TW201233606A - Substrate storage apparatus - Google Patents

Description

201233606 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於基板保管裝置。 本申請案主張2010年12月15曰申請之美國專利暫時 申請第61/423,198號之優先權，並將其内容援用於此。 【先前技術】 作為構成顯示器裝置等顯示裝置之顯示元件，例如已 有液晶顯示元件、有機電激發光（有機EL)元件。目前，此 等顯示元件，係以對應各像素於基板表面形成薄膜電晶體 (Thin Film Transistor:TFT)之主動元件（active device)為主 流0 近年來，出現了一種在片狀基板（例如薄膜構件等）上形 成顯示元件之技術。作為此種技術，例如以被稱為捲對捲 (roll to roll)方式（以下，簡稱（捲繞方式））之手法已廣為人知 (例如，參照專利文獻υ。捲繞方式’係將捲在基板供應側 之供應用滾筒之一片片狀基板(例如’帶狀的薄膜構件)送 出，並將被送出之基板一邊捲在基板回收側之回收用滾 筒、一邊以設在供應用滾筒與回收用滾筒之間之處理裝 置，對基板施予所欲之加工。 t 在從送出基板至捲繞基板之期間 j如使用複數個搬 送滾洵4搬送基板，使用複數個處理裝 _ TT7T ea sx- (皁元）形成構成 TFT之閘極、閘絶緣膜、半導體膜、 ’久蚀等，於某板之 被處理面上依序形成顯示元件之構 、 人戈京。例如，在形成

S 4 201233606 有機EL元件之場合，择於甘』， > 係於基板上依序形成發光層、陽極、

陰極、電路等。經施以虚神七* L 处里之基板’例如係在捲繞之狀熊 下被保管於基板保管裝置。 〜 先行技術文獻 [專利文獻1]國際公開第2006/ 100868號公報 【發明内容】 發明欲解決之課題 然而，在捲對捲方式中，從送出基板至回收基板之期 間’基板表面大部分是露出在基板保管裝置外部，因 塵埃等異物附著在基板表面之虞。 本發明態樣之目的在提供一種可抑制異物附著在基 表面之基板保管裝置。 用以解決課題之手段 本發明-態樣提供一種基板保管裝置，具備：具有收 容具可撓性之基板之收容室的容器、設於容器之窗部、以 及以收谷在收容室之基板之一部分與窗部對向之方式搬 基板的基板搬送部。 、 根據本發明之態樣，可提供一鐘能拍j制西l 恢1/、種此抑制異物附著在基 板表面之基板保管裝置。 【實施方式】 以下，參照圖式說明本發明之實施形態。 <第一實施形態> 5 201233606 圖1係顯示本發明第一實施形態之基板保管裝置之内 部構成的圖。 如圖1所示’基板保管裝置STR，具備：具有收容形 成為帶狀具有可撓性之基板S之容器CT、以及基板s掛於 此之基板搬送部CV。基板保管裝置STR，例如係於載置在 地面之容器CT收容基板s並以張掛於基板搬送部cv之狀 態加以保管。基板S係形成為長度方向為無端狀。 基板s，可使用例如樹脂薄膜及不鏽鋼等之箔（f 〇 i 1)。 例如樹脂薄膜可使用聚乙稀樹脂、聚丙烯樹脂、聚醋樹脂、 乙烯乙烯基共聚物樹脂、聚氯乙稀樹脂、纖維素樹脂、聚 醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂'聚碳酸酯樹脂、聚苯乙烯樹脂、 聚乙烯醇樹脂等材料。 基板S之短邊方向尺寸係形成為例如5〇cm〜程度， 而長邊方向尺寸（1周尺寸）則形成為例如1Gm以上。當然， 此尺寸僅為-例，並不限於此。例如基板s之短邊方向尺 寸可以是5Gem以下、亦可^ 2m以上。本實施形態中， Y方向尺寸超過2m之基板s亦是非常適合使用的。此外， 基板S之X方向尺寸(長邊方向尺寸、一周尺寸)可以是_ 以下。 土板S具有例如lnm以下之厚度，並形成為具有 性。此處所稱之可撓性，係指例如對基板施以至少自 度之既定力亦不會斷裂或破裂、而能將該基板加以- 性質。此外，例如因上诚中士 上it既疋力而彎折之性質亦包含 才日之可挽性。又，F w 7T枯UL A〜 上这了撓性會隨著該基板材質、大

