TW201309911A - 用於低溫泵的蓋結構、低溫泵、低溫泵的啟動方法及低溫泵的保管方法 - Google Patents

Abstract

本發明的課題在於良好地保管低溫泵。本發明提供一種低溫泵的保管方法，其包括用泵蓋(100)堵塞用於接收藉由低溫泵(10)排氣之氣體之低溫泵的泵口、及通過將低溫泵(10)的內部與外部連通之流體路徑對低溫泵(10)的內部進行減壓。並且，本發明提供一種低溫泵的啟動方法，其包括藉由從蓋主體(102)拆卸安裝於低溫泵(10)之泵蓋(100)的閉塞構件(106)來解除低溫泵內部的負壓。

Description

用於低溫泵的蓋結構、低溫泵、低溫泵的啟動方法及低溫泵的保管方法

本發明係有關一種用於低溫泵的蓋結構、低溫泵、低溫泵的啟動方法及低溫泵的保管方法。

低溫泵係藉由凝縮或吸附將氣體分子捕捉於冷卻成超低溫之低溫板來排氣之真空泵。低溫泵普遍為了實現半導體電路製造工藝等所要求的清潔的真空環境而利用。為了吸附氣體，在低溫板黏著有活性碳。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開平2-308985號公報

在不使用低溫泵時，例如保管時或傳輸時，低溫板上的吸附劑也能夠吸附周圍的成份。例如，當低溫泵被出貨且開始使用其之前外氣可進入低溫泵的內部時，吸附劑能夠吸附多量水分。在使用低溫泵之前，利用其他輔助性真空泵真空抽取至低溫泵的工作壓力。這時吸附之成份從活性炭放出，在達到工作壓力之前需要時間。

本發明係鑒於這種情況而完成者，其某一態樣的例示 性目的之一在於以良好的狀態保管低溫泵至開始使用低溫泵時為止。

本發明的某一態樣的蓋結構係用於將低溫泵的內部保持成負壓之蓋結構，前述蓋結構具備用於堵塞低溫泵的泵口的蓋主體，前述蓋主體具有將低溫泵的內部與外部連通之小孔，進一步具備用於堵塞前述小孔之閉塞構件。

根據該態樣，每開始使用低溫泵之際，能夠以拆卸閉塞構件這樣的簡單工作破壞真空，因此在現實中容易將低溫泵的內部設為真空或負壓來保管。能夠藉由對低溫泵的內部進行減壓來以保管當初的良好狀態保持低溫泵、尤其是內置的吸附劑。

本發明的另一態樣係低溫泵的啟動方法。該方法包括藉由從蓋主體拆卸安裝於低溫泵之蓋結構的閉塞構件來解除低溫泵內部的負壓。

本發明的另一態樣係低溫泵的保管方法。該方法包括用蓋堵塞用於接收藉由低溫泵排氣之氣體之低溫泵的泵口、及通過將低溫泵的內部與外部連通之流體路徑對低溫泵的內部進行減壓。

根據本發明能夠良好地保管低溫泵。

第1圖係示意地顯示本發明的一實施方式之低溫泵10的圖。低溫泵10安裝於例如離子注入裝置或濺射裝置等的真空腔室，為了使真空腔室內部的真空度提高至所期望的工藝所要求的等級而使用。低溫泵10包括低溫泵容器30、放射屏蔽40及製冷機50而構成。

製冷機50為例如吉福特-麥克馬洪式製冷機(所謂的GM製冷機)等製冷機。製冷機50具備第1缸11、第2缸12、第1冷卻台13、第2冷卻台14及閥驅動馬達16。第1缸11與第2缸12串聯連接。於第1缸11的與第2缸12的結合部側設置第1冷卻台13，於第2缸12遠離第1缸11之一側的端部設置第2冷卻台14。第1圖所示之製冷機50為2段式製冷機，藉由串聯且2段組合缸來實現更低的溫度。製冷機50透過冷媒管18連接於壓縮機52。

