201030162 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本揭示案大體上係關於基板塗佈技術之解決方案，其 涉及基板及塗層之沈積、圖案化及處理中使用之儀器、 製程及材料。其中代表性實例包括（但不限於）涉及以 下所述之應用：半導體及介電材料及裝置、矽基晶圓、 平板顯示器（諸如，TFTs )、遮罩及過濾器、能量轉換及 ❹ 儲存（諸如’燃料電池’及電池、光電電池，尤其薄膜 太陽能電池）、固態照明（諸如，LEDs及OLEDs )、磁性 及光學儲存、微機電系統（MEN1S )及奈米機電系統 (NEMS)、微光機電系統及光機電系統（NEMS)、微光 裝置及光電子裝置、透明基板、架構玻璃及汽車用玻璃、 用於金屬箔及聚合物箔及包裝以及微成型及奈米成型之 金屬化系統。更特定言之，本揭示案係關於用於基板塗 佈系統的插入設備，其包含具有一處理台之一插入元 ♦件。另外，本揭示案亦係關於用以將一插入元件插入一 處理腔室中的方法。 【先前技術】 通常’在形成塗佈系統之部件的處理腔室中，將進行 :同處理步驟可能所需之設備安裝於該處理腔室之凸緣 :、蓋上或直接安裝至該處理腔室之内部_之壁 了 執行彼等部件之維護，該腔室通常具備一可拆卸蓋為: 4 201030162 通常靜置於頂部，一般在一腔室開口上。然而，歸因於 組件之置放及尺寸，此種系統中之維護是不便且艱巨的 任務。因此，當需要維護時，在此類型之塗佈系統中長 時域之停工時間是不可避免的β另外，在執行維護之後 可能出現關於腔室開口之密封的其他問題。 【發明内容】
鑒於以上所述，本發明提供用於一基板塗佈系統之插 入設備。另外，本發明亦提供在一基板塗佈系統中插入 一插入元件之方法。 根據本揭示案之態樣’該插入設備包括：一插入元件， 其在一塗佈系統内操作，該插入元件包括一處理台，其 中該處理台經適於接收用於將一塗層塗覆至一基板之一 塗佈工具；一載體，其用於載運該插入元件；一第一定 位器，其與該載體合作以便將該插入元件插入該塗佈系 統之一處理腔室中及/或將該插入元件自該處理腔室縮 回；及一第二定位器，其用於精準定位該處理腔室内之 該插入元件。 根據本揭示案之另一態樣，提供一 系統之插入設備，該插入設備包括： 種用於一基板塗佈 一插入元件，其在 一塗佈系統内操作，該插入元件包括一處理台，其中該 處理台經適於接收用於將一 塗層塗覆至一基板之一塗佈 工具；一載體’其用於載運該插入元件 及一電單元塊， 201030162 其用於將一操作電壓提供給該處理台，該電單元塊可隨 該載體一起移動。 根據本揭示案之一額外態樣，提供一種用於一基板塗 佈系統之插入設備，該插入設備包括：一插入元件其 在一塗佈系統内操作，該插入元件包 該處理台經適於接收一塗佈工具；一載體，編= 插入凡件；一第—定位器，其與該載體合作以便執行至 ❹少將該插入元件插入一處理腔室中或將該插入元件自該 處理腔室縮回；及一第二定位器，其經適於耦接至該插 入元件，該第二定位器置放於該處理腔室内。 根據本揭示案之又一離嫌担 ι樣提供一種在一基板塗佈系 統中插入一插入元件之太、土 ^ 方法’該方法包括以下步驟：將 該插入元件布置於一載體卜. 取渡上，將一電單元塊布置於該基 板塗佈系統中’以便該雷置；城 從邊冤單7L塊可隨該載體一起移動； 及藉由位移該載體並藉以朽 精以位移該電單元塊將該插入元件 ❹ 定位至該塗佈系統之一處理腔室中。 根據本揭示案之又—態槎 匕樣，提供一種在一基板塗佈系 統中插入一插入元件之方 万去’該方法包括以下步驟：將 該插入元件布置於一載雜μ · 取趙上，將該插入元件大髏定位至 該塗佈系統之一處理腔室中. _ ^·Τ，及對該處理腔室内之該插 入元件進行精準定位。 實施例亦係關於用於進 _ 打所揭示方法且包括用於執行 每一所述方法步驟的設備^ 两部件等設備。此等方法步驟可 經由硬體組件、藉由適當 歎體程式化之電滕、該兩者之 6 201030162 任何組合或以任何其他方式執行之。此外，實施例亦係 關於藉由所述設備操作之方法或製造所述設備之方法。 其包括用於執行該設備之功能或製造該設備之部件之方 法步驟。 自所附申請專利範圍、實施方式及隨附諸圖式中更顯 而易見的是進一步之態樣、細節及優點。 【實施方式】 現將詳細參考各種實施例，其中一或多個實例圖示於 諸圖中。每一實例係以說明之方式提供且不欲視為本揭 不案之限制。