JP2018145464A - マスク製造装置及びマスク製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- メタルマスクシートをメタルマスクフレームに取り付けることによりメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、
第1エアシリンダと、
前記第1エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を制御する第1電空レギュレータと、
第1固定グリップ部と第1可動グリップ部とを有し、前記第1エアシリンダの空気圧により前記第1可動グリップ部を前記第1固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの一端部を前記第1固定グリップ部と前記第1可動グリップ部とで挟持する第1挟持部と、
第2エアシリンダと、
前記第2エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を制御する第2電空レギュレータと、
第2固定グリップ部と第2可動グリップ部とを有し、前記第2エアシリンダの空気圧により前記第2可動グリップ部を前記第2固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの他端部を前記第2固定グリップ部と前記第2可動グリップ部とで挟持する第2挟持部と、
前記メタルマスクシートの形態に基づいて前記第1電空レギュレータ及び前記第2電空レギュレータを制御することにより、前記第1挟持部及び前記第2挟持部による前記メタルマスクシートの挟持力を変更する挟持力変更部と、
前記第1挟持部に挟持された前記メタルマスクシートの一端部と前記第2挟持部に挟持された前記メタルマスクシートの他端部とを互いに離間させる方向に移動させることにより、前記メタルマスクシートに所定の張力を付与する張力部と、
前記張力部により前記所定の張力が付与された前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに取り付ける取付部と、
を備えることを特徴とするマスク製造装置。 - 前記挟持力変更部は、前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも1つに基づいて前記挟持力を変更することを特徴とする請求項1記載のマスク製造装置。
- メタルマスクを製造するマスク製造方法であって、
メタルマスクシートの形態を取得する取得工程と、
前記取得工程において取得した前記メタルマスクシートの形態に基づいて、第1電空レギュレータによる第1エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力及び第2電空レギュレータによる第2エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を調整する調整工程と、
前記調整工程において調整された前記第1エアシリンダの空気圧により第1可動グリップ部を第1固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの一端部を前記第1固定グリップ部と前記第1可動グリップとで挟持する第1挟持工程と、
前記圧力制御工程において制御された前記第2エアシリンダの空気圧により第2可動グリップ部を第2固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの他端部を前記第2固定グリップ部と前記第2可動グリップとで挟持する第2挟持工程と、
前記第1挟持工程において挟持された前記メタルマスクシートの一端部と前記第2挟持工程において挟持された前記メタルマスクシートの他端部とを互いに離間させる方向に移動させることにより、前記メタルマスクシートに所定の張力を付与する張力付与工程と、
前記張力付与工程において前記所定の張力が付与された前記メタルマスクシートをメタルマスクフレームに取り付ける取付工程と、
を含むことを特徴とするマスク製造方法。 - 前記調整工程は、前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも1つに基づいて前記圧力を調整することを特徴とする請求項3記載のマスク製造方法。
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