壓縮機52壓縮例如氦等冷媒氣體，亦即工作氣體，藉由冷媒管18供給至製冷機50。製冷機50使工作氣體根據通過蓄冷器來進行冷卻，並且首先在第1缸11內部的膨脹室膨脹，其次在第2缸12內部的膨脹室膨脹，由此進一步進行冷卻。蓄冷器組裝於膨脹室內部。由此，設置於第1缸11之第1冷卻台13被冷卻至第1冷卻溫度等級，而設置於第2缸12之第2冷卻台14被冷卻至低於第1冷卻溫度等級之溫度之第2冷卻溫度等級。例如，第1冷卻台13被冷卻至65K~100K左右，而第2冷卻台14 被冷卻至10K~20K左右。

藉由在膨脹室依次膨脹來吸熱且對各冷卻台進行冷卻之工作氣體再次通過蓄冷器，經過冷媒管18返回到壓縮機52。從壓縮機52向製冷機50及從製冷機50向壓縮機52的工作氣體的流動可藉由製冷機50內的迴轉閥(未圖示)切換。閥驅動馬達16從外部電源接受電力供給來旋轉迴轉閥。

設置有用於控制製冷機50之控制部20。控制部20依第1冷卻台13或第2冷卻台14的冷卻溫度控制製冷機50。因此，可以於第1冷卻台13或第2冷卻台14設置溫度感測器(未圖示)。控制部20可藉由控制閥驅動馬達16的運行頻率來控制冷卻溫度。因此，控制部20也可具備用於控制閥驅動馬達16之變頻器。控制部20可構成為控制壓縮機52及後述之各閥。控制部20可一體地設置於低溫泵10，也可與低溫泵10分體的控制裝置構成。

第1圖所示之低溫泵10係所謂的臥式低溫泵。臥式低溫泵一般為製冷機的第2冷卻台14沿著與筒狀放射屏蔽40的軸向交叉的方向(通常為正交方向)插入於放射屏蔽40的內部之低溫泵。再者，本發明同樣也能夠應用於所謂的立式低溫泵。立式低溫泵是指沿著放射屏蔽的軸向插入製冷機的低溫泵。

低溫泵容器30具有形成為一端具有開口且另一端被閉塞之圓筒狀形狀之部位(以下稱為“胴部”)32。該開口作為用於接收應從連接低溫泵之濺射裝置等的真空腔室 排氣之氣體之泵口34而設置。泵口34由低溫泵容器30的胴部32的上端部內面劃分。並且，胴部32上除了形成有作為泵口34的開口之外還形成有用於插通製冷機50之開口37。胴部32的開口37上安裝圓筒狀製冷機容納部38的一端，另一端安裝於製冷機50的殼體。製冷機容納部38容納製冷機50的第1缸11。

並且，在低溫泵容器30的胴部32的上端朝向徑向外側延伸有安裝法蘭36。低溫泵10利用安裝法蘭36安裝於安裝端的真空腔室。

低溫泵容器30為了隔開低溫泵10的內部與外部而設置。如上所述的低溫泵容器30包含胴部32和製冷機容納部38而構成，胴部32及製冷機容納部38的內部氣密地保持為共同壓力。由此，低溫泵容器30在低溫泵10的排氣運行期間作為真空容器發揮作用。由於低溫泵容器30的外面在低溫泵10的工作時，亦即製冷機工作期間也暴露於低溫泵10的外部環境中，因此維持高於放射屏蔽40的溫度。通常，低溫泵容器30的溫度被維持於環境溫度。在此，環境溫度是指設置有低溫泵10的地點的溫度或者接近其溫度的溫度，例如室溫程度。

並且，在低溫泵容器30的製冷機容納部38的內部設置有壓力感測器54。壓力感測器54周期性測定製冷機容納部38的內部壓力，亦即低溫泵容器30的壓力，並將表示測定壓力之信號輸出至控制部20。壓力感測器54將其輸出可通信地連接於控制部20。再者，壓力感測器54還 可設置於低溫泵容器30的胴部32。