舉例而言，圖示或描述為一實施例之部件 的特徵結構可使用於其他實施例上，或連同其他實施例 一起使用以產生又一實施例。其意圖在於使本揭示案包 括該等修改及變化。 在以下諸圖之描述中，相同元件符號係指相同組件。 一般而言’僅描述關於個別實施例之差別。 本揭示案之實施例提供一種用於塗佈基板之系統的插 入吸備，該插入設備具有一插入元件。該插入元件上布 置有一處理台。該處理台包括用於將一塗層塗覆至一基 板之一塗佈工具《通常，該塗佈工具可用於蒸鍍，尤其 用於金屬蒸鍍（諸如，鋁蒸鍍）。另外，該插入設備包括 用於載運該插入兀件之一載體。通常，該載體可用於將 該插入元件插入一處理腔室中、自此縮回該插入元件或 7 201030162 心⑽兩_作（亦即’插人及縮回）。通常，該插入 -件安裝於該載體上。在一些實施例中，該插入元件可 ^安裝於該載體上。根據本揭示案之實施例，該插 備匕括第-定位器及第二定位器。該第-定位器可 用於對該處理腔室内之插入元件進行大截定位。詳言 之第一定纟器與載體合作以將該插入元件插入該腔室 内’例如藉由相對於該腔室而大體定位該載趙。在一些 ❹實施例中，該第二定位器係用於對該塗佈系統内之插入 兀件進行精準定位。另外，根據本揭示案之插入設備可 包括用於將該插入元件耦接至該載體之一連結元件。 不同處理工具可配置於一插入元件上，該插入元件可 進而容易地插該入處理腔室中或自該處理腔室提取出 來。進而簡化該處理腔室中工具之操作及該塗佈系統之 操作。另外，由於該系統模組性之增強，使得使用插入 元件之塗佈系統具有高度靈活性。 φ 基於插入元件之使用，處理腔室内插入元件之定位的 精密度可能成為塗佈系統中之問題。腔室内插入元件之 精確定位對於達成基板之均勻塗佈（亦即，塗佈於該基 板上之層之均勻厚度及品質）可能具有重要性。 歸因於不同問題（諸如，安裝於插入元件上之塗佈工 具之質量）’插入元件之準確定位可能複雜化。詳言之， 對於一些處理步驟（諸如，基板之金屬塗佈）而言，待 置放於插入元件上之項目（諸如，蒸鍍器或電壓産生器） 之重量大，且使腔室内插入元件之適當置放尤其困難。 8 201030162 詳言之’在插入元件中使用金屬蒸鍍器（諸如，鋁蒸 鍵器）可能是固難的。此歸因於蒸鍛工具通常為大質量。 另外，塗料統中金屬蒸鍵通常所需之高電流變壓器之 整合是困難的。目前，基於插入元件中銘塗佈之塗佈系 統可能使料、網印刷技術得以實施，因為此方法所需之 工具相對較輕1而’與|g蒸锻相比，絲網印刷技術産 量較低由於待用之鋁膏而導致成本較高且由於必需多 個加熱台而需要較多數量之處理步禅。 ❹第la圖展示處於一開放位置上之插入設備之實施 例。第lb®展示處於一閉合位置上之插入設備之實施 例。兩個圖展示插入設備之橫向橫截面示意、圖。在該開 放位置，插入元件置放於處理腔室外。在該閉合位置， 置放該插入元件以使得處理腔室閉合且處理腔室可立即 操作。 如第1a圖中所描繪，插入元件100包括一處理台120。 ❿ 另外’插入元件100通常附著於載體丨1〇上。通常，該 載體經由第一定位器130位移。處理腔室150内布置有 一第二定位器140。通常，處理腔室15〇形成一塗佈系 統之部件。通常，插入元件100經由開口 155引入處理 腔室150中。通常，建構插入元件1〇〇以便當其置放於 操作位置時’由插入元件1〇〇自身將開口 155閉合。詳 言之’可設計插入元件100以便當插入設備處於閉合位 置時’密封處理腔室150。 在本揭示案之典型實施例中，插入設備之閉合位置藉 9 201030162 由以下操作達成：丨）將插入元件大體定位至處理腔室 中，及ii)對處理腔室内之該插入元件進行精準定位。 通常，在精衫位步驟之結尾，該處理腔室為閉合的。 詳言之’例如由於真空操作塗佈系統，所以該處理腔室 可以可密封方式閉合。 通常，為了將插入元件1〇〇引入處理腔室15〇中或自 此縮回插入元件100,通常經由第一定位器13〇藉由滑 動位移載體110。因此，可相對於處理腔室15〇大體定 位載髖110以及插入元件100。在一些實施例中第一 定位器130包括軌道（諸如，軌條、鐵道或類似物），該 軌道可置放於處理腔室15〇外且載體u〇可在該軌道上 位移以相對於處理腔室150定位插入元件1〇〇。 一旦插入兀件100置放於處理腔室150内，插入元件 1〇〇可經由第二定位器140更精確地置放於處理腔室15〇 内。另外，第二定位器14〇可包括通常置放於處理腔室 ❿ I50内之導向元件（諸如，軌條、鐵道或類似物）。