/ja active Pending
-
2015
- 2015-03-24 WO PCT/JP2015/058846 patent/WO2015174142A1/ja active Application Filing
- 2015-04-28 TW TW104113581A patent/TW201600786A/zh unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019078387A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-23 | 日東工器株式会社 | 管継手 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015174142A1 (ja) | 2015-11-19 |
TW201600786A (zh) | 2016-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20070011630A (ko) | 탈·부착이 용이한 배관의 이음구 | |
JP6910861B2 (ja) | 管継手 | |
US8491017B2 (en) | Fitting structure including a pair of connection pipes and a clamp ring | |
JP4999547B2 (ja) | 継手構造 | |
KR101558493B1 (ko) | 플랜지 체결 공구 | |
JPWO2015019622A1 (ja) | 高圧パイプ用継手のシーリング構造 | |
TWI705233B (zh) | 配管連接構造、配管連接配件及配管的連接方法 | |
WO2015174142A1 (ja) | ガスケット及び管継手 | |
KR101353044B1 (ko) | 배관 연결용 메탈링 | |
US6328347B1 (en) | Uniform axial loading ground glass joint clamp | |
JP2019090503A (ja) | 管継手 | |
JP5830290B2 (ja) | ガスケット及び管継手 | |
WO2020044727A1 (ja) | 流路継手構造 | |
CN111868430B (zh) | 管接头与阀接头部的锁定装置 | |
JP6606704B2 (ja) | 圧力チャンバの締結構造 | |
JP2015197195A (ja) | 狭所配管用継手 | |
JP2009115160A (ja) | ガスケット、および、これを用いた管継手 | |
KR20100002034A (ko) | 개스킷 및 이를 사용하는 파이프 조인트 | |
KR101638312B1 (ko) | 관이음용 어댑터 | |
JP2021089004A (ja) | フィルタ内蔵継手 | |
JP7469809B2 (ja) | 配管密閉治具 | |
JP2019157927A (ja) | 管継手及び管継手の装着構造 | |
KR101416531B1 (ko) | 절곡형 유니온 조인트 및 이를 챔버에 설치하는 방법 | |
JP2007285469A (ja) | 配管接続装置 | |
JP5722645B2 (ja) | 継手構造 |