JP5743599B2 - 注液装置および注液方法ならびにそれを用いた色素増感太陽電池の製法 - Google Patents

注液装置および注液方法ならびにそれを用いた色素増感太陽電池の製法 Download PDF

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Description

本発明は、色素増感太陽電池や液晶表示装置などの2枚の基板の狭い間隙に電解液や液晶などの液状物を注入する注液装置、注液方法およびその注液方法を用いた色素増感太陽電池の製法に関する。さらに詳しくは、液状物を大気中に晒すことなく、しかも、1個1個流れ作業的に液状物を注入することにより、色素増感太陽電池を自動機により製造することができる注液装置、注液方法およびその注液方法を用いた色素増感太陽電池の製法に関する。
従来、色素増感太陽電池の電解質材料(電解液)を、作用極基板および対向極基板を貼り合せた組立体の両基板間の狭い間隙部に注入する場合や、液晶パネルの2枚の基板間に液晶を注入する場合、2枚の基板を貼り合せた組立体や液晶パネルと液晶などの注入液体を真空にし得る耐圧容器内に入れ、耐圧容器内を真空吸引し液晶パネルなどの注入口を液晶などに接触させて、液晶の表面を大気圧などにすることにより、圧力差で注入する方法が一般的に行われている(たとえば特許文献1参照)。この装置は、たとえば図5に示されるように、耐圧容器51内に、液晶52を満たした液晶溜め容器53を設置すると共にその液晶52の上方に、2枚のセル基板を一定の間隔で貼り合せた液晶パネル54を回転軸56により吊るして、バルブ57を開くことにより、排気系により耐圧容器51内を負圧にして液晶パネル54の間隙部を負圧にする。そして、回転軸56を回転させることにより、液晶パネル54の液晶注入口55を液晶溜め容器53内の液晶52に接触させてから、バルブ58を開き外気を吸入して耐圧容器51内を大気圧にすることにより、液晶52の表面の圧力と、液晶パネル54の2枚の基板間の圧力との圧力差を利用して液晶パネル54内に液晶53を注入するものである。なお、この方法によれば、液晶パネル54を複数個並べて吊るすことにより、複数個の液晶注入を同時に行うことができる。
また、液晶パネルなどの全体を耐圧容器51に入れて、全体を真空吸引しないで、たとえば図6に示されるように、1個ごとの液晶パネル64の液晶注入口65に注入治具63を取り付け、バルブ66、67、68と減圧装置69とを操作することにより注入する方法も知られている。この方法では、まず、液晶貯蔵容器61内を大気圧より若干低い気圧にした状態にしてバルブ66、67を閉じた状態で、液晶パネル64を注入治具63に取り付けてバルブ66を開くと、減圧装置69の作動により液晶パネル64内が液晶貯蔵容器61内の圧力より低い負圧になる。その後、バルブ66を閉じてバルブ67を開くことにより、大気圧より若干負圧にした液晶貯蔵容器61と液晶パネル64との圧力差により、液晶貯蔵容器61内の液晶62が、注入治具63を介して液晶パネル64内に移り、液晶パネル64内に液晶62を注入することができる。この際、液晶貯蔵容器61内の圧力を一定に維持するために、バルブ68を開けて減圧装置69のリークバルブを開放することにより、液晶貯蔵容器61内の圧力を維持する。注入が終ったら、注入治具63より液晶パネル64を取り外すと注入治具63の露出部が大気圧になり、液晶貯蔵容器61内の負圧との圧力差により、注入治具63およびパイプ内に残存する液晶62が液晶貯蔵容器61内に戻り、注入治具63に新たに取り付ける液晶パネル64内の空気を、注入治具63を介して吸引することができる。このような構成にすることにより、液晶パネル64の全体を真空容器内に入れて真空にする必要がないため、狭い空間で液晶の注入を行うことができる(たとえば特許文献2参照)。
特公昭58−49853号公報 特開平11−174400号公報
前述のように、2枚の基板を貼り合せた組立体を真空容器内に入れて、圧力差を利用しながら注入液体を注入する方法は、一度に複数個の注入を行うことができる反面、自動化で流れ作業的に1個1個製造を行う場合には、途中の注液工程だけバッチ処理をすることになり、完全な自動化をすることができないという問題がある。さらに、負圧と大気圧を用いた圧力差により注入する方法では、大気圧にするとき注入液体が空気中に晒されることになり、空気や水分などに触れることを避けたい注入液体の場合には利用することができない。また、一般に圧力差だけでは、狭い間隔の基板間に注入液を注入する場合、時間がかかる割に内部の全体に注入することができず、気泡を生じ安いという問題もある。