在此 狀況下，插入元件1〇〇可在其上位移以便在處理腔室15〇 内精準定位插入元件1 00。 藉此，經由第一定位器及第二定位器，可將插入元件 以及處理台置放於—位置以便可便利地操作基板塗佈系 統。 藉由大趙定位器（用於插入該插入元件）與精準定位 器（用於定位塗佈系統内之該插入元件）之組合，可將 處理台極其準確地定位於處理腔室内。藉此，可達成在 201030162 基板之整個表面上以高均勻性塗佈。此組合即使在插入 元件上布置重負載之狀況下也是有效的。特定言之，當 處理台經設計用於金屬蒸鍍（諸如，鋁蒸鍍）時可能就 是此種狀況。此外’使用根據本揭示案之實施例之插入 設備，即使在維護該插入元件及其上之元件之後，或即 使調換該插入元件之後，也可能實現基板之塗佈中之高 再現性。 ❿ 在一些實施例中，第一定位器130由導向元件所組 成諸如’軌條、鐵道、輸送帶或類似物。通常，此等 導向元件配置於處理腔室15〇外部。詳言之，軌條或類 似物可經固疋至其中置放塗佈系統之設施之底盤。一般 而。，軌條經設計以支撐且位移重負載。由軌條支撐之 典f重負載為至少2喝或25嘴。通常，軌條可支推之 最大負載為3’5嘲或4嘴然而’軌條可經設計支推甚 至更大之負載。對於處理腔室（其中待由第-定位器位 • 移且支撐之負載較輕，諸如〇.5噸與2.5噸之間的負載重 量）而s，軌條可經適當設計以降低設施之成本及空間。 為了將插入元件1〇〇大艎定位於處理腔室15〇中載體 U〇可在軌條或類似物上滑動。藉此，將插入元件1〇〇 體（亦即’粗略）定位於處理腔室15〇内。另外，通 常位移70件（諸如，滾輪或滑動裝置）置放於載體110 上且輕接至第-定位器以有助於插人元件_之大 體定位。插入元件100經由第-定位器130之大體定位 的典型容差為至少±3.5咖或±7.5酿。為使塗佈系統發 201030162 揮正確功能，較高容差值亦可承受。 載體11G之大體定位所必需之機械力通常可由一驅動 系統產生。藤動力可藉由任何類型之馬達或類似物產 生。該驅動系統可置放於載错UG自身中、附於其外部 或形成第-定位器130之部件。另外，驅動系統亦可具 有置放於插入設備之不同元件上之不同部件。在一些實 施例中，將來自驅動系統之機械力叙合至載體可經 電纜載逋、牵鏈、能鏈、電纜鏈或類似物來達成。 、在一些實施例中’第4位器14G由軌條、鐵道或類 似物所組成。通常，軌條或類似物可經固定至處理腔室 150之一部分。為了定位插入元件1〇〇，插入元件i⑽可 在軌條或類似物上滑動。另外，通常，插入元件1〇〇包 括位移元件，諸如，滾輪或滑動裝置。彼等元件通常耦 接至第一定位器14〇以有助於處理腔室HQ内插入元件 00之精準疋位。插入元件100經由第二定位器之 •精準定位的典型容差為至少土〇7随或土j 2随。該精準 定位之典型容差最大可為±2 7 mm或±3 4 。 通常，m器可包括諸裝置（諸如，夾鉗或類似 物）以固定插入元件於閉合位置。藉此，可固定處理腔 室内插入元件及處理台之位置，以有助於系統之操作。 通常，第二定位器14〇置放於處理腔室15〇之底部表 面上。另外，第二定位器140可置放於類似基座之平臺， 該平臺置放於處理腔室150之底部區域。在該系統之另 一典型實施例中，第二定位器14〇經配置於處理腔室丨5〇 12 201030162 之側向區域。 為了自處理腔室15〇縮回插入元件1〇〇，通常進行以 下操作·· 〇自操作處理腔室15〇所在之位置位移插入元 牛100以及處理台120，及π)通常藉由位移載體11〇, 自處理腔至150提取插入元件100以及處理自120。兩 個操作可由第—定位器與第二定位器合作實現。視情況 地，插入元件100之縮回可藉由第一定位器130與載體 10 〇作來執行，尤其在不利用第二定位n 140之情況 下。 為了完成不同任務，可相對於載體位移插入元件。此 等任務中之-些為，例如：i)定位插入元件，以使得其 ° ’由處理腔至之開口插入或提取；耦接插入元件與 第一疋位器，或ni)位移插入元件以有助於插入元件之 操作或調換。 通常’插入元件以懸臂結構形式布置於載體上。藉此， •插入元件形式上通常具有末端藉由—凸緣支撐之突出樑 «件’該凸緣附著於㈣趙上。通常，該凸缘經設計 功能為當插入元件插入處理腔室内可操作位置上時，充 當釣口該處理腔至之工具。藉由將插入元件布置為懸臂 結構，插人元件之下留下自由空間，其有助於操作安裝 於其上之組件。 