TW201404739A - 刀片保持具 - Google Patents

Abstract

本發明之目的係提供一種具備適於利用機械手進行自動更換之功能的刀片保持具。本發明係一種刀片保持具12，其包含安裝於基板加工裝置A之劃線頭10上的主體部12a、平行於主體部12a之軸心而形成於主體部12a之一端的一對平坦面12b、與各平坦面12b平行地形成於該等平坦面12b、12b之間的切槽12c、及安裝於該切槽12c之旋轉刀片12e，且於一對平坦面12b之至少一者之下端設置自平坦面12b突出的至少一根銷12j。

Description

刀片保持具

本發明係關於一種刀片保持具，上述刀片保持具係使用於如下之基板加工裝置中，該基板加工裝置係藉由一面將圓周脊線上形成有V字型刀尖之旋轉刀片(亦稱為輪形刀片或劃線輪)按壓於載置於平台(tabel)上的基板之表面一面進行劃線，而對上述基板加工出切斷用劃線或進行切斷(分斷)。

先前，已知有利用旋轉刀片在由玻璃、矽、陶瓷、半導體等脆性材料構成之基板或貼合基板(以下簡稱為“基板”)的表面形成沿著預劃線的劃線(切斷用的槽)或自預切斷線完全切斷的基板加工裝置(參照例如專利文獻1、專利文獻2)。

圖16係表示上述專利文獻等中揭示之先前之基板加工裝置之一例的概略立體圖。該基板加工裝置B包含載置並保持成為加工對象之基板W的水平的平台31。平台31構成為可藉由內置馬達之旋轉驅動部32而在水平面內轉動且可沿著水平的軌道33於Y方向上移動。該Y方向上之移動係藉由利用馬達34進行旋轉的螺桿軸35而進行。

基板加工裝置B中，以橫跨平台31之方式設置有包含一對支柱36、36及以將該等支柱36、36連接之方式沿X方向水平延伸之導桿37的橋部38。在導桿37設置有沿X方向水平延伸之導件39，劃線頭40配置成可沿著導件39於X方向上移動。劃線頭40於X方向上之移動係藉由馬達41之驅動而進行。包含旋轉刀片42e之刀片保持具42經由保持 具接頭43可裝卸地安裝於劃線頭40上。在劃線頭40之內部組裝有可實現保持具接頭43之升降的升降機構。

於如上文所述之構成下，一面將旋轉刀片42e按壓於載置於平台31上的基板W一面使旋轉刀片42e與平台31中之一者或兩者移動，由此，可於X-Y方向上對基板W進行劃線而形成劃線槽或進行切斷。

圖17及圖18係表示先前之刀片保持具42及保持具接頭43的構成之圖。刀片保持具42包含大致圓柱狀的主體部42a、及相對於主體部42a之軸心平行且相互對稱地形成於主體部42a之一端(下端)的一對平坦面42b、42b，此外，與該平坦面42b平行地形成的切槽42c沿著主體部42a之軸心形成於這一對平坦面42b、42b之間。在該切槽42c內，經由相對於主體部42a之軸心正交的輪軸42d而旋轉自如地安裝有旋轉刀片42e。於一對平坦面42b中之一者上標印有代碼42i，該代碼42i記錄有安裝於該刀片保持具42上之旋轉刀片42e的直徑或種類、安裝旋轉刀片時的設定資訊等管理上有用的固有資料。

而且，於主體部42a之另一端(上端)設置有安裝於保持具接頭43時用於定位的安裝部42f。安裝部42f包含切削主體部42a而形成之平面部42g與傾斜面42h。平面部42g與主體部42a之軸心平行，且與位於下方之一對平坦面42b正交。而且，主體部42a係由鐵等磁性體金屬構成。

保持具接頭43在上部包含軸承43a，下部成為保持刀片保持具42的保持部43b。於保持部43b設置有朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部43c，在其內部深處部安裝有磁鐵43j。此外，於開口部43c之內部設置有於開口部的與軸心相離的部位沿與該軸心垂直的方向延伸之用於定位的平行銷43d。該平行銷43d係當刀片保持具42插入於開口部43c時，與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而以使得刀片保持具42的方向或姿勢固定之方式進行定位。

