TW201435336A - 用於測試有機圖案之方法 - Google Patents

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Eui-Gyu Kim
Dae-Sik Jang
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Samsung Display Co Ltd
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Abstract

一種用於測試有機圖案之方法，包括透過一遮罩在一測試基板上形成一有機圖案；藉由拍攝該測試基板之一預定測試區域而擷取一測試影像；以及檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之一邊緣是否超過一虛擬測試圖形之一邊緣。

Description

用於測試有機圖案之方法
本發明一般係關於一種用於測試有機圖案之方法。
顯示裝置係一種用於顯示一影像之裝置，近來，有機發光二極體(organic light emitting diode；OLED)顯示器已受到關注。
不同於液晶顯示裝置，有機發光二極體顯示器具有一自發光特性，而且因其不需要附加之光源，故其厚度及重量減小。此外，有機發光二極體顯示器亦顯示出例如功耗低、亮度高、以及反應速度快等高品質特性。
在此技術部分中所揭露之上述資訊僅用於增進對所述技術背景之理解，因此其可包括不形成先前技術之資訊，該先前技術係在此國家中本領域中具有通常知識者已知者。
本發明旨在提供一種用於透過遮罩輕易地測試沉積於一基板上之有機圖案之方法。
一實例性具體實施態樣係提供一種用於測試有機圖 案之方法，包括：透過一遮罩在一測試基板上形成一有機圖案；藉由拍攝該測試基板之一預定測試區域而擷取一測試影像；以及檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之一邊緣是否超過一虛擬測試圖形(virtual test figure)之一邊緣。
該測試基板包括一圖案區域及鄰近該圖案區域之一非圖案區域，在該圖案區域中，一第一畫素圖案、一第二畫素圖案、及一第三畫素圖案係彼此鄰近，以及一測試影像之擷取係可藉由拍攝該測試區域而進行，該測試區域係包括該圖案區域及該非圖案區域。
該透過遮罩在測試基板上形成有機圖案係包括：透過一第一遮罩在該測試基板上形成複數個第一有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第一畫素圖案以及該非圖案區域之一第一區段；透過一第二遮罩在該測試基板上形成複數個第二有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第二畫素圖案以及該非圖案區域之一第二區段；以及透過一第三遮罩在該測試基板上形成複數個第三有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第三畫素圖案以及該非圖案區域之一第三區段。
該檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之一邊緣是否超過一虛擬測試圖形之一邊緣係包括：檢查該第一有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第一區段之一虛擬第一測試圖形之一邊緣；檢查該第二有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第二區段之一虛擬第二測試圖形之一邊緣；以及檢查該第三有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域 之該第三區段之一虛擬第三測試圖形之一邊緣。
該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形在一第一方向之深度，係對應於該第一畫素圖案、該第二畫素圖案、及該第三畫素圖案在該第一方向之深度。
該第一測試圖形可與該第一畫素圖案間隔開，且此二者之間有該第二有機圖案，該第二測試圖形可與該第二畫素圖案間隔開，且此二者之間有該第一有機圖案，以及該第三測試圖形可與該第三畫素圖案間隔開，且此二者之間有該第二有機圖案。
該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形係分別具有一不同尺寸之圖形形狀。
該第一測試圖形可設置於該等鄰近之第一畫素圖案之間，該第二測試圖形可設置於該等鄰近之第二畫素圖案之間，以及該第三測試圖形可設置於該等鄰近之第三畫素圖案之間。
該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形係分別具有一相同尺寸之圖形形狀。
該等第二有機圖案係沿一第一方向延伸、且係在與該第一方向交叉之一第二方向彼此間隔開，該等第一有機圖案係在該第二方向與該等第三有機圖案間隔開，其中該等第二有機圖案係位於該等第一有機圖案與該等第三有機圖案之間，且該等第三有機圖案係在該第一方向鄰近該第一有機圖案。該檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之一邊緣是否超過虛擬測試圖形之一邊緣係包括：檢查該第一畫素圖案之各邊緣是否可設置於在該第二 方向所配置之二個虛擬第一畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第四測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過覆蓋該第二畫素圖案之該第二有機圖案之一邊緣以及覆蓋該第二區段之該第二有機圖案之一邊緣，該虛擬第四測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第一方向與該第一畫素圖形間隔開且沿該第二方向延伸；檢查該第二畫素圖案之各邊緣是否可設置於在該第二方向所配置之二個虛擬第二畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第五測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過覆蓋該第三畫素圖案之該第三有機圖案之一邊緣以及覆蓋該第一區段之該第一有機圖案之一邊緣，該虛擬第五測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第一方向與該第二畫素圖形間隔開且沿該第二方向延伸；以及檢查該第三畫素圖案之各邊緣是否可設置於在該第二方向所配置之二個虛擬第三畫素圖案內側，以及檢查一虛擬第六測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過覆蓋該第二畫素圖案之該第二有機圖案之一邊緣以及覆蓋該第二區段之該第二有機圖案之一邊緣，該虛擬第六測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第一方向與該第三畫素圖形間隔開且沿該第二方向延伸。
