TW201524611A

TW201524611A - 多重噴頭裝置

Info

Publication number: TW201524611A
Application number: TW102148418A
Authority: TW
Inventors: Chih-Ming Teng
Original assignee: Els System Technology Co Ltd
Priority date: 2013-12-26
Filing date: 2013-12-26
Publication date: 2015-07-01
Also published as: TWI499459B

Abstract

一種多重噴頭裝置，包含：一噴頭單元及一間隔單元。該噴頭單元包括左右相間隔設置的一第一噴頭及一第二噴頭，該第一噴頭及該第二噴頭都具有一流體通道，各該流體通道界定出一進液口，及一相反於該進液口的出液口。該間隔單元包括一可拆卸地設置該第一噴頭與該第二噴頭之間的第一間隔體。透過搭配不同型態的第一間隔體，使得該第一噴頭的第一軸線與該基板間的第一夾角，及該第二噴頭的第二軸線與該基板間的第二夾角可呈現直角、鈍角及銳角的型態，針對不同的基板的表面能有效清潔。

Description

多重噴頭裝置

本發明是有關於一種多重噴頭裝置，特別是指一種能保持半導體晶圓或顯示器用基板等基板清潔的多重噴頭裝置。

半導體晶圓是經過多個製程步驟。由於每道晶圓製程步驟都有潛在性的污染源，晶圓表面會有殘留物，會導致缺陷生成及元件特性失效。在清洗製程中，而利用清洗液對晶圓進行處理，清除顆粒及污染物，而保持晶圓表面的清潔。然而使用單一噴頭清洗晶圓表面，導致清洗效果不佳，而影響後續製程的良率。

因此，本發明之目的，即在提供一種提升清潔效果的多重噴頭裝置。

於是，本發明多重噴頭裝置，包含：一噴頭單元，包括左右相間隔設置的一第一噴頭及一第二噴頭，該第一噴頭及該第二噴頭都具有一流體通道，各該流體通道界定出一進液口，及一相反於該進液口的出液口；及一間隔單元，包括一可拆卸地設置該第一噴頭與該第二噴頭之間的第一間隔體。

較佳地，其中，該第一噴頭及該第二噴頭還具有一尾部，及一自該尾部延伸擴大的頭部，該等流體通道對應形成於該等頭部及該等尾部，該等進液口對應形成於該等頭部，該等出液口對應形成於該等尾部的底端，該第一間隔體可拆卸地設置該第一噴頭的頭部與該第二噴頭的頭部之間。

較佳地，其中，各該頭部形成一螺孔，該間隔單元還包括兩個螺絲，該第一噴頭的頭部與該第二噴頭的頭部還具有一螺孔，該第一間隔體形成兩個分別與該兩個螺孔位置相對應的穿孔，各該螺絲穿設於對應的該穿孔，並螺鎖於對應的該螺孔。

較佳地，其中，該第一間隔體的截面外型為四邊形，該第一間隔體的兩相反側的側面分別抵靠該第一噴頭的頭部與該第二噴頭的頭部之間。

較佳地，其中，該四邊形為矩形、平行四邊形、等腰梯形，及直角梯形其中之一。

較佳地，其中，該第一間隔體的截面外型為三角形，該第一間隔體的兩個相鄰的側面分別抵靠於該第一噴頭的頭部與該第二噴頭的頭部之間。

較佳地，其中，該噴頭單元還包括一與該第二噴頭左右相間隔設置的第三噴頭，該第三噴頭與該第二噴頭結構相同，該間隔單元還包括一可拆卸地設置該第二噴頭與該第三噴頭之間的第二間隔體。

較佳地，其中，該噴頭單元還包括一與該第二噴頭左右相間隔設置的第三噴頭，該第三噴頭與該第二噴頭結構相同，該間隔單元還包括一可拆卸地設置該第二噴頭與該第三噴頭之間的第二間隔體，該第二間隔體及該第二噴頭與該第三噴頭的連接關係和該第一間隔體及該第一噴頭與該第二噴頭的連接關係相同。

較佳地，其中，該第二間隔體的截面外型為四邊形，該第二間隔體的兩相反側的側面分別抵靠該第二噴頭與該第三噴頭之間。

本發明之功效在於：透過搭配不同型態的第一間隔體，使得該第一噴頭的第一軸線與該基板間的第一夾角，及該第二噴頭的第二軸線與該基板間的第二夾角可呈現直角、鈍角及銳角的型態，針對不同的基板的表面能有效清潔，有助於後續製程處理，進而提升產品良率。