另外，該插入設備可包括一個以上插入元件。在彼狀 況下’通常將插人物布置為彼此水平對準。然而，其他 組態亦為可能的，諸如（例如）垂直布置插入元件，其 13 201030162 中-插入元件布置於其他播入元件之上。彼等插入元件 可藉由-凸緣支樓，該凸緣附著於載體上。複數個插入 %件可配置於該凸緣上’形成類似陣列之結構。不同插 入元件可包含處理台，料處理台經設利以完成同一 處理腔室内基板上之不同製程。 另外，在本揭示案之-些實施例中，插入元件以可拆 卸之方式輕接至載體。藉此，可容易地調換該插入元件， ❸且因此減少在維護布置於該插以件上組件期間，系統 之停工時間。 在一些實施例中，插入元件經由一連結元件可移動地 輕接至載體。通常’該連結元件包括具有躁動及致動器 裝置之吊掛裝X，以沿任何空間方向相對於載髏位移插 入元件》 第2圖中展示之實施例類似於第u圓及第卟圖中展 不之實施例。第2圖中展示之實施例進一步示範性地包 • 括—連結元件160，其用於將插入元件100可移動地耦 接至載體110»通常，連結元件160經調整以允許插入 元件100沿任何空間方向相對於載體110位移。 吊掛裝置165可置放於連結元件160、載體11〇或插 入元件中。通常，吊掛裝置165由用於致動插入元件1〇〇 之驅動系統及麵接器所組成。通常，吊掛裝置165中之 驅動系統係基於一空氣缸系統。其他類似裝置亦可用於 該駆動系統中。在插入設備之一些特定實施例中，吊掛 裝置165經設計以僅沿一個空間方向位移插入元件，特 201030162 別是垂直或水平方向。 經由連結元件’可便利地定位插入元件以完成不同任 務，諸如：i)定位插入元件，以使得其可經由處理腔室 之開口插入或提取；ii)耦接插入元件與第二定位器.及 ⑴）位移插入元件以有助於插入元件之操作或調換。 因此，插入元件可經由連結元件獨立於載體而定位， 增加系統之靈活性及塗佈系統内插入元件之定位的準確 度。
第3圖展示已藉由一拆卸裝置17〇自载體拆卸之插入 元件100。通常，該拆卸裝置170由可耦接至插入元件 100之一升高臂或類似物組成。第3圖展示一典型組態， 其中插入元件100自連結元件16G拆卸。藉由拆卸裝置 170,對於需要在處理腔室内維護、修理或實施不同製程 的狀況，插入元件100更易於在系統中置換。通常，拆 卸裝置170經設計以將插入元件1〇〇精確地置放於連結 元件160中》待由拆卸裝置17〇運載之負載之典型重量 為至少0.5噸或！噸。典塑負載重量可能為約i 5噸。 其他組態亦為可能的，例如，插入元件直接連結至載 體且可自其處拆卸。另一可能組態為插入元件經由一連 結元件減至載趙，且該連結元件與該載趙之間的連接 係可拆卸的。在此後一組態中，插入元件以及連結元件 一起自載體拆卸。 通常’為了可拆卸式耦接插入元件，在連結元件中可 提供導向及鎖定機構。在其他典型組態中，用於可拆卸 15 201030162 式耦接之彼等裝置可由載體中、插入元件中提供或具有 由系統之不同部件所提供之多個元件。 藉由將插入元件可拆卸式耦接至載體，可將不再能操 作之插入兀件調換為即用（ready_t〇w〇rk)插入元件。 可維護以此方式調換之插入元件，同時將該個別腔室置 放回操作中。另外，若必須改變塗佈系統之操作，亦即， 欲執行該系統之個別處理腔室或部件内的不同製程，則 可藉由紐由拆卸裝置調換插入元件而簡單改變特定處理 步驟。 在一些實施例中，插入設備進一步包括用於向處理台 提供操作電壓及電流之一電單元塊，該電單元塊可隨^ 體一起移動。在處理台包括用於金屬蒸鍍之工具的特定 情況下，該電單元通常由用於向處理台提供高電流之— 變壓器組成。該電單元可置放於載體上。作為一實例， 用於金屬蒸鍍之一典型變壓器重量至少為80 kg或至少 ❹ n〇kg。作為一特定實例，具有約14 kVA之最大功率流 的此變磨器可重約110 kg。視處理腔室中欲進行之製 程’而使用具有不同最大功率之其他變壓器。 第4圖展示插入設備之一典型組態，其中一電單元25〇 布置於載體110上。藉此，電單元250隨載體11〇 —起 位移。通常，電單元250係經由電連接260電連接至處 理台120。電連接26〇可提供用於操作處理台12〇的供 電電壓或電流。電連接260亦可用於提供操作塗佈系統 所需的任何其他供電電壓或電流。 16 201030162 通常，電連接260可附著於插入設備之不同元件，尤 其可附著於載體110、插入元件1〇〇或其兩者。