TW201135613A - Method for planning production schedule of equipment and associated computer readable medium - Google Patents

Description

201135613 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種規劃一機台之生產排程的方法，尤指一種 允許生產延遲以規劃一機台之生產排程的方法及相關的電腦可讀媒 巷會0 【先前技術】 在半導體機台生產晶圓的過程中，半導體機台在以下三種情況 下需要進行換酸（acidreplacement)的動作：一、半導體機台維修 時；二、酸槽内的酸於該半導體機台生產一特定數量的產品後；三、 酸槽内的酸置放或使用一特定時間後。在最理想的情形下，酸槽内 的酸應該要在生產出該特定數量的產品之後才需要進行換酸的動 作，因為這樣可以使得酸具有最高的使用效率。然而，一般來說， 在規劃半導體機台之生產排_，都是盡可能的將產能排滿，而並 不會考慮職的制效相題，因此，财可能會造成酸的使用效 率低落而增加成本。請參考第1圖，第1圖為習知規劃半導體機台 之生產排程的示意圖。如第丨圖所示，若是在在規劃半導體機台之 生產排程時盡可能的將產能排滿，職可能會在半導體機台維修前 不久的時㈣’朗為酸槽⑽酸已觀來製造出該特定數量的產 时而需要進行更換’如此—來，會使得新更換雜只被用來製造批 201135613 貨B就要再因為半導體機台維修而進行更換，而降低了酸的使用效 【發明内容】 因此，本發明的目的之一在於提供一種允許生產延遲以規劃一 機台之生產排程的方法及相關的電腦可讀媒體，以解決上述有關酸 的使用效率低落的問題。 依據本發明之一實施例，一種規劃一機台之生產排程的方法包 含有：接收至少有關該機台之-製程材料更換的相關資訊；以及依 ，所接收之至少該機台之該製程材料更換的相隨訊來決定出該機 台之一目標生產排程，其中該目標生產排程中具有至少一閒置期 ^，且於制置_，職台係在可正常運作陳態下停止生產產 〇〇 〇 依據本發明之另-實補’其係揭露—種魏可讀媒體， 該電腦可賴體儲存有用來_ —機台之生顏簡—程式/且 ί 處親㈣會執打_ a㈣有關該機 :製知材料更換的相關f訊；以及依據所接收之至少 :製程材料更換的相關資訊來決定出該機台之—目標生產:程:其 2標生賴財具有至少-輕觸，且於該 機 台係在可正常運作的狀態下停止生產產品。 摘 201135613 實施方式】 請參考第2圖’第2圖為依據本發明一實施例之 體機台Μ產排㈣方法的流程圖。參考第2圖， 之生產排程的方法敘述如下： 」牛導體機台 首先，在步驟200中’流程開始。接著，在步驟2〇2 相關資訊，其中相關資訊包含有機台與批貨資訊以 二接收 資訊，舉鄕說，鮮雜㈣触含村收=败換 台是否允許生產延遲、批貨數量、以及每一批=里機 所需的時間...等等；而製程材料更換資訊包含有機台二 程材料於半導職台生產多少數量的產品後㈣彳'，I 材料置放或使用多少時間後即需要更換...等等。、、以及製程 接著，於步驟204中，依據機台與批貨資訊以及製 生產延遲的條件下’評估出所有或部分可行的生產 广。取後‘在步驟施中，使用類似—基因演算法 如thm)來對步驟辦中所列出之所有或部分可行的生產排程進 仃为析，以得到-最佳生產排程來作為轉體機台之目標生產排程。 以下將舉一例子來說明上述步驟2〇2~2〇6 :假設於步驟脱中 所接收的相關資訊中指出目前可用機台為2台機台奶以及Μ]，其 201135613 中機台Ml不允許生產延遲但機台M2允許生產延遲，需要處理7 批^八]8。〇£、？、〇，機台]\11']\42的維修時間以及酸槽 内的酸（即上述步騎述之製程材料）在機台處理麵#晶圓之後 即需要更換等資訊。則在步驟綱中所安排的生產排程其中之一可 、如第3圖所示參考第3圖，因為機台m2允許生產延遲，因此， ~T X在批^ A處理元成之後，暫時讓機台μ]有一段閒置期間π， 等到機台M2的維修時間結束後（機台M2維修時也會進行換酸的 魯動作）’再進行批貨F的處理。 此外 。月/思，如第3圖所示，批貨ρ實際上可以在閒置期間 T1内由機台M2處理完畢的，而為什麼將崎F安排在機台維修後 才進行的理由如下：假設機台M2在處理完批f a之後，酸槽内的 扯經處理過99G片晶圓了，而賴T1總共可以處理％片晶圓， 抵貨F有4〇片晶圓，縣是將批# F安排在緊接於批貨a處理（亦 即在期間T1麵行處理），齡處理完财A中的1G片晶圓之後 洗需要進行換酸（因為已達到該特定數量之_片晶圓），而在換 =酸之後’可能處理3G片晶圓之後就進人機請修時間而需要再次 / ’ _造成_個效率低落。因此，若是將批貨？安排在機 M2的轉咖之後，貞彳可以秋在細了1内需要粉猶的動 :’因此可以確實減少機台M2換酸的次數，啊亦可增加於維修 等間而更換之製程材料所生產之產品的數量。 酸的成本，但是 此外，因為將批貨F延後處理，雖然降低了換 201135613 長，降低晶圓的產出效率，因此而於導牛致機台M2的處理晶圓時間延 的生產排程進行成本分析:考中係依據每一個可行 成本以及因為設置閒置躺心考慮到因為機台閒置_所增加的 成本最低的-最佳生產触。〜的錄㈣越縣，來決定出 此外 之流程可以於一電腦可讀媒體中的電腦 私式來齡，詳細來說，請參考第4圖…電腦主機至少包含 有處理益410以及-電腦可讀媒體42〇，其中電腦可讀媒體· 可以為-硬碟或是其他的儲存裝置，且電腦可讀媒體福儲存有一 電腦程式422。當處理器·執行電腦程式422時，電腦主機彻 會執彳亍第2圖所示之步驟。 簡要歸納本發明。於本發明之規劃一機台之生產排程的方法及 相關的電腦可讀媒體，係允許在生產排程中設定一閒置期間，且於 該閒置期間，該機台係在可正常運作的狀態下停止生產產品，以減 少該機台更換製程材料的次數，並增加該機台於維修時間需更換之 製程材料所生產之產品的數量。 以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍 所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。 【圖式簡單說明】 201135613 第1圖為習知_半導體機台之生產排程的示意圖。 第2圖為依據本發明一實施例之一種規劃半導體機台之 方法的流程圖。 $' 第3圖為依據本發明一實施例之規劃半導體機台之生產排程的示音 第4圖為依據本發明—實施例之電腦可讀媒體的示意圖。 【主要元件符號說明】 200〜206 步驟 400 電腦主機 410 處理器 420 電腦可讀媒體 422 電腦程式