將刀片保持具42安裝於保持具接頭43時，如圖18所示，使刀片保持具42自其安裝部42f插入保持具接頭43的開口部43c而進行。當將安裝部42f插入於保持具接頭43的開口部43c時，平行銷43d與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而定位，並且刀片保持具42的上端部被磁鐵43j磁性吸附而保持。由此，可在刀片保持具42之姿勢朝向固定方向之狀態下簡單地安裝於保持具接頭43上。更換旋轉刀片42e時，抵抗磁鐵之磁力自保持具接頭43的開口部43c拉拔刀片保持具42，與刀片保持具一併更換。新安裝的刀片保持具42係藉由利用另外設置的讀取器(reader)讀取標印在平坦面42b上的記錄有刀片固有資料的代碼42i而選擇。

[背景技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開編號WO2007/063979公報

[專利文獻2]日本專利特開2011-218815號公報

當旋轉刀片移行規定的移行距離而達到更換時間時、或需要其他規格之旋轉刀片時，係在使基板加工裝置B停止之後，進行刀片保持具之更換。具體而言，自劃線頭的保持具接頭卸除刀片保持具之後，藉由利用讀取器讀取代碼而自保管的刀片保持具中選擇所期望的刀片保持具，將該選擇之刀片保持具安裝於保持具接頭上。若如上文所述之更換操作由操作人員藉由手工操作而進行，則比較費事，因此，利用機械手自動地進行較為方便。

於利用機械手進行更換操作之情形時，為了自複數個刀片保持具中選擇所希望的刀片保持具，必需以容易利用讀取器讀取具備代碼之刀片保持具的平坦面、且容易利用機械手拉出之方式配置。在此情 況下，由於刀片保持具包含直徑約2mm~3mm的較小之旋轉刀片，故要求穩定地載置於例如載置台等上，以使在代碼面露出之狀態下旋轉刀片不會受損。而且，為了利用機械手選擇並抓住刀片保持具且直接搬運至劃線頭的保持具接頭而進行安裝，必需考慮載置台與機械手的相關的組裝。

然而，先前，未揭示適於利用如上文所述之機械手進行刀片保持具之自動更換的系統構成，而一直未解決。

因此，鑒於上述問題，本發明之目的在於提供一種具備適於利用機械手進行自動更換之功能的刀片保持具。

為了解決上述問題，於本發明中採取如下的技術手段。即，本發明之刀片保持具包含安裝於基板加工裝置之劃線頭上的主體部、平行於該主體部之軸心而形成於該主體部之一端的一對平坦面、與該一對平坦面平行地形成於該一對平坦面之間的切槽、及安裝於該切槽之旋轉刀片，且構成為在上述一對平坦面之至少一者之下端設置有自平坦面突出的至少一根銷。

根據本發明之刀片保持具，利用機械手之夾持爪夾著平坦面而拉出時，設置於平坦面之銷成為相對於拉拔方向的對夾持爪的卡扣件。由此，能夠以較輕的力順利且容易地拉出刀片保持具。

