201223324 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 製造工序中 個狹縫之開 域之金屬薄 置。 鑛，其蒸鍍 屬薄板。然 具備有比上 近年來，圖 變微細，且 等將蒸鍍遮 ，因而會有 先開發出： 罩保持朝向 保持治具（ 構成開口部 態，因此可 此有可獲得 本發明係關於，例如，將在有機EL元件 所使用的蒸鑛遮罩上所使用，如具有具備多數 口部的金屬薄板般之極薄且具有剛性不同的領 板，在無撓曲之平坦狀態下固定於框的一種裝 【先前技術】 以往，在有機EL元件製造中進行真空蒸 遮罩是使用具有具備多數個狹縫之開口部的金 後在蒸鍍時將其蒸鍍遮罩，藉由磁鐵等安裝在 述開口部更大的開口部之剛性大的框上。但是 型化之微細化的進展，使形成於開口部之狹縫 蒸鍍遮罩本身之板厚亦變薄之時，僅使用磁鐵 罩固定於框上，在開口部上會產生撓曲或歪斜 無法維持狹縫精度的問題。因此，本申請人首 將蒸鍍遮罩安裝於框的狀態下，可將該蒸鍍遮 開口部之狹縫方向伸張的狀態，之蒸鍍遮罩的 參照特許文獻〇 。使用該保持治具時，可使 之狹縫的細線部分保持朝向長度方向伸張的狀 將狹縫保持爲直線狀且保持於一定間距上，因 高精細圖型化之優點。 然而’特許文獻1中所記載的蒸鏟遮罩，在一個蒸鍍 遮罩上僅形成一個開口部，因此有生產性不佳的問題。因 201223324 而，爲了提高生產性，如第22圖所示，應可考慮使用一 個蒸鍍遮罩上形成複數個開口部2之附設多面的遮罩1， 使用固定夾具3及可動夾具4將該遮罩的兩端夾持，可動 夾具4如箭頭記號所示，可保持朝向開口部2之狹縫方向 伸張的狀態。但是，具備多數個開口部2之附設多面的遮 罩1，藉夾具3，4將其兩端夾持來伸張之時，開口部與非 開口部的剛性不同，不論是否將遮罩之全寬均等地伸張， 在開口部上會產生歪斜或撓曲，因而無法獲得所要之狹縫 圖型，而且，亦證實各開口部之位置精度不佳。例如，有 機EL元件製造所使用的蒸鍍用附設多面之遮罩的情況， 在各開口部之位置方面雖然要求± 1 Ομιη以下的總間距，但 是卻難以達成如此的尺寸精度。 .因而，在解決本問題點的方法上，如第23圖所示， 本申請人首先開發出：在形成複數個開口部2之附設多面 的遮罩1Α之4邊上事先形成安裝部5，將該安裝部5捲 繞在設置於框的捲軸上，將該捲軸往上捲動，來將附設多 面的遮罩1 Α朝向縱橫兩方向伸張，以作成保持平坦狀態 之構成的附設多面之遮罩裝置（參照特許文獻2)。該附 設多面之遮罩裝置，是將附設多面之遮罩1A朝向縱橫兩 方向伸張，因此使附設多面之遮罩1A作成平坦且各開口 部之狹縫可排列成平行，因此有可獲得附設多面且精細圖 型化之優點。 然而，特許文獻2中所記載的附設多面之遮罩裝置， 在附設多面之遮罩爲薄而容易歪斜的情況等，在開口部產 -6- 201223324 生歪斜或撓曲，而有無法獲得所要的狹縫圖型之問題。並 且，該附設多面之遮罩裝置，是爲在框的4邊上分別設置 捲軸，來捲繞附設多面之遮罩1A之4邊的安裝部5，因 此亦有構造複雜且成本高的問題。 [特許文獻1]日本特開2003-68453號公報 [特許文獻2]日本特開2003-332056號公報 【發明內容】 本發明是鑑於相關問題點而開發者，其課題在提供一 種：將如蒸鍍用之附設多面之遮罩般，如具有具備多數個 狹縫之複數個開口部般之具有剛性不同的領域的金屬薄板 ，在無撓曲且將開口部等保持於所要的尺寸精度之狀態下 ，固定於簡單構造的框上之方法及裝置。 本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，是使矩形之金屬 薄板於被伸張的狀態下被固定於矩形之框上的貼框裝置， 其特徵爲：具備有：在上述框及配置於其上之上述金屬薄 板之4邊各個上，以複數個均等地定位而設置的複數個板 伸張單元，各板伸張單元具有：將金屬薄板加以夾持的夾 具、及夾具移動手段，用以移動該夾具以使該夾具將伸張 力作用於被夾持的金屬薄板上，在金屬薄板之相鄰2邊之 間的角落部附近，設置有追加板伸張單元，該追加板伸張 單元具有：將金屬薄板加以夾持的夾具、及使該夾具朝相 鄰2邊之各方向移動的夾具移動手段。 本發明是一種金屬薄板之貼框裝置！其中：追加板伸 201223324 張單元，更具有：第一基部構件、及在該第一基部構件上 平行於金屬薄板，且保持可朝伸張力附加方向上朝直角方 向移動之第二基部構件、及在該第二基部構件上，保持可 朝對金屬薄板之伸張力附加方向平行地移動之夾具支持台 ’上述夾具及將其開閉之夾具開閉機構是被保持於上述夾 具支持台上，上述夾具移動手段，是將夾具支持台及第二 基部構件連結，以使上述夾具支持台相對於第二基部構件 爲朝伸張力附加方向移動。 本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸 張單元’更具有：基部構件、及在該基部構件上可保持平 行地朝金屬薄板之伸張力附加方向移動之第一夾具支持台 、及在該第一夾具支持台上平行於上述金屬薄板，且保持 可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動之第二夾具支持台 ’上述夾具及將其開閉之夾具開閉機構是被保持於上述第 二夾具支持台上，上述夾具移動手段，是將第一夾具支持 台及基部構件連結，以使上述第一夾具支持台相對於上述 基部構件爲朝伸張力附加方向移動。 本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸 張單元’更具有：基部構件、及在該基部構件上可保持平 行地朝金屬薄板之伸張力附加方向移動之夾具支持台，上 述夾具是在上述夾具支持台上，平行於以上述夾具所夾持 的金屬薄板，且被保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向 移動’將上述夾具開閉之夾具開閉機構是被保持於上述夾 具支持台上，上述夾具移動手段，是將上述夾具支持台及 -8- 201223324 基部構件連結，以使上述夾具支持台相對於上述基部構件 爲朝伸張力附加方向移動。 根據本發明的話，將金屬薄板之4邊分別由複數個夾 具夾持，並將伸張力作用於金屬薄板上，來使金屬薄板作 成無歪斜或撓曲的狀態之際，夾持金屬薄板的角落部附近 之夾具，可朝向與伸張方向成直角的方向移動，因此挾持 角落部而配置的夾具不會互相干涉，故金屬薄板的角落部 亦可拉伸到預定之位置。