壓力感測器54具有包含藉由低溫泵10實現的較高的真空等級和大氣壓等級雙方之較広的計量範圍。將至少能夠在再生處理中產生的壓力範圍包含於計量範圍內為較佳。在本實施方式中，使用例如晶體壓力計作為壓力感測器54為較佳。晶體壓力計是指利用水晶振子的振動阻力隨壓力而變化之現象來測定壓力之感測器。或者，壓力感測器54也可以為皮拉尼真空計。另外，真空等級的測定用壓力感測器與大氣壓等級的測定用壓力感測器可個別地設置於低溫泵10。

低溫泵容器30連接有通氣閥70、粗閥72及抽氣閥74。通氣閥70、粗閥72及抽氣閥74開閉分別藉由控制部20控制。

通氣閥70設置於排出管路80的例如末端。或者通氣閥70可設置於排出管路80的中途，且在末端設置用於回收被排出之流體之罐等。藉由使通氣閥70開閥來容許排出管路80的流動，藉由使通氣閥70閉閥來阻止排出管路80的流動。排出之流體基本上係氣體，但是也可以係液體或氣液的混合物。例如低溫泵10所凝縮之氣體液化物與排出流體混在一起。能夠藉由使通氣閥70開閥，將低溫泵容器30的內部中產生之正壓釋放於外部。

排出管路80稱為用於將低溫泵10的內部與外部連通之不同於泵口34之流體路徑。因此，藉由在排出管路80設置適當的真空泵，或者藉由將排出管路80與適當的真 空泵連接，可通過排出管路80對低溫泵10的內部進行減壓。

排出管路80包括用於從低溫泵10的內部空間向外部環境排出流體之排出導管82。排出導管82例如連接於低溫泵容器30的製冷機容納部38。排出導管82是與流動方向正交之剖面係圓形的導管，但也可以具有其他任何剖面形狀。排出管路80還可以包含用於從在排出導管82中排出之流體中去除異物之過濾器。該過濾器可以在排出管路80中設置於通氣閥70的上游。

通氣閥70構成為還作為所謂的安全閥發揮作用。通氣閥70係設置於排出導管82之例如常閉型控制閥。通氣閥70進一步預先設定閉閥力，以便在預定差壓發揮作用時被機械式開閥。該設定差壓例如能夠考慮可作用於低溫泵容器30的內壓或低溫泵容器30的結構上的耐久性等而適當地設定。由於低溫泵10的外部環境通常係大氣壓，所以設定差壓以大氣壓為基準設定為規定的值。

通氣閥70通常在例如如再生中等從低溫泵10放出流體時，藉由控制部20開閥。在不被放出時，通氣閥70藉由控制部20閉閥。另一方面，當設定差壓作用時，通氣閥70被機械式開閥。因此，當低溫泵內部由於某些理由成為高壓時，無需進行控制而通氣閥70被機械式開閥。由此，能夠放出內部的高壓。這樣，通氣閥70作為安全閥發揮作用。如此藉由將通氣閥70兼作安全閥，從而可以得到與分別設置2個閥時相比更加降低成本或節省空間 之類的優點。

粗閥72連接於粗抽泵73。粗閥72還設置於將低溫泵10的內部與外部連通之與泵口34不同之流體路徑。藉由粗閥72的開閉，連通或阻止粗抽泵73與低溫泵10。粗抽泵73通常作為與低溫泵10不同的真空裝置而設置，例如構成包括連接低溫泵10之真空腔室之真空系統的一部份。能夠藉由開粗閥72且使粗抽泵73工作，對低溫泵10的內部進行減壓。

抽氣閥74與未圖示之吹掃氣體供給裝置連接。吹掃氣體例如係氮氣。控制部20控制抽氣閥74，由此控制吹掃氣體向低溫泵10的供給。

放射屏蔽40配設於低溫泵容器30的內部。放射屏蔽40形成為一端具有開口且另一端被閉塞之圓筒狀形狀，亦即杯狀形狀。放射屏蔽40也可構成為如第1圖所示之一體的筒狀，並且，也可以構成為藉由複數個零件整體上作為呈筒狀形狀。這些複數個零件也可以相互保持間隙而配設。