S 6 201233606 厚度、以及温度等之環培蓉 兄寻而改變。再者，基板s可使用 片帶狀之基板、亦"5Γ & .^ 了使用將複數單位基板加以連接而形 成為帶狀之構成。 基板S ?以承受·你丨上1Λ。 如200 c程度之熱其尺寸亦不變化之 熱膨漲係數小者較伟。 例如可將無機填料混於樹脂薄膜以 降低熱膨漲係數。作A包 卜 為…、機填料，例如有氧化鈦、氧化鋅、 氧化鋁、氧化矽等。 以下’於基板保營梦番 _ 戒置STR之說•明中，設定一 XY2；正 父座標系，一邊參昭卜 > 、、此XYZ正父座標系一邊說明各構件之 位置關係。於以下之阁士 士 中，係將XYZ正交座標系中之地面 口又為ΧΥ平面。乂丫也二丄 _ 十面中、基板S之短邊方向設為γ軸方 向、與Y軸方向正交夕士 a a v

之方向s又為X方向。又，與地面（XY 平面）垂直之方向設為Z軸方向。 π容器CT係、形成為例如其外形大致為長方體。此外，容 之χ側之壁部CTa，為其+ ζ側端部例如傾斜於+ X側之形狀。又，宜哭 态CT之+ χ側端部CTb，則為其+ ζ 側端部例如突ψ Μ」ν 大出於+ Χ側之形狀。於容器CT内部，形成有 Rm。。 壁部（含壁部CTa及CTb)圍成之收容室 =CT於壁部CTa具有窗部w。窗部w係連通容器 之外部與收交& ΰ1ν>Γ 加χ 令至RM而貫通壁部CTa形成之開口部。窗 口P W配置在壁部cTa 之Z方向大致中央。於壁部CTa設有 連接部J。連接4 τ f 接於例如設在處理裝置PA等外部 4置裝置側連接部90及91的部分。 201233606 又’於窗部w設有後述之門片構件，此門片 =里裝…打開、因處理裝置以之連接解除而關閉連 尸在未連接處理裝置PA之狀態令，此門片構件可防 塵埃及碎屑等異物侵入容器CT内。 連接部J可以處理裝置PA與容器CT之相對位置 移受到抑制之方式將處理裝置PA與容器0丁加以連接。裝 置側連接部90*91係連接於容器CT之壁部CTa中窗部^

之緣部。此場合’連接部；係以對應裝置側連接部9〇及W 之連接位置之方式設於窗部w之緣部。如此，連接 設在與設置窗部W之壁部CTa相同之壁部 部W之周圍。 配置在由 於前述處理裝置PA，除裝置側連接部9〇及Μ之外， 亦設有夾持滾筒92及93、以及處理部95等。夾持滾筒Μ 及93係配置在於z方向夾著處理部％之位置。夾持滾筒 92之+ X側端點及夾持滾筒93之+ χ側端點皆接觸於、與 ΥΖ平面平行之平面。 處理部95係形成為對圖i中以虛線所示之處理面95a 進行既定處理^處理面95a被設定為與¥2;平面平行，設定 在例如包含失持滾筒92及93之+ χ側端點之平面上^述 :定處理，例如有塗布處理、膜形成處理、曝光處理、顯 影處理、加熱處理、冷卻處理等。當然，亦可以是進行其 他處理之構成。 〃 基板搬送部CV，於收容室RM具有折返基板s之複數 個滾筒R。以下，在區別複數個滾筒R之情形時，記載為

S 8 201233606 滾筒11〜滾筒66。各滾筒R，分別具有與Y方向平行之軸 部Ra。各滾筒R，此軸部Ra被以可旋轉之方式支承於例如 容器CT之+ γ側及—γ側之壁部。於各滚筒R之軸部Ra 周圍，設有用來張掛所收容之基板S之圓筒狀外周部Rb。 複數個滾筒R依序配置在收容室rM中之基板S之搬 送路徑。複數個滾筒R係相對收容室RM之中央部上下分 開配置。本實施形態中，複數個滾筒R係分開配置在相對 收容室RM中之z方向中央部的一 z側第一部分RM1、與 相對收容室RM中之Z方向中央部的+ Z側第二部分RM2。 RM之一 z側往+ z側依序稱為第一列 稱為第一列L1〜

