TW201512059A - 晶圓盒之盒門及晶圓盒 - Google Patents

晶圓盒之盒門及晶圓盒 Download PDF

Info

Publication number
TW201512059A
TW201512059A TW103100620A TW103100620A TW201512059A TW 201512059 A TW201512059 A TW 201512059A TW 103100620 A TW103100620 A TW 103100620A TW 103100620 A TW103100620 A TW 103100620A TW 201512059 A TW201512059 A TW 201512059A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
cartridge
rotating
locking
lock
door
Prior art date
Application number
TW103100620A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI498262B (zh
Inventor
Sung-Chun Yang
Ying-Chi Peng
Yao-Pin Yang
Original Assignee
Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd filed Critical Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd
Publication of TW201512059A publication Critical patent/TW201512059A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI498262B publication Critical patent/TWI498262B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

一種晶圓盒之盒門，包括一盒殼體及一盒鎖。盒鎖係設置於盒殼體之中，並且包括一旋轉元件、一鎖固元件及一彈性元件。旋轉元件係樞接於盒殼體之上，並且具有一錨元件。鎖固元件具有一鎖固體。鎖固體係以滑動之方式設置於盒殼體之上。彈性元件係設置於鎖固體之上，並且係鄰接於錨元件。當旋轉元件被旋轉時，旋轉元件係推動鎖固元件移動，以及彈性元件係施加一彈性力於錨元件之上。