1‧‧‧基板

2‧‧‧噴頭單元

211‧‧‧流體通道

212‧‧‧進液口

213‧‧‧出液口

214‧‧‧尾部

215‧‧‧頭部

216‧‧‧狹區

217‧‧‧寬區

218‧‧‧螺孔

21A‧‧‧第一噴頭

21B‧‧‧第二噴頭

21C‧‧‧第三噴頭

3‧‧‧間隔單元

31A‧‧‧第一間隔體

31B‧‧‧第二間隔體

310‧‧‧側面

311‧‧‧穿孔

312‧‧‧側面

32‧‧‧螺絲

4‧‧‧清洗液

L1‧‧‧第一軸線

L2‧‧‧第二軸線

L3‧‧‧第三軸線

θ1‧‧‧第一夾角

θ2‧‧‧第二夾角

θ3‧‧‧第三夾角

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的較佳實施例詳細說明中清楚地呈現，其中：圖1是一示意圖，說明本發明多重噴頭裝置的一第一較佳實施例；圖2是一說明該較佳實施例的部分俯視示意圖；圖3是一示意圖，說明本發明多重噴頭裝置的一第二較佳實施例；圖4是一放大示意圖，說明該較佳實施例的基板；圖5是一示意圖，說明本發明多重噴頭裝置的一第三較佳實施例；圖6是一示意圖，說明本發明多重噴頭裝置的一第四較佳實施例；圖7是一示意圖，說明本發明多重噴頭裝置的一第五較佳實施例；及圖8是一示意圖，說明本發明多重噴頭裝置的一第五較佳實施例。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1與圖2，本發明多重噴頭裝置之第一較佳實施例，適用於清洗一基板1。多重噴頭裝置包含：一噴頭單元2及一間隔單元3。

該噴頭單元2適用供一清洗液4暫時儲放且輸送該清洗液4朝向該基板1噴出。該噴頭單元2包括左右相間隔設置的一第一噴頭21A及一第二噴頭21B。該第一噴頭21A及該第二噴頭21B都具有一流體通道211。各該流體通道211界定出一進液口212，及一相反於該進液口212的出液口213。

詳細來說，該第一噴頭21A及該第二噴頭21B還具有一尾部214，及一自該尾部214延伸擴大的頭部215。各該流體通道211具有一形成於該尾部214及該頭部215與該尾部214銜接處的狹區216，及一自該狹區216擴大並形成於該頭部215，且供該清洗液4暫時儲放的寬區217。該等進液口212對應形成於該等頭部215，該等出液口213對應形成於該等尾部214的底端。該等狹區216的管徑與長度設計呈狹長狀，有助於清洗液4流經該等狹區216，使流體速度提升。

該間隔單元3包括一可拆卸地設置該第一噴頭21A與該第二噴頭21B之間的第一間隔體31A，及兩個螺絲32。具體來說，該第一間隔體31A的截面為四邊形，該第一間隔體31A的兩相反側的側面310分別抵靠該第一噴頭21A的頭部215與該第二噴頭21B的頭部215之間。該第一噴頭21A的頭部215與該第二噴頭21B的頭部215還具有一螺孔218。該第一間隔體31A形成兩個分別與該兩個螺孔218位置相對應的穿孔311。各該螺絲32穿設於對應的該穿孔311並螺鎖於對應的該螺孔218。

該第一噴頭21A與該第二噴頭21B主要是增加清洗或去除基板1表面的塗佈物質或汙染物質的效率，從而提升產能。以下說明本實施例多重噴頭裝置清洗該基板1的方式。且為方便說明，是以配合一個第一噴頭21A為例作說明。

該清洗液4由該進液口212進入，接著該清洗液4向下流至該寬區217且平均蓄積在該寬區217，之後流經狹區216至該出液口213而加速噴出。

該第一噴頭21A定義通過該流體通道211的第一軸線L1。該第二噴頭21B定義通過該流體通道211的第二軸線L2。該基板1。該第一軸線L1與該基板1間定義一第一夾角θ1，且該第二軸線L2與該基板1間定義一第二夾角θ2。在本實施例中，該第一間隔體31A的截面外型為矩形，使得該第一夾角θ1與該第二夾角θ2概呈90⁰，因此針對全平面的基板1有較佳的清洗效果。

參閱圖3，說明本發明多重噴頭裝置之第二較佳實施例與第一較佳實施例大致相同，除了第一間隔體31A的型態。

參閱圖3，在本實施例中，該第一間隔體31A的截面外型為平行四邊形，該第一間隔體31A的兩相反側的側面310為兩斜面，該第一噴頭21A的頭部215與該第二噴頭21B的頭部215分別抵靠在該等側面310，使得該第一噴頭21A的第一軸線L1與該基板1間的第一夾角θ1為一銳角。該第二噴頭21B的第二軸線L2與該基板1間的第二夾角θ2為一銳角。因此就微觀而言，對於非平整的基板1表面而是有起伏突起的區塊(見圖4)，該第一噴頭21A與該第二噴頭21B的傾斜設置更可清潔因地形上難以伸入的區域。