通常情 況亦為電連接260由可撓性電纜（尤其為可撓性鋼帶） 組成。藉此，插入設備之附著於電連接26〇之元件（尤 其為載體丨10、插入元件100及處理台12〇)係機械地彼 此去耦。藉此避免振動經由電連接26〇傳輸至插入元件 100 〇 馨 通常，該電單元由一變壓器組成，該變壓器係用於提 供電壓及電流以操作處理台或包含於插入元件中之任何 其他組件。通常，藉由該電單元產生之電壓及電流視向 其中提供電能之插入元件中組件之功率要求而定。另 外，該電單元可經設計以便可供應可變電壓及電流。藉 此，該電單元可與不同供電需求相容。更特定而言，藉 此，該電單元可與經設計以完成不同處理步驟的不同插 入元件相容。 Φ 當用於處理台之操作輸入係大電流時，由於隨後需要 相當笨重之變壓器’因此布置電單元以便其可隨載體一 起移動則尤其有利。此等笨重變壓器通常難以置放於處 理腔室内部。因此’在先前系統中，此等笨重之變壓器 通常固定於腔室外。此可導致與電纜線路相關之問題（諸 如長電規之使用），尤其當經由插入設備自處理腔室提取 連接至電單元之元件時。特別相關的是，當電單元產生 高電流（例如，用於金屬蒸鍍）時。由於對此狀況而言 通常使用魔大電纜線路，故在此狀況下高電流可導致空 17 201030162 間問題。另外，置放於處理腔 一 至内用於尚電流之電規可 對置放於處理腔室内之其他系統組件造成干擾。 隨載體一起移動電單元斟於 平凡對於操作本揭示案中描述之插 入設備是有利的。首先，由於（例如）減少了配線，故 簡化了塗佈线之操作；而且當需要維護時不必將插 入元件中之組件與電單亓如齡 电早兀切斷，。此外，由於此等電纜 可幾乎完全置放於處理腔室外’故可有利地實施此等電 ❹ 觋。詳言之’由於電單元與處理台之間的距離基本上保 持不變，故可避免使用用於電連接之長電纜、藉此，由 於彼等電纜通常載運高電流，故插入設備之操作將更安 全。另外，由於通常大重量之電單元係藉由第一定位器 位移，該第-定位器經適於載運大重量且不干擾插入元 件之精準疋位，故有助於插入元件之準確定位。 另外，在插入設備中組合以下諸者可能尤其有利：a) 一電單元，其經裝置以便可隨載體一起移動，及b)第 一定位器及第二定位器。藉此，該電單元可經由第一定 位器隨載體一起位移。另外，藉此，插入元件可獨立於 電單兀而精準定位。以此方式，即使在電單元相當笨重 之狀況下，電單元仍不干擾處理腔室内插入元件之準確 置放。另外，藉此，可有利地實施電單元與插入元件之 間的電連接，以使電纜線路不干擾處理腔室内插入元件 之精準定位。 對於一些應用而言’尤其對於處理台係用於金屬蒸鍍 (諸如，銘蒸鍍）之應用而言，電連接可經設計以傳導 18 201030162 大電流。經由電連接傳導之典型電流最大為圃A，更通 常最大為1000 A或甚至1170 A。jSi * , 马產生電流而藉由電單 元產生之典型電動勢為約12v。鈇& 热而’亦可施加其他電 壓以產生該電流。 電連接可能不直接附著於插 觸點連接器連接至處理台。 几件中組件之間的電連接可 現。 對於一些特定應用而言， 入設備之元件，而是經由多 在此狀況下’電單元與插入 藉由垂直位移插入元件而實
在處理台含有用於金屬蒸鍍（尤其用於銘蒸鍵）之塗 佈工具的狀況下，用於金屬蒸鍍之電流通常很高，尤其 為至少600 A或650 A。用於金屬蒸鍍之典型電流最大可 為950 A < 1_ A。歸因於此等大電流值，用於此種應 用之電單元可尤其笨重。用於鋁蒸鍍之特定狀況的電單 元之最小重量通常為〇.8嘲，諸如1丨嘴。 通常’插入元件及塗佈系統經設計以便以本質上水平 之方式輸送平面基板通過處理腔室。即使如此，本揭示 案亦意欲展望基板之垂直導向。 藉由本揭示案之實施例中描述之插入設備，當將插入 元件置放於操作位置以便處理基板時，可極準確地再現 基板與塗佈工具之間的相對位置。插入元件之高定位精 密度對於虛擬靜態地實現塗佈的系統尤其重要。藉由虚 擬靜態塗佈，將待塗佈之基板輸送至一塗佈位置，在塗 佈製程期間該基板在此位置上保持靜止。另外，即使在 藉由插入元件之提取及插入以操作布置於插入元件上的 19 201030162 工具之後，插入元件之高定位精密度仍確保多基板處理 之高再現性。 通常’插入元件包括用於輸送基板的基板傳送裝置。 該等基板傳送裝置可為促使基板移動之滾輪或任何其他 類型之輸送帶裝置。此等基板傳送裝置可形成插入元件 之部件。