Description

晶圓盒之盒門及晶圓盒
本發明是有關於一種晶圓盒，特別是有關於一種晶圓盒之盒門。
在半導體工業之中，晶圓是經常被傳送至不同的半導體設備去進行不同的半導體製程。因此，晶圓是被容納於晶圓盒之中，以防止晶圓遭受污染及損壞。一般來說，晶圓是被插入至一卡匣之中，其乃是被設置於晶圓盒之一底板之上以及是被一殼所覆蓋。
當晶圓盒被設置於一半導體設備之上時，底板是未被鎖固的，以及殼是從底板被移除。因此，半導體設備是從卡匣取走晶圓或將晶圓放置於卡匣之中。當晶圓盒被傳送至其它的半導體設備時，殼會被鎖固於底板之上，以覆蓋卡匣。然而，倘若底板不是被精確地鎖固於殼之上時，卡匣可能會從底板掉落，因而會造成晶圓破裂。
再者，一些微粒可能會由晶圓盒之一些組裝零件所產生，以及微粒可能會掉落至晶圓之上。因此，改良晶圓盒之結構是具有挑戰性的。
本發明基本上採用如下所詳述之特徵以為了要解決上述之問題。
本發明之一實施例提供一種晶圓盒之盒門，其包括一盒殼體；以及一盒鎖，設置於該盒殼體之中，並且包括一旋轉元件，樞接於該盒殼體之上，並且具有一錨元件；一鎖固元件，具有一鎖固體，其中，該鎖固體係以滑動之方式設置於該盒殼體之上；以及一彈性元件，設置於該鎖固體之上，並且鄰接於該錨元件，其中，當該旋轉元件被旋轉時，該旋轉元件係推動該鎖固元件移動，以及該彈性元件係施加一彈性力於該錨元件之上。
根據上述之實施例，該旋轉元件具有一旋轉體，以及該錨元件係樞接於該旋轉體之上。
根據上述之實施例，該彈性元件係為一環結構，以及該錨元件係位於該彈性元件之中。
根據上述之實施例，該彈性元件具有一第一槽及一第二槽，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該錨元件係位於該第一槽處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該錨元件係位於該第二槽處。
根據上述之實施例，該旋轉元件具有一旋轉槽，該旋轉槽具有一第一端及一第二端，該鎖固元件具有一推動元件，該推動元件係設置於該鎖固體之上，並且係以移動之方式位於該旋轉槽之中，位於該第一端與該旋轉元件之一旋轉軸間之一距離係大於位於該第二端與該旋轉軸間之一距離，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第一端處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第二端處。
根據上述之實施例，該旋轉槽具有一弧形開口。
根據上述之實施例，該鎖固元件具有一螺栓部，該螺栓部係從該鎖固體延伸，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該螺栓部係突出於該盒殼體，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該螺栓部係位於該盒殼體之中。
根據上述之實施例，該盒鎖更具有一定位元件，該定位元件係設置於該盒殼體之中，該鎖固元件具有一滑動元件，該滑動元件係以滑動之方式設置於該定位元件之上，該定位元件具有一第一定位槽及一第二定位槽，當該盒鎖位於該鎖固狀態之中時，該滑動元件係位於該第一定位槽處，以及當該盒鎖位於該未鎖固狀態之中時，該滑動元件係位於該第二定位槽處。
本發明之另一實施例提供一種晶圓盒之盒門，其包括一盒殼體；以及一盒鎖，設置於該盒殼體之中，並且包括一旋轉元件，樞接於該盒殼體之上，並且具有一旋轉體及一錨元件，其中，該旋轉體具有一旋轉槽，以及該錨元件係設置於該旋轉體之上；一鎖固元件，具有一鎖固體及一推動元件，其中，該鎖固體係以滑動之方式設置於該盒殼體之上，以及該推動元件係設置於該鎖固體之上，並且係以移動之方式位於該旋轉槽之中；以及一彈性元件，設置於該鎖固體之上，並且鄰接於該錨元件，其中，當該旋轉元件被旋轉時，該旋轉元件係推動該鎖固元件沿一移動方向移動，以及該彈性元件係施加一彈性力於該錨元件之上。
根據上述之實施例，該旋轉槽具有一第一端及一 第二端，位於該第一端與該旋轉元件之一旋轉軸間之一距離係大於位於該第二端與該旋轉軸間之一距離，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第一端處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第二端處。
根據上述之實施例，該旋轉槽具有一弧形開口。
根據上述之實施例，該錨元件係樞接於該旋轉體之上，該彈性元件係為一環結構，以及該錨元件係位於該彈性元件之中。
根據上述之實施例，該彈性元件具有一第一槽及一第二槽，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該錨元件係位於該第一槽處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該錨元件係位於該第二槽處。