於收容室 於收容室RM中之第一部分RM1，於Z方向設有3列 於X方向配置8個之狀態之滾筒R的列。構成一列之滾筒 R之直枚皆相同。又’從-Z側往+ Z側越接近收容室RM 方向中央部、滾筒R之直徑越小。此外，上述滚筒R 之列之外，亦设有轉換基板S之方向之滾筒12及滚筒13。 以下，在區別第-部分謂1之滾筒R之列時，將從收容室 第三列L3。 列L2及第三列L3 刃飛構69之滾筒支承構件67 k〇控制裝置CONT加以控制。 RM中之第二部分， 29、33、65係以滾 h 67設置成能沿引 6 7連接於例如驅動 奪件67滑動於z方 # 67之移動量及移 Z方向設有3列 9 201233606 於X方向配置9個之狀態之滾筒R的列。構成一列之滾筒

R之直徑皆相同。又，從+ Z側往—Z側越接近收容室RM 之Z方向+央°卩、；袞筒R之直徑越小。於第二部分RM2， 矛'上述滾筒R之列外’亦設有轉換基板S之方向之滾筒η、 滾筒31及滾筒49。 ，" 八1·<-艰同 i 1汉直於弟一部分 RM 1之滾筒1 2，S?番+ 配置在於Z方向挾著窗部W之位置。以下， 在區別第二部分r Μ 0 1 之滚筒R之列時’將從收容室RM之 -Z側往+z側依序稱為第四列L4〜第六列“。 收容係依序掛於滾筒11〜滾筒66，據以被引導其於 為益端狀之搬送路徑。本實施形態中，由於基板S形成 甚因此搬送路後係於收容室⑽循環之路徑。以 方向為順方：之搬送路徑’以滾筒11為起點 '以順時鐘 句m方向加以説明。 :於滚筒u之基板s，經由配在 滾靖12而彎向+ χ側 乙側（ 置在收容室RM 靖12之下游側，經由配 收谷至RM之-Z側且+又側之 被彎折向⑴卜基“ 近旁之滚请13而

之第四列L4令配置在最/ 之下游側，經由滾筒R 側。 令置在最+ X側之滾筒Μ而被f折向—z

中配置在hx側之滾筒15而被f向袞…第-列 滚筒15之下游侧，經由第四列 向…則。基板S 鄰配置之浪筒16而被變折向“則：衰筒14於-X側 斤向一2側。基板S之滾筒16之

S 10 201233606 、滚筒1 5於一X側相鄰 游側，經由第 筒1 7而被彎折向+ Z側 之後，於一X方向交方^ 丄“ ^ 乂互的經由（掛於）第四列Μ之滾筒 R(滾筒 18、20、22、24、h

Rr. ^ 1〇 26、28及30)與第一列L1之滾筒 R(滾筒 19、21、23、25、 7及29)。經由第四列Μ中最一 χ側之滾筒30之基板s夕·^ Α 游側被彎折向—Χ側’而掛於 方向轉換用滾筒3 1。 基板S之滾筒3 1之τ、技7 / , 耐m 下斿側，經由滾筒30之+ Z側相鄰 配置之滾筒32而被彎折命 ,^ 听向—2側◊之後，基板S於+ X方 向交互的經由第二列L2之滚筒R(滾筒33 35 37 39、 :1、43、…)與第五列以之滾筒r(滚筒34、36、38、 ^42、44、46 * 48)之間。經由第五列L5中最+X側之 :湾48之基板s之下游側被弯折向+ X側，而掛於方向轉 換用之滾筒49。 基板S之滾筒49夕~ττ、枝Λι丨 之下游側’經由滾筒48之+ Ζ側相鄰 配置之滚筒5 0而被變批& rj . f折向—z側。之後，基板S於一X方 °交互的經由第三列L3之滾筒R(滾筒51、53、55、57、 59、61、63及65)與第五列R5之滾筒R(滾筒52、54、％、 ，乂 6〇 62、64及66)之間。經由第六列L6中最-χ側之 滾筒66之基板S之下游側被彎折向-Z側，而掛於上述滾 上述構成中’由於滾筒u及滾筒12係配置在於Z方 向夾著窗部W之位s . <位置，因此掛在滾筒11及滾筒12之基板 ^中的滾筒11與泠钱，。Λ „ 興痕茼12之間之部分，即被配置在—χ側之 201233606 面（基板S之第二面Sb)露出於窗部W之位置。 又’基板搬送部CV具有基板支承部SP。基板支承部 sp係配置在與容器CT之窗部w之間夾著基板s之位置。 基板支承。p SP於Z方向係配置在滾筒1丨與滾筒丨2之間。 基板支承部SP，具有支承基板s之第一面“的支承板71、 對支承;袞筒72 A 73、以及支承此等支承板7 i、支承滚 请72及73的支承構件μ。 支承板71具有形成在一 χ側之支承面71&。支承面7ia 係平坦的形成。支承板71被配置成支承面71a與YZ平面 平行。此狀態下’支承面71a係與基板s之第一面“對向 配置。 支承滾筒72及73係設在於z方向夾著支承板71之位 置。支承滾筒72及73形成為圓筒狀或圓柱狀。支承滾筒 72及73被配置成中心轴平行於γ方向。支承滾筒η及η 之Y方向尺寸大於基板8之γ方向尺寸。支承滾筒72及 73被支承構件74支承為能於周方向旋轉。 支承構件74被以為—體以避免支承板71、支承 …獨立的移動於X方向、γ方向及ζ方向。在被支承 構件74支承之狀態下，支承滾筒72及73各個之—χ側端 部(支承基板s之點)與支承面71a係被配置在同一平面上。 基板s係被支承面71a及與此支承面”a配置成同— 平面狀之一個支承滾筒72、73所支承。 支承構件74被設置成可於X方向移動。基板搬送部 CV具有可使支承構件74往x方向移動之驅動機構75。控