另外，基板傳送裝置可在插入元件插入處理腔 室之前，或一旦插入元件處於處理腔室中時，附著於插 入元件。典型基板包括以諸如，金屬、絕緣體或半導體 ®為材料之帶、薄片或晶圓。 插入元件可包括一驅動系統，其產生用於致動基板傳 送裝置之扭矩。通常，該扭矩經由用於輸送基板之皮帶 或類似裝置傳輸。通常’基板傳送裝置包括傳送滚輪， 經傳輸之扭矩耦合至該等傳送滾輪。通常，經由磁耦合 將驅動系統產生之扭矩耦合至基板傳送裝置。磁耗合允 許待塗佈之材料與基板之間釋出自由空間。藉此，有助 ❿ 於在基板之處理期間，塗佈系統之組件不被塗佈（參看 以下第5e圖）。另外，無觸點耦合（諸如，磁耦合）避 免磨損待耦合之致動元件。 通常，基板裝載於與基板傳送裝置合作之輪送帶上。 通常，輸送帶可位於短轴傳送滾輪上。通常，僅輸送帶 之外邊界與短傳送滾輪接觸。藉此，基板之下留下自由 空間，其可用以藉由蒸鍍、濺射或此項技術中已知之任 何其他塗佈方法而使材料塗佈在基板上。在處理腔室之 内部中，特別可置放一或多個耦接器，以達到將可附著 20 201030162 於插入元件之傳送裝置與基板相耦接之目的。基板傳送 裝置及驅動系統之组件可便利地藉由護罩保護以防止拾 取塗佈材料》 插入元件之使用減少必須以固定方式置放於處理腔室 内的裝置之數量。通常，實質上保持;^腔室内之所有該 等兀件為製程監控感測器及傳送滚輪耦接器β因此，原 則上，處理腔室僅配備無需規律地存取之彼等組件。通 _ 常，處理腔室及插入元件經設計以便可在真空條件下進 ® 行基板之處理。 在典型實施例中，塗佈工具意欲用於蒸鍍塗佈材料， 尤其蒸鍍諸如鋁之金屬。然而，根據本揭示案之實施例 亦意欲包括工具以及其他塗佈技術，舉例而言，諸如， 塗層之濺射’或用於初步或隨後基板處理之離子源之使 用。一般而言，一旦已自處理腔室取出插入元件，塗佈 工具就可用於維護之目的。 φ 通常，更進而將塗佈系統之組件整合於插入元件内， 更特定言之，於處理台中。此等塗佈系統之組件通常可 遭受製程引發之磨損、污垢拾取或暴露於塗佈材料。在 根據本揭示案之實施例十，所有此等組件可容易地取得。 通常’插入元件包括諸如冷卻板或類似物之裝置，此 裝置係用於冷卻護罩、屏蔽及/或用於塗佈之組件。另 外，可供應插入元件冷卻介質，其經由線路導向至受冷 卻之對應組件。 另外，形成部分典型實施例之插入元件可視情況包括 21 201030162 乂下諸者.用於供應介質之連接、用於供應氣體之供應 或處理連接、用於冷卻水至護罩或陰極之供應或處理連 接或用於電壓之供應或處理連接。彼等連接及線路可 在插入元件部分上提供’該插入元件部分可位於塗佈系 統之處理腔室之外。 形成如典型實施例所描述之部分插入設備之插入元件 通常包括護罩、屏蔽或其兩者之組合。該插入元件可以 0 如下方式建立：屏蔽附著於適合點以避免處理腔室之内 部或其他組件受污垢拾取的影響。以此方式，無塗佈材 料可到達插入元件外之空間。 通常，併有塗佈工具之處理台經建構以形成安裝於插 入元件上之蒸鍍器抽屜。通常，該蒸鍍器抽屜包括用於 在塗佈系統内饋送待蒸鍍之塗佈材料的導線進給器。一 般而言，在配置於該抽屜中之一蒸鍍器艇中加熱塗佈材 料，以便產生材料之有效蒸鍍。通常，藉由將電流耦合 φ 至形成該蒸鍍器艇之部件之導電材料來完成加熱。通常 情況亦為，將一擋閘配置於處理臺上以控制基板對於正 在蒸鍍之塗佈材料的暴露。另外’該蒸鍍器抽屜可包括 用於冷卻護罩屏蔽及/或其他用於塗佈之組件的裝置。供 應該蒸鍍器抽屜冷卻介質’其通常經由線路導向至將受 冷卻之相應組件。 第8圖展示與本文所描述之實施例相容的典型實施插 入元件500之分解圖。儘管根據其他實施例並非所有第 8圖中描缘之元件均必需’但是黎於第8圖應示範性地 22 201030162
對其說明。詳言之，第8圖中描繪之插入元件5〇〇為用 於蒸鍍材料之典型設計《•更特定言之，插入元件5〇〇為 安裝塗佈工具以形成一蒸鍍器抽屜之典型設計。插入元 件5〇〇包括一凸緣530，處理台之元件附著於其上。處 理台500通常包括框架。該框架通常用於支撐其中進行 蒸鍍之蒸鍍艇550。通常’經由進給器540將待蒸鍍之 材料提供至該蒸鍍艇。通常，該材料係以導線之形式提 供。另外，一驅動系統560布置於該框架上以媒動待塗 佈之基板。通常，插入元件500進一步包括一保護護罩 520 ’以防止塗佈驅動系統56〇中之元件。另外，插入元 件500可包括一冷卻板51〇用於避免處理腔室内之其他 組件過熱。