本發明之又一實施例提供一種晶圓盒，其包括一盒門，包括一盒殼體；以及一盒鎖，設置於該盒殼體之中，並且包括一旋轉元件，樞接於該盒殼體之上，並且具有一錨元件；一鎖固元件，具有一鎖固體，其中，該鎖固體係以滑動之方式設置於該盒殼體之上；以及一彈性元件，設置於該鎖固體之上，並且鄰接於該錨元件；一卡匣，設置於該盒門之上，係用以容納至少一晶圓；以及一盒殼，係以可分離之方式設置於該盒門之上，並且係覆蓋該卡匣，其中，當該旋轉元件被旋轉時，該旋轉元件係推動該鎖固元件移動，以及該彈性元件係施加一彈性力於該錨元件之上。
根據上述之實施例，該旋轉元件具有一旋轉體，以及該錨元件係樞接於該旋轉體之上。
根據上述之實施例，該彈性元件係為一環結構，以及該錨元件係位於該彈性元件之中。
根據上述之實施例，該彈性元件具有一第一槽及一第二槽，當該盒鎖位於一鎖固狀態時，該錨元件係位於該第一槽處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態時，該錨元件係位於該第二槽處。
根據上述之實施例，該鎖固元件具有一螺栓部，該螺栓部係從該鎖固體延伸，該盒殼具有一鎖固開口，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該螺栓部係被插入至該鎖固開口之中，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該螺栓部係位於該盒殼體之中。
根據上述之實施例，該旋轉元件具有一旋轉槽，該旋轉槽具有一第一端及一第二端，該鎖固元件具有一推動元件，該推動元件係設置於該鎖固體之上，並且係以移動之方式位於該旋轉槽之中，位於該第一端與該旋轉元件之一旋轉軸間之一距離係大於位於該第二端與該旋轉軸間之一距離，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第一端處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第二端處。
根據上述之實施例，該旋轉槽具有一弧形開口。
為使本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例並配合所附圖式做詳細說明。
1‧‧‧晶圓盒
10‧‧‧盒門
11‧‧‧盒殼體
12‧‧‧外保持突出部
13‧‧‧內保持突出部
14‧‧‧頂蓋
15‧‧‧底蓋
16‧‧‧軸
17‧‧‧導引突出部
20‧‧‧卡匣
21‧‧‧頂部
22‧‧‧底部
23‧‧‧側壁
30‧‧‧盒殼
31‧‧‧殼體
32‧‧‧把手
33‧‧‧標籤元件
34‧‧‧固定突出部
35‧‧‧阻尼元件
40‧‧‧盒鎖
41‧‧‧旋轉元件
41‧‧‧旋轉元件
42‧‧‧鎖固元件
43‧‧‧彈性元件
44‧‧‧定位元件
111‧‧‧上表面
151‧‧‧容納槽
152‧‧‧可分離裝置蓋
153‧‧‧軸孔
154‧‧‧透孔
221‧‧‧保持板
222‧‧‧保持肋
231‧‧‧晶圓狹縫
311‧‧‧內表面
411‧‧‧旋轉體
412‧‧‧錨元件
413‧‧‧旋轉槽
414‧‧‧上表面
415‧‧‧突出部
416‧‧‧軸孔
417‧‧‧閂孔
418‧‧‧下表面
421‧‧‧鎖固體
422‧‧‧推動元件
423‧‧‧固定元件
424‧‧‧螺栓部
425‧‧‧滑動元件
426‧‧‧輪子
431‧‧‧端部
432‧‧‧彈性部
433‧‧‧定位部
441‧‧‧第一定位槽
442‧‧‧第二定位槽
4131‧‧‧第一端
4132‧‧‧第二端
4133‧‧‧凹入側邊
4134‧‧‧弧形開口
4211‧‧‧導引孔
4331‧‧‧第一槽
4332‧‧‧第二槽
4333‧‧‧導引突出部
W1‧‧‧晶圓
D1‧‧‧延伸方向
D2‧‧‧移動方向
S1‧‧‧容納室
S2‧‧‧空間
AX1、AX2‧‧‧軸
AX3‧‧‧旋轉軸
第1圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓盒之立體示意圖；第2圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒之立體分解示意圖；第3圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒之剖面示意圖；第4圖係顯示根據本發明之一些實施例之一盒門之立體示意圖；第5圖及第6圖係顯示根據本發明之一些實施例之盒門之立體分解示意圖；第7圖係顯示根據本發明之一些實施例之一旋轉元件之立體示意圖；第8圖係顯示根據本發明之一些實施例之一鎖固元件之立體示意圖；第9圖係顯示根據本發明之一些實施例之不具有一頂蓋之盒門之立體示意圖；第10A圖係顯示根據本發明之一些實施例之不具有一頂蓋之盒門於一未鎖固狀態中之立體示意圖；第10B圖係顯示根據本發明之一些實施例之一盒殼及不具有一頂蓋之盒門於未鎖固狀態中之剖面示意圖；第11A圖係顯示根據本發明之一些實施例之不具有一頂蓋之盒門於一鎖固狀態中之俯視示意圖；以及第11B圖係顯示根據本發明之一些實施例之盒殼及不具有一頂蓋之盒門於鎖固狀態中之剖面示意圖。