さらに、1個ごとに2枚の基板を貼り合せた組立体の基板間のみを真空吸引する方法によれば、両基板の間隙部分の狭い空間だけを真空吸引すればよいため、装置を簡単にすることができ、狭い作業場で注入作業を行うことができる。しかし、この方法によっても、注入治具から液晶パネルを取り外した後に、注入治具に残留した液晶などの注入液を注入液貯蔵容器に戻すのに、大気圧を利用しているので、注入治具内の注入液が空気に触れて汚染し、汚染された注入液が注入液貯蔵容器内で混ざってしまうことになり、全体の注入液を汚染することになる。また、減圧装置だけにより負圧を調整しているため、所定の圧力にするのに、時間がかかり(たとえば引用文献2では、液晶セルを取り替えて真空吸引するのに10分放置する、また、注入時間が151分、とある)、かつ、その圧力の制御が非常に大変であると共に、気圧が低いとはいえ、常に空気と注入液やパイプ内部が空気と接触しており、水分などが混入しやすいという問題がある。
本発明は、このような状況に鑑みてなされたもので、2枚の基板をそれぞれ作製し、それらを貼着してその間隙部に注入液を注入する一連の工程を自動化でき、かつ、注入液を空気中に晒すことなく自動的に注入液を注入することができ、さらには短時間で注入することができるような注液装置および注液方法を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、この注液方法を用いて色素増感太陽電池の電解液を注入する色素増感太陽電池の製法に関する。
本発明の注入液の注入装置は、(i)筒状体の内壁に固着され、中心部に貫通孔を有する第1および第2の隔壁、(ii)底部が前記筒状体の内壁を摺動し得ると共に、前記第1および第2の隔壁の貫通孔を摺動し、該摺動により先端部と前記第1の隔壁の貫通孔との間隙を可変し得る突起棒が前記底部に固着されたストッパピン、(iii)該ストッパピンの底部と前記筒状体の一端部との間に設けられた弾性体、および(iv)前記筒状体の他端部が注入液の注入口を有するように閉塞され、前記第1の隔壁と前記他端部との間に注入液が充填され得る第3空間部を有する注入治具と、上部に空隙部を有するように注入液が充填されて密閉し得る注入液貯蔵容器と、組立体の注入口を被覆して該組立体に吸着させるゴムパッドと、該ゴムパッドと一端部が気密に接続され、他端部が第1の開閉バルブを介して真空ポンプに接続される第1のチューブと、該第1のチューブから分岐され、第2の開閉バルブを介して不活性ガス源に接続される第2のチューブと、前記不活性ガス源と前記注入液貯蔵容器の前記空隙部とを第3の開閉バルブを介して気密に接続する第3のチューブと、前記注入治具の前記第2の隔壁と前記ストッパピンの底部との間の第1空間部に一端部が気密に接続され、他端部が第4の開閉バルブを介して圧力印加装置に接続される第4のチューブと、前記注入液貯蔵容器内の注入液内に一端部が挿入され、他端部が前記注入治具の他端部に接続される第5のチューブと、前記注入治具の前記第1および第2の隔壁の間に形成される第2空間部に一端部が気密に接続され、他端部が前記ゴムパッド内に挿入されて注入液を前記第2空間部から前記ゴムパッド内に送り出す注入針とを具備している。
本発明の注液方法は、注入液を注入する組立体の注入口に真空ポンプと接続されるゴムパッドを吸着させて前記組立体の内部を負圧にする工程と、該負圧にされたゴムパッド内および前記組立体の少なくとも注入口部に注入治具を介して注入液を導入する工程と、前記注入治具内の注入液の注入路を閉塞して前記ゴムパッド内の注入液に不活性ガスにより圧力を加えることにより、前記組立体内に前記注入液を押し込む工程と、前記注入液の供給側の圧力を下げ、前記注入治具内の注入路の閉塞を解除してから前記不活性ガスにより圧力を加えることにより、前記ゴムパッド側に導入され、前記組立体内に押込まれないで残留した注入液を前記注入治具まで押し戻す工程とを有している。
さらに、本発明による色素増感太陽電池の製法は、透明基板表面に透明導電膜、光電変換層、集電線、およびシール剤層を形成することにより、作用極を形成し、基板表面に耐食性で導電性の膜および触媒性の金属層を形成することにより対向極を形成し、該作用極および対向極を前記シール剤層により貼着した後、前記作用極と対向極との間の間隙部に電解液を注入する色素増感太陽電池の製法であって、前記電解液の注入方法を請求項2記載の方法により行うことを特徴とする。