該等第一有機圖案係在該第一方向彼此間隔開，且該等第一有機圖案之間有該等第三有機圖案，以及該檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之邊緣是否超過虛擬測試圖形之邊緣更包括：檢查該第一畫素圖案之各邊緣是否可設置於在該第一方向所配置之二個虛擬第四畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第七測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過由該第三有機圖案間隔開之該二個第一有機圖案之邊緣，該虛擬第七測試圖形係具有一 中心區域，該中心區域在該第二方向與該第四畫素圖形間隔開並沿該第一方向延伸；以及檢查該第三畫素圖案之各邊緣是否可設置於在該第一方向所配置之二個虛擬第五畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第八測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過由該第一有機圖案間隔開之該二個第三有機圖案之邊緣，該虛擬第八測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第二方向與該第五畫素圖形間隔開並沿該第一方向延伸。
根據該具體實施態樣，提供透過一遮罩輕易地測試沉積於一基板上之有機圖案之方法。
100‧‧‧測試基板
200‧‧‧有機圖案
300‧‧‧遮罩
400‧‧‧沉積源
500‧‧‧拍攝裝置
510‧‧‧照相機
BP‧‧‧第三畫素圖案
D‧‧‧深度
GP‧‧‧第二畫素圖案
NPA‧‧‧非圖案區域
OP1‧‧‧第一有機圖案
OP2‧‧‧第二有機圖案
OP3‧‧‧第三有機圖案
PA‧‧‧圖案區域
PF1‧‧‧第一畫素圖形
PF2‧‧‧第二畫素圖形
PF3‧‧‧第三畫素圖形
PF4‧‧‧第四畫素圖形
PF5‧‧‧第五畫素圖形
RP‧‧‧第一畫素圖案
S100、S200、S300‧‧‧步驟
S1‧‧‧第一區段
S2‧‧‧第二區段
S3‧‧‧第三區段
TF1‧‧‧第一測試圖形
TF2‧‧‧第二測試圖形
TF3‧‧‧第三測試圖形
TF4‧‧‧第四測試圖形
TF5‧‧‧第五測試圖形
TF6‧‧‧第六測試圖形
TF7‧‧‧第七測試圖形
TF8‧‧‧第八測試圖形
TA‧‧‧測試區域
TI‧‧‧測試影像
X‧‧‧第一方向
Y‧‧‧第二方向
藉由結合所附圖式參照下文詳細說明，可更佳地理解本發明及其多種附隨優點，藉此更完整地理解本發明並使其附隨優點變得顯而易見。在圖式中相同之參考符號係表示相同或相似之組件，其中：第1圖係根據一第一實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法之流程圖。
第2圖至第5圖係顯示根據一第一實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。
第6圖係顯示根據一第二實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。
第7圖與第8圖係顯示根據一第三實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。
以下，將參照所附圖式更充分地闡述各實例性具體實施態樣。然而，本發明概念可以許多不同的形式來體現，且不應被解釋為限制於在此所述之實例性具體實施態樣。在圖式中，為清晰起見，可誇大層及區域之尺寸及相對尺寸。
應理解，當一元件或層被稱為係位於另一元件或層「上」、「連接至」或「耦合至」另一元件或層時，該元件或層可直接位於該另一元件或層上、直接連接或耦合至該另一元件或層，或可存在中介元件或層。相反地，當一元件被稱為「直接」位於另一元件或層「上」、「直接連接至」或「直接耦合至」另一元件或層時，則不存在中介元件或層。在全文中，相同或相似之參考編號係代表相同或相似之元件。本文中所用之用語「及/或」包括相關列出項其中之一或多個項之任何及所有組合。
應理解，儘管本文中可能使用用語「第一」、「第二」、「第三」等來描述各種元件、組件、區域、層、圖案及/或區段，然而該等元件、組件、區域、層、圖案及/或區段不應受限於該等用語。該等用語僅係用於區分一元件、組件、區域、層、圖案或區段與另一元件、組件、區域、層、圖案或區段。因此，在不背離實例性具體實施態樣之教示內容之條件下，下文中所論述之第一元件、組件、區域、層或區段亦可被稱為第二元件、組件、區域、層或區段。
在本文中，為便於說明，可使用空間相對關係用語，例如「在...之下(beneath)」、「在...下面(below)」、「下方的 (lower)」、「在...之上(above)」、「上方的(upper)」等來闡述附圖所例示之一元件或特徵與其他元件或特徵之關係。應理解，該等空間相對關係用語旨在除圖中所示取向以外亦包含該裝置在使用或操作過程中之各種不同取向。舉例而言，若圖中之該裝置被翻轉，則被描述為在其他元件或特徵「下面」或「之下」之元件此時將被取向為在其他元件或特徵「之上」。因此，實例性用語「在...下面」既可包含在上面亦包含在下面之取向。該裝置亦可具有其他取向(旋轉90度或其他取向)，本文中所用之空間相對關係用語將相應地進行解釋。
本文所用術語僅用於描述特定實例性具體實施態樣，而並非旨在限制本發明。除非上下文中清楚地另外指明，否則本文所用之單數形式「一」及「該」旨在亦包含複數形式。更應理解，當在本說明書中使用用語「包括」及/或「包含」時，係用於說明所述特徵、整數、步驟、操作、元件及/或組件之存在，但不排除其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件之一者或多者、及/或其群組之存在或添加。
本文中參照剖視圖闡述各實例性具體實施態樣，該等剖視圖係本發明概念之例示性理想化實例性具體實施態樣(以及中間結構)之示意圖。因此，可預期會因例如製造技術及/或容差而偏離圖示形狀。因此，各實例性具體實施態樣不應被視為僅限於本文所例示之區域之特定形狀，而是包含由例如製造而引起之形狀偏差。在圖中所例示之區域係示意性的，且其形狀並非旨在例示一裝置之一區域之實際形狀，亦非旨在限制本發明概念之 範圍。
除非另外定義，否則本文所用之全部術語(包括技術及科學術語)之意義皆與本發明概念所屬技術領域中之通常知識者所通常理解之意義相同。亦應理解，術語(例如在常用字典中所定義之術語)應被解釋為具有與其在相關技術背景中之意義一致之意義，且除非本文中進行明確定義，否則不應將其解釋為具有理想化或過於正式之意義。
一般而言，有機發光二極體顯示器包括一基板以及一有機圖案，該有機圖案被圖案化為各畫素之有機層。在製造有機發光二極體顯示器時，執行一種用於測試有機圖案之方法。
一種用於測試有機圖案之傳統方法係利用一高解析度顯微鏡以目視測試透過一遮罩在基板上沉積之有機圖案而判斷該有機圖案是否存在問題，且當該有機圖案上出現問題時，藉由向遮罩側蒸鍍該基板、遮罩、或有機材料而校正一蒸鍍源(evaporation source)。