茲配合圖式說明本發明之較佳實施例。
有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之一較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用來說明並非用來限制本發明。
第1圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓盒1之立體示意圖。第2圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒1之立體分解示意圖。晶圓盒1是被使用於容納複數個晶圓W1(如第2圖所示)。晶圓盒1包括有一盒門10、一卡匣20及一盒殼30。卡匣20是被設置於盒門10之上，並且卡匣20容納有晶圓W1。盒殼30是以可分離之方式設置於盒門10之上，並且盒殼30是覆蓋著卡匣20。
第3圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒1之剖面示意圖。第4圖係顯示根據本發明之一些實施例之一盒門10之立體示意圖。盒門10係為一板結構。盒門10包括有一盒殼體11、複數個外保持突出部12及複數個內保持突出部13。外保持突出部12及內保持突出部13是被設置於盒殼體11之一上表面111之上。在一些實施例之中，第2圖中具有兩個外保持突出部12及四個內保持突出部13。
在一些實施例之中，外保持突出部12是平行於彼此，並且外保持突出部12是沿著一延伸方向D1延伸。內保持突出部13是實質上位於兩個鄰接之外保持突出部12之間。換言 之，內保持突出部13是分別地沿著軸AX1及軸AX2延伸，其乃是介於兩個鄰接之外保持突出部12之間。在兩個鄰接之外保持突出部12之間的距離是大於在兩個鄰接之內保持突出部13之間的距離。在一些實施例之中，盒殼體11、複數個外保持突出部12及複數個內保持突出部13是被成型為一單一件。
卡匣20包括有一頂部21、一底部22及兩側壁23。兩側壁23是連接於頂部21及底部22，並且兩側壁23是位於頂部21與底部22之間。在一些實施例之中，頂部21及底部22是實質上平行於彼此。兩側壁23是實質上平行於彼此。再者，兩側壁23是是實質上垂直於頂部21及底部22。
在一些實施例之中，卡匣20係為一中空結構。卡匣20是由聚醚醚酮(PEEK)、聚醚(PEI)或polybenzimidazole(PBI)所製成。在一些實施例之中，卡匣20之熱耐受性是介於大約150℃與大約350℃之間。因此，晶圓W1可以被放入至溫度大於100℃之卡匣20之中，而不會黏住於卡匣20之中。
側壁23具有複數個晶圓狹縫231，以及晶圓W1可以被容納於晶圓狹縫231之中。晶圓狹縫231是平行於以及遠離於彼此。因此，被容納於晶圓狹縫231中之晶圓W1亦是平行於以及遠離於彼此。在一些實施例之中，只有晶圓W1之邊緣會接觸晶圓狹縫231。因此，當晶圓W1沿著晶圓狹縫231被插入至卡匣20之中時，在晶圓W1之邊緣內之上表面及下表面不會被損壞。
如第3圖及第4圖所示，卡匣20之底部22具有一保持板221及一保持肋222。在此，保持肋222是被設置於保持板 221之上。在一些實施例之中，保持肋222是沿著延伸方向D1延伸。保持板221之寬度是實質上與在兩鄰接之外保持突出部12間的距離相同。保持肋222之寬度是實質上與在兩鄰接之內保持突出部13間的距離相同。因此，當卡匣20是被設置於盒門10之上時，保持板221是被外保持突出部12所保持，以及保持肋222是被內保持突出部13所保持。
倘若外保持突出部12及內保持突出部13是獨立的以及被組裝於盒殼體11，則一些微粒可能會從外保持突出部12及內保持突出部13被產生，由於在外保持突出部12與盒殼體11之間的移動以及在內保持突出部13與盒殼體11之間的移動。
由於外保持突出部12、內保持突出部13及盒殼體11是被成型為一單一件，故由晶圓盒1中之外保持突出部12、內保持突出部13及盒殼體11間之摩擦所產生的微粒會減少。再者，外保持突出部12及內保持突出部13不會從盒殼體11掉落而損壞晶圓W1。
盒殼30具有一殼體31、複數個把手32、一標籤元件33、複數個固定突出部34及複數個阻尼元件35。把手32是被設置於殼體31之一外表面之上。晶圓盒1可以被把手32所攜載。再者，一容納室S1是被成型於殼體31之中，以及卡匣20是位於容納室S1之中。標籤元件33是被設置於殼體31之外表面之上。標籤元件33包括有關於晶圓W1之一些資訊。在一些實施例之中，標籤元件33具有各種顏色，以用於讓使用者明顯地分類晶圓W1。