Claims (1)

1. 201135613 七、申請專利範圍： 1. 一種規劃一機台之生產排程的方法，包含有： 接收至少有關該機台之一製程材料更換的相關資訊；以及 依據所接收之至少賴纟之1 練程機的糊資訊來決定 出該機台之一目標生產排程，其中該目標生產排程中具有至 少-閒置期間’且於該閒置期間，該機台係在可正常運作的 狀態下停止生產產品。 2. 如申請專利範圍第丨項所述之方法，其中該機台之該製程材料更 換的相關> 此至少包含有該機台之__維修時間，以及該製程材料 2该機台生產-敎數量的產品後即需要更換的細資訊丨且決 定出該機台之該目標生產排程的步驟包含有： 將該閒置期間設置於該機台之該維修時間前，以減少該機台更換 該製程材料的次數。 σ 、 3‘ =申請專概_丨項所述之方法，其+該機台之魏程材料更 換的相關資訊至少包含有該機台之—維修時間，以及該製程材料 =该機台生產-特定數量的產^後即需要更換_關資訊;且決 疋出該機台之該目標生產排程的步驟包含有： 、 將該間置躺設置於該機台之該維料間前，以增加於該維修時 間需更換之該製程材料所生產之產品的數量。 、 201135613 • 4.如申請專利範圍第！項所述之方法，其令決定出該機台之該目標 生產排程的步驟包含有： 依據至> 賴σ之铺程材料更換的細資訊、關置期間所增 加的成本以及因為⑤置該閒置綱所減少賴程材料更換成 本，來決定出該機台之該目標生產排程。 5. -種電腦可讀媒體，其儲存有用來規劃—機台之生產排程的一程 • 摘’當該程式碼被一處理器執行時會執行下列步驟： 接收至少有關該機台之一製程材料更換的相關資訊；以及 依據所接收之至少該機台之該製程材料更換的相關資訊來決定 出該機台之-目標生產排程’其中該目標生產排程中具有至 夕閒置綱’且於該閒置躺，域台係在可正常運作的 狀態下停止生產產品。 6·如申晴專利範圍第5項所述之電腦可讀媒體，其中該機台之該製 •程材料更換的相關資訊至少包含有該機台之—維修時間，以及該 =程材料於該機台生產一特定數量的產品後即需要更換的相關 貝况，且該程式碼決定出該機台之該目標生產排程的步驟 有： 將。亥閒置_設置於該機台之該維修時間前’以減少該機台更換 該製程材料的次數。 、 7· #申睛專利範圍第6項所述之電腦可讀賴，其中該機台之該製 11 201135613 有 躺綱資訊至少包含有軸台之—轉日_，以及該 台生產—特定數量的產品後即需要更換的相關 §.且雜式碼枝出該機台之該目標生產排程的步驟包含 8. 加的成=°之該製程材料更換的相關資訊、該閒置期間所增 太，决、/及因祕置該閒置綱所減少的製程材料更換成 機台之該目標生產排程。 八、圖式：

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