S 32 201233606 制裝置CONT藉控制此驅動機構75，可調整支承構件74往 X方向之移動量及移動時序等。此外，於圖1中之支承滾輪 72之+ Z側及支承滚輪73之一 Z側，在與容器CT之χζ 面平行之側壁設有被軸支成可旋轉之引導滾筒8丨、82。此 引導滾筒81、82 ’在支承構件74(支承滾輪72、73與支承 板7 1)移動於一X方向時，防止基板s接觸於窗部w之邊緣。 其次，說明以上述方式構成之基板保管裝置STR之動 作。此處，係以對被保管於基板保管裝置STR之基板s進 行處理之情形為例加以説明。 圖2係顯示基板保管裝置STR之一動作例的圖。 如圖2所示，在對被保管於基板保管裝置STR之基板 s進行處理之情形時，首先，使外部之處理裝置之裝置 側連接部90及9 1連接於基板保管裝置STR之連接部了。 在處理裝置PA之連接完成後，控制裝置c〇NT即控制 驅動機構75使支承構件74往—χ方向移動。藉由此動作， 支承滾筒72及73接觸於基板S之第一面Sa，此第_面“ 被往—X側拉出。控制裝置C〇NT使支承構件74移動至在& ^承滾筒72、73與夹持滚筒92、93之間挾持基板s之位 因支承構件74之移動，基板S中被支承滾筒72 姑:3挟持的部分、以及被支承滾筒73與失持滾筒93 之外Γ部分之間的部分SC ’及從窗部W被拉至收容室RM 之夕部L而呈相對處理裝置PA之處理部95為露出的狀態。 此露出部分Sc被支承板71之支承面71a支承，沿著此 13 201233606 支承面71 a被配置成輿γ7伞& & 驭興YZ千面千仃。又，露出部分SC泸 著支承面7 1 a配置，而赤主idt 3E；y JU上 而成為破配置在處理裝置PA之處 95的處理面95a上β X # 另―方面’藉由上述動作之進行，基板s之搬送路押 從圖1之狀態開始變化。具體而言，沿著基板保管裝置S二 側壁部CTa之搬送路徑，即變得長露出部分 部W破拉^基板料裝置STR外部之份 = ，管在基板保管裝置STR之基板s係形成為無端狀，= =。因此，須調整基板s之張力，以避免 = 加過度之張力。 死 為此’控制裝置CONT控制驅動機構69 件67往+2側移動。藉由此動作，滾筒29、η以構 =構件67 一起沿著引導部68往+ 2側移動。因= ”：於此滾筒29、33、65之部分之搬送路徑變短： :场合’控制裝置C0NT調整支承構件& 滾请支承構件67之移動量令至少一方 I及 之移動而變化之基板s 支承構件74 & ▲ 基板s之搬送路徑之變化量與因γ 構件67之移動而變化之搬送路徑之變化量相；=支承 作，基板S之搬送路徑之路徑長被維持於 曰由此動 對基板S施加過度之張力。 、疋，因此不會 如上所述，在一邊維持基板s之搬 一 定、-邊將基板S配置在處理部95之處理面：之路徑長-處理部95進行對基板8之第二面％之:广以 後’控制裝置C謝控制驅動機構69及㈣機^理=