ここに「透明」とは、光を透過させる透光性の意味で、完全に透き通ることを意味するものではない。
本発明の注入装置および注入方法によれば、組立体の全体を真空容器内に入れて負圧にするのではなく、組立体の間隙部だけを真空吸引する構成であるため、非常に短時間で組立体の間隙部を負圧にすることができる。しかも、注入口近傍に供給された注入液を不活性ガスにより組立体の間隙部に押し込む構成にしているため、真空吸引から注入液の注入完了までを40秒弱の非常に短時間で完了させることができる。
さらに、組立体の注入口への注入液の供給および注入後に注入口近傍に残存する注入液を注入液貯蔵容器側に戻す操作を、全て不活性ガスとの接触だけで行っているため、注入液を、全く空気に触れさせる必要がなく、空気中の水分や不純物を注入液内に紛れ込ませることがない。そのため、不純物が混入すると非常に困る注入液の場合でも、全く問題が生じない。
とくに、色素増感太陽電池の場合には、作用極基板と対向極基板との間隙部に電解液を注入する。このような電解液は僅かな水分の混入もその作用が低下するので好ましくないが、本発明によれば、全く性能を劣化させることなく、しかも非常に短時間で注入することができるため、各生産工程のタイミングと合せて行うことができ、全工程を自動化して色素増感太陽電池の製造をすることができるという効果がある。
本発明による注液装置の一実施形態の全体構成を示す図である。 図1の注入ジグ3の部分の説明図である。 図1の注入装置を用いて注入液を注入する説明図である。 本発明により製造する色素増感太陽電池の一例の対向極をはずした平面説明図およびそのB−B線断面で、対向極を設けた状態の断面説明図である。 従来の液晶を注入する一例の説明図である。 従来の液晶を注入する他の例の説明図である。
次に、図面を参照しながら、本発明の注液装置および注液方法について説明する。
本発明の注液装置は、その一実施形態の構成例が図1に示されるように、注入治具1と、真空吸引および不活性ガスによる圧力の制御により注入液を注入することに特徴がある。注入治具3は、図2にその部分の拡大説明図が示されるように、筒状体31の内壁31aに第1の隔壁32および第2の隔壁33が一定の間隙を介して固着されている。その第1および第2の隔壁32、33の中心部には貫通孔32a、33aが設けられ、ストッパピン34の突起部34bがエアや注入液が殆ど漏れないで第2の隔壁33の貫通孔33aと摺動でき、第1の隔壁32の貫通孔32aとは、突起部34bが押し付けられた状態では貫通孔32aを閉塞し、突起部34bの移動により間隙部が生じるようになっている。ストッパピン34は、突起部34bを固着する底部34aを有しており、その底部34aは筒状体31の内壁31aを摺動し得ると共に、エアなどが殆ど漏れないように形成されている。ストッパピン34の突起部34bの先端は、徐々に細くなるテーパ状になっており、前述のように、ストッパピン34bの移動により、第1の隔壁32の中心部に設けられる貫通孔32aとの間隙の程度が変動するようになっている。そのストッパピン34の底部34aと筒状体31の一端部との間にスプリングなどの弾性体35が設けられている。これらにより前述の注入治具3が構成されている。なお、図1に示される例では、筒状体31が、ブロックの中心部に断面が円形の空洞部を形成した例であるが、外形も円形で、円筒状の形状をした簡単な構成でも良い。
本発明の注液装置は、さらに、注入液貯蔵容器4を有しており、注入液貯蔵容器4は、その上部に空隙部42を有するように、たとえば色素増感太陽電池の2枚の基板間1、2に充填する電解液などの注入液41が充填されて密閉し得る容器になっている。また、色素増感太陽電池の作用極(基板)1と対向極(基板)2とを貼り合せた組立体10(図2参照)の注入口23(図2参照)を被覆して、その組立体10に吸着させるゴムパッド5を有し、そのゴムパッド5は、第1のチューブ91の一端部と気密に接続され、第1のチューブ91の他端部は第1の開閉バルブ91aを介して真空ポンプ6に接続されている。また、第1のチューブ91から分岐された第2のチューブ92が第2のソレノイド92aを介して不活性ガス源7に接続されている。不活性ガス源7は、また、注入液貯蔵容器4の空隙部42と、第3の開閉バルブ93aを介して第3のチューブ93により接続され、注入液41に一定の圧力を印加できるように、不活性ガス7の出力圧が圧力調整弁7aにより制御されている。
前述した注入治具3の第2の隔壁33とストッパピン34の底部34aとの間の第1空間部31dとコンプレッサなどの圧力印加装置8との間に第4のチューブ94が第4の開閉バルブ94aを介して気密に接続されている。さらに、この注入治具3の他端部31c(図2参照)が、前述の注入液貯蔵容器4内の注入液41内に一端部が挿入された第5のチューブ95により接続され、注入液41を注入治具3の他端部31cと第1の隔壁32との間の第3空間部31fに送り込まれる構造になっている。さらに、注入治具3の第1および第2の隔壁32、33の間に形成される第2空間部31eに一端部が接続され、他端部がゴムパッド5内に挿入されて注入液41を第2空間部31eからゴムパッド5内に送り出す注入針36を具備している。
注入治具3(図2に拡大図が示されている)は、たとえば電解液などの注入液41にも腐食し難いステンレスなどの金属またはプラスティックなどにより形成することができる。ストッパピン34の底部34aと筒状体31の内壁31aとの摺動性は、コンプレッサ8などの圧力ガスが余り漏れない程度に滑合していればよく、少々のエアの漏れがあっても、筒状体31の一端部側にエア抜き用の孔31b(図2参照)を設けておけば問題はない。また、ストッパピン34の突起部34bと第2の隔壁33の貫通孔33aは、第1空間31dに送り込まれるエアおよび第3空間31fに送り込まれる注入液41が漏れないように滑合していることが好ましい。前述のように、突起部34bの先端部は徐々に細くなっており(図2参照)、ストッパピン34の位置がスプリング35により押し付けられているときは、第1の隔壁32の貫通孔32aを閉塞し、注入液が第3空間31fから第2空間31eに流れないようになり、第1空間31dに圧力印加装置(エアコンプレッサ)8から高圧エアが送り込まれて、スプリング35が縮んでストッパピン34が第1の隔壁32から離れると、突起部34bの細くなった部分と第1の隔壁32の貫通孔32aとの間の間隙が大きくなり、注入液41が移動できるように形成されている。
第1空間31dには、前述のように、エアコンプレッサのような圧力印加装置8が第4の開閉バルブ94aを介した第4のチューブで気密に接続されており、第1空間31dの圧力を調整することにより前述のように、弾性部材35を伸縮させ、ストッパピン34の位置を調整し、注入液41を移動させたり、移動を阻止させたりする制御をできるようになっている。また、第2空間31eには、注入針36が接続されており、第2空間31eに送り込まれた注入液41をゴムパッド5内に送り込んだり、注入が完了した後にゴムパッド5内に残った注入液を再度第3空間31fに戻したりする通路として用いられる。
真空ポンプ6は、通常のロータリーポンプを使用することができ、100mTorr程度に真空吸引することができるものであれば問題はない。なお、6aは、ポンプ部で、6cはモータ部である。また、不活性ガス源7は、たとえば窒素ボンベなどを用いることができ、圧力調整弁7aを調整しておくことにより、一定の圧力、たとえば75Torr程度を常に印加することができ、第3開閉バルブ93aを開にすることにより、注入液貯蔵容器4内を常に一定の圧力にすることができる。なお、図1に示される例では、第3の開閉バルブ93aを2方向の開閉バルブとすることにより、注入液貯蔵容器4を不活性ガス源7と接続したり、真空ポンプ6と接続したりすることができるようになっている。真空ポンプ6と接続するのは、注入液41の注入が完了した後に、ゴムパッド5内に残った余分な注入液を注入液貯蔵容器4に戻すとき、あるいはたとえば注入液貯蔵容器4を取り替えた場合など、容器や第3のチューブ93内に空気が入ったときに、真空ポンプ6と接続して、注入液貯蔵容器4および第3のパイプ93内の空気を除去するときに使用する。
第1〜第6のパイプ91〜96は、たとえばテフロン(登録商標)チューブや、ゴムチューブなどを用いることができ、気体通路として用いられる場合には気体が漏れないようにするもので、注入液の通路として用いられる場合には、注入液により腐食されないで、かつ、注入液が漏れないような材料が用いられる。第1〜第4のチューブ91〜94には、その間に第1〜第4の開閉バルブ91a〜94aが介在されており、気体の通過または遮断が制御されるようになっている。この開閉バルブ91a〜94aは、図1に示される例では、ソレノイドバルブが用いられており、電気信号によりその開閉を制御できるように、制御装置97と結線されている。しかし、このようなソレノイドバルブに限定されるものではなく、機械的にオン・オフを制御できる開閉バルブでも用いることができる。
つぎに、この注液装置の動作および本発明の注液方法について、図1〜3を参照しながら説明する。なお、図1は、初期状態(注入液の注入を行うように設定された状態)を示しており、第1、第2および第4の開閉バルブ91a、92a、94aは閉じられた状態で、第3の開閉バルブ93aは開になっており、窒素ボンベ(不活性ガス源)7と注入液貯蔵容器4とが接続される状態になっている。従って、第1のパイプ91は真空ポンプ6と第1の開閉バルブ91aと第3の開閉バルブ93aとの間が真空吸引されており、点々で示した真空状態6bを示している。また、窒素ボンベ7からの窒素ガス7bは、窒素ボンベ7から第3の開閉バルブ93aを経て注入液貯蔵容器4の空隙部42まで窒素ガス7bが充満している(便宜上注入液貯蔵容器4内の空間部に42には窒素ガスを示す斜線を付していない)。さらに、エアコンプレッサ8も動作しており、第4の開閉バルブ94aまで高圧エア8aがきている。また、電解液などの注入液41は、窒素ボンベ7からの窒素ガス7bの圧力により注入液貯蔵容器4内の注入液41の表面が押されて注入治具3の第3空間31f(図2参照)まで押し出されている。
図1に示される状態で、まず、図2に示されるように、たとえば色素増感太陽電池の作用極1と対向極2を貼着した組立体10の注入口23に真空ポンプ6と接続されるゴムパッド5を当てて、第1の開閉バルブ91aを開にすることにより、ゴムパッド5内も真空吸引されて組立体10を吸着させると共に、組立体10の内部を負圧にする。この状態では、図3(a)に示されるように、ゴムパッド5内のみならず、組立体10の間隙部も真空状態になり、さらに図示されていないが、第2のパイプ92も真空吸引されている。
つぎに、図3(b)に示されるように、第4の開閉バルブ94aを開にすることにより、エアコンプレッサ8の高圧エア8aを注入治具3の第1空間に供給することにより、弾性部材35が収縮し、ストッパピン34が筒状体31の一端側に移動する。その結果、ストッパピン34の突起部34bと第1の隔壁32の貫通孔32aとの間に隙間が生じ、第3空間部31fにある注入液41が第2空間部31eに流れ、さらに注入針36を介して、負圧にされたゴムパッド5の内部および組立体10の少なくとも注入口23部に注入液41を導入することができる。
つぎに、図3(c)に示されるように、第4の開閉バルブ94aを閉じることにより、弾性部材35の収縮が解除されて伸びるため、ストッパピン34が押し戻され、ストッパピン34の突起部34bの先端部と第1の隔壁32の貫通孔32aとの間隙は閉じられ、注入液41の第1の隔壁32を介した移動は停止される。この状態で、第1の開閉バルブ91aを閉じ、かつ、第2の開閉バルブ92aを開にすることにより、窒素ボンベ7からの高圧窒素が、第2のパイプ92および第1のパイプ91の第1の開閉バルブ91aからゴムパッド5の内部まで充満し、窒素ガス(不活性ガス)7bの圧力により、ゴムパッド5内の注入液41が押し付けられて組立体10の間隙部に押し込まれる。注入液41の充填後、一旦第2の開閉バルブ92aを閉じる。
その後、第3の開閉バルブ93aを、第3のパイプ93が第6のパイプ96と連通するように開き、第3のパイプ93および注入液貯蔵容器4内を真空ポンプ6により0.5秒程度減圧する。その後、第2および第4の開閉バルブ92a、94aを開き、図3(d)に示されるように、注入治具3の第1空間部31dに高圧エアが送り込まれ、図3(b)の場合と同様に、弾性部材35が収縮し、ストッパピン34の突起部34bの先端と第1の隔壁32の貫通孔32aとの間に間隙が生じる。間隙ができると、ゴムパッド5内にある注入液41の表面は高圧窒素により押し付けられ、ゴムパッド5内にある注入液41は、注入針36を逆流して第3空間部31fに押し返される。そのため、高圧窒素7bは、注入針36内、および第2空間部31eまで侵入する。すなわち、高圧窒素7bにより、ゴムパッド5側に導入され、組立体内に押込まれないで残留した注入液41を注入治具3の他端部側である第3空間部31fまで押し戻される。
この状態で、第4の開閉バルブ94aを閉じることにより、高圧エア8aの注入治具3への供給は止まり、ストッパピン34と第1の隔壁32の貫通孔32aとは嵌合した状態になり、注入液41の移動は停止する。ここで、第2の開閉バルブ92aを閉じることにより、ゴムパッド5から容易に組立体10を取り外すことができ、取り外すことにより図1に示される状態に戻る。従って、新たな組立体をゴムパッド5に当てて、第1の開閉バルブ91aを開にすることにより、同様に次の組立体への注入液41の注入を行うことができる。
以上のように、本発明の注液装置および注入方法によれば、常に窒素ガスなどの不活性ガスと注入液とを接触させているため、高圧のみならず低圧の状態でも、注入液を一切空気中に触れることなく、組立体に注入することができる。しかも、組立体の表面にある注入液を不活性ガスにより押し込んでいるため、短時間注入を完了することができると共に、組立体内に注入できなかった注入液は、残らず回収してつぎの注入に用いているので、注入液の無駄が全くない。また、真空中に注入液が晒される時間も図3(b)および図3(d)の工程だけであり、非常に短い時間であるため、注入液中の成分の蒸発も最小限に抑えることができる。さらに、注入液貯蔵容器をエタノールに変えることにより、チューブやゴムパッドなどを自動的に洗浄することができ、簡単にメインテナンスを行うことができる。また、窒素ガスなどの不活性ガスも、広い領域を窒素ガスで満たしたり、広い領域の空気などを置換したりする必要がないので、非常に少量ですむ。また、ゴムパッドの大きさは、組立体などの作業対象の注入液の注入量を確保できる大きさに設定する必要がある。さらに、スピードアップするため、複数のゴムパッドにすることも容易にできる。
さらに、本発明の注入方法によれば、1個ごとに注入作業を行いながら、1個当りの注入時間を、たとえば真空吸引を30秒、電解液注入を10秒、電解液回収を20秒程度の合計1分程度の短時間で行うことができるため、他の製造工程とタイミングを合せることができ、しかも電気信号による開閉バルブの開閉制御だけで注入を行うことができるため、完全な自動化により行うことができる。その結果、たとえば色素増感太陽電池の他の工程と合せて全ての工程を自動化することができる。
つぎに、色素増感太陽電池の製法について説明をする。色素増感太陽電池は、その一例の構造図が図4に対向極(対向電極基板)2を除去して作用極(光電極基板)1を上から見た平面説明図および対向極2を設けた状態のB−B断面説明図が示されるように、作用極1および対向極2が一定間隙を介して対向するようにシール剤14により貼着され、その作用極1と対向極2との間隙部に電解質材料(電解液)16が封入される構造になっており、太陽光により光電変換層15の色素内で励起された電子が光電変換層15内の半導体である酸化チタンなどの多孔質金属酸化物薄膜に注入され、薄膜内を移動して透明導電膜12に伝達され、さらに、作用極電極17を経て負荷を含む外部回路を介して対向極2の対向極電極25に到達することにより電流が流れて電池として作用する。
まず、透明基板11の一面に透明導電膜12を形成する。この透明導電膜12の製膜法としてはCVD法、スパッタ法、蒸着法あるいはスプレー熱分解法などが用いられる。この透明導電膜12としては可視光透過率が高く、シート抵抗の低いフッ素ドープ酸化スズ(FTO)膜が好ましいが、この例に限らず、酸化インジウム・スズ(ITO)膜あるいはアルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)膜のうちの少なくとも一つを含む膜から選ぶことができる。
つぎに、透明導電膜12上に、図4に示されるようなパターンで、枠部13bおよび枠部13bの一辺から延びる線状部分13aを形成する。この集電線13(13a、13b)は、たとえば銀ペーストをディスペンサなどにより塗布することにより、光電変換層15の周囲および透明基板11の周囲になるように、0.5±0.1mmの幅で形成する。
そして、この集電線13で囲まれた部分に酸化物半導体膜(TiO2膜)を形成する。このTiO2膜は、n型酸化物半導体層で、色素を吸収し、DSCの活性層として作用する。多孔質半導体(酸化物半導体)膜としては酸化チタン(TiO2)の他に、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)あるいは酸化ニオブ(Nb25)などを使用することもできる。この膜はドクターブレード法、スピンコート法、スクリーン印刷法あるいはスプレー製膜法などで成膜し、その後500℃前後で焼成する。焼成された酸化物半導体膜に増感色素を吸着させて光電変換層15を形成する。この酸化物半導体膜は、集電線13を形成する前に形成することもできる。
その後、色素を吸着させる。色素としては可視光および赤外光領域に吸収スペクトルを有するルテニウム系色素、アゾ系色素、キノン系色素、キノンイミン系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素、クマリン系色素などを使用することができ、これらの色素をアセトニトリルとt−ブチルアルコールの50:50混合溶液に浸漬することにより行う。この色素吸着は、DSCの光感知活性層で、励起電子を発生させ、TiO2膜に移送する働きをする。このTiO2などの酸化物半導体層へのこの色素吸着により、光電変換層15になる。
その後、シール剤14として、たとえば紫外線硬化樹脂を、たとえば集電線13を被覆するように塗付する。このシール剤14としては、紫外線硬化樹脂の他にもエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、またはアイオノマー樹脂などを使用することができる。このシール剤14は、両者の接着のみではなく、集電線13を電解質材料16から保護する機能も有しているため、集電線13の上面だけではなく、その側面にも完全に被覆するように集電線13に沿って塗布されている。このシール剤14は、電解質材料16の蒸発、および水分や大気中の不純物や電解質材料16が集電線13と接触するのも防止している。この紫外線硬化樹脂の塗布は、たとえば多ノズルディスペンサでノズルを使用することができる。
以上の各工程で作用極(光電極)1の形成が終了する。この作用極1の形成と並行して行われるが、対向極2の製造について、次に説明をする。
まず、金属基板21に電解質材料16の注入用の注入孔23を、ホールドリリング装置などを用いて穿孔する。この注入口23は、前述の集電線13で仕切られた空間ごとに形成する必要があるが、図4に示されるように、集電線13で仕切られる空間が1つに繋がっている場合、すなわち光電変換層15が1つに連続するように集電線13が形成されていれば、注入口23は1個でも電解質材料16を全体に注入することができる。
その後、耐食性および導電性を具備する耐食性導電層22を形成する。この耐食性導電層22は、作用極側の透明導電膜12と全く同様に形成することができるが、ピンホールやクラックがなくシート抵抗を1Ω/□に形成される。この耐食性導電層22は、金属基板21を用いる場合には、導電層としての意味合いは小さくなるが、電解質材料16に対する腐食を防止することができ、金属基板21の材料が限定されなく、安価なものを使用することができる。この金属基板21としては、たとえばクロム、銅、アルミニウム、ニッケル、タングステン、モリブデン、チタンあるいは亜鉛などの高導電性の基板を用いることができる。また、耐食性導電層22としては、FTO膜の他に、チタン、タングステン、バナジウム、ジルコニウムなどの高耐食性膜などを使用することができる。
そして触媒性金属膜の例として、白金膜を、たとえばスプレーにより形成する。この白金膜は、触媒として利用するもので、対向極電極25から効率的に電子が移動するのを助ける。そのため、厚くする必要はなく、40〜100nm程度の厚さで、むしろ途切れて粒状になった方が、表面積が大きくなって好ましい。この白金膜の形成は、150±10℃の温度で行う。その後、ベルト炉などにより450℃程度で、30分程度のシンタリングを行う。この熱処理により、耐食性導電層22上に、アイランドが形成され、触媒硬化を助長する。
以上の工程で対向極2を形成することができる。そして、シール剤14が塗布された作用極1と対向極2とを重ね合せる。この両者の重ね合せの精度も±0.2mmの精度で行う。そして、紫外線を照射して硬化させる。紫外線の照射時間は、ランプの紫外線エネルギーをモニターする実時間により調整される。
ついで、電解質材料16の注入を行う。この電解質材料(電解液)16の注入は、前述の注入液の注入方法を用いる。注入口23が複数個ある場合には、マルチノズルを有する注入装置を用いて、複数の注入口から同時に電解質材料(電解液)16の注入を行う。この電解質材料16は、対向極電極25からの電子を作用極1のTiO2膜上の色素分子に移動させる重要な機能を有している。そして、注入口23をカバーガラス24などにより封止することにより、DSCモジュールが完成(DSCモジュール完成ステージ84)し、ベルトコンベヤから降ろして製造作業が完了する。電解質材料16は、たとえばアセトニトリル、γ−ブチロラクトン、メトキシプロピオニトリルあるいはプロピレンカーボネートなどの溶媒にヨウ化リチウム、t−ブチルピリジン、ヨウ化ジメチルプロピルイミダゾリウムまたはヨウ化メチルプロピルイミダゾリウムなどを溶解したものを使用することができる。
最後に作用極電極17および対向極電極25をそれぞれ隣接する2辺の基板端部に形成し、色素増感太陽電池1とする。
1 作用極
2 対向極
3 注入治具
4 注入液貯蔵容器
5 ゴムパッド
6 真空ポンプ
7 不活性ガス源(窒素ボンベ)
8 圧力印加装置(エアコンプレッサ)
10 組立体
11 透明基板
12 透明導電膜
13 集電線
14 シール剤
15 光電変換層
16 電解質材料
17 作用極電極
21 基板
22 導電層
23 電解質材料の注入口
24 カバーガラス
25 対向極電極
31 筒状体
32 第1の隔壁
33 第2の隔壁
34 ストッパピン
35 弾性部材(スプリング)
41 注入液(電解液)
42 空隙部
6b 真空状態
7b 窒素ガス
8a 高圧エア
91〜95 第1〜第5のチューブ
91a〜94a 第1〜第4の開閉バルブ

Claims (3)

  1. (i)筒状体の内壁に固着され、中心部に貫通孔を有する第1および第2の隔壁、(ii)底部が前記筒状体の内壁を摺動し得ると共に、前記第1および第2の隔壁の貫通孔を摺動し、該摺動により先端部と前記第1の隔壁の貫通孔との間隙を可変し得る突起棒が前記底部に固着されたストッパピン、(iii)該ストッパピンの底部と前記筒状体の一端部との間に設けられた弾性体、および(iv)前記筒状体の他端部が注入液の注入口を有するように閉塞され、前記第1の隔壁と前記他端部との間に注入液が充填され得る第3空間部を有する注入治具と、
    上部に空隙部を有するように注入液が充填されて密閉し得る注入液貯蔵容器と、
    組立体の注入口を被覆して該組立体に吸着させるゴムパッドと、
    該ゴムパッドと一端部が気密に接続され、他端部が第1の開閉バルブを介して真空ポンプに接続される第1のチューブと、
    該第1のチューブから分岐され、第2の開閉バルブを介して不活性ガス源に接続される第2のチューブと、
    前記不活性ガス源と前記注入液貯蔵容器の前記空隙部とを第3の開閉バルブを介して気密に接続する第3のチューブと、
    前記注入治具の前記第2の隔壁と前記ストッパピンの底部との間の第1空間部に一端部が気密に接続され、他端部が第4の開閉バルブを介して圧力印加装置に接続される第4のチューブと、
    前記注入液貯蔵容器内の注入液内に一端部が挿入され、他端部が前記注入治具の他端部に接続される第5のチューブと、
    前記注入治具の前記第1および第2の隔壁の間に形成される第2空間部に一端部が気密に接続され、他端部が前記ゴムパッド内に挿入されて注入液を前記第2空間部から前記ゴムパッド内に送り出す注入針
    とを具備する注液装置。
  2. 注入液を注入する組立体の注入口に真空ポンプと接続されるゴムパッドを吸着させて前記組立体の内部を負圧にする工程と、
    該負圧にされたゴムパッド内および前記組立体の少なくとも注入口部に注入治具を介して注入液を導入する工程と、
    前記注入治具内の注入液の注入路を閉塞して前記ゴムパッド内の注入液に不活性ガスにより圧力を加えることにより、前記組立体内に前記注入液を押し込む工程と、
    前記注入液の供給側の圧力を下げ、前記注入治具内の注入路の閉塞を解除してから前記不活性ガスにより圧力を加えることにより、前記ゴムパッド側に導入され、前記組立体内に押込まれないで残留した注入液を前記注入治具まで押し戻す工程
    とを有する注入液の注入方法。
  3. 透明基板表面に透明導電膜、光電変換層、集電線、およびシール剤層を形成することにより、作用極を形成し、基板表面に耐食性で導電性の膜および触媒性の金属層を形成することにより対向極を形成し、該作用極および対向極を前記シール剤層により貼着した後、前記作用極と対向極との間の間隙部に電解液を注入する色素増感太陽電池の製法であって、前記電解液の注入方法を請求項2記載の方法により行う色素増感太陽電池の製法。
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