複數個固定突出部34是被設置於殼體31之一內表 面311之上。阻尼元件35是被設置於固定突出部34之上。當盒殼30是被設置於盒門10之上時，阻尼元件35是抵接於卡匣20之頂部21。因此，阻尼元件35可以防止卡匣20直接碰撞殼體31，以及在卡匣20中之晶圓W1的震動可以被降低，即使晶圓盒1受到衝擊或當晶圓盒1是被運送時。
第5圖及第6圖係顯示根據本發明之一些實施例之盒門10之立體分解示意圖。第7圖係顯示根據本發明之一些實施例之一旋轉元件41之立體示意圖。第8圖係顯示根據本發明之一些實施例之一鎖固元件42之立體示意圖。盒殼體11更包括有一頂蓋14、一底蓋15及一軸16。底蓋15是被設置於頂蓋14之上。軸16是連接於頂蓋14及底蓋15。
在一些實施例之中，底蓋15具有一容納槽151及一可分離裝置蓋152。可分離裝置蓋152係覆蓋著容納槽151。一電子裝置(未顯示)可以是被設置於可分離裝置蓋152之上。因此，當盒門10被清洗時，電子裝置是易於分離於盒門10。在一些實施例之中，底蓋15具有一軸孔153。軸16之一端是位於軸孔153之中。
盒門10更包括有一盒鎖40。盒鎖40是被設置於盒殼體11之中。盒鎖40包括有一旋轉元件41、複數個鎖固元件42、一彈性元件43及複數個定位元件44。在一些實施例之中，兩個鎖固元件42以及四個定位元件44是被設置於盒殼體11之中。
旋轉元件41是樞接於盒殼體11之軸16之上，並且旋轉元件41是繞著一旋轉軸AX3旋轉。旋轉元件41包括有一旋 轉體411及複數個錨元件412。錨元件412是被設置於旋轉元件41之一上表面414之上。在一些實施例之中，錨元件412是被樞接於旋轉體411之上。錨元件412是延伸平行於旋轉軸AX3。旋轉軸AX3是位於兩個錨元件412之間。
旋轉體411具有複數個旋轉槽413。旋轉槽413是被成型於旋轉元件41之上表面414之上。旋轉槽413具有一第一端4131、一第二端4132、一凹入側邊4133及一弧形開口4134。凹入側邊4133是連接於第一端4131及第二端4132。弧形開口4134是位於上表面414處。位於第一端4131與旋轉元件41之旋轉軸AX3間之一距離是大於位於第二端4132與旋轉軸AX3間之一距離。在一些實施例之中，旋轉體411係為一盤結構。旋轉軸AX3是垂直於旋轉體411及上表面414。旋轉軸AX3是位於兩個旋轉槽413之間。凹入側邊4133係面對旋轉軸AX3。
旋轉元件41更具有一突出部415、一軸孔416及閂孔417。突出部415是被設置於上表面414之上。軸孔416係穿過突出部415及旋轉體411，以及軸16係穿過軸孔416。閂孔417是被成型於旋轉體411之一下表面418之上。在一些實施例之中，閂孔417是被延伸至突出部415。底蓋15具有複數個透孔154。一外部旋轉機構(未顯示)是被插入至閂孔417之中，以使得旋轉元件41旋轉。
鎖固元件42是位於旋轉軸AX3之兩相對側處。每一個鎖固元件42包括有一鎖固體421、一推動元件422、一固定元件423、複數個螺栓部424、複數個滑動元件425及一輪子426。鎖固體421是以滑動之方式被設置於盒殼體11之上。在一些實 施例之中，鎖固體421係為垂直於旋轉軸AX3之一板結構。在一些實施例之中，鎖固體421係為一Y形板結構。
鎖固體421具有沿一移動方向D2延伸之複數個導引孔4211。盒殼體11具有複數個導引突出部17。導引突出部17是分別地被設置於頂蓋14之上，並且導引突出部17是以滑動之方式位於導引孔4211之中。因此，鎖固元件42是被限制於沿著移動方向D2移動，藉由導引孔4211及導引突出部17。當旋轉元件41被旋轉時，旋轉元件41係推動鎖固元件42沿著移動方向D2移動。在一些實施例之中，移動方向D2是垂直於旋轉軸AX3。
推動元件422是被設置於鎖固體421之上，並且推動元件422是以移動之方式位於旋轉槽413之中。在一些實施例之中，推動元件422是樞接於鎖固體421之上。由於旋轉槽413具有弧形開口4134，故當旋轉元件41被旋轉時，推動元件422是平順地移動於旋轉槽413之中。固定元件423是被設置於鎖固體421之上。在一些實施例之中，固定元件423是被固定於鎖固體421之上。推動元件422及固定元件423是位於鎖固體421之相對側邊處。
螺栓部424是從鎖固體421延伸。滑動元件425是被設置於鄰接螺栓部424之鎖固體421之上。滑動元件425是以滑動之方式被設置於定位元件44之上。在一些實施例之中，螺栓部424是分別地沿移動方向D2延伸。在一些實施例之中，滑動元件425係為樞接於鎖固體421上之一輪子。
輪子426是被設置於鎖固體421之上。當鎖固元件42被移動時，輪子426是與盒殼體11接觸，以降低在鎖固元件 42與盒殼體11間之摩擦力。
第9圖係顯示根據本發明之一些實施例之不具有一頂蓋14之盒門10之立體示意圖。第10A圖係顯示根據本發明之一些實施例之不具有頂蓋14之盒門10於一未鎖固狀態中之立體示意圖。第10B圖係顯示根據本發明之一些實施例之一盒殼30及不具有頂蓋14之盒門10於未鎖固狀態中之剖面示意圖。彈性元件43是被設置於鎖固體421之上，並且彈性元件43是鄰接於錨元件412。