S 14 201233606 將基板s之搬送路徑之路徑長保持一定、一邊使滚筒支承 構件67及支承構件74回到原來位置。之後，使裝置側連 接部9〇及91從連接部J脫離，使處理裝置PA從基板保管 裝置STR退出。以此方式，進行對基板s之處理。 、所述根據本實施形態，由於裝備了具有收容 〃可撓陡形成為無端狀之基板s之收容室纽的容器。丁、 -又於此：态CT之窗部w、以及以收容在收容室請之基板 s t me與窗部w對向之方式搬送基板s的基板搬送 # CV’因此能於窗部w使基板s露出至收容室腿外部且 不：使基板S之其餘部分露出。據此，由於能抑制基板$ 之路出範圍，因此能抑制塵埃等異物附著在基板s。 在不對基板s之表面進行加工處理時，可以門片 構件關閉窗部W以維持防塵性。 又，根據本實施形態，由於係作成基板S被收容在收 容室⑽之狀態下將處理裝置PA連接於基板保管裝置 來對基板s進行處理，因此能在—異物不易附著於基 環境進行處理。據此’能防止異物附著於基板s。 <第二實施形態> 八人，s兑明本發明之第二實施形態。 圖3係顯示本實施形離之其拓仅总肚 〜&之基板保官裝置STR2之構成的 圖實2施形態中’在窗部w近旁之容器ct之構成與第 -m態不同，因此以此相違點為中心進行説明。 從」:圖3所示，基板保管裝置STR2,具有用以將基板s ^拉出至外部的拉出部170及17!。此拉出部17〇 15 201233606 = 内周部之機械臂邹174及-。 則安跋在窗部W之—z側之面。 機械臂部175 :械臂部174& 175被設置成能以安裝位置為中心向 =旋轉，械臂部叫175分別連接於機械臂驅動 二：：Γ物驅動部176及177具有例如未圖示之 及 —。控制裝S C〇NT可控制以機械臂驅動部176 7進行之驅動量及驅動時序。 :機械臂。"74及175之前端部分安裝有引導滾筒I?〕 二：導滾筒Μ及173係形成為圓筒狀，配置成中心 軸平行。引導滚筒172及173被設置成㉟於周方向（Θ r旋轉…於容器CT形成有用以安裝外部之處理 :置PA的裝著部178。此外，亦可取代裝著部m而形成 以配置外部之處理裝置PA的開口部。 從此狀態下將基板S拉出至窗部w外部時，控制裝置 τ控制機械臂驅動部176及177，使機械臂部"I於圖 =鐘方向、機械臂部175於圖中順時鐘方向分。 =機械臂部174及機械…5之旋轉移動，安 =部m及機械臂部175各前端部之引導滾冑π及173 耆基板S，將基板s拉出至窗部w之外側。 圖4係顯示以拉出部丨7 丨170及171將基板S從窗部⑼拉 出至收容室RM外部之狀態的圖。 如圖4所示，在某相c , 劈 破拉出的狀態下’配置成機械 是部⑺及⑺之前端朝向—χ側。 械