將金屬薄板保持在無歪斜或撓曲 之狀態，且亦包括角落部在內可位於預定之尺寸精度範圍 內，因而可在該狀態下固定於框。如此一來，將金屬薄板 固定於框上形成的金屬薄板，金屬薄板爲保持在無歪斜或 撓曲之狀態、且金屬薄板內之各部之位置（例如，具有複 數個開口部之金屬薄板中之各開口部的位置），亦包括角 落部在內而保持在預定之尺寸精度範圍內，使用該金屬薄 板而例如進行蒸鍍時，可正確地進行微細圖型之蒸鍍。 【實施方式】 第1實施形態 本發明適用於必須保持歪斜或撓曲之平坦狀態的任意 之金屬薄板，尤其是適用於作爲要求精密度之有機EL元 件製造用之蒸鍍用附設多面遮罩而使用的金屬薄板較佳。 以下，將舉有機EL元件製造中作爲蒸鍍用附設多面遮罩 而使用的金屬薄板爲例，而說明本發明之較佳實施形態 第1圖是本發明之第1實施形態的金屬薄板的貼框裝 -9- 201223324 置之槪略平面圖/第2圖是顯示藉由該貼框裝置進行貼框 動作之程序的槪略剖面圖，第3圖是顯示該貼框裝置所處 理的金屬薄板及框之槪略立體圖，第4圖是顯示貼框後之 金屬薄板及框之槪略立體圖，第5圖是顯示將該貼框裝置 中的板伸張•框押壓單元、夾具打開的狀態之槪略側面圖 ，第6圖（a) 、（b)是顯示該板伸張•框押壓單元、在 不同的作動狀態下之槪略側面圖。 第3圖中，符號11是作爲蒸鍍遮罩來使用的矩形金 屬薄板，其中，具有多數個狹縫12a的開口部12形成複 數個、且縱橫地並列。符號13是安裝金屬薄板11用的金 屬製之框，具備有包含形成金屬薄板11之多數個開口部 1 2之領域大小的開口部1 4。金屬薄板1 1在縱橫兩方向均 作成比框13更大的尺寸，在大致對應於框13之外周緣的 位置上，形成折曲容易且可切斷的易切斷線15。而易切斷 線15具備可承受施加於金屬薄板11上的伸張力之強度。 藉由點焊焊接等將該金屬薄板11固定於框13上，藉 由利用易切斷線15將該周緣部分切斷、除去，可形成第4 圖所示之蒸鏟遮罩裝置17°在此所使用的金屬薄板Η之 厚度、開口部12之尺寸 '其上所形成的狹縫之尺寸等雖 然並未特別加以限定’但是代表性的尺寸方面’例如可爲 :金屬薄板11之厚度爲30〜200μηι’開口部12之尺寸是 長度爲 50〜70mm ’寬度爲 30〜50mm ’狹縫之寬度爲 50~100μηι，構成狹縫之金屬細線的寬度爲1〇〇〜150μιη。 第1圖中，全體以參考符號20表示的金屬薄板之貼 -10- 201223324 框裝置，具備有：配置於既定位置上之矩形框13及配置 於其上的金屬薄板11之各個4邊上複數個均等並列地設 置之板伸張•框押壓單元21、及保持該板伸張•框押壓單 元21的支持軌道22。支持軌道22平行於配置在既定位置 上之金屬薄板11之各邊而配置。各板伸張•框押壓單元 21保持可移動於該支持軌道22上，沿著該支持軌道22移 動到所要位置，且爲可固定於該位置上的構造。 各板伸張•框押壓單元21，如第5圖、第6圖所示， 具備有：可移動於支持軌道22上且可保持在所要位置上 固定之形態的支持台24、在該支持台24上經由直動導件 25朝水平且在金屬薄板11之邊11a上可保持朝直角方向 移動之移動台26、設置於該移動台26上來夾持金屬薄板 11之夾具27，爲具備有固定於移動台26上之固定爪2 7a 及可對該固定爪27a開閉的可動爪2 7b之夾具27、使該夾 具27以經由肘節關節28開閉的方式所設置的空氣氣缸等 之壓缸裝置29、使移動台26相對於支持台往復移動的方 式而設置的空氣氣缸等之壓缸裝置30、固定於支持台24 上的補助支持台32、在該補助支持台32上經由直動導件 33而保持與移動台同方向地移動之框押住構件34、使該 框押住構件34對支持台24及補助支持台32往復移動的 方式所設置的空氣氣缸等之壓缸裝置35、及以限制移動台 26的前進位置（移動台26朝向金屬薄板11之中心的方向 移動之際的移動界限位置）及框押住構件34的後退位置 (框押住構件3 4從框1 3朝向遠離的方向移動之際的移動 -11 - 201223324 界限位置）的方式所設置的止板3 6等。 連結到移動台26的壓缸裝置30，如第6 ( b )圖所示 ，是使其活塞桿30a伸出的方式而作動時使移動台26向 箭頭記號A方向移動，使箭頭記號A方向之伸張力作用 於以夾具27夾持的金屬薄板11上者，是使伸張力作用於 以夾具27夾持的金屬薄板11上的方式而構成移動該夾具 的夾具移動手段。框押住構件34，是爲具備有支持框13 的支持面34，同時夾具27在朝向與施加於金屬薄板11上 的伸張力之方向A爲相反方向的箭頭記號B方向移動時， 可將箭頭記號B方向的押壓力作用在框13上之構造。 在此’從上方看金屬薄板11及框13的狀態，框押住 構件3 4將押壓力作用在框1 3上之領域，是框1 3之中的 夾具27在重疊於伸張金屬薄板11的領域之領域上（對應 的領域上）’以可產生箭頭記號B方向的彈性變形之方式 而設定者。較佳爲，框押住構件34將押壓力作用於框13 上之領域的中心，是夾具27爲重疊於將金屬薄板11伸張 之領域的中心之位置的方式而設定。連結到框押住構件34 的壓缸裝置35，是使其活塞桿35a以伸出的方式來作動時 ’使框押住構件34朝向箭頭記號B方向移動，來使與賦 予金屬薄板11上的伸張力爲相反方向之押壓力作用在框 13上者’框押住構件是構成：使押壓力作用於上述框上的 方式’而移動上述框押住構件的框押住構件移動手段。 第1圖中，金屬薄板1 1之4邊1 1 a所分別設置的複 數個板伸張•框押壓單元21，是配置與位於預定位置的金 -12- 201223324 屬薄板1 1之開口部1 2及非開口部1 2b成對應，分別設置 之夾具27的寬度，是使金屬薄板11之開口部12並列的 領域及無開口部之領域，可良好地分別伸張之方式而決定 。藉由此構成，可使金屬薄板11之開口部12朝縱方向並 列的領域及朝橫方向並列的領域，及在無開口部之位置上 朝縱方向延伸之領域及朝橫方向延伸的領域，分別使用個 別的夾具27而良好地伸張。 複數個板伸張•框押壓單元21上分別所設置的伸張 力賦予用之壓缸裝置30(參照第5圖、第6圖）中，是以 個別調整伸張力的方式，經由調節器而接續到作動流體供 給配管。並且，該作動流體供給配管中，是以可使全部之 壓缸裝置同時作動的方式，而設置共同的開閉閥，而且使 各壓缸裝置之作動時序可分別地調整的方式，亦在連到各 壓缸裝置的作動流體供給配管中設置速度控制器。複數個 板伸張•框押壓單元21上分別所設置的押壓力賦予用之 壓缸裝置3 5，亦接續到作動流體供給配管。在該作動流體 供給配管，是以可同時調整全部的壓缸裝置35之押壓力 的方式，而設置共同的調節器。而，該作動流體供給配管 ’亦以可個別調整各壓缸裝置35所致之押壓力的方式， 而設置調節器。 但是，雖然上述板伸張•框押壓單元21，是持有將金 屬薄板1 1伸張的板伸張功能、及將框1 3押壓的押壓功能 之一體構造，但是亦可使持有由固定爪27a、夾具27、及 壓缸裝置29,30所構成的板伸張功能之板伸張單元21a、 -13- 201223324 及由框押住構件34及壓缸裝置35所構成的框押住單元 21b各自獨立地設置。 其次’將說明使用上述構成之貼框裝置20對金屬薄 板的框之安裝動作。在打開各板伸張.框押壓單元21的 狀態（參照第5圖）下，使框13承靠於框押住構件34上 ’在其上放置金屬薄板11，並使用複數個夾具27將其4 邊加以夾持。該狀態是爲第1圖、第2(a)圖及第6(a )圖所示的狀態。其次，如第6 ( b )圖所示，將作動流體 供給到伸張力賦予用之壓缸裝置3 0中，來使活塞桿3 0 a 伸出，以使夾具27朝箭頭記號A方向移動，來使伸張力 作用於金屬薄板11上。因而，如第1圖所示，金屬薄板 1 1藉由多數個夾具27而向縱橫兩方向伸張。在此狀態下 ’以目視檢査金屬薄板11的表面狀態，若有歪斜或撓曲 的話，調整連結到將該領域伸張之夾具2 7的壓缸裝置3 0 之作動流體壓力，而調整成使金屬薄板11爲無歪斜或撓 曲之平坦狀態、且開口部1 2之狹縫1 2平行地排列的狀態 。並且，檢查形成於金屬薄板11之各開口部12的位置， 使各開口部進入預定尺寸精度、內的位置之方式，而調整各 壓缸裝置30的作動流體壓力。依上述，可作成使金屬薄 板1 1爲無歪斜或撓曲之平坦狀態，且使各開口部位於預 定尺寸精度範圍內的狀態。
其次，如第6 ( b )圖所示，將作動流體供給到押壓力 賦予用之壓缸裝置35中，來使活塞桿35a伸出，以使框 13朝箭頭記號B方向押壓。在此，使框13朝箭頭記號B -14- 201223324 方向押壓的押壓力，是事先設定爲大致等於夾具27作用 於金屬薄板11上的伸張力。因而，框13朝箭頭記號B方 向彈性變形，來產生相反方向的復原力。在此狀態下，如 第2(b)圖所示，使用雷射焊接機40將金屬薄板11點焊 於框1 3上。該點焊是將雷射焊接機40依序地在所要的點 焊位置進行移動。因而，金屬薄板11之複數個地點藉由 點焊焊接部42 (參照第1圖）而固定於框1 3上。其後， 如第2(c)圖所示，打開夾具27而解除對金屬薄板11之 夾持，使框押住構件34後退而解除對框13之押壓。 然而，藉由夾具27將金屬薄板11朝向箭頭記號A方 向伸張之時在該金屬薄板11上產生箭頭記號B方向之伸 張力（復原力）。因此，打開夾具27之時，如第2(d) 圖所示，在金屬薄板Π上所產生箭頭記號B方向之伸張 力，爲直接作用於框13上，而使框13朝向箭頭記號B方 向伸張。若，對框1 3未施加絲毫的押壓力之時，該框1 3 藉由本身的剛性而支撐金屬薄板11之箭頭記號B方向的 伸張力，此時框13藉由金屬薄板11而朝向箭頭記號B方 向伸張而產生彈性變形。雖然事先將框1 3的剛性設定爲 極大之時，該彈性變形爲幾乎可忽略之微小項目，但是實 際應用上爲了輕量化、降低成本等，不得不將框1 3的剛 性作成小某程度，此時，產生無法忽略的彈性變形，伴隨 於此，金屬薄板11收縮，使內部已產生的伸張力降低》 因而，金屬薄板11產生歪斜或撓曲，且各開口部12之狹 縫12a之平行度會走樣，而無法獲得所要的狹縫圖型，或 -15- 201223324 者各開口部1 2之位置變成走樣。 相對於此，本實施形態中，將金屬薄板11固定於框 13上之際，使箭頭記號B方向的押壓力作用於框13上而 彈性變形，故在框13上產生箭頭記號A方向的復原力。 因此，將金屬薄板11固定於框13,在打開金屬薄板11及 框13之際，將金屬薄板11上產生朝向箭頭記號B方向的 伸張力，變成藉由框13上所產生之箭頭記號B的復原力 及框1 3的剛性而支撐，即使框1 3的剛性爲小之時，框1 3 亦不會在金屬薄板11上伸張而朝向箭頭記號A方向更進 一步地變形。從而，金屬薄板11不會收縮，使施加於金 屬薄板11上的伸張力保持原樣。如此一來，即使框13的 剛性爲小之時，亦可保持金屬薄板U於無歪斜或撓曲的 狀態，且保持各開口部於位於所要之尺寸精度範圍內的狀 態。換言之，使用剛性爲小且價廉的框1 3，可保持金屬薄 板Π於無歪斜或撓曲的狀態，且可保持各開口部於位於 所要之尺寸精度範圍內的狀態。 在此，框押住構件34施加於框13的押壓力，事先設 定爲大致等於夾具27作用於金屬薄板Π上的伸張力時， 可使金屬薄板11上的伸張力和在框13上產生的復原力抵 消，因而較佳。然而，即使.兩者或多或少有差異時，框1 3 本身具備有某個程度的剛性，因此不會有問題。可將藉由 框押住構件3 4而施加於框1 3上的押壓力，和夾具2 7施 加於金屬薄板11上的伸張力的差，事先設定爲伸張力之土 3 0%左右以內的話即可。 -16- 201223324 將金屬薄板π固定於框13上，將夾具27打開且使 框押住構件34後退而解除框的押壓之後，利用易切斷線 15將金屬薄板11的周緣部分除去。依上述’如第4圖所 示，可製造出將金屬薄板11固定於框13上所構成的蒸鍍 遮罩裝置17。在所製成的蒸鍍遮罩裝置17中，可保持金 屬薄板1 1於無歪斜或撓曲的狀態，且使各開口部1 2之狹 縫1 2a亦正確地保持於排列平行的狀態，而且各開口部1 2 的位置亦保持於所要之尺寸精度內。如此一來，藉由使用 該蒸鍍遮罩裝置17進行蒸鍍時，可正確地進行微細圖型 的蒸鍍。 而，雖然在上述的動作說明中，是使金屬薄板11藉 由多數個夾具27伸張以調整成平坦狀態之後，將押壓力 作用於框13上’但是將押壓力作用於框π上的時期並未 限定於此，藉由夾具27將伸張力作用時，亦可同時地使 押壓力作用。又，雖然在上述實施形態中，是將伸張力作 用於金屬薄板11上的壓缸裝置30和將押壓力作用於框13 上的壓缸裝置35個別地設置，但是本發明並不限定於此 ’亦可使用共同的壓缸裝置。以下，將說明此情況的實施 形態。 第7圖是顯示本發明其它實施形態的貼框裝置中所使 用中之板伸張•框押壓單元2 1A的視圖。在該板伸張.框 押壓單元21A中，支持台24A上安裝補助支持台32A，經 由直動導件33將框押住構件34A可移動地保持在補助支 持□ 32A上，使於框押住構件34A藉由連結桿而連結 -17- 201223324 到壓缸裝置30A之活塞桿30a上。壓缸裝置30A使其氣缸 3〇b被保持於保持夾具27的移動台26上。藉由此構成， 將壓缸裝置30A作動時，可使移動台26及框押住構件 34 A朝向互相遠離的方向（箭頭記號a方向及箭頭記號B 方向）及靠近之方向移動，且此時可將賦予移動台26及 框押住構件34A的力作成相同的力。而，符號55是將連 結桿50朝向圖中之右方押壓而使框押住構件34A回復到 後退位置用的彈簧。其它的構造是與第5,6圖所示的實施 形態之板伸張•框押壓單元2 1相同。第7圖所示的板伸 張•框押壓單元21A是用來取代第1圖所示的貼框裝置 20中的板伸張•框押壓單元21。 採用第7圖所示之板伸張•框押壓單元21A的貼框裝 置之中，亦使框13承靠於框押住構件34A上，在其上放 置金屬薄板11，並使用夾具27加以夾持。其次，如第7 (b)圖所示，將壓缸裝置30A使其活塞桿30a朝向伸出 的方向作動，並且將框押住構件34A朝向箭頭記號B方向 移動。因而，藉由夾具27來使伸張力作用於金屬薄板11 上，同時可將等於該伸張力大小的押壓力經由框押住構件 34 A而施加於框13上。接著，將施加在金屬薄板11的各 個4邊上分別均等地配置之複數個夾具27上之伸張力加 以調整，來使金屬薄板作成於無歪斜或撓曲的狀態，且使 各開口部作成位於預定之尺寸精度範圍內的狀態之後，將 該金屬薄板1 1點焊於框1 3上而固定。此時，在重疊於夾 具27將伸張力作用於金屬薄板1 1上之領域上的框1 3之 -18- 201223324 領域中，框押住構件34A將等於該伸張力大小的押壓力加 以作用而產生彈性變形，因此在金屬薄板1 1及框1 3上分 別產生相同大小且互成相反方向的復原力，因此，在將金 屬薄板11及框13釋放之際，金屬薄板11的復原力與框 13之復原力互相抵消，而不會有框13在金屬薄板11被伸 張而變形之事，從而，金屬薄板11不會收縮，保持施加 預定之伸張力後的狀態。如此一來，使用剛性爲小且價廉 的框13，可保持金屬薄板11於無歪斜或撓曲的狀態，且 使各開口部保持位於所要之尺寸精度範圍內的狀態。 第7圖所示之板伸張•框押壓單元21A中，藉由共同 的壓缸裝置30，可進行對金屬薄板11之伸張力賦予及對 框13之押壓力賦予，因而使裝置構造或控制系統簡單化 ，同時可使賦予金屬薄板11的伸張力與賦予框13的押壓 力作成相等，將金屬薄板Π固定於框1 3上，可更進一步 地防止隨後開放之後的金屬薄板1 1之收縮，因而可獲得 :可保持金屬薄板於無歪斜或撓曲的狀態，且使各開口部 保持於位於所要之尺寸精度範圍內之狀態的優點。 第8圖是顯示本發明又另外一個實施形態的貼框裝置 中所使用之板伸張•框押壓單元21B的視圖。在該板伸張 •框押壓單元21B中，將支持台24B的寬度擴大，在其上 面設置長的軌道57，經由直動導件25使移動台26可移動 地保持於該軌道5 7上，同時經由直動導件3 3將框押住構 件34A保持可移動。接著，使該框押住構件34B藉由連結 桿5 0B而連結到保持於移動台26上的壓缸裝置30B之活 -19- 201223324 塞桿30a上。其它構造是與第7圖所示之板伸張·框押壓 單元21B相同。在第8圖之板伸張•框押壓單元21B中， 如第8(b)圖所示，亦藉由將壓缸裝置30B作動，使移 動台26及保持於其上的夾具27朝向箭頭記號A方向移動 ，同時使框押住構件34B朝向箭頭記號B方向移動，藉由 夾具27來使伸張力作用於金屬薄板11上，同時可將等於 該伸張力大小的押壓力經由框押住構件3 4 B而施加於框 13上。該實施形態中，藉由將移動台26及框押住構件 3 4B可移動地保持於軌道57上時，可獲得構造簡單化的 優點。 第9圖是顯示本發明更另一個實施形態的貼框裝置中 所使用中之板伸張•框押壓單元21C的視圖。在該板伸張 •框押壓單元21C中，經由直動導件60將補助移動台61 可移動地保持在支持台24C上，經由直動導件25使移動 台26可移動地保持於該補助移動台61上。接著，補助移 動台61上安裝有框押住構件34C，將壓缸裝置30C之氣 缸30b安裝於移動台26上，同時將其活塞桿30a連結到 該補助移動台61上》並且，亦設置使框押住構件34C回 復到後退位置用的彈簧63。其它構造是與第7圖所示之板 伸張•框押壓單元21B相同。在第9圖之板伸張·框押壓 單元21C中，如第9(b)圖所示，亦藉由將壓缸裝置30C 作動’使移動台26及保持於其上的夾具27朝向箭頭記號 A方向移動，同時使框押住構件3 4 C經由補助移動台6 1 而朝向箭頭記號B方向移動，藉由夾具27來使伸張力作 -20- 201223324 用於金屬薄板π上，同時可將等於該伸張力大小的押壓 力經由框押住構件34C而施加於框1 3上。該實施形態中 ，藉由將補助移動台61及移動台26重疊地配置，可獲得 使板伸張•框押壓單元21C之寬度被作成小的優點。 P24 第10圖是本發明之更另一實施形態的貼框裝置20D 之槪略平面圖。本實施形態的貼框裝置20D中，位於預定 位置上的金屬薄板11之各個4邊上，配置複數個板伸張 •框押壓單元21。並且在金屬薄板11之相鄰2邊11a間 的角落部lib上配置追加板伸張•框押壓單元21d，其它 構造是與第1圖之實施形態相同。在第10圖所示的實施 形態中，亦藉由各板伸張•框押壓單元21及追加板伸張 •框押壓單元21d之夾具27而夾持金屬薄板11，伸張後 調整爲平坦，並固定於押壓狀態之框上。此時，將金屬薄 板11首先藉由配置在角落部11b之追加板伸張.框押壓 單元21d的夾具27向對角線方向拉緊，其次，藉由4邊 的板伸張•框押壓單元21向縱橫兩方向伸張。依此方式 ，首先，將金屬薄板11的4個角落部lib向對角線方向 拉緊時，可使金屬薄板11全體被拉伸，同時將角落部lib 配置在夾住位置的夾具2 7之間的干涉作成小之時，可使 縱橫兩方向的拉伸力作用在金屬薄板11全面上。因而， 可獲得··可保持金屬薄板於毫無歪斜或撓曲的狀態，且使 開口部1 2保持於位於所要之尺寸精度的位置之優點。 而，亦可使角落部lib之追加板伸張.框押壓單元 2 1 d，由僅具有板伸張功能的板伸張單元來取代。 201223324 以上，雖然已說明本發明的較佳實施形態，但是本發 明並不限定於該等之實施形態，在專利申請範圍所記載的 範圍內可作種種變更。例如，將伸張力作用於夾具所夾持 的金屬薄板上的方式而移動該夾具的夾具移動手段，或框 押住構件將押壓力作用在上述框上的方式，而使上框押住 構件移動的框押住構件移動手段，並不限定於實施形態所 示的壓缸裝置，亦可變更爲利用馬達者。並且，在上述實 施形態中，供給到分別賦予伸張力到複數個板伸張•框押 壓單元21及追加板伸張•框押壓單元21d的夾具27上之 壓缸裝置30的作動流體壓力，可個別地調整，各夾具27 將賦予金屬薄板11的伸張力作成可個別調整。該構成可 精密地調整施加於金屬薄板11上的伸張力，因此即使在 容易產生歪斜或撓曲之金屬薄板11上，亦可獲得可保持 伸張成極爲平坦的狀態之優點。然而本發明並不限定於此 構成，例如，使用比較容易地保持於伸張成平坦狀態的金 屬薄板11之情形，將配置於各邊11a上之複數個夾具27 ，例如亦可將對應於開口部1 2的夾具作爲第1組，將對 應於非開口部12b的夾具作爲第2組的方式，而區分成複 數個組，而將連結到各組之夾具的壓缸裝置之作動流體壓 力作成共同地調整。 並且，配置於金屬薄板11之各邊11a的板伸張•框 押壓單元21、21B、21C等，並不一定限於將個別夾具配 置在對應於於開口部1 2及非開口部1 2b之位置上的情況 ，亦可加上將開口部及非開口部適宜地組合，而變更爲夾 -22- 201223324 持寬廣的寬度，或者可夾持更細分的領域之方式，而變更 爲使用更多的夾具。無論如何，只要因應於所使用的金屬 薄板之特性，使該金屬薄板可保持於伸張成無歪斜或撓曲 的狀態之方式，而決定板伸張•框押壓單元之夾具的使用 數或配置即可。又，在上述實施形態中，雖然分別在金屬 薄板11之4邊lla配置複數個板伸張·框押壓單元，但 是並不限定於此，亦可變更爲僅在互相對向的2邊配置複 數個板伸張•框押壓單元。但是，在此情況，較佳爲使開 口部12的狹縫平行地排列之方式，而在和狹縫同方向的 兩端上配置複數個板伸張·框押壓單元。 第2實施形態 本發明，雖然可適用於：將有保持於無歪斜或撓曲之 平坦狀態的需要之任意矩形金屬遮罩（亦稱金屬薄板）安 裝在矩形的框架（亦稱框）之情況，但是尤其以適用於作 爲要求精密度之有機EL元件製造用之蒸鍍用附設多面遮 罩的金屬蒸罩爲較佳。以下，將以機EL元件製造中作爲 蒸鑛用附設多面遮罩而使用的金屬遮罩爲例，而說明本發 明之較佳實施形態。 第20圖是藉由後述實施形態的框架安裝裝置（亦稱 金屬薄板的貼框裝置）所處理的金屬遮罩及框狀之框架之 槪略立體圖’第21圖是將金屬遮罩安裝於框架上而形成 的遮罩單元之槪略立體圖。 在第2〇圖中’符號101是作爲蒸鍍遮罩使用的直角 -23- 201223324 四邊形之金屬遮罩（亦稱金屬薄板），是將複數個遮罩部 (開口部）1 02縱橫地並列所形成。各遮罩部（開口部） 102，是爲具備有可進行蒸鍍之多數個微小的狹縫i〇2a者 。各遮罩部1 02中狹縫的形狀、配置可爲任意，例如，可 爲將細長狹縫狀之狹縫平行地並列者、將長孔狀之狹縫朝 縱方向並列同時平行地並列者等。符號103爲安裝金屬遮 罩101用的剛性大之框架，具備有：包含形成有金屬遮罩 101之多數個遮罩部102的領域（稱爲有效領域）之大小 的開口部104。金屬遮罩101是作成比框架1〇3朝向縱橫 兩方向更大的尺寸，在大致對應於框架103的外周緣之位 置上，形成可藉由折曲而容易切斷的易切斷線105。而， 易切斷線105是爲具備可承受施加於金屬遮罩101上之伸 張力的強度者。金屬遮罩101的厚度、遮罩部102的尺寸 、形成於其上之多數個微小的開口部之尺寸等，雖然並未 特別限定，但是作爲代表性者，金屬遮罩1 0 1的厚度可爲 30〜200μηι，遮罩部102之尺寸可爲長度 50〜70mm、寬度 可爲30〜50mm、狹縫102a的寬度可爲40~100μηι，平行地 配置之開口部間之無孔部分的寬度可爲80~200μηι等。金 屬遮罩101藉由點焊等而固定於框架103上，藉由利用易 切斷線105將其周緣部分切斷，除去時，可形成第21圖所 示之遮罩單元108。 第Π圖是本發明之實施形態的金屬遮罩之框架安裝 裝置的槪略平面圖，第12圖是第11圖所顯示的框架安裝 裝置之槪略剖面圖，第13圖（a) 、（b)是顯示設置在 -24- 201223324 該框架安裝裝置上之張力單元113在不同作動狀態的槪略 側面圖’第14圖（a) 、（b)是顯示該框架安裝裝置中 設置在夾持金屬遮罩之角落部附近的位置上之張力單元 I 1 3 A ’在不同作動狀態的槪略側面圖，第丨5圖是第丨4 ( b)圖之V-V箭頭方向看去之槪略正面圖。 在第11圖、第12圖中，將全體以參考符號11〇表示 的金屬遮罩之框架安裝裝置（亦稱金屬薄板之貼框裝置） ，具備有：支持台1 1 1、在該支持台1 1 1上可夾持金屬遮 罩101之各個4邊的複數個地點而施加張力之方式，而配 置的複數個張力單元113，113A。在此處，張力單元113A 是配置於夾持金屬遮罩101之角落部附近的位置上者，張 力單元113是配置於其它領域上者。 即，金屬遮罩1 0 1成矩形，在相鄰兩邊1 〇 1 a之間的 角落部l〇lb附近設置張力單元113A，張力單元113則配 置於其它領域上。 並且，亦可稱張力單元113爲板伸張單元，張力單元 II 3A亦可稱爲追加板伸張單元。 張力單元113，如第13圖放大所示，具備有：在設置 於支持台111的支持軌道114上藉由可調整安裝位置的形 態而固定之基部構件1 1 5、在該基部構件Π 5上經由直動 導件116而朝向金屬遮罩之伸張力附加方向保持可移動的 夾具支持台117、設置於夾具支持台117上而夾持金屬遮 罩101的夾具118、使夾具118開閉的夾具開閉機構Π9 、使伸張力作用於夾具118所夾持的金屬遮罩101上的方 -25- 201223324 式而使保持夾具118的夾具支持台117相對於基部構件 1 15移動的夾具移動手段123等。 夾具118具備有：固定於夾具支持台117上的固定爪 1 1 8a、及相對於其可開閉的可動爪1 1 8b。夾具開閉機構 119具備有：肘節機構120、經由該肘節機構120而將可 動爪118b開閉的壓缸裝置等之壓缸機構121。肘節機構 120具備有：在安裝於夾具支持台117上的支持板117a上 以銷120a爲中心而保持可旋轉的第1柄120b、在支持板 117a上以銷120c爲中心而保持可旋轉的第2柄12 0d、將 第1柄120b及第2柄120d連結的連桿120e等，壓缸機 構121連結到第1柄120b上，夾具1 18之可動爪1 18b在 第2柄120d上保持可轉動。又，在第2柄120d的前端安 裝有支持可動爪118b之背面的調整螺絲120f，藉由該調 整螺絲1 2 0 f，如第1 3 ( b )圖所示，使夾具1 1 8在閉位置 時，將可動爪118b的高度位置作成可調整。而，雖然圖 示省略，但是如第13 ( a )圖所示，亦設置有彈簧，將第 2柄120d向上方轉動以打開可動爪1 18b的狀態中，用以 將可動爪1 18b保持於接觸在調整螺絲I20f上的位置。利 用該些構成，藉由壓缸機構121可使第1柄120b往復轉 動來將夾具1 1 8開閉，且第1 3 ( b )圖所示之閉位置上， 可藉由固定爪118a及可動爪118b來將金屬遮罩1〇1強固 地夾持。 夾具移動手段123是爲使夾具支持台·117相對於基部 構件1 1 5作往復移動者，本實施形態中是使用空氣氣缸。 -26- 201223324 該夾具移動手段123’如第13(b)圖所示，藉由使夾具 支持台117朝向箭頭記號A方向移動，可對夾具118所夾 持的金屬遮罩101施加朝向箭頭記號A方向的伸張力。而 ，雖然在此處是使用空氣氣缸作爲夾具移動手段123,但 是並不限定於此’亦可使用油壓缸或伺服馬達等。 在基部構件115上安裝有支持框架1〇3的框架支件 125。框架支件125’是配置成：藉由在其上放置框架ι〇3 ’而使框架103定位於水平面內之既定位置上，同時框架 103的上面，在夾持於夾具118上且被賦予張力的金屬遮 罩101上大致爲相接觸的位置上，朝向上下方向亦可定位 。又’框架支件1 25，亦作爲限制夾具支持台1 i 7的前進 位置用之止件而作用。 以夾持金屬遮罩101之角落部附近的方式而配置的張 力單元113A’如第14圖、第15圖所示，具備有：在設 置於支持台111的支持軌道114上藉由可調整安裝位置的 形態而固定之第1基部構件1 1 5 A、在該第1基部構件 115A上經由直動導件127而平行於夾具118所夾持的金 屬遮罩101且相對於金屬遮罩之伸張力附加方向爲朝直角 方向保持可移動的第2基部構件115B、在該第2基部構 件115B上經由直動導件116而朝向金屬遮罩之伸張力附 加方向（與後述之夾具支持台117的移動方向爲相同方向 )保持可移動的夾具支持台117、設置於夾具支持台117 上而夾持金屬遮罩101的夾具118、具備有使夾具118經 由肘節機構120而開閉的空氣氣缸等之壓缸機構121的夾 -27- 201223324 具開閉機構119、使伸張力作用於夾具118所夾持的金 遮罩1 0 1上的方式而使保持夾具1 1 8的夾具支持台1 1 7 對於第2基部構件11 5B移動的夾具移動手段123、及 持框架103的框架支件125等。 在此處，使第2基部構件U5B藉由直動導件127 作成可相對於夾具支持台117之移動方向爲朝直角方向 動’夾具支持台117及保持於其上的夾具118，可朝向 張力附加於金屬遮罩101的方向A及與其爲直角的B-B 向移動。而，在第1基部構件115A與第2基部構件11 之間，設置有位置復歸彈簧，B-B方向的力作用於第2 部構件115B之時，可容許第2基部構件115B之移動， 力消失時則回復到原來的中央位置。框架支件125保持 第1基部構件11 5A上。其它構造上，是與第13圖所示 張力單元1 1 3相同。 第11圖、第12圖中，張力單元113,113A，是使金 遮罩101之各邊分別藉由複數個張力單元113,113A夾 且在該邊上可使張力朝直角方向施加的方式地配置。又 夾持金屬遮罩101之各邊的方式而配置的複數個張力單 113，113A之夾具118，是在金屬遮罩101之遮罩部102 非遮罩部102b上整體配置，從而，在形成金屬遮罩1 之遮罩部1 02的縱方向上延伸的領域及橫方向延伸的領 ，及無遮罩的縱方向上延伸的領域及橫方向延伸的領域 分別可藉由各自的夾具118而伸張而賦予張力。 是使賦予金屬遮罩1 〇 1的張力可個別調整的方式， 屬 相 支 而 移 伸 方 5B 基 該 於 的 屬 持 » 元 及 0 1 域 > 而 -28- 201223324 在複數個張力單元113,113A上分別所設置的夾具移動手 段123上，設置有藉由夾具移動手段123之驅動力而進行 個別調整的調整手段（未圖示）。更具體上，在構成夾具 移動手段123的空氣氣缸接續空氣供給配管，該空氣供給 配管中設置有可將各空氣氣缸的供給壓力個別地調整之調 節器以作爲調整手段。而，使全部的張力單元113之夾具 移動手段（空氣氣缸）123可同時作動的方式，而在連結 到該些空氣氣缸的空氣供給配管中，經由共同的開閉閥而 供給空氣，並且以可調整各空氣氣缸的作動時序之方式， 在各空氣氣缸的空氣供給配管中亦可設置速度控制器。 其次，將說明上述構成的金屬遮罩之框架安裝裝置 110的金屬遮罩安裝動作。如第13圖（a)、第14圖（a )所示，將夾具支持台117位於前進位置，且在打開夾具 118的狀態下，首先，將框架103保持在複數個張力單元 113，113A之框架支件125上，其次，在其上放置金屬遮罩 101，使其4邊藉由複數個張力單元113之夾具118而加 以夾持。此時，使用複數個定位銷（未圖示）事先使金屬 遮罩101對框架103定位。其次，將加壓空氣輸送到連結 於各夾具支持台117上的夾具移動手段（空氣氣缸）123 ，來使各夾具Π8從金屬遮罩1〇1分離的方向移動，在金 屬遮罩101上藉由多數個夾具而向縱橫兩方向施加小的伸 張力，以將金屬遮罩1 〇 1作成輕微張開的狀態，在該狀態 下卸下定位銷，其後，在金屬遮罩101上施加大的伸張力 。該狀態是爲第1 3圖（b )、第1 4圖（b )所示的狀態。 -29- 201223324 而，即使從金屬遮罩101上卸下定位銷時，金屬遮罩101 相對於框架103的位置並不變動，因而可保持相對於金屬 遮罩101之框架103於所要的定位精度。 如上述，藉由配置於金屬遮罩101之4邊的張力單元 113，而分別夾持金屬遮罩101之4邊，施加伸張力時， 如第11圖所示，金屬遮罩101藉由多數個夾具118而向 縱橫兩方向伸張。在該狀態下，以目視檢查金屬遮罩1 0 1 之表面狀態，若有歪斜或撓曲的話，將連結到伸張該領域 的夾具118的夾具移動手段（空氣氣缸）123之作動流體 壓力進行調整，而調整成可保持金屬遮罩101於無歪斜或 撓曲的平坦狀態，且使遮罩部1 02之開口部爲平行地排列 的狀態。並且，檢査形成於金屬遮罩101上之各遮罩部 102的位置，使各遮罩部1〇2進入預定的尺寸精度內之位 置的方式，而調整各夾具移動手段（空氣氣缸）123之作 動流體壓力。該調整動作之際，如第16圖所示，夾持金 屬遮罩101之角落部且配置於其附近的張力單元113A， 113A，夾具118, 118將箭頭記號A方向、箭頭記號B方向 之伸張力施加到金屬遮罩101上，因此，各張力單元 113A之夾具118所夾持的部分金屬遮罩101，藉由配置於 夾持角落部且相鄰之邊上的張力單元113之伸張力，朝向 夾具118的伸張方向之直角方向（B方向或A方向）伸張 ，該力爲作用在夾具1 18上。然而，在張力單元113 A中 ，支持夾具118的夾具支持台117(參照第14圖、第15 圖），是可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向爲朝直角方 -30- 201223324 向地移動，因而在金屬遮罩101上被伸張而移動。因此， 可使金屬遮罩101之角落部被拉伸到預定的尺寸，並可使 有效領域之角落部位於所要之點P上。如此一來，可使金 屬遮罩101作成於無歪斜或撓曲的狀態，且各遮罩部102 、包括配置於角落部之遮罩部102可位於預定之尺寸精度 範圍內。 其次，在該狀態下，如第12圖所示，使用雷射焊接 機130將金屬遮罩101點焊到框架1〇3上。該點焊是使雷 射焊接機130依序地在所要的點焊位置進行移動。因而， 金屬遮罩101之複數個地點藉由點焊焊接部132(參照第 11圖）而固定於框103上。其後，打開夾具118而解除對 金屬遮罩101之夾持，金屬遮罩101之周緣部分利用易切 斷線105而除去。因而，如第21圖所示，可製成將金屬 '遮罩101固定於框架103上之構成的遮罩單元108。在所 製成的遮罩單元108中，保持金屬遮罩10〗於無歪斜或撓 曲的狀態，且使各遮罩部1 02之開口部正確地保持於平行 地排列的狀態，並且各遮罩部1 02之位置亦保持於預定之 尺寸精度內。如此一來，使用該遮罩單元108進行蒸鍍時 ，'可正確地進行微細圖型之蒸鍍。例如，將玻璃基板等的 被蒸鍍基材安裝在該遮罩單元108上，設置蒸鍍機，藉由 進行有機EL元件之有機層或陰極之蒸鍍，可使微細圖型 之蒸鍍在位置精度良好情況下進行，故可形成高品質之有 機層或陰極。 而，在上述實施形態中，使夾具1 1 8相對於金屬遮罩 -31 - 201223324 的伸張力附加方向爲朝直角方向地移動的張力單元 ，雖然是1個配置於各邊之角落部上最近位置，但 單元113A之設置個數可適宜地增減，視情況而定 將所有的張力單元作爲張力單元113A。並且，在 施形態中，雖然張力單元113A爲了將夾具118作 於金屬遮罩的伸張力附加方向爲朝直角方向地移動 保持夾具支持台117或夾具移動手段123的第2基 1 1 5 B，作成相對於伸張力附加方向爲朝直角方向地 但是本發明並不限定於此，只要至少夾具118可相 張力附加方向爲朝直角方向移動的話即可。以下， 本發明中可使用的張力單元之另一例。 第17圖所示之張力單元113B，在第13圖所 力單元113中是將夾具支持台117分割成上下之第 支持台11 7A及第2夾具支持台11 7B，在兩者之間 動導件134，將第2夾具支持台117B作成平行於夾 所夾持的金屬遮罩101且可相對於金屬遮罩的伸張 方向爲朝直角方向移動，將夾具118及夾具開閉機 保持於第2夾具支持台117B上，並將夾具移動手 連結到第1夾具支持台1 1 7 A者。而，亦設置有： 夾具支持台11 7B相對於第1芦具支持台11 7A復歸 位置的位置復歸彈簧（未圖示）。其它的構造，是！ 圖所示之張力單元113相同。該張力單元113B中 1 1 8亦爲可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向爲朝 向地移動，因此藉由將其使用於夾持金屬遮罩101 :1 1 3 A 是張力 ，亦可 上述實 成相對 ，而將 部構件 移動， 對於伸 將說明 示之張 1夾具 設置直 具118 力附加 構119 段123 使第2 到中央 吳第13 ，夾具 直角方 之角落 -32- 201223324 部附近時，可使金屬遮罩101之角落部毫無障礙地被拉伸 到預定之尺寸位置。 第18圖、第19圖所示之張力單元113C，可使夾具 118A相對於固定爪118Aa及固定爪118Aa而構成經由銷 136可轉動的可動爪118Ab，使該夾具118A相對於夾具 支持台117經由直動導件138作成平行於夾具118A所夾 持的金屬遮罩101且可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向 爲朝直角方向移動。而，亦設置有：使夾具118A相對於 夾具支持台117復歸到中央位置的位置復歸彈簧。又，在 夾具支持台117上，保持有具備將夾具11 8A開閉之肘節 機構120A及連桿機構121的夾具開閉機構119A。該肘節 機構120A具備有：在安裝於夾具支持台117上的支持板 117a上以銷120a爲中心而保持可旋轉的第1柄120b、在 支持板117a上以銷120c爲中心而保持可旋轉的第2柄 120d、將第1柄12 0b及第2柄120d連結的連桿120e等 ，壓缸機構121連結到第1柄12 0b上，在第2柄120d上 安裝有將夾具11 8A之可動爪118 Ab推壓到閉位置用的調 整螺絲120g。該調整螺絲120g，如第18 ( b )圖所示，亦 作成將夾具118A位於閉位置時之利用可動爪118Ab之鎖 緊力而可調整。並且，爲了與第2柄12 0d之往復轉動連 動而將可動爪1 1 8 Ab開閉，使兩者連結的方式亦設置有扭 轉螺旋彈簧140。其它之構造與第13圖所示的張力單元 113相同。在該張力單元11 3C中，夾具11 8C亦爲可相對 於金屬遮罩的伸張力附加方向爲直角方向地移動，因此藉 -33- 201223324 由將其使用於夾持金屬遮罩101之角落部l〇lb附近時， 可使金屬遮罩101之角落部毫無障礙地被拉伸到預定之尺 寸位置。 如上述，雖然已說明本發明之較佳實施形態，但是本 發明並不限定於這些實施形態，在申請專利範圍內可作種 種變更。例如，在上述實施形態中，供給到分別將伸張力 賦予複數個夾具118上的夾具移動手段（空氣氣缸）123 中的作動流體壓力，作成可個別調整，以使各夾具18賦 予金屬遮罩1 0 1的伸張力可個別調整。該構成可精密地調 整施加於金屬遮罩101上的伸張力，因此即使在容易產生 歪斜或撓曲之金屬遮罩101上，亦可獲得可保持伸張成極 爲平坦的狀態之優點。然而本發明並不限定於此構成，例 如，使用比較容易地保持於伸張成平坦狀態的金屬遮罩之 情形，將配置於各邊之複數個夾具，例如亦可將對應於遮 罩部的夾具作爲第1組，將對應於非遮罩部的夾具作爲第 2組的方式，而區分成複數個組，而將連結到各組之夾具 的壓缸裝置之作動流體壓力作成共同地調整。 並且，配置於金屬遮罩101之各邊的張力單元113、 113A (或113B、113C)，並不一定限於將個別夾具118 在分別吻合於遮罩部102及非遮罩部102b的位置上之方 式來配置情況，亦可加上將遮罩部1 〇 2及非遮罩部1 〇 2 b 適宜地組合，而變更爲夾持寬廣的寬度，或者可夾持更細 分的領域之方式，而變更爲使用更多的夾具。無論如何， 因應於所使用的金屬遮罩之特性，使該金屬遮罩可保持於 -34- 201223324 伸張成無歪斜或撓曲的狀態之方式，而決定張力單元（之 夾具）的使用數或配置即可。 又’雖然已分別各個地說明上述第1實施形態及第2 實施形態，但是因應於需要亦可將第1實施形態及第2實 施形態組合。 例如，亦可使用在第2實施形態中之第1 1圖所示的 張力單元113A，用來取代第1實施形態之第10圖所示的 追加板伸張•框押壓單元21d。 【圖式簡單說明】 第1圖是本發明之第1實施形態的金屬薄板之貼框方 法及裝置之槪略平面圖。 第2圖是顯示藉由第1圖所示之貼框裝置進行的貼框 動作之程序的槪略剖面圖》 第3圖是顯示藉由第1圖所示之貼框裝置所處理的金 屬薄板及框之槪略立體圖。 第4圖是顯示貼框後之金屬薄板及框之槪略立體圖。 第5圖是顯示將使用於第1圖之貼框裝置中的板伸張 •框押壓單元、夾具打開的狀態之部分剖面槪略側面圖。 第6圖（a) 、（b)是將顯示第5圖所示之板伸張· 框押壓單元、框關閉的狀態及不同的作動狀態之部分剖面 槪略側面圖。 第7圖（a )、（ b )是將其它實施形態中所使用之板 伸張•框押壓單元、夾具關閉的狀態及不同的作動狀態之 -35- 201223324 部分剖面槪略側面圖。 第8圖（a) 、（b)是將更另外實施形態中所使用之 板伸張•框押壓單元、夾具關閉的狀態及不同的作動狀態 之部分剖面槪略側面圖。 第9圖（a) 、（b)是將又另外實施形態中所使用之 板伸張•框押壓單元、夾具關閉的狀態及不同的作動狀態 之部分剖面槪略側面圖。 第10圖是本發明之更另外實施形態的金屬薄板之貼 框裝置之槪略平面圖。 第11圖是本發明之第2實施形態的金屬遮罩（金屬 薄板）之構架安裝裝置（貼框裝置）的槪略平面圖。 第12圖是第11圖所顯示的框安裝裝置之槪略剖面圖 〇 第13圖（a) 、（b)是顯示設置在第11圖所顯示的 框安裝裝置上之張力單元，在不同作動狀態的槪略側面圖 第14圖（a) 、（b)是顯示設置在第11圖所顯示的 框安裝裝置上之張力單元，在不同作動狀態的槪略側面圖 〇 第15圖是第14(b)圖之V-V箭頭方向看去之槪略 正面圖。 第16圖是說明將第11圖所顯示的框安裝裝置中之金 屬遮罩的角落部領域，藉由複數個張力單元伸張之狀態的 槪略平面圖。 -36- 201223324 第17圖（a ) 、（ b )是顯示另外實施形態中所使用 的張力單元在不同作動狀態之部分剖面槪略側面圖。 第1 8圖（a )、（ b )是顯示更另外實施形態中所使 用的張力單元在不同作動狀態之部分剖面槪略側面圖。 第19圖（a) 、（b)是顯示第18圖所示之張力單元 的夾具及其附近的部分之槪略正面圖及槪略側面圖》 第20圖是金屬遮罩及框狀的框之槪略立體圖。 第21圖是將金屬遮罩安裝於框上而形成的遮罩單元 之槪略立體圖。 第22圖是顯示將附設多面的蒸鍍遮罩的兩端，分別 藉由1個夾具而夾持且伸張的狀態之槪略平面圖。 第23圖是顯示以往的附設多面蒸鍍遮罩的1例之槪 略立體圖。 【主要元件符號說明】 11 :金屬薄板 11a，101a:金屬薄板之邊 12 :開口部 12a :狹縫 13.103 :框 14.104 :開口部 15，105 :易切斷線 17 :蒸鍍遮罩裝置 20,20D :貼框裝置 -37- 201223324 21，21A，21B，21C:板伸張•框押壓單元 2 1 a :板伸張單元 2 1 b :框押住單元 22 :支持軌道 24,24A，24B，24C :支持台 2 5 :直動導件 2 6 ·移動台 27，118 :夾具 27a :固定爪 27b :可動爪 2 8 :肘節關節 29,3 0,3 5,3 0A，30B,30C:壓缸裝置 30a,35a ：活塞 30b :氣缸 3 2,3 2A :補助支持台 3 4,3 4A,34B,34C ：框押住構件 25,33,60 :直動導件 36 :止板 40，150 :雷射焊接機 42,1 32 :點焊焊接部 5 0，5 0 B :連結桿 5 5 :彈簧 57 :軌道 6 1 =補助移動台 -38- 201223324 21d:板伸張•框押壓單元 1lb，101b :角落部 101 :金屬遮罩 102b :非遮罩部 1 0 2 :遮罩部 103 :框架 104 :開口部 1 08 :遮罩單元 1 1 1 :支持台 113，113A，113B，113C:張力單元 1 1 4 :支持軌道 1 1 7 :夾具支持台 1 17A :第1夾具支持台 117B:第2夾具支持台 1 1 5 :基部構件 1 1 6 :直動導件 1 1 8,1 1 8A :夾具 119，119A :夾具開閉機構 123:夾具移動手段 1 1 8a, 1 1 8 Aa ：固定爪 1 1 8b，1 1 8Ab :可動爪 120，120A :肘節機構 1 2 1 :壓缸機構 120b :第1柄 -39- 201223324 120d ：第 2 120e :連桿 120a, 120c, 1 20f, 1 20g ： 1 10 :框架: 125 :框架: 1 1 5 A :第 1 115B ：第 2 127,134,13 1〇lb :角落 柄 136 :銷 調整螺絲 安裝裝置 支件 基部構件 :基部構件 8 :直動導件 部 -40