彈性元件43包括有複數個端部431、複數個彈性部432及複數個定位部433。端部431是被固定於彈性部432之上。彈性部432是連接於端部431及定位部433，並且彈性部432是位於端部431與定位部433之間。彈性部432係為一弧形結構，用於藉由彈性變形提供一彈性力。定位部433是位於兩個鄰接之彈性部432之間。
在一些實施例之中，彈性元件43係為一環結構。一空間S2(如第5圖及第6圖所示)是藉由端部431、彈性部432及定位部433而被成型。錨元件412及推動元件422是位於空間S2之中。
每一個定位部433具有一第一槽4331、一第二槽4332及一導引突出部4333。導引突出部4333是位於第一槽4331與第二槽4332之間。如第9圖、第10A圖及第10B圖所示，盒門10及盒鎖40是位於一未鎖固狀態之中，以及螺栓部424是位於盒殼體11之中。錨元件412是位於第二槽4332處。推動元件422是位於第二端4132處。
在一些實施例之中，如第10A圖所示，當旋轉元件41以一逆時針方向被旋轉時，推動元件422是從第二端4132被移動至第一端4131。由於第一端4131及第二端4132之位置，旋轉元件41係推動沿著移動方向D2移動之推動元件422，以使得鎖固元件42位於一鎖固狀態之中。
第11A圖係顯示根據本發明之一些實施例之不具有頂蓋14之盒門10於鎖固狀態中之俯視示意圖。第11B圖係顯示根據本發明之一些實施例之盒殼30及不具有頂蓋14之盒門10於鎖固狀態中之剖面示意圖。如第11A圖及第11B圖所示，盒門10及盒鎖40是位於鎖固狀態之中。螺栓部424是突出於盒殼體31，並且螺栓部424是被插入至盒殼30之一鎖固開口312之中。錨元件412是位於第一槽4331處。推動元件422是位於第一端4131處。
在一些實施例之中，如第11A圖所示，當旋轉元件41以一順時針方向被旋轉時，推動元件422是從第一端4131經由導引突出部4333被移動至第二端4132。由於第一端4131及第二端4132之位置，旋轉元件41係推動沿著移動方向D2移動之推動元件422，以使得鎖固元件42位於一位鎖固狀態之中。在旋轉元件41與鎖固元件42之間的連接是藉由轉元件41與鎖固元件42之結構而被加強。
再者，當旋轉元件41以逆時針方向被旋轉時，錨元件412是從第二槽4332經由導引突出部4333被移動至第一槽4331。當旋轉元件41以順時針方向被旋轉時，錨元件412是從第一槽4331被移動至第二槽4332。
另外，由於導引突出部4333是一弧形表面以及錨元件412是被樞接於旋轉元件41之上，故在錨元件412與導引突出部4333之間的摩擦力是很小的(趨近於0)。當旋轉元件41被一使用者旋轉以及彈性元件43接觸導引突出部4333時，彈性元件43之導引突出部4333係施加一彈性力於錨元件412之上，以及該使用者是被導引去旋轉旋轉元件41，以使得錨元件412藉由導引突出部4333位於第一槽4331或第二槽4332之中。因此，位於鎖固狀態及未鎖固狀態中之鎖固元件42之位置是根據第一槽4331、第二槽4332及彈性力而被精確地決定。盒門10是被精確地鎖固於位於鎖固狀態中之盒殼30之上。
此外，如第10B圖所示，定位元件44具有一第一定位槽441及一第二定位槽442。當盒鎖40位於未鎖固狀態之中時，滑動元件425是位於第二定位槽442處。如第11B圖所示，當盒鎖40位於鎖固狀態之中時，滑動元件425是位於第一定位槽441處。因此，位於鎖固狀態及未鎖固狀態中之鎖固元件42之位置亦是根據第一定位槽441及第二定位槽442而被精確地決定。盒門10是被精確地鎖固於位於鎖固狀態中之盒殼30之上。
在一些實施例之中，在第一定位槽441與盒殼體11之上表面111之間的距離是大於第二定位槽442與上表面111之間的距離。如第11B圖所示，由於第一定位槽441及一第二定位槽442之位置之故，螺栓部424是抵接鎖固開口312之底部，以及盒門10是被盒殼體31夾住。因此，盒門10是被避免分離於位於鎖固狀態中之盒殼體31。
對於容納至少一晶圓之一晶圓盒之機構的實施例是被提供。複數個保持突出部及一盒殼體是被成型為一單一件，以及因此在晶圓盒中之微粒是被減少。由於一盒鎖之結構之故，一盒門是被精確地鎖固於一盒殼之上，一卡匣不會從盒門掉落而損壞晶圓，當晶圓盒是被運送時。
雖然本發明已以較佳實施例揭露於上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此項技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧晶圓盒
10‧‧‧盒門
11‧‧‧盒殼體
12‧‧‧外保持突出部
13‧‧‧內保持突出部
20‧‧‧卡匣
21‧‧‧頂部
22‧‧‧底部
23‧‧‧側壁
30‧‧‧盒殼
31‧‧‧殼體
32‧‧‧把手
231‧‧‧晶圓狹縫
W1‧‧‧晶圓
D1‧‧‧延伸方向