現在，參照第1圖至第5圖闡述根據一第一實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。
第1圖係根據一第一實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法之流程圖。第2圖至第5圖係顯示根據一第一實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。第4圖與第5圖係顯示藉由拍攝其上形成有一有機圖案的一測試基板之一測試區域而擷取之一測試影像。
如第1圖所示，可透過一遮罩300而在一測試基板100上形成一有機圖案200(步驟S100)。
詳細而言，測試基板100並非一欲被製造成一有機發光二極體(OLED)顯示器之基板，而是一用於測試之基板。亦即，測試基板100係用於測試透過遮罩300而形成之有機圖案200之一附加基板。如第4圖所示，測試基板100係包括：一圖案區域(pattern area；PA)，在該圖案區域中，一第一畫素圖案(RP)、一第二畫素圖案(GP)、及一第三畫素圖案(BP)係彼此鄰近並對應於一欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板之一第一畫素、一第二畫素、及一第三畫素；以及一非圖案區域(non-pattern area；NPA)，該非圖案區域(NPA)係鄰近該圖案區域(PA)。測試基板100之非圖案區域(NPA)係包括一第一區段(S1)、一第二區段(S2)、及一第三區段(S3)，分別對應於第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、及第三畫素圖案(BP)。
如第2圖所示，有機圖案200可藉由自一沉積源400透過遮罩300於測試基板100上沉積一有機材料而透過遮罩300形成於測試基板100上。
如第4圖所示，有機圖案200係包括一第一有機圖案(OP1)、一第二有機圖案(OP2)、及一第三有機圖案(OP3)，該第一有機圖案(OP1)、該第二有機圖案(OP2)、及該第三有機圖案(OP3)係彼此鄰近並透過彼此不同之一第一遮罩、一第二遮罩、及一第三遮罩而形成於測試基板100上。
詳細而言，透過遮罩300在測試基板100上形成有 機圖案200係包括：透過第一遮罩形成複數個第一有機圖案(OP1)，用於覆蓋測試基板100之圖案區域(PA)之第一畫素圖案(RP)以及非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)，該第一區段(S1)係對應於測試基板100上之第一畫素圖案(RP)；透過第二遮罩形成複數個第二有機圖案(OP2)，用於覆蓋測試基板100之圖案區域(PA)之第二畫素圖案(GP)以及非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)，該第二區段(S2)係對應於測試基板100上之第二畫素圖案(GP)；以及透過第三遮罩形成複數個第三有機圖案(OP3)，用於覆蓋測試基板100之圖案區域(PA)之第三畫素圖案(BP)以及非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)，該第三區段(S3)係對應於測試基板100上之第三畫素圖案(BP)。
舉例而言，第一有機圖案(OP1)發揮一有機發光層之功能，用於發出紅光至該欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板上，第二有機圖案(OP2)發揮一有機發光層之功能，用於發出綠光至該欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板上，以及第三有機圖案(OP3)發揮一有機發光層之功能，用於發出藍光至該欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板上。
如第3圖所示，可藉由拍攝測試基板100之一預定測試區域(test area；TA)而擷取一測試影像(步驟S200)。
詳細而言，測試基板100之預定測試區域(TA)可利用一拍攝裝置500拍攝，該拍攝裝置500係包括一照相機510(例如一CCD照相機)以擷取如第4圖或第5圖所示之一測試影像(test image；TI)。
如第4圖所示，測試影像(TI)之擷取可藉由拍攝測試基板100之測試區域(TA)而進行，該測試區域(TA)係包括測試基板100之圖案區域(PA)及非圖案區域(NPA)。
如第4圖與第5圖所示，有機圖案200之一邊緣係穿越一虛擬測試圖形之一邊緣(步驟S300)。
第4圖顯示一未在透過遮罩300而沉積於測試基板100上之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)中產生沉積錯誤之測試影像(TI)，而第5圖則顯示一在透過遮罩300而沉積於測試基板100上之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)上產生沉積錯誤之測試影像(TI)。
詳細而言，一虛擬第一測試圖形(TF1)、一第二測試圖形(TF2)、及一第三測試圖形(TF3)係與非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)、第二區段(S2)、及第三區段(S3)相對應地顯示於測試影像(TI)中，且第一測試圖形(TF1)、第二測試圖形(TF2)、及第三測試圖形(TF3)在一個方向上之各自深度(D)係與第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、及第三畫素圖案(BP)在一個方向上之深度(D)相同。
第一測試圖形(TF1)可與第一畫素圖案(RP)間隔開，且在二者之間有第二有機圖案(OP2)。
第二測試圖形(TF2)可與第二畫素圖案(GP)間隔開，且在二者之間有第一有機圖案(OP1)。第三測試圖形(TF3) 可與第三畫素圖案(BP)間隔開，且在二者之間有第二有機圖案(OP2)。由於第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、及第三畫素圖案(BP)具有不同之圖形，故第一測試圖形(TF1)、第二測試圖形(TF2)、及第三測試圖形(TF3)係具有與第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、及第三畫素圖案(BP)相對應之不同尺寸之圖形形狀。
第一測試圖形(TF1)、第二測試圖形(TF2)、及第三測試圖形(TF3)分別具有一實質上為四邊形之形狀，但並非僅限於此，其亦可具有不同圖形形狀，例如三角形、五角形或圓形。
可檢查第一有機圖案(OP1)之一邊緣是否穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)之虛擬第一測試圖形(TF1)之一邊緣。如第4圖所示，當第一有機圖案(OP1)之該邊緣未穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)之虛擬第一測試圖形(TF1)之該邊緣時，則斷定第一有機圖案(OP1)上可能未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，如第5圖所示，當第一有機圖案(OP1)之該邊緣穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)之虛擬第一測試圖形(TF1)之該邊緣時，則斷定第一有機圖案(OP1)上可能產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
檢查第二有機圖案(OP2)之一邊緣是否穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)之虛擬第二測試圖形(TF2)之一邊緣。如第4圖所示，當第二有機圖案(OP2)之該邊緣未穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)之虛擬第二測試 圖形(TF2)之該邊緣時，則斷定第二有機圖案(OP2)可能未產生沉積錯誤，繼而將此報告至使用者。相反地，如第5圖所示，當第二有機圖案(OP2)之該邊緣穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)之虛擬第二測試圖形(TF2)之該邊緣時，則斷定第二有機圖案(OP2)上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
檢查第三有機圖案(OP3)之一邊緣是否穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)之虛擬第三測試圖形(TF3)之一邊緣。如第4圖所示，當第三有機圖案(OP3)之該邊緣未穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)之虛擬第三測試圖形(TF3)之該邊緣時，則斷定該第三有機圖案(OP3)可能未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。與此相反，如第5圖所示，當第三有機圖案(OP3)之該邊緣穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)之虛擬第三測試圖形(TF3)之該邊緣時，則斷定第三有機圖案(OP3)上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
上述對有機圖案200之邊緣是否穿越虛擬測試圖形邊緣之檢查，可藉由一包括一終端機(terminal)之控制器執行，且由該控制器執行的對沉積錯誤產生與否之檢查，可經由一連接至該控制器之顯示器顯示至使用者。
因此，根據該第一實例性具體實施態樣之用於測試一有機圖案之方法，係拍攝測試區域(TA)(其係一指定位置)以擷取對應於測試區域(TA)之測試影像(TI)，該測試區域(TA) 係包括測試基板100之圖案區域(PA)及非圖案區域(NPA)，且該方法利用顯示至非圖案區域(NPA)之虛擬第一測試圖形(TF1)、第二測試圖形(TF2)、及第三測試圖形(TF3)(分別對應於測試影像(TI)之圖案區域(PA)中所包含之第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、以及第三畫素圖案(BP))以檢查第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)是否可能產生沉積錯誤，進而輕易地測試沉積於測試基板100之有機圖案200。
亦即，可提供用於測試有機圖案之方法，以輕易地測試形成於單一測試基板100上之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)之沉積錯誤而非測試單一有機圖案200上之沉積錯誤。
此資訊用於當第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)分別沉積於欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板上時，改變可能產生沉積錯誤之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)之一者在形成時的製程環境(例如，基板之位置、遮罩之形狀、遮罩之設置、或沉積源之配置)，且該資訊可被提供至製造有機發光二極體顯示器之製造商。
現在，將參照第6圖闡述根據一第二實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。
以下，僅闡述與該第一實例性具體實施態樣不同之特徵部分，未予以說明之部分係與第一實例性具體實施態樣所述 者一致。為達成更佳之理解及便於說明，對於與第一實例性具體實施態樣相同之構成元件，該第二實例性具體實施態樣係使用相同之參考編號。
第6圖係顯示根據一第二實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。第6圖係顯示藉由拍攝其上形成有一有機圖案的一測試基板之一測試區域而擷取之一測試影像。
可透過一遮罩而在測試基板100上形成一有機圖案。
可拍攝測試基板100之一預定測試區域(TA)以擷取一測試影像。
如第6圖所示，檢查有機圖案200之一邊緣是否穿越一虛擬測試圖形之一邊緣。
詳細而言，形成於測試基板100上之第二有機圖案(OP2)、第一有機圖案(OP1)、及第三有機圖案(OP3)係沿一第一方向X延伸，且其依序間隔地配置於與該第一方向X相交之一第二方向Y上。
一虛擬第一測試圖形(TF1)、一第二測試圖形(TF2)、及一第三測試圖形(TF3)係對應於非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)、第二區段(S2)、及第三區段(S3)而顯示於測試影像(TI)中。第一測試圖形(TF1)可設置於鄰近之第一畫素圖案(RP)之間，第二測試圖形(TF2)可設置於鄰近之第二畫素圖案(GP)之間，而第三測試圖形(TF3)可設置於鄰近之第三畫素圖案(BP)之間。第一測試圖形(TF1)、第二測試圖形 (TF2)、以及第三測試圖形(TF3)係分別具有一相同尺寸之圖形形狀。
檢查第一有機圖案(OP1)之一邊緣是否穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)之虛擬第一測試圖形(TF1)之一邊緣。如第6圖所示，當第一有機圖案(OP1)之該邊緣未穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)之虛擬第一測試圖形(TF1)之該邊緣時，則斷定第一有機圖案(OP1)上未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，當第一有機圖案(OP1)之該邊緣係穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第一區段(S1)之虛擬第一測試圖形(TF1)之該邊緣時，則斷定第一有機圖案(OP1)上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
檢查第二有機圖案(OP2)之一邊緣是否穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)之虛擬第二測試圖形(TF2)之一邊緣。如第6圖所示，當第二有機圖案(OP2)之該邊緣未穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)之虛擬第二測試圖形(TF2)之該邊緣時，則斷定第二有機圖案(OP2)上未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，當第二有機圖案(OP2)之該邊緣係穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第二區段(S2)之虛擬第二測試圖形(TF2)之該邊緣時，則斷定第二有機圖案(OP2)產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
檢查第三有機圖案(OP3)之一邊緣是否穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)之虛擬第三測試圖形(TF3)之一邊緣。如第6圖所示，當第三有機圖案(OP3)之該邊緣未穿 越顯示至非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)之虛擬第三測試圖形(TF3)之該邊緣時，則斷定第三有機圖案(OP3)未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，當第三有機圖案(OP3)之該邊緣係穿越顯示至非圖案區域(NPA)之第三區段(S3)之虛擬第三測試圖形(TF3)之該邊緣時，則斷定第三有機圖案(OP3)產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
上述對有機圖案200之邊緣是否穿越虛擬測試圖形邊緣之檢查係藉由一包括一終端機之控制器執行，且由該控制器執行的對沉積錯誤產生與否之檢查經由一連接至該控制器之顯示器顯示至使用者。
因此，根據該第二實例性具體實施態樣，該用於測試一有機圖案之方法係拍攝測試區域(TA)(其係一指定位置)以擷取對應於測試區域(TA)之測試影像(TI)，其中該測試區域(TA)包括測試基板100之圖案區域(PA)及非圖案區域(NPA)，且該方法係利用顯示至非圖案區域(NPA)之虛擬第一測試圖形(TF1)、第二測試圖形(TF2)、及第三測試圖形(TF3)(分別對應於測試影像(TI)之圖案區域(PA)中所包含之第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、以及第三畫素圖案(BP))以檢查第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)是否產生沉積錯誤，進而輕易地測試沉積至測試基板100之有機圖案200。
亦即，提供用於測試有機圖案之方法，以輕易地測試形成於單一測試基板100上之第一有機圖案(OP1)、第二有機 圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)之沉積錯誤，而非測試單一有機圖案200之沉積錯誤。
此資訊用於當第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)分別沉積於欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板上時，改變產生沉積錯誤之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)之一者在形成時的製程環境(例如，基板之位置、遮罩之形狀、遮罩之配置、或沉積源之配置)，且該資訊被提供至製造有機發光二極體顯示器之製造商。
現在，將參照第7圖與第8圖闡述根據一第三實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。
以下，僅闡述與第一實例性具體實施態樣不同之特徵部分，未予以說明之部分係與第一實例性具體實施態樣所述者一致。為達成更佳之理解及便於說明，對於與第一實例性具體實施態樣相同之構成元件，該第三實例性具體實施態樣係使用相同之參考編號。
第7圖與第8圖係顯示根據一第三實例性具體實施態樣之一種用於測試有機圖案之方法。第7圖與第8圖係顯示藉由拍攝其上形成有一有機圖案之一測試基板之一測試區域而擷取之測試影像。
透過一遮罩而於測試基板100上形成一有機圖案。
拍攝測試基板100之一預定測試區域(TA)，以擷取 一測試影像。
如第7圖與第8圖所示，檢查有機圖案200之一邊緣是否穿越一虛擬測試圖形之一邊緣。
詳細而言，形成於測試基板100上之複數個第二有機圖案(OP2)係沿第一方向X延伸，且在與該第一方向X相交之第二方向Y上間隔開。第一有機圖案(OP1)係在第一方向X上彼此間隔開，且在其間有第三有機圖案(OP3)，而第一有機圖案(OP1)係在第二方向Y上與第三有機圖案(OP3)間隔開，且在其間有第二有機圖案(OP2)。第三有機圖案(OP3)係在第一方向X上鄰近第一有機圖案(OP1)。
如第7圖所示，在第二方向Y上檢查第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)之沉積錯誤。
檢查第一畫素圖案(RP)之各邊緣是否設置於在第二方向Y上所配置之二個虛擬第一畫素圖形(PF1)之內側，並檢查一虛擬第四測試圖形(TF4)之一第一邊緣及一第二邊緣是否穿越覆蓋第二畫素圖案(GP)之第二有機圖案(OP2)之一邊緣以及覆蓋第二區段(S2)之第二有機圖案(OP2)之一邊緣，該虛擬第四測試圖形(TF4)係具有一中心區域，該中心區域在第一方向X上與第一畫素圖形(PF1)間隔開並沿第二方向Y延伸。當第四測試圖形(TF4)之該第一邊緣及該第二邊緣未穿越以第一畫素圖案(RP)的第一畫素圖形(PF1)為基準彼此鄰近並覆蓋第二畫素圖案(GP)及第二區段(S2)之第二有機圖案(OP2)之邊緣時， 則斷定以第一畫素圖案(RP)為基準彼此鄰近之該等第二有機圖案(OP2)在第二方向Y上未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，當第四測試圖形(TF4)之該第一邊緣與該第二邊緣係穿越以第一畫素圖案(RP)的第一畫素圖形(PF1)為基準彼此鄰近且用於覆蓋第二畫素圖案(GP)及第二區段(S2)之第二有機圖案(OP2)之邊緣時，則斷定以第一畫素圖案(RP)為基準彼此鄰近之該等第二有機圖案(OP2)在第二方向Y上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
亦即，以第一畫素圖案(RP)為基準，利用第一畫素圖形(PF1)及第四測試圖形(TF4)檢查該等彼此鄰近之第二畫素圖案(GP)在第二方向Y上之沉積錯誤。
檢查第二畫素圖案(GP)之各邊緣是否設置於在第二方向Y上所配置之二個虛擬第二畫素圖形(PF2)之內側，並檢查一虛擬第五測試圖形(TF5)之一第一邊緣及一第二邊緣是否穿越覆蓋第三畫素圖案(BP)之第三有機圖案(OP3)之一邊緣以及覆蓋第一區段(S1)之第一有機圖案(OP1)之一邊緣，該虛擬第五測試圖形(TF5)係具有一中心區域，該中心區域在第一方向X上與第二畫素圖形(PF2)間隔開並沿第二方向Y延伸。當第五測試圖形(TF5)之一第一邊緣及一第二邊緣未穿越以第二畫素圖案(GP)的第二畫素圖形(PF2)為基準覆蓋第三畫素圖案(BP)之第三有機圖案(OP3)之一邊緣及覆蓋第一區段(S1)之第一有機圖案(OP1)之一邊緣時，則斷定以第二畫素圖案(GP)為基準彼此間隔開之第三有機圖案(OP3)與第一有機圖案(OP1)在 第二方向Y上未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，當第五測試圖形(TF5)之該第一邊緣及該第二邊緣係穿越以第二畫素圖案(GP)的第二畫素圖形(PF2)為基準覆蓋第三畫素圖案(BP)之第三有機圖案(OP3)之該邊緣及覆蓋第一區段(S1)之第一有機圖案(OP1)之該邊緣時，則斷定以第二畫素圖案(GP)為基準彼此間隔開之第三有機圖案(OP3)與第一有機圖案(OP1)在第二方向Y上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
亦即，以第二畫素圖案(GP)為基準，利用第二畫素圖形(PF2)及第五測試圖形(TF5)檢查彼此間隔開之第三有機圖案(OP3)與第一有機圖案(OP1)在第二方向Y上之沉積錯誤。
檢查第三畫素圖案(BP)之各邊緣是否設置於在第二方向Y上所配置之二個虛擬第三畫素圖形(PF3)之內側，並檢查一虛擬第六測試圖形(TF6)之一第一邊緣及一第二邊緣是否穿越覆蓋第二畫素圖案(GP)之第二有機圖案(OP2)之邊緣以及覆蓋第二區段(S2)之第二有機圖案(OP2)之邊緣，該虛擬第六測試圖形(TF6)係具有一中心區域，該中心區域在第一方向X上與第三畫素圖形(PF3)間隔開並沿第二方向Y延伸。當該第六測試圖形(TF6)之該第一邊緣及該第二邊緣未穿越以第三畫素圖案(BP)的第三畫素圖形(PF3)為基準覆蓋第二畫素圖案(GP)及第二區段(S2)之該等彼此鄰近之第二有機圖案(OP2)之各邊緣時，則斷定以第三畫素圖案(BP)為基準該等彼此鄰近之第二有機圖案(OP2)在第二方向Y上未產生沉積錯誤，繼而可將此 報告至使用者。相反地，當第六測試圖形(TF6)之該第一邊緣與該第二邊緣係穿越覆蓋第二畫素圖案(GP)及第二區段(S2)之該等彼此鄰近之第二有機圖案(OP2)之各邊緣時，則斷定以第三畫素圖案(BP)為基準該等彼此鄰近之第二有機圖案(OP2)在第二方向Y上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
亦即，以第三畫素圖案(BP)為基準，利用第三畫素圖形(PF3)及第六測試圖形(TF6)檢查該等彼此鄰近之第二畫素圖案(GP)在第二方向Y上之沉積錯誤。
如第8圖所示，檢查第一有機圖案(OP1)及第三有機圖案(OP3)在第一方向X上之沉積錯誤。
檢查第一畫素圖案(RP)之各邊緣是否設置於在第一方向X上所配置之二個虛擬第四畫素圖形(PF4)之內側，並檢查一虛擬第七測試圖形(TF7)之一第一邊緣及一第二邊緣是否穿越彼此間隔開且在其間有第三有機圖案(OP3)之二個第一有機圖案(OP1)之各邊緣，該虛擬第七測試圖形(TF7)係具有一中心區域，該中心區域在第二方向Y上與該第四畫素圖形(PF4)間隔開並沿第一方向X延伸。當第七測試圖形(TF7)之該第一邊緣與該第二邊緣未穿越以第一畫素圖案(RP)的第四畫素圖形(PF4)為基準彼此間隔開且在其間有第三有機圖案(OP3)之該二個第一有機圖案(OP1)之各邊緣時，則斷定在第二方向Y上相對於第一畫素圖案(RP)間隔開並在第一方向X上彼此間隔開之該等第一有機圖案(OP1)在第一方向X上未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。相反地，當第七測試圖形(TF7)之該第一邊緣 與該第二邊緣係穿越以第一畫素圖案(RP)的第四畫素圖形(PF4)為基準彼此間隔開且在其間有第三有機圖案(OP3)之該二個第一有機圖案(OP1)之各邊緣時，則斷定在第二方向Y上相對於第一畫素圖案(RP)間隔開並在第一方向X上彼此間隔開之該等第一有機圖案(OP1)在第一方向X產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
亦即，利用第四畫素圖形(PF4)與第七測試圖形(TF7)檢查在第二方向Y上相對於第一畫素圖案(RP)間隔開並在第一方向X上彼此間隔開之該等第一有機圖案(OP1)在第一方向X之沉積錯誤。
檢查第三畫素圖案(BP)之各邊緣是否設置於在第一方向X上所配置之二個虛擬第五畫素圖形(PF5)之內側，並檢查一虛擬第八測試圖形(TF8)之一第一邊緣及一第二邊緣是否穿越彼此間隔開且在其間有第一有機圖案(OP1)之二個第三有機圖案(OP3)之邊緣，該虛擬第八測試圖形(TF8)係具有一中心區域，該中心區域在第二方向Y上與第五畫素圖形(PF5)間隔開並沿第一方向X延伸。當虛擬第八測試圖形(TF8)之該第一邊緣與該第二邊緣未穿越以第三畫素圖案(BP)的第五畫素圖形(PF5)為基準彼此間隔開且在其間具有第一有機圖案(OP1)之二個第三有機圖案(OP3)之邊緣時，則斷定在第二方向Y上相對於第三畫素圖案(BP)間隔開並在第一方向X上彼此間隔開之該等第三有機圖案(OP3)在第一方向X上未產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。與此相反，當虛擬第八測試圖形(TF8)之該第一 邊緣及該第二邊緣係穿越以第三畫素圖案(BP)的第五畫素圖形(PF5)為基準彼此間隔開且在其間有第一有機圖案(OP1)之二個第三有機圖案(OP3)之邊緣時，則斷定在第二方向Y上相對於第三畫素圖案(BP)間隔開並在第一方向X上彼此間隔開之該等第三有機圖案(OP3)在第一方向X上產生沉積錯誤，繼而可將此報告至使用者。
亦即，利用第五畫素圖形(PF5)與第八測試圖形(TF8)檢查在第二方向Y上相對於第三畫素圖案(BP)間隔開並在第一方向X上彼此間隔開之該等第三有機圖案(OP3)在第一方向X上之沉積錯誤。
上述對有機圖案200之邊緣是否穿越虛擬測試圖形之邊緣之檢查，係由一包括一終端機之控制器執行，且由該控制器執行的對沉積錯誤產生與否之檢查，係經由一連接至該控制器之顯示器而顯示至使用者。
因此，根據該第三實例性具體實施態樣，該用於測試有機圖案之方法係拍攝測試區域(TA)(其係一指定位置)以擷取對應於測試區域(TA)之測試影像(TI)，該測試區域(TA)係包括測試基板100之圖案區域(PA)及非圖案區域(NPA)，且該方法利用虛擬第一畫素圖形(PF1)、第二畫素圖形(PF2)與第三畫素圖形(PF3)以及虛擬第四測試圖形(TF4)、第五測試圖形(TF5)與第六測試圖形(TF6)來檢查第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、以及第三有機圖案(OP3)是否在第二方向Y上產生沉積錯誤，其中虛擬第一畫素圖形(PF1)、第二畫素圖形 (PF2)與第三畫素圖形(PF3)顯示至在測試影像(TI)之圖案區域(PA)中顯示之第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)與第三畫素圖案(BP)，而虛擬第四測試圖形(TF4)、第五測試圖形(TF5)與第六測試圖形(TF6)則顯示於非圖案區域(NPA)中，進而輕易地測試沉積於測試基板100上之有機圖案200。
此外，根據該第三實例性具體實施態樣，該用於測試有機圖案之方法係拍攝測試區域(TA)(其係一指定位置)以擷取對應於測試區域(TA)之測試影像(TI)，該測試區域(TA)係包括測試基板100之圖案區域(PA)及非圖案區域(NPA)，且該方法利用虛擬第四畫素圖形(PF4)與第五畫素圖形(PF5)以及虛擬第七測試圖形(TF7)與第八測試圖形(TF8)來檢查第一有機圖案(OP1)與第三有機圖案(OP3)是否在第一方向X上產生沉積錯誤，其中虛擬第四畫素圖形(PF4)與第五畫素圖形(PF5)係顯示至在測試影像(TI)之圖案區域(PA)中顯示之第一畫素圖案(RP)與第三畫素圖案(BP)，而虛擬第七測試圖形(TF7)與第八測試圖形(TF8)則顯示於非圖案區域(NPA)中，進而輕易地測試沉積於測試基板100上之有機圖案200。
亦即，提供用於測試有機圖案之方法，以輕易地測試形成於單一測試基板100上之第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、及第三畫素圖案(BP)之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)在第一方向X或第二方向Y上之沉積錯誤，而非測試單一有機圖案200上之沉積錯誤。
此資訊用於當第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案 (OP2)、及第三有機圖案(OP3)分別沉積於欲被製造成有機發光二極體顯示器之基板上時，改變產生沉積錯誤之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)之一者在形成時的製程環境(例如，基板之位置、遮罩之形狀、遮罩之設置、或沉積源之配置)，該資訊可被提供至製造有機發光二極體顯示器之製造商。
特別是，根據該第三實例性具體實施態樣，用於測試有機圖案之方法係檢查與第一畫素圖案(RP)、第二畫素圖案(GP)、及第三畫素圖案(BP)對應之第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)在第一方向X或第二方向Y上之沉積錯誤，以更精確地檢查第一有機圖案(OP1)、第二有機圖案(OP2)、及第三有機圖案(OP3)在第一方向X或第二方向Y上之沉積錯誤並檢查該遮罩之變形資訊或由一精細金屬遮罩(fine metal mask；FMM)形成之基板之變形資訊。該資訊被提供至製造有機發光二極體顯示器之製造商，且該資訊可作為用於更精確地製造其上沉積有有機發光層之有機發光二極體顯示器的因素。
儘管已結合目前被認為可行之實例性具體實施態樣闡述本發明，然而應理解，本發明並非僅限於所揭露之具體實施態樣，而是相反，本發明旨在涵蓋包含於隨附申請專利範圍之精神及範圍內之各種修飾及等效設置。
S100、S200、S300‧‧‧步驟

Claims (20)

  1. 一種用於測試有機圖案之方法，包含：透過一遮罩在一測試基板上形成一有機圖案；藉由拍攝該測試基板之一預定測試區域而擷取一測試影像；以及檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之一邊緣是否超過一虛擬測試圖形(test figure)之一邊緣。
  2. 如請求項1所述之方法，其中該測試基板包括一圖案區域及鄰近該圖案區域之一非圖案區域，在該圖案區域中，一第一畫素圖案、一第二畫素圖案、及一第三畫素圖案係彼此鄰近，以及該測試影像之擷取係藉由拍攝該預定測試區域而進行，該預定測試區域係包括該圖案區域及該非圖案區域。
  3. 如請求項2所述之方法，其中該透過遮罩在測試基板上形成有機圖案係包括：透過一第一遮罩在該測試基板上形成複數個第一有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第一畫素圖案以及該非圖案區域之一第一區段；透過一第二遮罩在該測試基板上形成複數個第二有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第二畫素圖案以及該非圖案區域之一第二區段；以及透過一第三遮罩在該測試基板上形成複數個第三有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第三畫素圖案以及該非圖案區域之一第三區 段。
  4. 如請求項3所述之方法，其中該檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之一邊緣是否超過一虛擬測試圖形之一邊緣係包括：檢查該第一有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第一區段之一虛擬第一測試圖形之一邊緣；檢查該第二有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第二區段之一虛擬第二測試圖形之一邊緣；以及檢查該第三有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第三區段之一虛擬第三測試圖形之一邊緣。
  5. 如請求項4所述之方法，其中該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形在一第一方向之深度係對應於該第一畫素圖案、該第二畫素圖案、及該第三畫素圖案在該第一方向之深度。
  6. 如請求項5所述之方法，其中該第一測試圖形係與該第一畫素圖案間隔開，且此二者之間具有該第二有機圖案，該第二測試圖形係與該第二畫素圖案間隔開，且此二者之間具有該第一有機圖案，以及該第三測試圖形係與該第三畫素圖案間隔開，且此二者之間具有該第二有機圖案。
  7. 如請求項6所述之方法，其中該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形係分別 具有一不同尺寸之圖形形狀。
  8. 如請求項5所述之方法，其中該第一測試圖形係設置於該等鄰近之第一畫素圖案之間，該第二測試圖形係設置於該等鄰近之第二畫素圖案之間，以及該第三測試圖形係設置於該等鄰近之第三畫素圖案之間。
  9. 如請求項8所述之方法，其中該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形係分別具有一相同尺寸之圖形形狀。
  10. 如請求項3所述之方法，其中該等第二有機圖案係沿一第一方向延伸、且係在與該第一方向交叉之一第二方向彼此間隔開，該等第一有機圖案係在該第二方向與該等第三有機圖案間隔開，其中該等第二有機圖案係位於該等第一有機圖案與該等第三有機圖案之間，且該等第三有機圖案係在該第一方向鄰近該第一有機圖案，以及該檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之邊緣是否超過虛擬測試圖形之邊緣係包括：檢查該第一畫素圖案之各邊緣是否係設置於在該第二方向所配置之二個虛擬第一畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第四測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過覆蓋該第二畫素圖案之該第二有機圖案之一邊緣以及覆蓋該第二區段之該第二有機圖案之一邊緣，該虛擬第四測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第一方向與該第一畫素圖形間隔開且沿該第二方向延伸；檢查該第二畫素圖案之各邊緣是否係設置於在該第二方向所配 置之二個虛擬第二畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第五測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過覆蓋該第三畫素圖案之該第三有機圖案之一邊緣以及覆蓋該第一區段之該第一有機圖案之一邊緣，該虛擬第五測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第一方向與該第二畫素圖形間隔開且沿該第二方向延伸；以及檢查該第三畫素圖案之各邊緣是否係設置於在該第二方向所配置之二個虛擬第三畫素圖案內側，以及檢查一虛擬第六測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過覆蓋該第二畫素圖案之該第二有機圖案之一邊緣以及覆蓋該第二區段之該第二有機圖案之一邊緣，該虛擬第六測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第一方向與該第三畫素圖形間隔開且沿該第二方向延伸。
  11. 如請求項10所述之方法，其中該等第一有機圖案係在該第一方向彼此間隔開，且該等第一有機圖案之間具有該等第三有機圖案，以及該檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之邊緣是否超過虛擬測試圖形之邊緣更包括：檢查該第一畫素圖案之各邊緣是否係設置於在該第一方向所配置之二個虛擬第四畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第七測試圖形之一第一邊緣及一第二邊緣是否超過由該第三有機圖案間隔開之該二個第一有機圖案之邊緣，該虛擬第七測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第二方向與該第四畫素圖形間隔開並沿該第一方向延伸；以及檢查該第三畫素圖案之各邊緣是否係設置於在該第一方向所配置之二個虛擬第五畫素圖形內側，以及檢查一虛擬第八測試圖形之一 第一邊緣及一第二邊緣是否超過由該第一有機圖案間隔開之該二個第三有機圖案之邊緣，該虛擬第八測試圖形係具有一中心區域，該中心區域在該第二方向與該第五畫素圖形間隔開並沿該第一方向延伸。
  12. 一種用於測試有機圖案之方法，包含：透過一遮罩在一測試基板上形成複數個有機圖案；藉由拍攝該測試基板之一預定測試區域而擷取一測試影像，該測試影像係具有一矩形形狀，該矩形形狀係具有四個邊緣；檢查顯示至該測試影像之該有機圖案之該四個邊緣之任一者是否超過一虛擬測試圖形之一邊緣；以及當顯示至該測試影像之複數個有機圖案之任一者之該四個邊緣中之任一邊緣係超過對應虛擬測試圖形之一邊緣時，捨棄該有機圖案。
  13. 如請求項12所述之方法，其中該測試基板係包括一圖案區域及鄰近該圖案區域之一非圖案區域，在該圖案區域中，一第一畫素圖案、一第二畫素圖案、及一第三畫素圖案係彼此鄰近，以及該測試影像之擷取係藉由拍攝該測試區域而進行，該測試區域係包括該圖案區域及該非圖案區域。
  14. 如請求項13所述之方法，其中該透過遮罩在測試基板上形成複數個有機圖案係包括：透過一第一遮罩在該測試基板上形成複數個第一有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第一畫素圖案以及該非圖案區域之一第一區段； 透過一第二遮罩在該測試基板上形成複數個第二有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第二畫素圖案以及該非圖案區域之一第二區段；以及透過一第三遮罩在該測試基板上形成複數個第三有機圖案，用於覆蓋該圖案區域之該第三畫素圖案以及該非圖案區域之一第三區段。
  15. 如請求項14所述之方法，其中該檢查顯示至該測試影像之複數個有機圖案之任一者之邊緣是否超過虛擬測試圖形之邊緣係包括：檢查該第一有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第一區段之一虛擬第一測試圖形之一邊緣；檢查該第二有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第二區段之一虛擬第二測試圖形之一邊緣；以及檢查該第三有機圖案之一邊緣是否超過顯示至該非圖案區域之該第三區段之一虛擬第三測試圖形之一邊緣。
  16. 如請求項15所述之方法，其中該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形在一第一方向之深度係對應於該第一畫素圖案、該第二畫素圖案、及該第三畫素圖案在該第一方向之深度。
  17. 如請求項16所述之方法，其中該第一測試圖形係與該第一畫素圖案間隔開，且此二者之間具有該第二有機圖案，該第二測試圖形係與該第二畫素圖案間隔開，且此二者之間具 有該第一有機圖案，以及該第三測試圖形係與該第三畫素圖案間隔開，且此二者之間具有該第二有機圖案。
  18. 如請求項17所述之方法，其中該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形係分別具有一不同尺寸之圖形形狀。
  19. 如請求項16所述之方法，其中該第一測試圖形係設置於該等鄰近之第一畫素圖案之間，該第二測試圖形係設置於該等鄰近之第二畫素圖案之間，以及該第三測試圖形係設置於該等鄰近之第三畫素圖案之間。
  20. 如請求項19所述之方法，其中該第一測試圖形、該第二測試圖形、及該第三測試圖形係分別具有一相同尺寸之圖形形狀。
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