S 16 201233606 基板S在掛於引導滾筒172及173之狀態下露出於窗 部W之外側。於基板S之引導滾筒172及173間之露出部 分Sc的第二面Sb，被壓接於基板支承構件丨79之支承面 l：79a。支承面l：79a係形成為例如往+ X側凸出之彎曲面。 因壓接支承面179a’露出部分Sc即貼著支承面i79a而成 為往+ X側彎曲配置的狀態。又，基板支承構件丨79例如係 旋轉筒。 又，因上述機械臂部174及175之動作，沿著壁部CTa 之部分之基板S之搬送路徑的路徑長將變長。因此，控制 裝置CONT控制驅動機構69以使滚筒支承構件67沿引導 部68往+ Z側移動，以調整基板s之搬送路徑之路徑長。 又’於基板保管裝置STR2，與基板保管裝置STR相較，可 以作成使滾筒支承構件67能於z方向在較大範圍内移動。 如此，基板S之搬送路徑之路徑長的調整量即較大。 在將基板S拉出至收容室讀外部《，將處理裝置pA 配置於容器CT之裝著邮]7Q 士士《 ϋ+ 衣者' 4 178。在處理裝置pa裝著於裝著 部178之狀態下，處理部195係朝向窗部〜之_乂側。因 此，從X方向觀察露出部分Se#配置在處理部195之對向 位置。於此狀態下’處理部195對基板s之第—面“進行 處理。 在以處理部195進并步,田，么 ^ , 碾仃處理後，將處理裝置PA從裝著部 178取下。取下處理梦罢η Α μ ° 、置ΡΑ後’控制裝置CONT將機械臂 部174及175收容至交盟 各态CT之收容室RM，同時使滚筒 承構件6 7往一Z側移動 動。藉由此動作，一邊將基板s之搬 17 201233606 送·路徑之路徑長保持一定、一邊與機械臂部174及i75 一 起將基板S收容於收容室。 如上所述，本實施形態，由於係使用機械臂部及 175將基板S從窗部w大幅拉至外部，並在基板s之露出 部分Sc與容胃CT之間安裝處理裝4 pA帛外部裝置之構 成’因此能對基板S之第一面Sa進行處理。 又，本實施形態，由於係使用形成有圓柱狀支承面π” 之基板支承構件(例如’旋轉鼓)179來支承基板s，因此能 以對應支承面179a形狀之形狀將基板s配置在處理部MS 之對向位置。例如，若支承面179a為平坦面的話，基板s 即是以平坦的狀態配置在處理部i 95之對向位置。 本發明之技術範圍不限制於上述實施形態，在不脫離 本發明趣旨之範圍内可適當的加以變更。 例如，上述實施形態中，雖是窗部w配置在壁部匸丁3 之構成’但當然不限於此，可以是如圖5所示，窗部〜配 置在壁部CTb或其他壁部之構成。 又，上述實施形態中，雖係窗部w設於容器cT之一 處的構成’但不限於此，亦可如圖5所示，於容器CT之複 數處设置窗部W的構成。此場合，可以是在一壁部配置複 數個窗部w的構成’亦可以是在複數個壁部各設置一個或 各設置複數個窗部w的構成。 又，除上述實施形態之構成外，亦可如圖6所示，於 前述窗部W設置門片構件。作為此n片構件，圖6中可 以是開關窗部W之㈣SL。滑件SL連接於滑動驅動部

18 S 201233606 200。滑動驅動部2〇〇可藉由控制裝置 制驅動量及驅動之時序（時機）。 之㈣來控 此構成中’控制裝置C0NT可視與外部 大態:使窗…關。此場合，控制裝置C0NT，在: W理裝置連接於連接部J之情形時，使滑#SL移動至_ z側以使窗部w成為 风马打開狀態。又，控制裝置C0NT， 外部處理裝置與連接却T +k、丄 。之連接被解除之情形時，則使滑件

移至+ Z側以使窗部W成為關M 關狀態。士°此，即能防止 塵埃專異物知入收容室RM。 又，上述實施形態，雖係以滾筒r配置成與基板k 面Sa及第二面％之雙方接觸之構成為例做了説明， 但不限於此。例如’亦可以是配置成接觸基板S之第一面 Sa、而不與第二面Sb接觸之構成。 & 一 所不，例如有使用形成為直角二等 邊三角形狀之引導構件201及加㈣折基板s之構成等。 如圖7所示’基板搬送部具有二個搬送部CW 於圖…側之搬送部CV1，基板8係經由複數個滚筒尺 以僅接觸第一Φ Sa之方式呈旋渦狀(圖中+ X側)向内側彎 折後’再經由滚筒Rlf折向引導構件201。 搬送部C V1中，其故q认、办姑 土板S於滾简R1之下游側係被引導 構件2G1之—邊2Gla W。此基板S於-邊2〇la之下游側 則被引導構件2〇1之斜邊·以45。角度㈣。又，基板 s之此㈣2〇lb之下游側，在被引導構件2G1之另—邊㈣ f折後，朝向引導構件202。以此方式，基板s之第一面 19 201233606

Sa以此方式繞於引導構件2〇1。 另一方面，基板s之朝向引導構件2〇2之部分，於引 導構件202之-邊202^折，與引導構件2〇ι之情形同樣 的，沿著斜邊2·及另—邊_依序被變折。基板8於 另一邊2〇2c之下游側則朝向滚筒R2。基板S之第一面Sa 以此方式繞於引導構件2〇2。 基板S於滾筒R2之下游側’經由複數個滾筒r呈漩渦 狀朝向外側f折後，朝向圖中—χ側之搬送部CM。於搬 送部CV2，其構成與上述搬送部⑼相同。也就是說，係 僅與基板s之第-面Sa_邊接觸、—邊將此基板s彎折成 旋渴狀之構成，於中央部設有滾筒R1、引導構件2〇ι 及滾筒R2。 如圖7所示，基板5被弯折成第-面Sa與滾筒R、R1、 R2及引導構件201、202接觸，而第二面％不與此等滾筒 及引導構件接觸。在此種構成中，由於基板搬送部CV能在 不接觸基板s之第二SSb表面之㈣下搬送基板s，因此 能保護第二面Sb之狀態。 X關於引導構件2G1 & 2G2之構成，不限於形 上迷直角二等邊三角形之構成，例如亦可是將圓筒 筒配置在直角二等邊三㈣之各邊的構成。 、

此外，亦可例如圖8所示，將圖7所示之構成作成於Y 方向重疊之構成。此場合’係於搬送部⑺及CM =搬送部⑺及叫般送部CV1與搬送部 同構成、搬…V2與搬送部…為相同構成。搬送部

S 20 201233606 CV1及CV2與搬送部CV3及CV4之間，配置有方向轉換用 滾筒301〜304。 基板S在被捲繞於搬送部cv 1及CV2後，經由方向轉 換用滾筒301及302而被方向轉換，而至搬送部CV3及 CV4 °又’此基板S在繞至搬送部c V3及CV4後，經由方 向轉換用滾筒303及304被方向轉換，再度繞至搬送部CV1 及搬送部CV2。此外，繞於方向轉換用滾筒3〇1〜3〇4的， 恆為基板s之第一面Sa。以此方式，基板s在搬送部 〜搬送部C V 4之間循環。 圖8所示構成中，基板s係在γ方向被收容成二層。 此場合，亦可以是於Y方向並排設置窗部wi及w2之構 成°由於能對在Y方向配置二層之基板8之各個分別進行 處理’因此能提高處理效率。 所示構成於X方向 此外，亦可例如圖9所示 ’ /久"、Λ 乃 及Ζ方向配置複數個。此場合，於搬送部cvi及 2側設有搬送部CV3及CV4e又’搬送部W與搬送二 為相同構成，搬送部CV2與搬送部cv . y , 马相同構成。圖9 所不構成中，例如針對各搬送部C v i〜Γ L V4，可以分別钟 …1〜W4之構成。如此，由於能在複數處進行置 因此能提高處理效率。 < 叮爽理’ 、 〜貝奶〜‘恐之構成外，亦可以g 基板保管裝置STR之收容室RM設置處理^卞成例如 合，例如可配置對基板進行鍍敷處理、洗；=構成。此 理、熱處理等各種處理之處理部 理、乾燥 所示，當係基核 21 201233606 之第一面S b不接觸基板搬送部c V之構成時，對此第一面 Sb進行處理之處理部PA2可設在收容室RM。 又，上述實施形態中，雖係針對保管長邊方向為無端 狀之基板之保管裝置做了説明，但並不限於此構成。例如， 亦可於容器CT内配置供應用滾筒、回收用滾筒、用以將捲 於供應滾筒之基板搬送至上述窗部W1之複數個滾筒、以及 為將透過窗部W1之基板以回收用滾筒加以捲繞而將基板 送至回收滾筒之複數個滾筒，以保管以捲對捲（r〇u t〇 r〇n) 方式搬送之基板。 又，上述實施形態，雖係以滾筒R配置成中心軸與γ 方向平行之構成為例做了説明，但不限於此。例如，亦可 以是將滾筒R配置成中心軸與χ方向或ζ方向平行之構 成’亦可適用本發明。 ☆此外，例如於圖7、8及圖9所示實施形態中亦可 >用於帛1 I施形態及第二實施_態所採用之將搬彳@ 5周紐的機構。'亦即’在為了使用處理裝置對基板施以處理 而將基板技出而使其露出之情形時’可採用移動滾筒使搬 送路徑縮短以使基板搬送路徑之路徑長維持—定的調整 構。 【圖式簡單說明】 管裝 置之内 圖1係顯示本發明第一實施形態之基板保 部構成的剖面圖。 、 圖2係顯示本發a月帛—實施形態之基板保管裝置之

S 22 201233606 動作例的剖面圖。 圖 3彳么β 保顯示本發明第二實施形態之基板保管裝置之構 成的剖面圖。 圖 4彳彡 1糸顯示本發明第二實施形態之基板保管裝置之一 動作例的剖面圖。 圖5係顯示本發明之基板保管裝置之另一例的圖。 6係顯示本發明之基板保管裝置之另一例的圖。 11 7係顯示本發明之基板保管裝置之另一例的圖。 圖8係顯示本發明之基板保管裝置之另一例的圖。 r&t 係顯示本發明之基板保管裝置之另一例的圖。 【主要元件代表符號】 Η〜66 滾筒 6 7 滾筒支承構件 68 引導部 69、75 驅動機構 71 支承板 71a 支承面 72、73 支承滚輪 74 支承構件 81、82 引導滾筒 9〇、91 裝置側連接部 92、93 失持滚筒 95 處理部 23 201233606 95a 處理面 170、171 拉出部 172、173引導滾筒 174、175 機械臂部 176、177 機械臂驅動部 178 裝著部 179 基板支承構件 179a 支承面 195 處理部 200 滑動驅動部 201、202引導構件 301〜304 方向轉換用滾筒 CONT 控制裝置 CT 容器 CTa、CTb 壁部 CV(CV1〜CV4) 基板搬送部 J 連接部 L1〜L6 第一列〜第六列 PA 處理裝置 R 滾筒

Ra 滾筒之軸部

Rb 滾筒之外周部 RM 收容室 RM1、RM2 收容室之第一、第二部分

24 S 201233606 s 基板

Sa 基板S之第一面

Sb 基板S之第二面 SL 滑件 SP 基板支承部 STR、STR2 基板保管裝置 W ' Wl ' W2 ' W4 窗部 25

Claims (1)

1. 201233606 七、申請專利範圍： —種基板保管裝置，具備： 容器’具有收容具可撓性之基板的收容室； 窗部’設於前述容器；以及 基板搬送部’以收容在該收容室之該基板之一部分與 s亥窗部對向之方式搬送該基板。 2 ·如申請專利範圍第1項之基板保管裝置’其中，該 ®部係配置在該容器之複數處。 3 ·如申請專利範圍第1或2項之基板保管裝置，其中， 該容器具有連接於外部裝置之連接部。 4 ·如申請專利範圍第3項之基板保管裝置’其進一步 具備視該該容器與該外部裝置間之連接狀態使該窗部杳開 關之窗部驅動部。 5 ·如申請專利範圍第4項之基板保管裝置’其中，該 連接部係配置在該窗部周圍。 6 ·如申請專利範圍第3至5項中任一項之基板保管裝 置，其中，該容器具有複數個壁面； 該窗部及該連接部設在同一壁面。 7·如申請專利範圍第丨至6項中任一項之基板保管裝 置’其中，該基板搬送部具有支承與該窗部對向之該基板 之·一部分的支承部。 8·如申請專利範圍第…項中任—項之基板保管裝 ’其中’該基板搬送部具有將該基板之—部分從該窗部 出至§亥收谷部外側的拉出部。 S 26 201233606 9 ·如申請專利範圍第8項之基板保管裝置，其中，該 基板搬送部具有調整部，此調整部係視該拉出部之該基板 之拉出狀態調整在該收容室之該基板之搬送路徑。 10 ·如申請專利範圍第1至9項中任一項之基板保管 農置’其中’該基板搬送部具有折返該基板的折返部。 11 ·如申請專利範圍第1 0項之基板保管裝置，其中， 6亥折返部係配置成將該基板折返多層。 12 ·如申請專利範圍第10或11項之基板保管裝置， 其中’該折返部係配置成與該基板之兩面中的第一面接 觸、而不與該第一面相反側之第二面接觸。 13 ·如申請專利範圍第12項之基板保管裝置，其進一 步具備設在該收容室、對該基板之該第二面進行處理的處 理部。 14 ·如申請專利範圍第1至13項中任一項之基板保管 裝置，其中，該基板形成為無端狀。 八、圖式： (如次頁） 27