Claims (10)

  1. 一種晶圓盒之盒門，包括：一盒殼體；以及一盒鎖，設置於該盒殼體之中，並且包括：一旋轉元件，樞接於該盒殼體之上，並且具有一錨元件；一鎖固元件，具有一鎖固體，其中，該鎖固體係以滑動之方式設置於該盒殼體之上；以及一彈性元件，設置於該鎖固體之上，並且鄰接於該錨元件，其中，當該旋轉元件被旋轉時，該旋轉元件係推動該鎖固元件移動，以及該彈性元件係施加一彈性力於該錨元件之上。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓盒之盒門，其中，該旋轉元件具有一旋轉體，以及該錨元件係樞接於該旋轉體之上。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓盒之盒門，其中，該彈性元件係為一環結構，以及該錨元件係位於該彈性元件之中。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓盒之盒門，其中，該彈性元件具有一第一槽及一第二槽，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該錨元件係位於該第一槽處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該錨元件係位於該第二槽處。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓盒之盒門，其中，該旋轉元件具有一旋轉槽，該旋轉槽具有一第一端、一第二端及一弧形開口，該鎖固元件具有一推動元件，該推動元件係設置於該鎖固體之上，並且係以移動之方式位於該旋轉槽之中，位於該第一端與該旋轉元件之一旋轉軸間之一距離 係大於位於該第二端與該旋轉軸間之一距離，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第一端處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第二端處。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓盒之盒門，其中，該鎖固元件具有一螺栓部，該螺栓部係從該鎖固體延伸，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該螺栓部係突出於該盒殼體，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該螺栓部係位於該盒殼體之中。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之晶圓盒之盒門，其中，該盒鎖更具有一定位元件，該定位元件係設置於該盒殼體之中，該鎖固元件具有一滑動元件，該滑動元件係以滑動之方式設置於該定位元件之上，該定位元件具有一第一定位槽及一第二定位槽，當該盒鎖位於該鎖固狀態之中時，該滑動元件係位於該第一定位槽處，以及當該盒鎖位於該未鎖固狀態之中時，該滑動元件係位於該第二定位槽處。
  8. 一種晶圓盒之盒門，包括：一盒殼體；以及一盒鎖，設置於該盒殼體之中，並且包括：一旋轉元件，樞接於該盒殼體之上，並且具有一旋轉體及一錨元件，其中，該旋轉體具有一旋轉槽，以及該錨元件係設置於該旋轉體之上；一鎖固元件，具有一鎖固體及一推動元件，其中，該鎖固體係以滑動之方式設置於該盒殼體之上，以及該推動元件 係設置於該鎖固體之上，並且係以移動之方式位於該旋轉槽之中；以及一彈性元件，設置於該鎖固體之上，並且鄰接於該錨元件，其中，當該旋轉元件被旋轉時，該旋轉元件係推動該鎖固元件沿一移動方向移動，以及該彈性元件係施加一彈性力於該錨元件之上。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之晶圓盒之盒門，其中，該旋轉槽具有一第一端、一第二端及一弧形開口，位於該第一端與該旋轉元件之一旋轉軸間之一距離係大於位於該第二端與該旋轉軸間之一距離，當該盒鎖位於一鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第一端處，以及當該盒鎖位於一未鎖固狀態之中時，該推動元件係位於該第二端處。
  10. 一種晶圓盒，包括：一盒門，包括：一盒殼體；以及一盒鎖，設置於該盒殼體之中，並且包括：一旋轉元件，樞接於該盒殼體之上，並且具有一錨元件；一鎖固元件，具有一鎖固體，其中，該鎖固體係以滑動之方式設置於該盒殼體之上；以及一彈性元件，設置於該鎖固體之上，並且鄰接於該錨元件；一卡匣，設置於該盒門之上，係用以容納至少一晶圓；以及一盒殼，係以可分離之方式設置於該盒門之上，並且係覆蓋該卡匣， 其中，當該旋轉元件被旋轉時，該旋轉元件係推動該鎖固元件移動，以及該彈性元件係施加一彈性力於該錨元件之上。
TW103100620A 2013-09-30 2014-01-08 晶圓盒之盒門及晶圓盒 TWI498262B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/040,902 US8857619B1 (en) 2013-09-30 2013-09-30 Mechanisms for wafer pod and pod door