參閱圖5，說明本發明多重噴頭裝置之第三較佳實施例與第一較佳實施例大致相同，除了第一間隔體31A的型態。

在本實施例中，該第一間隔體31A的截面外型為直角梯形，該第一間隔體31A的兩相反側的側面310為一斜面及一鉛直面，該第一噴頭21A的頭部215與該第二噴頭21B的頭部215分別抵靠在該斜面的側面310及該鉛直面的側面310，使得該第一噴頭21A的第一軸線L1與該基板1間的第一夾角θ1為一銳角。該第二噴頭21B的第二軸線L2與該基板1間的第二夾角θ2為一直角。因此就微觀而言，對於基板1表面是非平整而有起伏突起的區塊(見圖4)，該第一噴頭21A與該第二噴頭21B的傾斜設置更可清潔因地形上難以伸入的區域。

參閱圖6，說明本發明多重噴頭裝置之第四較佳實施例與第三較佳實施例大致相同，以下說明差異處。

該噴頭單元2還包括一與該第二噴頭21B左右相間隔設置的第三噴頭21C，該第三噴頭21C與該第二噴頭21B結構相同，該間隔單元3還包括一可拆卸地設置該第二噴頭21B與該第三噴頭21C之間的第二間隔體31B。該第二間隔體31B及該第二噴頭21B與該第三噴頭21C的連接關係和該第一間隔體31A及該第一噴頭21A與該第二噴頭21B的連接關係相同。

該第二間隔體31B的截面外型為四邊形，該第二間隔體31B的兩相反側分別抵靠該第二噴頭21B與該第三噴頭21C之間。

在本實施例中，該第二間隔體31B的截面外型為直角梯形，該第二間隔體31B的兩相反側的側面312為一鉛直面及一斜面，該第二噴頭21B的頭部215與該第三噴頭21C的頭部215分別抵靠在該等側面312，使得該第二噴頭21B的第二軸線L2與該基板1間的第二夾角θ2為一鈍角。該第三噴頭21C的第三軸線L3與該基板1間的第三夾角θ3為一直角。因此就微觀而言，對於基板1表面是非平整而有起伏突起的區塊(見圖4)，該第一噴頭21A與該第二噴頭21B的傾斜設置更可清潔因地形上難以伸入的區域。

參閱圖7，說明本發明多重噴頭裝置之第五較佳實施例與第一較佳實施例大致相同，以下說明差異處。

在本實施例中，該第一間隔體31A的截面外型為等腰梯形，該第一間隔體31A的兩相反側的側面310為兩相向延伸的斜面，該第一噴頭21A的頭部215與該第二噴頭21B的頭部215分別抵靠在該等側面310，使得該第一噴頭21A的第一軸線L1與該基板1間的第一夾角θ1為一鈍角。該第二噴頭21B的第二軸線L2與該基板1間的第二夾角θ2為一銳角。因此就微觀而言，對於基板1表面是非平整而有起伏突起的區塊(見圖4)，該第一噴頭21A與該第二噴頭21B的傾斜設置更可清潔因地形上難以伸入的區域。

參閱圖8，說明本發明多重噴頭裝置之第六較佳實施例與第一較佳實施例大致相同，以下說明差異處。

在本實施例中，該第一間隔體31A的截面外型為三角形，較佳地為直角三角形，該第一間隔體31A的兩相反側的側面310為一斜面及一鉛直面，該第一噴頭21A的頭部215與該第二噴頭21B的頭部215分別抵靠在該等側面310，使得該第一噴頭21A的第一軸線L1與該基板1間的第一夾角θ1為一鈍角。該第二噴頭21B的第二軸線 L2與該基板1間的第二夾角θ2為一直角。因此就微觀而言，對於基板1表面是非平整而有起伏突起的區塊(見圖4)，該第一噴頭21A與該第二噴頭21B的傾斜設置更可清潔因地形上難以伸入的區域。

綜上所述，透過搭配不同型態的第一間隔體31A，使得該第一噴頭21A的第一軸線L1與該基板1間的第一夾角θ1，及該第二噴頭21B的第二軸線L2與該基板1間的第二夾角θ2可呈現直角、鈍角及銳角的型態，針對不同的基板1的表面能有效清潔，有助於後續製程處理，進而提升產品良率，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。