於本發明中，較佳為設為上述銷分別設置於上述一對平坦面上的構成。

由此，可相對於拉出方向而平衡性良好地卡住機械手之夾持爪，從而可更順利地拉出刀片保持具。

1‧‧‧平台

2‧‧‧旋轉驅動部

3‧‧‧水平軌道

4‧‧‧馬達

5‧‧‧螺桿軸

6‧‧‧支柱

7‧‧‧導桿

8‧‧‧橋部

9‧‧‧導件

10‧‧‧劃線頭

11‧‧‧馬達

12‧‧‧刀片保持具

12a‧‧‧主體部

12b‧‧‧平坦面

12c‧‧‧切槽

12d‧‧‧輪軸

12e‧‧‧旋轉刀片

12f‧‧‧安裝部

12g‧‧‧平面部

12h‧‧‧傾斜面

12i‧‧‧代碼

12j‧‧‧銷

12k‧‧‧滑槽

12m‧‧‧肩部

12p‧‧‧凹部

13‧‧‧保持具接頭

13a‧‧‧軸承

13b‧‧‧保持部

13c‧‧‧開口部

13d‧‧‧平行銷

13e‧‧‧磁鐵

15‧‧‧刀片保持具收納體

15a‧‧‧收納孔

15b‧‧‧圓拱形主體

15c‧‧‧前部罩蓋

15c'‧‧‧前部罩蓋

15d‧‧‧後部罩蓋

15e‧‧‧顎部

15f‧‧‧平板狀部

15g‧‧‧圓弧狀上蓋

15h‧‧‧前壁

15i‧‧‧彈性止動件

15j‧‧‧貫通孔

15k‧‧‧傘狀頭部

15n‧‧‧切取線

15p‧‧‧卡合槽

15p'‧‧‧卡合槽

15q‧‧‧突起

15q'‧‧‧突起

15r‧‧‧捏取片

15s‧‧‧凸條

15t‧‧‧突起

15u‧‧‧卡合槽

15v‧‧‧彈性卡止爪

15x‧‧‧彈性爪

15y‧‧‧底面

15z‧‧‧彈簧

16‧‧‧載置架

16a‧‧‧架板

16b‧‧‧前端緣

16c‧‧‧邊框

17‧‧‧機械手

17a‧‧‧機械臂

17b‧‧‧夾持爪

17c‧‧‧讀取器

18‧‧‧CCD攝影機

19‧‧‧電腦

20‧‧‧控制部

21‧‧‧驅動部

22‧‧‧驅動部

23‧‧‧刀片保持具升降驅動部

24‧‧‧資料保持部

25‧‧‧製程配方選擇按鈕

31‧‧‧平台

32‧‧‧旋轉驅動部

33‧‧‧軌道

34‧‧‧馬達

35‧‧‧螺桿軸

36‧‧‧支柱

37‧‧‧導桿

38‧‧‧橋部

39‧‧‧導件

40‧‧‧劃線頭

41‧‧‧馬達

42‧‧‧刀片保持具

42a‧‧‧主體部

42b‧‧‧平坦面

42c‧‧‧切槽

42d‧‧‧輪軸

42e‧‧‧旋轉刀片

42f‧‧‧安裝部

42g‧‧‧平面部

42h‧‧‧傾斜面

42i‧‧‧代碼

43‧‧‧保持具接頭

43a‧‧‧軸承

43b‧‧‧保持部

43c‧‧‧開口部

43d‧‧‧平行銷

43j‧‧‧磁鐵

A‧‧‧基板加工裝置

B‧‧‧基板加工裝置

L‧‧‧基準直線

M1‧‧‧定位用對準標記

M2‧‧‧定位用對準標記

S‧‧‧直線

W‧‧‧基板

圖1係表示包含本發明之刀片保持具之基板加工裝置之一例的立 體圖。

圖2(a)~(c)係表示本發明之刀片保持具之一例的圖。

圖3係表示本發明之刀片保持具及安裝刀片保持具的保持具接頭的立體圖。

圖4係表示本發明之刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。

圖5係表示刀片保持具收納體之一例的分解立體圖。

圖6係於刀片保持具收納體中收納有刀片保持具之狀態的剖視圖。

圖7(a)~(d)係表示圖5所示之刀片保持具收納體中之彈性止動件的動作的說明圖。

圖8(a)、(b)係表示刀片保持具收納體的另一實施例的剖視圖。

圖9係表示刀片保持具收納體的又一實施例的剖視圖。

圖10係表示圖1所示之基板加工裝置中之機械手與載置架的立體圖。

圖11係表示載置架之另一實施例的立體圖。

圖12係表示載置架之又一實施例的立體圖。

圖13係表示於圖1所示之基板加工裝置中利用CCD攝影機拍攝對準標記之狀態的說明圖。

圖14係表示圖1所示之基板加工裝置的控制系統的構成之方塊圖。

圖15(a)、(b)係外切、內切的劃線方法的說明圖。

圖16係表示先前之基板加工裝置之一例的立體圖。

圖17係表示先前之刀片保持具的立體圖。

圖18係表示先前之刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。

以下，基於表示本發明之實施形態的圖式對本發明之詳細情況進行說明。

圖1係表示具備本發明之刀片保持具之基板加工裝置之一例的概略性立體圖。該基板加工裝置A包含載置並保持成為加工對象之基板W的水平的平台1。平台1構成為可藉由內置有馬達之旋轉驅動部2而在水平面內轉動，且可沿著水平軌道3於Y方向上移動。該Y方向之移動係藉由利用馬達4進行旋轉的螺桿軸5實現。

於基板加工裝置A中，以橫跨平台1之方式設置有包含一對支柱6、6、及以將該等支柱6、6連結之方式於X方向上水平延伸之導桿7的橋部8。於導桿7上設置有於X方向上水平延伸之導件9，劃線頭10以可沿著導件9於X方向上移動之方式配置。劃線頭10於X方向上之移動係藉由馬達11之驅動而進行。在劃線頭10上，以可經由保持具接頭13裝卸之方式安裝有包含旋轉刀片12e的刀片保持具12。在劃線頭10之內部組裝有可實現刀片保持具12之升降的升降機構。而且，於橋部8之上部設置有拍攝基板W的對準標記之2台CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)攝影機18、18。

於如上文所述之構成下，一面將旋轉刀片12e按壓於載置於平台1上的基板W一面使旋轉刀片12e與平台1中之一者或兩者移動，由此，可於X-Y方向上對基板W進行劃線而形成劃線槽或進行切斷。

此外，在基板加工裝置A之平台1的附近設置有：載置架16，其載置收納刀片保持具12的複數個刀片保持具收納體15；及機械手17，其自刀片保持具收納體15中拔出刀片保持具12並安裝於劃線頭10的保持具接頭13上，或自保持具接頭13卸除刀片保持具12。

圖2係表示刀片保持具12之一例的圖，圖2(a)係前視圖，圖2(b)係側視縱剖視圖，圖2(c)係立體圖。刀片保持具12包含：大致圓柱狀的 主體部12a；及一對平坦面12b、12b，其相對於主體部12a之軸心平行且相互對稱地形成於主體部12a之一端(下端)；此外，在該等一對平坦面12b、12b之間，沿著主體部12a之軸心形成有與該平坦面12b平行地形成的切槽12c。於該切槽12c內，經由相對於主體部12a之軸心正交的輪軸12d，以使旋轉刀片12e的一部分自主體部12a之下端面露出之狀態旋轉自如地安裝有旋轉刀片12e。於平坦面12b中之一者上，如下所述標印有記錄有安裝於該刀片保持具12上之旋轉刀片12e的直徑或種類等管理上有用的刀片固有的資料的代碼12i。

而且，於主體部12a之另一端(上端)，設置有安裝於保持具接頭13時用於定位的安裝部12f。安裝部12f包含切削主體部12a而形成之平面部12g與傾斜面12h。平面部12g係與主體部12a之軸心平行，且與位於下方之一對平坦面12b正交。而且，安裝部12f係由鐵等磁性體金屬所構成。

此外，於一對平坦面12b、12b之下端部分，分別設置有自平坦面12b突出的一根銷12j。較佳為，該銷12j係在平坦面12b、12b上配置於旋轉對稱位置或左右對稱位置。如下所述，銷12j作為利用機械手17自刀片保持具收納體15中拔出刀片保持具12時的卡扣件發揮作用。另外，銷12j係在各平坦面上各設置有一根，但亦可以設置複數根。而且，亦可以省略任一個平坦面12b的銷12j。

於主體部12a之外周面且為安裝部12f的相反側，設置有於主體部12a之軸心方向上延伸之滑槽12k。該滑槽12k係與形成於下述的刀片保持具收納體15的收納孔內面上的凸條15s相嵌合。該滑槽12k之一端與切槽12c相連。

如圖3及圖4所示，安裝於劃線頭10之保持具接頭13在上部設有軸承13a，且下部成為保持刀片保持具12的保持部13b。於保持部13b上設置有朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部13c，在其內部深處 部安裝有磁鐵13e。此外，於開口部13c之內部，設置有於開口部13c之與軸心相離的部位沿著與該軸心垂直的方向延伸之定位用平行銷13d。該平行銷13d係在刀片保持具12已插入於開口部13c時，與刀片保持具12的傾斜面12h(參照圖2)接觸而將刀片保持具12之姿勢定位在固定方向上。於本發明之情形時，以旋轉刀片12e之旋轉移行方向與劃線方向一致之方式進行定位。

在將刀片保持具12安裝於保持具接頭13上時，如圖3所示，將刀片保持具12自其安裝部12f插入於保持具接頭13的開口部13c而進行安裝。若安裝部12f插入於保持具接頭13的開口部13c，則與刀片保持具12的傾斜面12h接觸而定位，並且刀片保持具12的上端部被磁鐵13e磁性吸附而得到保持。由此，可以刀片保持具12之姿勢朝向固定方向之狀態簡單地安裝於保持具接頭13上。於更換旋轉刀片12e時，抵抗磁鐵13e之磁力而拉拔刀片保持具12，與刀片保持具一併進行更換。

圖5係表示收納刀片保持具12之刀片保持具收納體15之一例的分解立體圖，圖6係收納有刀片保持具12之狀態的剖視圖。刀片保持具收納體15包含貫通於前後之剖面大致圓形的收納孔15a，且包含具有平坦底面15y的圓拱形主體15b、將收納孔15a之前開口部閉合的前部罩蓋15c、及將後開口部閉合的後部罩蓋15d。收納孔15a形成為其軸心與底面15y平行。於圓拱形主體15b上，設置有與收納孔15a之前開口部的下緣相連且向前方延伸之平坦的顎部15e。

於將刀片保持具12收納於刀片保持具收納體15的收納孔15a中時，自收納孔15a的後開口部最先插入旋轉刀片12e。在進行該插入時，為了使刀片保持具12之設有代碼12i的平坦面12b成為與圓拱形主體15b的底面15y平行且始終朝上之姿勢，而在收納孔15a之內面形成有供刀片保持具12之滑槽12k嵌合的凸條15s。因為刀片保持具12之滑槽12k之一端係與切槽12c相連地形成，故而在將刀片保持具12插入於 收納孔15a時，切槽12c可成為導件而嵌入於凸條15s，從而使插入操作變得容易。而且，於用手將刀片保持具12插入於收納孔15a之情形時，若在使安裝部12f的平面部12g朝上之狀態下將大拇指放在平面部12g，並將食指放在180°相反側之滑槽12k的附近，以用兩手指夾持之方式捏住刀片保持具12並將其插入於收納孔15a，則操作效率提高。

前部罩蓋15c係由具有彈性之合成樹脂材料一體成形，且包含與圓拱形主體15b的底面15y面接觸的平板狀部15f、及與圓拱形主體15b的頂部周面面接觸的圓弧狀上蓋15g，板狀部15f與圓弧狀上蓋15g由前壁15h連結。於板狀部15f的上表面，朝向上方突出地設置有具有傘狀頭部15k的彈性止動件15i，於圓拱形主體15b之前開口部的附近形成有用來供彈性止動件15i自底面15y插通的貫通孔15j。

於將彈性止動件15i插通於貫通孔15j時，首先，如圖7(a)所示，傘狀頭部15k受壓縮而進入，若穿過貫通孔15j，則如圖7(b)所示般傘狀頭部15k恢復成原形並擴大，從而無法自貫通孔15j拔出。彈性止動件15i之傘狀頭部15k的尺寸被預先設定為：在該姿勢下，自圓拱形主體15b之收納孔15a的內周面向內側略微突出。此外，為了在將彈性止動件15i插通於貫通孔15j之後，能夠將該彈性止動件15i保留而將前部罩蓋15c去除，而在彈性止動件15i附近的板狀部15f上設置有脆弱的切取線15n。而且，於圓弧狀上蓋15g的下表面形成有彈性卡合於設置於圓拱形主體15b的上周面上的卡合槽15p的突起15q(參照圖6)，於突起15q的相反側、亦即在圓弧狀上蓋15g的上表面設置有用來解除突起15q的卡合的捏取片15r。

自切取線15n切取而保留於圓拱形主體15b上的彈性止動件15i係作為止動件發揮功能，該止動件係如圖6所示，在收納孔15a所收納之刀片保持具12的平坦面12b自收納孔15a之前開口部露出的位置，暫時制止刀片保持具12前進。亦即，刀片保持具12的與平坦面12b鄰接的 肩部12m抵接於彈性止動件15i之傘狀頭部15k而在彈性止動件15i的彈性變形的範圍內被制止前進。而且，如圖7(d)所示，形成為若抵抗彈性止動件15i的彈性力而將刀片保持具12自前開口部於拉出方向強力地拉曳，則彈性止動件15i傾倒而允許刀片保持具12行進。在此情況下，為了能夠使彈性止動件15i傾倒，而使貫通孔15j形成為具有充足的空間。另外，肩部12m較佳為如圖所示之傾斜面或圓弧，但只要可抵抗彈力而越過傘狀頭部15k，亦可以為大致直角的邊緣。

後部罩蓋15d係由具有彈性之合成樹脂材料一體成形，形成於罩蓋內面之上下的突起15t彈性卡合於設置在圓拱形主體15b的外周面之上下的卡合槽15u而裝卸自如地安裝。

前部罩蓋15c係用來在刀片保持具12已收納於刀片保持具收納體15內時防止刀片保持具12自前開口部脫落、並且保護旋轉刀片12e之刀尖的罩蓋，於前壁15h之內面形成有供旋轉刀片12e之刀尖嵌入的凹部(參照圖6)。而且，後部罩蓋15d係用來防止刀片保持具12自收納孔15a的後開口部脫落的罩蓋。

圖8(a)係表示止動件之另一實施例。在該實施例中，代替上述彈性止動件15i，而形成有利用彈性卡止爪15v來限制刀片保持具12前進的止動件。彈性卡止爪15v係以受到彈簧15w的上推方向的彈力之狀態而安裝於刀片保持具收納體15的圓拱形主體15b上。彈性卡止爪15v的前端係以斜面朝向刀片保持具12之肩部12m的傾斜面形成，但亦可以為圓弧。該實施例中之前部罩蓋15c'係自上述實施例中所例示的前部罩蓋15c去除彈性止動件15i所得的構造，且藉由相互彈性嵌合之卡合槽15p'及突起15q'而裝卸自如地安裝於收納孔15a之前開口部。而且，於前壁15h之內面，與前部罩蓋15c同樣地形成有供旋轉刀片12e之刀尖嵌入的凹部。而且，於收納孔15a之後開口部，與上述實施例同樣地裝卸自如地安裝有後部罩蓋15d。

而且，亦可以代替上述後部罩蓋15d，而如圖8(b)所示般在收納孔15a之後開口部附近設置具有與彈性卡止爪15v相同的構成之彈性卡止爪15x，以避免刀片保持具12自收納孔15a的後開口部脫落。彈性卡止爪15x之前端亦以斜面朝向後開口部的傾斜面形成，以容易供刀片保持具12插入且難以脫落，但亦可以為圓弧。

於上述實施例中，例示了在各刀片保持具收納體15中收納1個刀片保持具12的示例，但亦可以如圖9所示般收納複數個、例如5~10個刀片保持具12。在此情況下，為了防止後續的刀片保持具12之旋轉刀片12e抵觸前方的刀片保持具12之尾部而使刀尖受損，較佳為在刀片保持具12之尾部(圖2中之上端面)設置供刀尖嵌入的凹部12p。

上述刀片保持具收納體15準備有複數個，按照種類將包含種類不同之旋轉刀片12e之刀片保持具12加以區分，並收納於各刀片保持具收納體15中，於工廠內等處加以保管。而且，在使用時，以已卸除前部罩蓋15c之狀態整齊排列地配置在基板加工裝置A的載置架16上。

圖10係表示使複數個、例如3個刀片保持具收納體15整齊排列地載置的載置架16、及設置於該載置架的附近的機械手17的立體圖。

在該實施例中，載置架16包含將刀片保持具收納體15之平坦底面15y作為載置面而載置的3塊架板16a。在各架板16a上，以將刀片保持具收納體15所收納之刀片保持具12的平坦面12b以自架板16a的前端緣16b突出之狀態保持之方式，在架板周緣部設置有邊框16c。而且，自前端緣16b側觀察時各架板16a係呈階梯狀地組裝。

機械手17包含：機械臂17a，其前端具有夾持爪17b；及讀取器17c，其安裝於該機械臂17a上且讀取設置於刀片保持具12之平坦面12b上的代碼12i。機械臂17a係以如下方式構成：其前端的夾持爪17b自橫向夾著自刀片保持具收納體15露出的刀片保持具12的一對平坦面 12b、12b而拉出。此時，因為各架板16a呈階梯狀地組裝，故而不會受其他刀片保持具12的妨礙而可抓住目標的刀片保持具12而將其拉出，並且，因為各刀片保持具12之代碼12i在平面上不重疊，故而可自上方由讀取器17c容易且正確地讀取各刀片保持具12之代碼12i。

再者，於利用夾持爪17b自橫向夾著一對平坦面12b、12b而拉出時，各平坦面12b之銷12j、12j成為相對於拉拔方向的對夾持爪17b的卡扣件，從而可確實且順利地拉出。此時，因為銷12j配置在各平坦面12b、12b上，故而可相對於拉出方向而平衡性良好地卡住夾持爪17b，從而可順利地拉出刀片保持具12。再者，自劃線頭的保持具接頭13(參照圖3)拔出之情形亦相同。

載置架16之複數個架板16a亦可以如圖11所示般，以在同一平面上越是位於靠近機械手17之側之架板16a，其前端緣16b越為後退之方式各自於後方錯開而形成。由此，與上述呈階梯狀地組裝之實施例同樣地，於利用機械臂17a的夾持爪17b拉出刀片保持具12時，不會受其他刀片保持具12的妨礙而可抓住目標的刀片保持具12而將其拉出，並且容易自上方由機械臂17a之讀取器17c讀取各刀片保持具12之代碼12i。

較佳為，上述載置架16的架板16a係如圖12所示般以前端緣16b成為下方之方式傾斜地形成。由此，於利用機械臂17a自刀片保持具收納體15拉拔刀片保持具12時，可利用因自身重量所產生的滑動效果而輕鬆地拉出。特別是在將圖9中所示之收納複數個刀片保持具12的刀片保持具收納體15載置於架板16a上之情形時，較佳為以刀片保持具12因自身重量而前進的程度而預先對架板16a設定傾斜角。由此，若拉出前方的刀片保持具12，則後續的刀片保持具12可因自身重量而前進並在止動件位置等待下次的拉出。

當利用圖1之基板加工裝置開始劃線時，首先，將基板W載置並 保持在平台1上。繼而，利用設置於橋部8上之2台CCD攝影機18、18，如圖13所示般對基板上的左右2個部位的定位用對準標記M1、M2進行檢測。在將此時之對準標記連結的直線S相對於將2台CCD攝影機18、18連結之基準直線L傾斜之情形時，利用旋轉驅動部2使平台1旋轉且以傾斜角成為0之方式進行修正。而且，相對於預先設定之劃線開始位置之旋轉刀片12e之偏移亦由CCD攝影機18予以檢測。若於Y方向偏移，則使平台1移動與其偏移量相當的量。而且，若於X方向偏移，則使劃線頭10於X方向移動與其偏移量相當的量。該X-Y方向之偏移的校正或基板的傾斜角的修正係如圖14的方塊圖所示般，藉由附帶的電腦19的控制部20而進行。

於圖14之方塊圖中，來自2台CCD攝影機18之輸出被賦予至電腦19的控制部20。控制部20基於校正值將平台旋轉驅動部2作動從而將平台1旋轉，並以上述傾斜角成為0之方式進行修正。而且，X-Y方向之偏移的校正亦係藉由驅動各驅動部21、22而進行。於校正結束後，驅動刀片保持具升降驅動部23使刀片保持具12下降，一面將旋轉刀片12e按壓於基板W一面使旋轉刀片12e與平台1中之一者或兩者移動，由此，於X-Y方向上對基板W進行劃線而形成劃線槽。此時使用之旋轉刀片12e之移行距離記錄於資料保持部24中，若達到旋轉刀片12e之更換時間，則以警報(alarm)等顯示。

於刀片保持具12之代碼12i中記錄有以下資料。該代碼亦可以使用一維碼、例如條形碼，但較佳為可在狹小的面積內輸入較多的資訊之二維碼。二維碼係直接標印而形成，但亦可以黏附標籤。資料的輸入係利用附帶的電腦進行，除個體識別用的編號、刀尖的形態或直徑等旋轉刀片固有的規格以外，亦記錄有以下所說明的“外切”“內切”等劃線方式或與劃線的製程配方相符合的型式編號等。

利用旋轉刀片將基板W劃線之方法有“外切”與“內切”，可根 據基板之種類或用途而選擇性地區分使用。“外切”係如圖15(a)所示，在使旋轉刀片12e的最下端下降至較基板W的表面(上表面)略靠下方之狀態下，設定於基板W之端緣的外側位置(劃線開始位置)。繼而，使旋轉刀片12e自所設定之位置起水平移動，碰到基板端部之後越過端部，進而，一面以指定的劃線壓力按壓一面進行水平移動而進行劃線。另一方面，“內切”係如圖15(b)所示，使旋轉刀片12e自基板的端緣起自上方下降至內側(劃線開始位置)，並以指定的劃線壓力抵接在基板上，一面按壓一面進行水平移動而進行劃線。將該“外切”時之自基板端緣至劃線開始位置為止的距離設為“+”值，將“內切”時之自基板端緣至劃線開始位置為止的距離設為“-”值，將階段性地區分該等數值的“外切”“內切”的各種劃線製程配方預先輸入設定於電腦19中，可利用製程配方選擇按鈕25加以選擇。例如可以如下方式自複數個選項中選擇製程配方：在“外切”且“+”值為2mm之情形時為(A1)的按鈕，在“內切”且“-”值為2mm之情形時為(A5)的按鈕。

於旋轉刀片12e移行指定的移行距離而達到更換時間時、或需要更換成其他規格之旋轉刀片12e時，在基板加工裝置A停止之後，藉由機械手17進行旋轉刀片12e之更換。機械手17將具有應更換之旋轉刀片12e的刀片保持具12自保持具接頭13卸除並移至另外準備的收納箱中之後，藉由安裝於機械臂17a上的讀取器17c讀取存放在刀片保持具收納體15中之刀片保持具12之代碼12i，而選擇適當的刀片保持具12並拔出，將其安裝於保持具接頭13上。

而且，因為電腦19中記錄有適合於所選擇之各個製程配方之旋轉刀片12e的型式編號，故而僅藉由選擇預先輸入設定於電腦19中之製程配方的選擇按鈕25，便可更換成適合於製程配方的刀片保持具12。亦即，若利用選擇按鈕25選擇製程配方，則可決定適合於所選擇 之製程配方的刀片保持具12，且使機械臂17a移動至載置於載置架16上的刀片保持具收納體15，由讀取器17c讀取刀片保持具12之代碼12i而自刀片保持具收納體15中拔取較佳的刀片保持具12。所拔取之刀片保持具12安裝於劃線頭10的保持具接頭13上，按照電腦中所預先設定之製程配方自動地劃線。故而，可以消除每當設定製程配方時操作人員需要選擇適合於該製程配方的刀片保持具12這一繁雜程序。

以上，已對本發明之代表性實施例進行了說明，但本發明並非限定於上述實施形態，而可在達成其目的且不脫離權利要求的範圍內適當進行修正、變更。

[產業上之可利用性]

本發明可利用於藉由一面將旋轉刀片按壓於基板之表面一面進行劃線而對基板加工出切斷用劃線或進行切斷的基板加工裝置。

12‧‧‧刀片保持具

12a‧‧‧主體部

12b‧‧‧平坦面

12c‧‧‧切槽

12d‧‧‧輪軸

12e‧‧‧旋轉刀片

12f‧‧‧安裝部

12g‧‧‧平面部

12h‧‧‧傾斜面

12i‧‧‧代碼

12j‧‧‧銷

12k‧‧‧滑槽

12p‧‧‧凹部

Claims (2)

1. 一種刀片保持具，其包含安裝於基板加工裝置之劃線頭上的主體部、平行於該主體部之軸心而形成於該主體部之一端的一對平坦面、與該一對平坦面平行地形成於該一對平坦面之間的切槽、及安裝於該切槽之旋轉刀片，且在上述一對平坦面之至少一者之下端設置有自平坦面突出的至少一根銷。
2. 如請求項1之刀片保持具，其中上述銷分別設置於上述一對平坦面上。