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201512059A true TW201512059A (zh) 2015-04-01
TWI498262B TWI498262B (zh) 2015-09-01

Family

ID=51660997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW103100620A TWI498262B (zh) 2013-09-30 2014-01-08 晶圓盒之盒門及晶圓盒

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8857619B1 (zh)
TW (1) TWI498262B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9892948B2 (en) 2016-06-08 2018-02-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Wafer container having damping device
US12027397B2 (en) 2020-03-23 2024-07-02 Applied Materials, Inc Enclosure system shelf including alignment features
USD954769S1 (en) * 2020-06-02 2022-06-14 Applied Materials, Inc. Enclosure system shelf
TWI835461B (zh) * 2022-05-27 2024-03-11 家登精密工業股份有限公司 門體鎖扣機構及應用其之半導體載具
TWI822366B (zh) * 2022-09-28 2023-11-11 家登精密工業股份有限公司 鎖附導正結構

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3280305B2 (ja) 1998-04-13 2002-05-13 信越半導体株式会社 精密基板輸送容器
TW534165U (en) * 2002-09-04 2003-05-21 Ind Tech Res Inst Latch locking mechanism used in doors of wafer boxes
JP4553840B2 (ja) 2003-03-04 2010-09-29 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
JP5027984B2 (ja) 2003-03-28 2012-09-19 キヤノン株式会社 揺動体を用いた電位測定装置、電位測定方法、及び画像形成装置
JP4573566B2 (ja) 2004-04-20 2010-11-04 信越ポリマー株式会社 収納容器
JP4667769B2 (ja) 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP4841383B2 (ja) * 2006-10-06 2011-12-21 信越ポリマー株式会社 蓋体及び基板収納容器
TW200905367A (en) 2007-07-20 2009-02-01 Young Optics Inc Optical module
TWM352130U (en) 2008-09-02 2009-03-01 Yaolien Technology Co Ltd Rotary switch device of wafer box
TWI394695B (zh) * 2010-04-29 2013-05-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒
WO2012054627A2 (en) * 2010-10-19 2012-04-26 Entegris, Inc. Front opening wafer container with wafer cushion
TWI473752B (zh) * 2011-12-13 2015-02-21 Gudeng Prec Ind Co Ltd 大型前開式晶圓盒之門閂結構
TWM429684U (en) 2012-02-03 2012-05-21 Yao Lien Technology Co Ltd Bottom seat for wafer box

Also Published As

Publication number Publication date
US8857619B1 (en) 2014-10-14
TWI498262B (zh) 2015-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI498262B (zh) 晶圓盒之盒門及晶圓盒
TWI518021B (zh) 晶圓定位機構及晶圓盒
US7828341B2 (en) Storage container
JP4739033B2 (ja) 収納容器の蓋体及び収納容器
JP6757471B2 (ja) ２つのカムプロファイルを有するラッチ機構を伴う基板容器およびドア
KR101451477B1 (ko) 래치 구조물을 갖는 전방 개방 통합 포드
TWI418696B (zh) 薄板運送容器的開關結構
JP4647417B2 (ja) 基板収納容器の蓋体開閉方法
KR101437351B1 (ko) 박판수납용기용 도어
US9711385B2 (en) Substrate storage container
TW201434042A (zh) 把手組、硬碟組合及伺服器
JPH11159218A (ja) 精密基板容器のドアラッチ機構
TW201327104A (zh) 具有扣合結構之電子設備
JP2002368074A (ja) 収納容器の蓋体
JP5918936B2 (ja) 基板収納容器
JP2003174081A (ja) 収納容器の蓋体
US7325693B2 (en) Wafer container and door with cam latching mechanism
KR101999485B1 (ko) 웨이퍼 이송용기
TW201406253A (zh) 電子裝置殼體
JP5261360B2 (ja) 電池収容部蓋
TWI785433B (zh) 光罩盒及操縱保持特徵之方法
TWM573090U (zh) 護罩閂鎖
WO2023162529A1 (ja) 基板収納容器
TWM459672U (zh) 機箱及其蓋體
JP7020207B2 (ja) 電子機器の施錠構造

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees