TW201349640A - 液體注入方法及液體注入裝置 - Google Patents

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Yoshiteru Fukuda
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Tokyo Electron Ltd
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Abstract

本發明係於短時間內高效地對電光學或電化學單元之單元間隙注入特定之液體。該液體注入裝置中，作為功能方塊，包含噴嘴部30、電解液供給部32、真空/大氣壓供給部34、線路轉換部36及控制部38。噴嘴部30之噴嘴筒40及注入墊42構成第1流路44。真空/大氣壓供給部34之給排氣筒58構成第2流路62。電解液供給部32之儲液筒52構成第3流路64。

Description

液體注入方法及液體注入裝置
本發明係關於一種對電光學或電化學單元之單元間隙注入特定之液體之液體注入方法及液體注入裝置。
典型而言，色素增感型太陽能電池單元或液晶面板作為由電解液或液晶材料注滿單元間隙而發揮功能之電光學單元而廣為人知。
於色素增感型太陽能電池單元之製造中，將被接著擔載增感色素之多孔質半導體層而成之透明基板、與被接著對向電極而成之對向基板介隔間隔件而貼合。如此一來，於兩基板之間以非常窄之(例如60μm之)距離間隔形成單元間隙。該單元間隙由液體之電解質即電解液而注滿。
於該構成之色素增感型太陽能電池單元中，若自透明基板之背側照射可見光，則激發擔載於多孔質半導體層之色素，而發射出電子。發射出之電子經由多孔質半導體層而導引至透明基板上之透明電極，而被提取至外部。送出之電子經由外部電路返回至對向電極，經由電解液中之離子再次被多孔質半導體層內之色素接收。如此，即時地將光能量轉換成電力並輸出。
又，於透射型液晶面板之製造中，將積層形成有透明電極及配向膜之2塊玻璃基板介隔間隔件而貼合，於兩玻璃基板之間以非常窄之(例如數μm之)距離間隔形成單元間隙。該單元間隙由液晶材料而注滿。藉由對單元間隙內之液晶層施加電壓，而改變液晶分子之方向從 而控制透射光之量。
先前以來，為了對色素增感型太陽能電池單元之單元間隙內注入電解液，而使用利用減壓室之液體注入方法。該液體注入方法係藉由於減壓室中置入太陽能電池單元並對減壓室內進行真空處理，而將單元間隙內減壓。其次，於減壓環境下，自設置於太陽能電池單元之注入口注入電解液，而於單元間隙內填充電解液。於向液晶面板之單元間隙內注入液晶材料之步驟中，亦大多使用如上所述之利用減壓室之液體注入方法。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開WO2009/122733
[專利文獻2]日本專利特開2001-117107
[專利文獻3]日本專利特開2005-31706
於色素增感型太陽能電池單元或液晶面板等電光學單元中，如上所述單元間隙非常窄，於該單元間隙內之真空排氣進行得不完全時，或注入液體未完全填充時，於單元間隙內殘留氣泡，而導致製品不良。
關於該方面，如上所述使用減壓室之先前之液體注入方法中，於室內之脫氣作業或真空處理中分配較多之時間，於液體注入時，直至注入液體完全遍及至單元間隙內之各角落為止亦耗費較多之時間。其結果，存在液體注入處理之整體所需時間非常長而導致生產性降低之問題。
本發明係解決上述先前技術之問題者，且提供一種可於短時間內高效地對電光學或電化學單元之單元間隙注入特定之液體之液體注 入方法及液體注入裝置。
本發明之液體注入方法係針對於單元間隙中注滿特定之液體而發揮功能之電光學或電化學單元，自形成於上述單元之一面之注入口向空狀態之上述單元間隙內注入上述液體者，且包括如下步驟：將第1流路連接於上述注入口；於將第2流路連接於上述第1流路之狀態下，經由上述第2流路、上述第1流路及上述注入口將上述單元間隙內減壓；自上述第1流路阻斷上述第2流路，並且將第3流路連接於上述第1流路；經由上述第3流路向上述第1流路中送入1次量之注入液體；自上述第1流路阻斷上述第3流路，並且將上述第2流路再次連接於上述第1流路；將上述第2流路自減壓狀態於大氣中開放，藉由大氣壓將儲存於上述第1流路內之注入液體壓入上述單元間隙內；自上述注入口分離上述第1流路；及密封上述注入口。
本發明之液體注入裝置係針對於單元間隙中注滿特定之液體而發揮功能之電光學或電化學單元，自形成於上述單元之一面之注入口向空狀態之上述單元間隙內注入上述液體者，且包括：第1方向轉換閥，其包含經由第1流路連接於上述注入口之第1埠、及可擇一地與上述第1埠連接之第2及第3埠；第2方向轉換閥，其包含經由第2流路連接於上述第1方向轉換閥之上述第2埠之第4埠、及可擇一地與上述第1埠連接之第5及第6埠；真空產生部，其連接於上述第2方向轉換閥之上述第5埠；大氣埠，其連接於上述第2方向轉換閥之上述第6埠；注入液體供給源，其經由第3流路連接於上述第1方向轉換閥之上述第3埠；及控制部，其控制上述第1及第2方向轉換閥。
於本發明之液體注入方法或液體注入裝置中，如上所述，根據該實施形態之液體注入裝置及液體注入方法，不使用減壓室便可高效地於短時間內對單元之單元間隙內進行真空排氣。進而，藉由將第2 流路再次連接於第1流路並自減壓狀態於大氣中開放時於第2流路內產生之突入空氣流之壓力向單元之單元間隙內壓入液體，故而向單元間隙之液體注入亦可高效地於短時間內完成。又，為了向單元之單元間隙內壓入液體，不施加來自泵之正壓，而利用自然之大氣壓，故而不會對單元施加過度之壓力。
根據本發明之液體注入方法或液體注入裝置，藉由如上所述之構成及作用，而可於短時間內高效地對電光學或電化學單元之單元間隙注入特定之液體。
10‧‧‧色素增感型太陽能電池單元
12‧‧‧多孔質半導體層
14‧‧‧透明基板
16‧‧‧對向電極
18‧‧‧對向基板
20‧‧‧間隔件
22‧‧‧注入口
30‧‧‧噴嘴部
32‧‧‧電解液供給部
34‧‧‧真空/大氣壓供給部
36‧‧‧線路轉換部
38‧‧‧控制部
40‧‧‧噴嘴筒
42‧‧‧注入墊
44‧‧‧第1流路
46‧‧‧O形環
48‧‧‧第1方向轉換閥
50‧‧‧電解液供給源
52‧‧‧儲液筒
54‧‧‧電解液供給管
55‧‧‧真空產生部
56‧‧‧大氣埠
58‧‧‧給排氣筒
60‧‧‧第2方向轉換閥
62‧‧‧第2流路
64‧‧‧第3流路
70‧‧‧平台
72‧‧‧擦拭件
74‧‧‧真空夾頭
76‧‧‧密封貼片機
78‧‧‧密封用密封件
80‧‧‧紫外線硬化樹脂層
82‧‧‧紫外線照射單元
84‧‧‧搬送帶
86‧‧‧平流搬送路徑
88‧‧‧母太陽能電池單元
90‧‧‧液體注入單元
92‧‧‧擦拭單元
94‧‧‧密封被接著單元
96‧‧‧密封硬化單元
98‧‧‧注入墊連接用致動器
100‧‧‧支撐架或基底
102‧‧‧升降部
104‧‧‧升降部
106‧‧‧擦拭驅動機構
108‧‧‧支撐架或基底
110‧‧‧升降部
112‧‧‧水平滑動機構
114‧‧‧密封件堆疊部
120‧‧‧遮光罩
CG‧‧‧單元間隙
EL‧‧‧電解液
SCG‧‧‧間隙尺寸(距離間隔)
Pa‧‧‧固定埠
Pb‧‧‧選擇埠
Pc‧‧‧選擇埠
Pd‧‧‧固定埠
Pe‧‧‧選擇埠
Pf‧‧‧選擇埠
TA‧‧‧時間
TB‧‧‧時間
TC‧‧‧時間
t0‧‧‧時點
t1‧‧‧時點
t2‧‧‧時點
t3‧‧‧時點
t4‧‧‧時點
t5‧‧‧時點
t6‧‧‧時點
t7‧‧‧時點
t8‧‧‧時點
t9‧‧‧時點
t10‧‧‧時點
圖1係表示色素增感型太陽能電池單元之一構成例之平面圖。
圖2係表示上述太陽能電池單元之內部之構成之剖面圖。
圖3係表示本發明之一實施形態之液體注入裝置之整體構成之方塊圖。
圖4(a)、(b)係表示上述液體注入裝置之注入墊之構成例之剖面圖。
圖5係表示利用上述液體注入裝置之電解液注入處理順序之時序圖。
圖6係表示上述電解液注入處理之一階段之裝置內之各部之狀態之圖。
圖7係表示上述電解液注入處理之一階段之裝置內之各部之狀態之圖。
圖8係表示上述電解液注入處理之一階段之裝置內之各部之狀態之圖。
圖9係表示上述電解液注入處理之一階段之裝置內之各部之狀態之圖。
圖10係表示上述電解液注入處理之一階段之裝置內之各部之狀態之圖。
圖11A係表示實施形態之液體注入方法中之注入口擦拭步驟之一階段之圖。
圖11B係表示上述注入口擦拭步驟之一階段之圖。
圖12係表示上述液體注入方法之密封被接著步驟之一階段之圖。
圖13係表示上述液體注入方法之密封硬化步驟之一階段之圖。
圖14係表示用以實施實施形態之液體注入方法之液體處理連續式系統之構成之立體圖。
以下，參照隨附圖式對本發明之較佳之實施形態進行說明。
[實施形態之電光學單元之構成]
於圖1及圖2中表示作為可應用本發明之液體注入方法及液體注入裝置之電光學單元之色素增感型太陽能電池單元之一構成例。該色素增感型太陽能電池單元10之基本構造係將被接著擔載增感色素之多孔質半導體層(例如TiO2層)12而成之透明基板(例如玻璃基板)14、與被接著對向電極(例如碳電極)16而成之對向基板(例如鈦板或鈦箔)18介隔間隔件20而貼合。於多孔質半導體層12與透明基板14之間形成有例如包含ITO(Indium Tin Oxides，氧化銦錫)之透明電極(未圖示)。間隔件20兼做密封用之接著密封件。兩基板14、18間之間隙即單元間隙CG根據間隔件20之高度(厚度)而規定，通常選為10~70μm之間隙尺寸(距離間隔)SCG。
於該單元間隙CG內如下所述填充有電解液EL。若單元間隙CG由電解液EL而注滿，則藉由夾著電解液層相對向之條紋狀圖案之透明電極及多孔質半導體層12與對向電極16形成1個單元之發電層。單元 內之所有發電層相互電性連接。
於該太陽能電池單元10之一面(於圖示之例中為透明基板14側)，避開發電層之區域於單元周緣部設置有1個或複數個(圖示之例中為2個)注入口22。如下所述，通過該等注入口22向單元間隙CG內注入電解液EL。
[實施形態之液體注入裝置之構成]
於圖3中表示本發明之一實施形態之液體注入裝置之構成。該液體注入裝置可使用於對上述太陽能電池單元10之電解液注入處理，作為功能方塊，包含噴嘴部30、電解液供給部32、真空/大氣壓供給部34、線路轉換部36及控制部38。
噴嘴部30包含與太陽能電池單元10之注入口22對應之數量(於該例中為2個)之噴嘴筒(或噴嘴管)40、及安裝於各噴嘴筒40之前端之注入墊42。噴嘴筒40及注入墊42構成第1流路44。注入墊42包含例如氟橡膠之類之可彈性變形之材質，以能夠覆蓋太陽能電池單元10之注入口22而與其周圍氣密地接觸，例如，如圖4(a)所示般具有自噴嘴筒40之前端擴大口徑並且呈倒錐形地延伸之裙擺形體，或如圖4(b)所示般安裝有密封材料例如O形環46。噴嘴筒40之另一端(入口)連接於作為線路轉換部36之一構成要素之第1方向轉換閥48之固定埠Pa。第1方向轉換閥48例如包含3方向閥。
電解液供給部32例如包括包含電解液容器及泵之電解液供給源50、儲液筒(或儲液管)52、及電解液供給管54。儲液筒52之一端(出口)連接於第1方向轉換閥48之單側之選擇埠Pc。電解液供給管54係將電解液供給源50之輸出埠與儲液筒52之另一端(入口)連結。
真空/大氣壓供給部34例如包括包含真空泵或噴射器之真空產生部55、大氣埠56、及給排氣筒(或給排氣管)58。給排氣筒58之一端連接於第1方向轉換閥48之另一單側之選擇埠Pb，給排氣筒58之另一端 連接於作為線路轉換部36之一構成要素之第2方向轉換閥60之固定埠Pd。於第2方向轉換閥60之單側之選擇埠Pe連接有真空產生部55之輸出埠，於另一單側之選擇埠Pf連接有於大氣中開放之大氣埠56。第2方向轉換閥60例如包含3方向閥。給排氣筒58構成第2流路62。再者，儲液筒52構成第3流路64。
控制部38控制線路轉換部36、電解液供給源50及真空產生部55之動作或狀態，並且控制裝置整體之順序。於線路轉換部36中，第1方向轉換閥48於控制部38之控制下可選擇2個選擇埠Pb、Pc中之其中一個連接於固定埠Pa。第2方向轉換閥60於控制部38之控制下可選擇2個選擇埠Pe、Pf中之其中一個連接於固定埠Pd。
進而，控制部38直接或間接地控制用以將噴嘴部30之注入墊42可裝卸地連接於太陽能電池單元10之注入口22之注入墊連接用致動器(未圖示)之動作。
[實施形態之液體注入裝置之作用及液體注入方法]
其次，以該液體注入裝置之作用為中心對該實施形態之液體注入方法進行說明。於圖5中表示利用該液體注入裝置之電解液注入處理順序之時序圖。於圖6~圖10中表示電解液注入處理之各階段之裝置內之各部之狀態。
首先，如圖6所示，針對使注入口22朝向上而載置於平台70上之電池單元10，控制部38使上述注入墊連接用致動器動作，而將噴嘴部30之注入墊42連接於太陽能電池單元10之注入口22。此時，太陽能電池單元10之單元間隙CG內充滿空氣。於液體注入裝置內，作為初始狀態(t=t0)，電解液供給源50及真空產生部55分別處於關閉狀態，第1方向轉換閥48中電解液供給源50側之選擇埠Pc連接於固定埠Pa，第2方向轉換閥60中大氣埠側之選擇埠Pf連接於固定埠Pd。
其次，如圖7所示，控制部38使真空產生部55運行(t=t1)，控制 第1方向轉換閥48而將選擇埠Pb連接於固定埠Pa(t=t2)，控制第2方向轉換閥60而將選擇埠Pe連接於固定埠Pd(t=t3)。該等各部之轉換時點(t1、t2、t3)於時間上一致或接近即可，順序亦可相反。
如此，真空產生部55之輸出埠經由第2方向轉換閥60、給排氣筒58、第1方向轉換閥48、噴嘴管40及注入墊42而連接於太陽能電池單元10之注入口22，開始單元間隙CG內之真空處理。由於單元間隙CG之容積非常小(通常為數cm3以下)，故而該真空處理所需之時間TA非常短，通常1分鐘足夠。控制部38於進行真空處理之期間使電解液供給源50關閉(t=t4~t5)，送出1次量之電解液EL。來自電解液供給源50之電解液EL經由電解液供給管54輸送至儲液筒52中，並暫時儲存於此處。
再者，於圖示之構成例中，自電解液供給源50之1個輸出埠送出之1次量之電解液EL於電解液供給管54之中途一分為二而分配於各儲液筒52中。然而，當然亦可構成為將自電解液供給源50之2個輸出埠中的各一半之電解液EL分別輸送至各儲液筒52中。
如此，經過真空處理之設定時間TA後，控制部38於第2方向轉換閥60中仍保持將選擇埠Pe連接於固定埠Pd之狀態，並控制第1方向轉換閥48而將選擇埠Pc連接於固定埠Pa(t=t6)。
如此一來，如圖8所示，之前儲存於儲液筒52內之1次量之電解液EL通過第1方向轉換閥48送入至噴嘴筒40中。由於在此之前噴嘴筒40及太陽能電池單元10之單元間隙CG內處於減壓狀態，故而電解液EL以吸入之方式自儲液筒52移送至噴嘴筒40中，並被抽入至單元間隙CG內。然而，由於單元間隙CG非常窄，故而電解液抽入(流入)速度逐漸降低。
控制部38於將電解液EL送入至噴嘴筒40中之後，經過固定時間(例如數秒)後，控制第2方向轉換閥60而將大氣埠56側之選擇埠Pf連接 於固定埠Pd(t=t7)。藉此，來自大氣埠56之大氣中之空氣經由第2方向轉換閥60以非常大之流速或流量流入(突入)至給排氣筒58中。控制部38於將第2方向轉換閥60轉換成大氣埠56側之大致同時，或較佳為間隔1秒左右之較短之延遲時間TB，將第1方向轉換閥48轉換成給排氣系統側。即，於第1方向轉換閥48中將選擇埠Pb連接於固定埠Pa(t=t8)。
如此一來，如圖9所示，尚未完全流入至太陽能電池單元10之單元間隙CG內而儲存於噴嘴筒40內之電解液EL自上方受到來自給排氣筒58之突入空氣流之壓力。藉由該突入空氣流之壓力而將噴嘴筒40內之電解液EL壓入至太陽能電池單元10之單元間隙CG內。
此時之突入空氣流之流量主要依存於給排氣筒58相對於噴嘴筒40之容積比及給排氣筒58內的之前的減壓壓力，之前的減壓壓力越低，則突入空氣流之壓力越高，容積比越大，則突入空氣流之持續時間越長。關於該方面，噴嘴筒40較佳為具有相對於1次量之注入液體為其0.8倍~1.5倍之容積。繼而，給排氣筒58較為理想的是具有至少大於噴嘴筒40之容積，更佳為具有3倍以上之較大之容積。又，給排氣筒58內的之前的減壓壓力較佳為200Pa以下。
如此，於該實施形態中，藉由更大於或極其大於太陽能電池單元10之單元間隙CG內之壓力(減壓環境)之突入空氣流之壓力而將電解液EL壓入至太陽能電池單元10之單元間隙CG內。藉此，將電解液EL高效地注入至太陽能電池單元10之單元間隙CG內，而於短時間內(例如數10秒以內)如圖10所示般使單元間隙CG內不殘留氣泡而注滿電解液EL。又，由於使用大氣壓向單元間隙CG內壓入電解液EL，故而於注入液體中不會對太陽能電池單元10施加過大之壓力，而防止太陽能電池單元10之破損。
於開始如上所述之藉由空氣突入流而進行之壓入注入之後經過特定時間TC(例如30秒)後，控制部38使注入墊連接用致動器向相反方 向動作，而使噴嘴部30之注入墊42自太陽能電池單元10之注入口22分離。
再者，控制部38於如上所述將第2方向轉換閥60轉換成大氣埠56側之後，使真空產生部55關閉。作為另一實施例，亦可於將第2方向轉換閥60轉換成大氣埠56側之前使真空產生部55關閉。
以上述方式完成該液體注入裝置之電解液注入處理。其後，於該實施形態之液體注入方法中，如圖11A及圖11B所示，將太陽能電池單元10之注入口22附近所溢出之電解液EL由擦拭件72擦拭乾淨。其次，如圖12所示，例如藉由具備真空夾頭74之密封貼片機76將例如玻璃製之透明之密封用密封件78覆蓋於太陽能電池單元10之注入口22。於該密封用密封件78之背面(下表面)塗佈有紫外線硬化樹脂層80。其後，如圖13所示，藉由紫外線照射單元82自上方對透明蓋78聚光照射紫外線，而使紫外線硬化樹脂層80硬化。藉此，將太陽能電池單元10之注入口22密封。
如上所述，根據該實施形態之液體注入裝置及液體注入方法，不使用減壓室便可高效地於短時間內對太陽能電池單元10之單元間隙CG內進行真空排氣。進而，由於藉由突入空氣流之壓力向太陽能電池單元10之單元間隙CG內壓入電解液EL，故而向單元間隙CG之電解液注入亦可高效地於短時間內完成。又，為了向太陽能電池單元10之單元間隙CG內壓入電解液EL，不施加來自泵之正壓，而利用自然之大氣壓，故而不會對太陽能電池單元10施加過度之壓力。藉此，可防止太陽能電池單元10之破損。
[實施形態之液體注入連續式系統]
於圖14中表示可使用於上述實施形態之液體注入方法之液體注入連續式系統之構成。於該系統中，於使用搬送帶84之平流搬送路徑86上將例如4個倒角類型之母太陽能電池單元88向水平之一個方向搬 送。繼而，沿著平流搬送路徑86呈一行地配置有液體注入單元90、擦拭單元92、密封被接著單元94及密封硬化單元96。
液體注入單元90相當於上述實施形態之液體注入裝置。更詳細而言，使與倒角對應之台數(4台)之液體注入裝置一併(同時)運轉。因此，注入墊連接用致動器98使4台全部之噴嘴部30經由共用之支撐架或基底100且藉由共用之升降部102而相對於母太陽能電池單元88所包含之4個太陽能電池單元10同時連接/分離。
擦拭單元92包括：升降部104，其使上述擦拭件72進行升降移動；及擦拭驅動機構106，其包含用以於母太陽能電池單元88上向一個水平方向驅動擦拭件72之例如滾珠螺桿機構。
密封被接著單元94係使與倒角對應之數量(8台)之密封貼片機76一併(同時)運轉。為此，由共用之支撐架或基底108支撐該等8台密封貼片機76，藉由升降部110及水平滑動機構112使各密封貼片機76於堆疊有多個密封用密封件78之密封件堆疊部114與母太陽能電池單元88上之各注入口22之間同時移動。
密封硬化單元96係使與倒角對應之數量(8台)之紫外線照射單元82於遮光罩120中一併(同時)運轉。
於該液體注入連續式系統中，由於以連續式且管線方式實施上述實施形態之液體注入方法中之電解液注入步驟、注入口擦拭步驟、密封被接著步驟及密封硬化步驟之全部，故而可大幅度地縮短對太陽能電池單元之液體注入處理之全部步驟所需之時間，而可顯著提高生產效率。
[其他實施形態或變化例]
以上，已對本發明之較佳之實施形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態，可於其技術思想之範圍內進行各種變化或變更。
例如，於上述實施形態之液體注入裝置中，亦可取代3方向閥而由複數個開閉閥構成方向轉換閥48、60。第1流路44、第2流路62及第3流路64並不限定於如上所述之筒或管，可採用任意之流路形體。
上述實施形態係將色素增感型太陽能電池單元設為工件。然而，本發明之液體注入裝置及液體注入方法並不限定於色素增感型太陽能電池單元，亦可應用於具有相同之單元間隙之任意之電光學單元，例如亦可應用於對液晶面板注入液晶材料之應用程式。進而，本發明之液體注入裝置及液體注入方法亦可應用於電化學單元例如於蓄電池中注入電解液之應用程式。單元之注入口可於單元之任意面(表面、背面、側面等)相應設有任意數量。
30‧‧‧噴嘴部
32‧‧‧電解液供給部
34‧‧‧真空/大氣壓供給部
36‧‧‧線路轉換部
38‧‧‧控制部
40‧‧‧噴嘴筒
42‧‧‧注入墊
44‧‧‧第1流路
48‧‧‧第1方向轉換閥
50‧‧‧電解液供給源
52‧‧‧儲液筒
54‧‧‧電解液供給管
55‧‧‧真空產生部
56‧‧‧大氣埠
58‧‧‧給排氣筒
60‧‧‧第2方向轉換閥
62‧‧‧第2流路
64‧‧‧第3流路
Pa‧‧‧固定埠
Pb‧‧‧選擇埠
Pc‧‧‧選擇埠
Pd‧‧‧固定埠
Pe‧‧‧選擇埠
Pf‧‧‧選擇埠

Claims (11)

  1. 一種液體注入方法，其係針對於單元間隙中注滿特定之液體而發揮功能之電光學或電化學單元，自形成於上述單元之一面之注入口向空狀態之上述單元間隙內注入上述液體者，且包括如下步驟：將第1流路連接於上述注入口；於將第2流路連接於上述第1流路之狀態下，經由上述第2流路、上述第1流路及上述注入口將上述單元間隙內減壓；自上述第1流路阻斷上述第2流路，並且將第3流路連接於上述第1流路；經由上述第3流路向上述第1流路中送入1次量之注入液體；自上述第1流路阻斷上述第3流路，並且將上述第2流路再次連接於上述第1流路；將上述第2流路自減壓狀態向大氣開放，藉由大氣壓將儲存於上述第1流路內之注入液體壓入至上述單元間隙內；自上述注入口分離上述第1流路；及密封上述注入口。
  2. 如請求項1之液體注入方法，其中上述單元為色素增感型太陽能電池單元，注入至上述單元間隙內之液體為電解液。
  3. 如請求項1之液體注入方法，其中上述單元為液晶面板，注入至上述單元間隙內之液體為液晶材料。
  4. 一種液體注入裝置，其係針對於單元間隙中注滿特定之液體而發揮功能之電光學或電化學單元，自形成於上述單元之一面之注入口向空狀態之上述單元間隙內注入上述液體者，且包括：第1方向轉換閥，其包含經由第1流路連接於上述注入口之第1 埠、及可擇一地與上述第1埠連接之第2及第3埠；第2方向轉換閥，其包含經由第2流路連接於上述第1方向轉換閥之上述第2埠之第4埠、及可擇一地與上述第1埠連接之第5及第6埠；真空產生部，其連接於上述第2方向轉換閥之上述第5埠；大氣埠，其連接於上述第2方向轉換閥之上述第6埠；注入液體供給源，其經由第3流路連接於上述第1方向轉換閥之上述第3埠；及控制部，其控制上述第1及第2方向轉換閥。
  5. 如請求項4之液體注入裝置，其中上述控制部係為了將上述單元間隙內減壓，而藉由上述真空產生部產生真空，且以將上述第2流路連接於上述第1流路之方式控制上述第1方向轉換閥，並且以將上述第5流路連接於上述第2流路之方式控制上述第2方向轉換閥。
  6. 如請求項4之液體注入裝置，其中上述控制部係為了向上述第1流路中送入1次量之注入液體，而於上述第3流路中預先儲存來自注入液體供給源之上述1次量之注入液體，於將上述單元間隙內減壓後以將上述第3流路連接於上述第1流路之方式控制上述第1方向轉換閥。
  7. 如請求項4之液體注入裝置，其中上述控制部係為了向上述單元間隙內壓入注入液體，而藉由上述真空產生部產生真空並保持上述第2流路內之減壓狀態，於向上述第1流路中送入1次量之注入液體之後以將上述第6流路連接於上述第2流路之方式控制上述第2方向轉換閥。
  8. 如請求項4之液體注入裝置，其中上述第3流路具有可暫時蓄積自上述注入液體供給源供給之1次量之注入液體之容積。
  9. 如請求項4之液體注入裝置，其中上述第1流路具有相對於1次量之注入液體為其0.8倍~1.5倍之容積。
  10. 如請求項4之液體注入裝置，其中上述第2流路具有大於上述第1流路之容積。
  11. 如請求項10之液體注入裝置，其中上述第2流路與上述第1流路相比，具有其5倍以上之容積。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014022336A (ja) * 2012-07-23 2014-02-03 Sharp Corp 非水系二次電池の注液装置および注液方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5683721U (zh) * 1979-11-30 1981-07-06
JPH03102316A (ja) * 1989-09-18 1991-04-26 Seiko Epson Corp 液晶注入方法
JPH07325312A (ja) * 1994-04-08 1995-12-12 Sony Corp 電気光学材料の注入方法および注入装置
JP2001307786A (ja) * 2000-04-18 2001-11-02 Fuji Xerox Co Ltd 光電変換素子、光電変換素子の製造方法及び光電変換モジュール
JP2007026883A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Nippon Paint Co Ltd 色素増感太陽電池を備えた車載用ガラスの製造方法
JP5743599B2 (ja) * 2011-02-23 2015-07-01 株式会社Ｓｐｄ研究所 注液装置および注液方法ならびにそれを用いた色素増感太陽電池の製法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10037853B2 (en) 2016-07-14 2018-07-31 Industrial Technology Research Institute Dye-adsorption method and apparatus thereof
US10062518B2 (en) 2016-07-14 2018-08-28 Industrial Technology Research Institute Dye-adsorption method and apparatus thereof

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