低溫泵容器30的胴部32及放射屏蔽40均形成為大致圓筒狀，並在同軸上配設。低溫泵容器30的胴部32的內徑稍微大於放射屏蔽40的外徑，放射屏蔽40在與低溫泵容器30的胴部32的內面之間保持若干間隔而以與低溫泵容器30非接觸的狀態配置。亦即，放射屏蔽40的外面與低溫泵容器30的內面對置。另外，低溫泵容器30的胴部32及放射屏蔽40的形狀並非局限於圓筒形狀，也可以 是角筒形狀或橢圓筒形狀等任何剖面的筒形狀。通常放射屏蔽40的形狀係與低溫泵容器30的胴部32的內面形狀相似之形狀。

放射屏蔽40作為主要從來自低溫泵容器30的輻射熱保護第2冷卻台14及熱連接於該第2冷卻台之低溫低溫板60的放射屏蔽而設置。第2冷卻台14於放射屏蔽40的內部配置於放射屏蔽40的大致中心軸上。放射屏蔽40以熱連接的狀態固定於第1冷卻台13，被冷卻至與第1冷卻台13相同程度的溫度。

低溫低溫板60例如包含複數個板64。板64例如各自具有圓錐台側面形狀，譬如傘狀的形狀。各板64安裝於在第2冷卻台14上安裝的板安裝構件66。各板64上通常設置有活性炭等吸附劑(未圖示)。吸附劑例如黏結於板64的裏面。板安裝構件66中複數個板64相互隔開間隔而安裝。從泵口34觀察時，複數個板64向朝向泵內部的方向排列。

為了從來自真空腔室等的輻射熱保護第2冷卻台14及熱連接於第2冷卻台之低溫低溫板60，在放射屏蔽40的吸氣口上設置擋板62。擋板62例如形成為百葉窗結構或人字形結構。擋板62可以形成為以放射屏蔽40的中心軸為中心之同心圓狀，或者也可以形成為格子狀等其他形狀。擋板62安裝於放射屏蔽40的開口側的端部，被冷卻至與放射屏蔽40相同程度的溫度。

放射屏蔽40的側面上形成有製冷機安裝孔42。製冷 機安裝孔42關於放射屏蔽40的中心軸方向上形成於放射屏蔽40側面的中央部。放射屏蔽40的製冷機安裝孔42設置於與低溫泵容器30的開口37相同的軸上。製冷機50的第2缸12及第2冷卻台14從製冷機安裝孔42沿著與放射屏蔽40的中心軸方向垂直的方向插入。放射屏蔽40在製冷機安裝孔42中以熱連接的狀態固定於第1冷卻台13。

另外，放射屏蔽40可藉由連接用套管安裝於第1冷卻台13，由此代替放射屏蔽40直接安裝於第1冷卻台13上。該套管例如係包圍第2缸12的第1冷卻台13側的端部並用於將放射屏蔽40熱連接於第1冷卻台13上的傳熱構件。

以下對基於上述結構的低溫泵10的動作進行說明。當低溫泵10工作時，首先在其工作之前通過粗閥72並用粗抽泵73將低溫泵容器30的內部粗抽至1Pa左右。壓力藉由壓力感測器54測定。之後，啟動低溫泵10。在基於控制部20的控制下，藉由製冷機50的驅動冷卻第1冷卻台13及第2冷卻台14，與這些熱連接的放射屏蔽40、擋板62及低溫板60也被冷卻。

被冷卻之擋板62冷卻從真空腔室朝向低溫泵10內部飛來之氣體分子，使在該冷卻溫度下蒸氣壓充份變低之氣體(例如水分等)凝縮於表面並進行排氣。在擋板62的冷卻溫度下蒸氣壓不會充份變低之氣體通過擋板62進入放射屏蔽40內部。進入之氣體分子中在低溫板60的冷卻 溫度下蒸氣壓充份變低之氣體凝縮於低溫板60的表面而被排氣。在其冷卻溫度下蒸氣壓也未充份變低之氣體(例如氫等)藉由黏結於低溫板60的表面並被冷卻之吸附劑吸附而被排氣。這樣，低溫泵10能夠使安裝端的真空腔室的真空度達到所希望的等級。

第2圖係示意地顯示用於本發明的一實施方式之低溫泵10之泵蓋100之圖。第2圖示出泵蓋100安裝於低溫泵10之樣子。泵蓋100安裝於安裝法蘭36，作為用於相對於外部氣密地閉塞低溫泵10的內部之蓋結構而設置。因此，能夠藉由用泵蓋100堵塞泵口34來相對於外部常壓將低溫泵10的內部保持成負壓或真空。

泵蓋100具備用於堵塞泵口34之蓋主體102。蓋主體102例如係具有與泵口34的形狀對應之形狀之板狀構件。在一實施例中，泵口34係圓形，安裝法蘭36沿著泵口34的外周設置成環狀。此時，蓋主體102為直徑大於泵口34的圓板構件，例如為具有與安裝法蘭36的外徑相等之直徑之圓板構件。蓋主體102例如係金屬製。蓋主體102藉由適當的安裝方法例如使用螺栓及螺母安裝於安裝法蘭36。例如蓋主體102藉由複數個螺栓及螺母以等間隔固定於安裝法蘭36。另外，以下為了方便起見，將朝向低溫泵10的內部的側的蓋主體102的面稱為“下面”，將朝向外部之蓋主體102的面稱為“上面”。對於後述的閉塞構件106也相同。

蓋主體102具有將低溫泵10的內部與外部連通之小 孔104。小孔104係連接蓋主體102的上面與下面的開口。小孔104例如係圓形開口，但是也可以係任意的開口形狀。小孔104的大小小於泵口34，具體而言，考慮作用於閉塞構件106之壓力而設計。小孔104的直徑或寬度例如為1mm~10mm為較佳。小孔104形成於蓋主體102的中心部，但是不限於此，為了將低溫泵10的內部與外部連通也可形成於蓋主體102的任意位置。另外，由於第2圖顯示低溫泵10的側面，因此關於小孔104用虛線於與該形成部位對應的蓋主體102的部位進行圖示。

蓋主體102的下面，用於保證氣密性之密封構件例如O型環可設置於沿著安裝法蘭36之環狀部位。或者，在蓋主體102的下面與安裝法蘭36之間可介裝環狀彈性構件(例如橡膠構件)。此時，可使用貫穿蓋主體102、彈性構件及安裝法蘭36之螺栓在安裝法蘭36安裝蓋主體102。能夠藉由介裝具有調整之高度之彈性構件適當地保持蓋主體102的下面與擋板62(參考第1圖)的間隙。尤其，當擋板62的上端比安裝法蘭36更向上方突出時，可於蓋主體102的下面加工凹部以容納擋板62的上端，但是介裝上述彈性構件，這更簡單且為較佳。

泵蓋100進一步具備用於堵塞小孔104之閉塞構件106。閉塞構件106例如係具有與小孔104的形狀對應之形狀之板狀構件。一實施例中，小孔104係圓形，閉塞構件106係直徑大於小孔104的圓板小蓋。閉塞構件106係小於蓋主體102之蓋構件。閉塞構件106例如係金屬製。

閉塞構件106安裝於蓋主體102的外側。亦即，閉塞構件106使閉塞構件106的下面抵接於蓋主體102的上面而安裝於蓋主體102。閉塞構件106藉由適當的安裝方法，例如使用螺栓或螺紋等安裝於劃定小孔104之蓋主體102的環狀部位。沿著該環狀部位，閉塞構件106的下面可設置有用於保證與蓋主體102之氣密性之密封構件例如O型環。如此，閉塞構件106構成為可從低溫泵10的外側拆卸。

另一實施例中，閉塞構件106可以係於表面具有黏結層之基材，例如密封墊、黏著劑、膠帶等。泵蓋100可以為藉由於小孔104黏貼這種密封墊堵塞小孔104之結構。此時，考慮相對於密封墊的上面與下面的(亦即低溫泵內外的)差壓之耐久性，與上述小蓋閉塞結構時相比縮小小孔104為較佳。

接著，參考第3圖及第4圖對用於低溫泵10之泵蓋100的使用方法進行說明。第3圖係用於說明本發明的一實施方式之低溫泵10的保管方法之流程圖。第4圖係用於說明本發明的一實施方式之低溫泵10的啟動方法之流程圖。

第3圖所示之方法在保管低溫泵10時可藉由工作人員進行，例如為了在低溫泵10的製造製程的最終階段向客戶出貨及輸送而執行。提供一種低溫泵的保管方法，其在低溫泵10出貨時使泵內部保持負壓或真空，並向客戶輸送時及經過保管期間保持該負壓或真空。

首先，工作人員用蓋堵塞用於接收藉由低溫泵排氣之氣體之低溫泵的泵口34(S10)。一實施例中，該蓋係上述泵蓋100。泵蓋100的蓋主體102藉由適當的安裝方法，例如使用螺栓及螺母安裝於低溫泵10的安裝法蘭36。泵蓋100的小孔104藉由閉塞構件106預先閉鎖。因此，藉由泵蓋100安裝於低溫泵10，由此低溫泵10的內部呈氣密狀態。

接著，工作人員通過將低溫泵10的內部與外部連通之流體路徑對低溫泵10的內部進行減壓(S12)。一實施例中，已用泵蓋100堵塞泵口34，因此該流體路徑係與經由泵口34的路徑不同之流體路徑。一實施例中，通過連結低溫泵10內外之任一閥對低溫泵10的內部進行減壓。

較佳一實施例中，使用粗抽泵73並通過粗閥72對低溫泵10的內部進行真空抽取。低溫泵10的內部減壓成適當的設定壓力以下，例如0.1氣壓以下。該壓力例如能夠藉由實驗或從經驗的觀點以在該壓力下長期保存內置於低溫泵10之吸附劑時的氣體(尤其水分)的吸附量成為允許範圍的方式適當地規定。一實施例中，用於該真空抽取之粗抽泵73的工作時間藉由實驗等適當規定為足以使低溫泵10的內部成為設定壓力以下之長度。

並且，一實施例中，可以驗證真空抽取後的低溫泵10的內部壓力(S14)。例如可藉由使壓力感測器54(例如晶體壓力計)動作來確認低溫泵10的內部的負壓是否 處於上述設定壓力以下。確認到內部負壓處於設定壓力以下時，工作人員結束處理。內部負壓未減壓至設定壓力時，可再次執行真空抽取。另外，通常藉由上述工作時間的真空抽取達到設定壓力以下，因此可省略該驗證製程。

一實施例中，使壓力感測器54動作之內部負壓的驗證製程可在低溫泵10的保管中隨時執行。當藉由壓力感測器54測定之低溫泵10的壓力處於設定壓力以下時，可保證內置於低溫泵10之吸附劑到該時刻為止繼續保持當初的保管狀態。這樣，提供依壓力感測器54的輸出驗證低溫泵10的保管狀態之方法。能夠簡單地確認低溫泵10是否被良好地保管。

根據本發明的一實施方式之低溫泵10的保管方法，藉由將內部保持為負壓或真空，能夠防止余量成份(例如水分)侵入泵內部。因此，能夠防止低溫板上的吸附劑例如活性炭於保管中過度吸附這種余量成份。並且，能夠期待與密封乾燥空氣或氮氣之代替方案相比能夠以更低成本良好地保管。也無需擔憂因過度吸附氮氣等而產生之惡劣影響。另外，藉由在泵口34蓋上蓋保管，也能夠防止異物侵入。