另外，通常配置一擋閘57〇以控制基板對於 正在蒸鍍之塗佈材料的暴露。 第5a囷至第56圖係插入設備之典型實行圓其根據 本揭示案之不同操作組態而實行。該等圖示顯示該插入 設備可包括-感測器系&，該系統包括至少一個感測 器，用以感測該插入設備中元件之位置或塗佈系統之狀 況。該組感測器可包括，例如：—第—吊掛定位感測器 190,其通常偵測插入元件1〇〇之上部位置；一第二吊掛 定位感測g 230,其通常摘測插入元# 1〇〇之下部位置； -載趙定位感測器200,其通常備測載趙11〇相對於處 理腔室150之相對位置；及一閉合摘測感測器,其 通常制處理腔室15G何時閉合。另外，此等感測器可 獨立使用或以不同形式組合β另外，感測器系統可包括 23 201030162 額外感測器及/或偵測器，其用於偵測塗佈系統之不同組 態。彼等感測器可由基於光學、電子、電化學或電磁構 件的任何類型之位置感測器組成。詳言之，彼等感測器 可由交換器組成，其機械式偵測插入設備之不同元件之 位置。 第5a圖至第5e圖中展示之插入設備進一步包括—大 體定位驅動裝置210，其驅動滑動裝置22〇。藉此，通常 載體110與插入元件100在與第一定位器13〇合作下沿 ❿ 水平方向位移，以便相對於處理腔室150插入或縮回插 入元件100。通常，定位驅動裝置210及滑動裝置22〇 包括變頻機及制動器以控制載體110之定位。滑動裝置 220通常由輪組成。另外，第5a圓至第5e圖中展示之實 施例亦包括一磁耦合器180,其用於將驅動力耦合至插 入元件。通常，施加此驅動力以輸送基板。 第5a圖至第5e圖中展示之插入設備之實施例按以下 φ 步驟運轉： 在初始狀態，載體110以及插入元件100及處理台12〇 處於如第5a圖中所示之操作位置。在此階段，處理腔室 150為開放的。 載鱧110保持處於操作位置，而插入元件1〇〇藉由吊 掛裝置165垂直位移。藉此，插入元件1〇〇藉由吊掛裝 置165垂直位移（參看第5a圖中之箭頭），以便其可經 由如第5b圖中所示之一開口 15s插入處理腔室15〇中。 通常，吊掛裝置165由壓縮空氣缸或類似物組成。通常， 24 201030162 插入元件100垂直移動’直到第一吊掛定位感測器190 债測到插入元件10 0與開口 1 5 5之上部邊緣垂直對齊之 位置。在此步驟中，插入元件1〇〇通常沿垂直方向移動 10 mm與50 mm之間（諸如20 mm與40 mm之間）的 距離。
在另一步驟中’如第5c圖所示，水平移動載體u〇大 體定位於腔室内。藉此’水平移動載體11〇以便將插入 元件100引入處理腔室150中。通常’栽體定位感測器 200偵測何時插入元件1〇〇已經大髏定位以便凸緣與開 口 155之間的水平距離在70 mm與j3〇 mm之間，諸如 在85 mm與11 5 mm之間。 在又一步驟中，如第5d圖所示，插入元件1〇〇藉由吊 掛裝置165降低，以便將插入元件1〇〇置放以與第二定 位器140接觸。通常，插入元件1〇〇之位置藉由第二吊 掛定位感測器230偵測。通常，藉由此步驟，將插入元 件100降低至10 mm至50 mm，諸如2〇 _至4〇關。 在最終步称中，如第5e圖所示，載體11〇經由大體 定位驅動裝置210而位移，以便插入元件1〇〇與第二定 位器140合作滑動直到到達末端位置’亦即插入設備之 閉合位置。通常，當到達末端位置時，-耦合器180(諸 如磁耦合器）與插入元件1〇〇嚙合。藉此，可將一驅動 力傳輸至插入件中之_驅動系統。此驅動系統通常用 =在塗佈製程期間輸送基板。當到達此位置時，處理腔 至150閉合且（若需要’則）密封，以便產生腔室内之 25 201030162 真空條件。通常，當到達末端位置時，一基板 經由一傳送系統引入處理腔室15〇中。原則上，體240 可操作塗佈系統以便塗佈基板。 μ ’此時’ 插入設備最好經由一控制系統自動操作。詳言 入元件之插入及提取可經由一控制系統（諸如，^ ’插 當軟鱧程式化之電滕）執行，並與插入設備之不同^適 通訊。然而，插入設備亦可手動操作。 組件 參 *一些實施例中’插入設備進-步包括一夾緊系統， 其用於夹緊處理腔室内之插入元件。藉此，處理腔室内 之插入元件的精準定位藉由該夹緊系統補足。通常至内 緊藉由係一夹緊裝置執行之，纟固定處理腔室内之插2 元件之位置。詳言之，該夾緊裝置可由磁夾緊裝置、^ 械夾持器或類似物組成。 該央緊系統可形成第二定位器之部件。在特定狀兄 下，該夾緊系統可與其他裝置（諸如，滑動元件或類似 φ 物’其可與處理腔室内之軌道元件合作）合作或作為獨 立裝置來執行插入元件之精準定位。詳言之，失緊系統 與第二定位器之元件的組合可增強插入設備之精準定位 能力。 第6圖展示插入設備之實施例，其中第二定位器14〇 包括一夾緊裝置330。該失緊裝置330係用於將插入元 件100固定於一末端位置。藉此，有助於腔室内之插入 元件100之精準定位。該插入元件可包括一固定元件 340’其可耦接至夾緊裝置33〇β 26 201030162 通常，一塗佈系統可具有若干處理腔室。對於彼狀況 而言，將若干根據本揭示案之插入元件用於單一設施内 產生一模組化系統，其中完整處理站可藉由一全裝備單 元而容易被替代。歸因於插入元件可以高準確度置放於 處理腔室内，故有可能較快速地置換塗佈工具而不降低 系統之效能。此經證明是尤其有利的，因為執行目標置 換之時間間隔可能因設計用於不同任務之不同插入元件 而變化。 ® 在包括複數個處理腔室之塗佈系統中，在對齊之處理 腔室之一側組態插入元件原則上是可實現的。實際上， 當拔出每一第二插入元件時，釋出足夠運轉空間，且藉 此使欲執行之工作能在縮回之插入件上同時進行。然 而，每當將第二插入件移至遠離該系統之一工作站時， 有可能在所有該等插入元件上同時進行工作。原則上， 在處理腔室之兩側上組態插入元件亦是可能的。 • 第7圖為包括複數個處理腔室150之塗佈系統500的 典型組態。一些處理腔室15〇包括一根據本揭示案之插 入設備。詳言之，第7圓展示根據本揭示案之實施例之 一典型實施態樣，其中第一定位器由導向裝置13〇 (諸 如，軌條或類似物）組成，該等導向裝置置放於設施之 底部且鄰近處理腔室150。第7圓顯示複數個根據本揭 示案之插入設備可組合於單一塗佈設施中。 詳言之，根據本揭示案，插入設備中的處理台可經適 於製造薄膜太陽能電池。在彼狀況下，該處理台可經設 27 201030162 計以執行例如薄膜太陽能電池之金屬化。藉此，薄膜太 陽能電池之金屬化可產生由（例如）鋁、銀、鎳、銅或 不同金屬之層序列組成的膜》詳言之，本文所描述之設 備及/或方法可用於產生太陽能電池（諸如，薄膜太陽能 電池）之後觸點。 儘管上文係針對本揭 ，、…»一 揭示案之基本範疇之情況下，可設計其他及更多實施 ❹ ❹ 例，且其範疇藉由下述之申請專利範圍決定。 本文使用實例來揭示本揭示案，包括最佳模式，使任 何熟習此項技術者能夠製造並使用本揭示案。儘管已根 據各種特定實施例描述之，但是熟習此項技術者將知 曉，本揭示案可以在申請專利範圍之精神及範疇内經修 改而實施。尤其，如上所述之實施例彼此間非專有特徵 構可互相組合。該等實施例之可專利性範疇藉由申請 專利範圍限定可包括熟習此項技術者想到之其他實 例若其他實例具有相同於申請專利範圍字面所述之結 構凡件’或者若其包括與中請專利範圍字面所述有非實 質差別的等效結構元件’則此等其他實例意欲包含在申 請專利範®之範相。 含在申 【圖式簡單說明】 樣如上文所述，並請 本揭不案之部分及其他更詳細態 參閱相關圖示。其中： 28 201030162 第la圖及第lb圖係如本文所述插入設備之實施例的 側向橫截面示意圖，在每一圖中該插入元件相對於該塗 佈系統處於一不同位置。 第2圖至第4圖係根據本揭示案之插入設備之實施例 的側向橫截面示意圖。 第5a圖至第5e圖係根據本揭示案之插入設備之一實 施例，其代表該插入設備之操作序列。 第6圖係根據本揭示案之插入設備之另一實施例的側 ® 向橫截面示意圖。 第7圖係一處理設施，其包括多個根據本揭示案之實 施例之插入設備。 第8圖係插入元件之典型分解圖，其包括用於在基板 上金屬蒸鍍之一處理台。 【主要元件符號說明】 100插入元件 110載體 120處理台 130第一定位器/導向裝置 140第二定位器 150處理腔室 155 開口 160連結元件 29 201030162 165吊掛裝置 170拆卸裝置 180 (磁）耦合器 190第一吊掛定位感測器 200載體定位感測器 210大體定位驅動裝置 220滑動裝置 230第二吊掛定位感測器 ❿ 240基板載體 250電單元 260電連接 270閉合偵測感測器 330夾緊裝置 340固定元件 500塗佈系統/插入元件/處理台 . 5 1 0冷卻板 520保護護罩 530凸緣 540進給器 550蒸鍍艇 5 60驅動系統 570擋閘 30