第4圖所示之方法在真空腔室等低溫泵安裝端安裝低溫泵10並開始運行時由工作人員執行。低溫泵10上安裝有本發明的一實施方式之泵蓋100。提供一種低溫泵啟動方法，其用於重新安裝低溫泵10，或者與現有的低溫泵10更換來開始低溫泵10的通常的真空排氣運行。該啟動 方法可包含以應用上述低溫泵保管方法之低溫泵10作為預備機而準備的步驟。將使用中的低溫泵10與該預備機更換，並運轉預備機。對拆卸之低溫泵10實施維護。

一實施例中，首先工作人員可以驗證保管之低溫泵10的內部壓力(S20)。與上述驗證製程相同，例如藉由使壓力感測器54(例如晶體壓力計)動作，可確認低溫泵10內部的負壓是否處於上述設定壓力以下。當確認到內部負壓處於設定壓力以下時，工作人員繼續進行處理。當內部負壓超過設定壓力時，暫時結束處理，準備其他預備機。

另外，可以省略該驗證製程，工作人員也可以根據拆卸下一製程的閉塞構件106時的外氣流入情況(例如因流動產生的聲音等)推測預備機的保管狀態。例如，當未感知到外氣流入音時，可認為因某種原因在保管中低溫泵內部恢復大氣壓。因此，這種情況時，暫時結束處理，準備其他預備機。

工作人員從蓋主體102拆卸泵蓋100的閉塞構件106(S22)。由於閉塞構件106係與蓋主體102相比尺寸相當小的蓋構件或密封墊等，因此作用之差壓充份小，能夠容易拆卸。這樣，能夠簡單地進行低溫泵10內部的負壓解除或真空破壞。

接著，工作人員從低溫泵10的安裝法蘭36拆卸蓋主體102(S24)。低溫泵10的泵口34被開放。低溫泵10透過安裝法蘭36安裝於作為安裝端之真空腔室等(S26) 。使用粗抽泵73，低溫泵10真空抽取至運行開始所需之真空度。在該預備真空抽取之後，開始用於低溫泵10的真空排氣運行之低溫板冷卻、所謂之降溫製程。這樣，進行低溫泵10的裝置裝配，本發明的一實施方式之啟動方法結束。接著，過渡到低溫泵10的通常的排氣運行。

根據本發明的一實施方式之低溫泵10的保管方法，能夠縮短低溫泵的裝置裝配的所需時間。主要能夠大幅縮短達到降溫開始時所需之真空度之前的基於補助泵(例如粗抽泵73)的粗抽時間。認為低溫板上的吸附劑處於保管當初的新鮮狀態且真空抽取時實際上未放出氣體，且與保管狀態不良時相比，可預測縮短例如1~2小時的粗抽時間。

由於大氣壓作為從外側擠壓蓋之力發揮作用，因此低溫泵10的內部為真空時從泵口34拆卸蓋主體102並非容易。若假設未設置閉塞構件106之實施例，則會通過任意閥進行真空破壞來代替從泵口34直接拆卸蓋。這些閥為具有用於在低溫泵10的真空排氣運行中可靠地保持內部的高真空之結構之真空閥，因此這種情況下單純地開放閥也並非容易。因此，真空破壞藉由拆卸任意閥來進行。拆卸工作成為工作人員的負擔，並且在第2次閥安裝工作中失誤而閥中嚙入異物，因此還有可能產生真空保持功能下降。

根據本發明的一實施方式，將能夠以小於直接拆卸蓋主體102之力容易地進行真空破壞之閉塞構件106組裝於 蓋結構，由此可消除這種問題。實際上能夠容易地應用低溫泵10的基於真空保持的保管。

以上，依實施例說明了本發明。但本發明並不限於上述實施方式，可以進行各種設計變更，本領域工作人員可理解可以實現各種變形例，並且這種變形例也在本發明的範圍內。

閉塞構件106為小蓋構件時在可再利用這一點上為較佳，但是本發明並不限於此。例如，閉塞構件106可以為固定於蓋主體102或者一體地形成之閉塞部份。閉塞部份例如形成為相當薄於其周圍的部位。工作人員可以藉由用適當的工具於該閉塞部份開穴來進行真空破壞。

閉塞構件106係於表面具有黏結層之基材時，可以貼附於蓋主體102的內側(亦即下面)並堵塞小孔104。此時，工作人員從蓋主體102的外側向小孔104插入適當的工具來破壞閉塞構件106，由此可以進行真空破壞。由於閉塞構件106貼於內側，因此能夠減輕失誤(或者有目的地)而在保管中去除或損傷閉塞構件106之可能性。

上述實施例中，通過與將低溫泵10內部與外部連通之泵口34不同之流體路徑進行用於保管之減壓，但是將低溫泵10內部與外部連通之流體路徑可以經由泵口34。此時，工作人員可以通過泵蓋100對低溫泵10的內部進行減壓。

一實施例中，可以通過泵蓋100的小孔104對低溫泵10內部進行減壓。減壓後可以用閉塞構件106閉鎖小孔 104。亦即，上述實施例中，在低溫泵10安裝小孔104閉鎖之泵蓋100來進行減壓，但是本變形例中，向低溫泵10安裝泵蓋100及內部減壓之後，泵蓋100的小孔104被閉鎖。此時，閉塞構件106可以係於表面具有黏結層之基材，例如密封墊、黏著劑、膠帶等。藉由迅速地關閉小孔104，可充份較小地抑制從減壓結束至小孔104閉塞期間的低溫泵10內部壓力的上昇。

10‧‧‧低溫泵

11‧‧‧第1缸

12‧‧‧第2缸

13‧‧‧第1冷卻台

14‧‧‧第2冷卻台

20‧‧‧控制部

30‧‧‧低溫泵容器

40‧‧‧放射屏蔽

43‧‧‧製冷機插通孔

50‧‧‧製冷機

60‧‧‧低溫低溫板

70‧‧‧通氣閥

72‧‧‧粗閥

80‧‧‧排出管路

82‧‧‧排出導管

100‧‧‧泵蓋

102‧‧‧蓋主體

104‧‧‧小孔

106‧‧‧閉塞構件

第1圖係示意地顯示本發明的一實施方式之低溫泵之圖。

第2圖係示意地顯示用於本發明的一實施方式之低溫泵之泵蓋之圖。

第3圖係用於說明本發明的一實施方式之低溫泵的保管方法之流程圖。

第4圖係用於說明本發明的一實施方式之低溫泵的啟動方法之流程圖。

10‧‧‧低溫泵

106‧‧‧閉塞構件

104‧‧‧小孔

100‧‧‧泵蓋

102‧‧‧蓋主體

36‧‧‧安裝法蘭

32‧‧‧胴部

Claims (5)

1. 一種蓋結構，其用於將低溫泵的內部保持成負壓，其特徵為，前述蓋結構具備用於堵塞低溫泵的泵口的蓋主體，前述蓋主體具有將低溫泵的內部與外部連通之小孔，進一步具備用於堵塞前述小孔之閉塞構件。
2. 如申請專利範圍第1項記載之蓋結構，其中，前述閉塞構件包括安裝於前述蓋主體的外側的小蓋、或在表面具有黏著層的基材。
3. 一種低溫泵，其特徵為，具備申請專利範圍第1項或第2項記載之蓋結構。
4. 一種低溫泵的啟動方法，其特徵為，包括藉由從蓋主體拆卸安裝於低溫泵之申請專利範圍第1項或第2項記載之蓋結構的閉塞構件來解除低溫泵內部的負壓。
5. 一種低溫泵的保管方法，其特徵為，該方法包括：用蓋堵塞用於接收藉由低溫泵排氣之氣體之低溫泵的泵口；及通過將低溫泵的內部與外部連通之流體路徑對低溫泵的內部進行減壓。