CN210945779U - 夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备，夹紧定位装置包括左右夹紧定位机构和前后夹紧定位机构，通过左右夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的左右两端进行夹紧定位，从而在第一方向上保证第一物体和第二物体的定位精度；通过前后夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的前后两端进行夹紧定位，从而在第二方向上保证第一物体和第二物体的定位精度。由于夹紧定位装置一次可以同时夹紧定位两个物体，因此，提高了石墨舟自动装卸设备的生产效率，从而能够满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。

Description

夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备。

背景技术

在硅基体太阳能电池的制造工艺过程中，通常采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜，例如，可采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺对硅片进行氮化硅的真空镀膜，使硅片表面形成防反射层(钝化层)。

在进行硅片表面镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即，将未镀膜的硅片插入石墨舟，并通过卡点卡紧硅片，然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜；镀膜结束后，从真空镀膜设备的腔体中取出石墨舟，将镀膜的硅片从石墨舟上拆卸下来，完成对硅片的镀膜。

在现有技术中，由于夹紧定位装置存在设计缺陷，导致石墨舟自动装卸设备的生产效率较低，无法满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备，旨在解决现有技术中由于夹紧定位装置存在设计缺陷，导致石墨舟自动装卸设备的生产效率较低的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种夹紧定位装置，用于夹紧定位第一物体和第二物体，包括：左右夹紧定位机构，所述左右夹紧定位机构包括第一定位挡板、第一推动组件以及第二推动组件，所述第一定位挡板位于所述第一物体和所述第二物体之间，所述第一推动组件在第一方向上推动所述第一物体向所述第一定位挡板移动，直至夹紧所述第一物体为止；所述第二推动组件在所述第一方向上推动所述第二物体向所述第一定位挡板移动，直至夹紧所述第二物体为止；前后夹紧定位机构，所述前后夹紧定位机构包括第二定位挡板和第三推动组件，所述第一物体、所述第二物体位于所述第二定位挡板和所述第三推动组件之间，所述第三推动组件在第二方向上分别推动所述第一物体、所述第二物体向所述第二定位挡板移动，直至夹紧所述第一物体、所述第二物体为止，其中，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

其中，所述第一推动组件包括第一气缸和第一推板，所述第一推板安装在所述第一气缸的活塞杆上，所述第一气缸驱动所述第一推板移动，所述第一推板推动所述第一物体向所述第一定位挡板移动，从而使所述第一推板和所述第一定位挡板夹紧所述第一物体；以及所述第二推动组件包括第二气缸和第二推板，所述第二推板安装在所述第二气缸的活塞杆上，所述第二气缸驱动所述第二推板移动，所述第二推板推动所述第二物体向所述第一定位挡板移动，从而使所述第二推板和所述第一定位挡板夹紧所述第二物体。

其中，所述第三推动组件包括第三气缸和第三推板，所述第三推板安装在所述第三气缸的活塞杆上，所述第三气缸驱动所述第三推板移动，所述第三推板分别推动所述第一物体、所述第二物体向所述第二定位挡板移动，从而使第三推板和第二定位挡板分别夹紧所述第一物体和所述第二物体。

其中，所述第三推动组件包括第四气缸、第四推板、第五气缸以及第五推板，所述第四推板安装在所述第四气缸的活塞杆上，所述第四气缸驱动所述第四推板移动，所述第四推板推动所述第一物体向所述第二定位挡板移动，从而使所述第四推板和所述第二定位挡板夹紧所述第一物体；所述第五推板安装在所述第五气缸的活塞杆上，所述第五气缸驱动所述第五推板移动，所述第五推板推动所述第二物体向所述第二定位挡板移动，从而使所述第五推板和所述第二定位挡板夹紧所述第二物体。

其中，所述夹紧定位装置还包括支撑板，所述支撑板上设有支撑部，所述第一物体、所述第二物体分别设置在所述支撑部上。

本实用新型提供的另一技术方案为：

一种石墨舟自动装卸设备，包括上述的夹紧定位装置。

上述夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备，通过左右夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的左右两端进行夹紧定位，从而在第一方向上保证第一物体和第二物体的定位精度；通过前后夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的前后两端进行夹紧定位，从而在第二方向上保证第一物体和第二物体的定位精度。由于夹紧定位装置一次可以同时夹紧定位两个物体，因此，提高了石墨舟自动装卸设备的生产效率，从而能够满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型的一个实施例的夹紧定位装置的示意性立体图。

图2是根据本实用新型的一个实施例的夹紧定位装置的俯视图。

10、夹紧定位装置；1、第一定位挡板；2、第一推动组件；21、第一气缸；22、第一推板；3、第二推动组件；31、第二气缸；32、第二推板；4、第二定位挡板；5、第三推动组件；51、第四气缸；52、第四推板；53、第五气缸；54、第五推板；6、支撑板；61、支撑部；20、第一物体；30、第二物体。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1是根据本实用新型的一个实施例的夹紧定位装置的示意性立体图。图2是根据本实用新型的一个实施例的夹紧定位装置的俯视图。

从图中可以看出，该夹紧定位装置10可以具有左右夹紧定位机构和前后夹紧定位机构，所述左右夹紧定位机构包括第一定位挡板1、第一推动组件2以及第二推动组件3，所述第一定位挡板1位于所述第一物体20和所述第二物体30之间，所述第一推动组件2在第一方向上推动所述第一物体20向所述第一定位挡板1移动，直至夹紧所述第一物体20为止；所述第二推动组件3在所述第一方向上推动所述第二物体30向所述第一定位挡板1移动，直至夹紧所述第二物体30为止；所述前后夹紧定位机构包括第二定位挡板4和第三推动组件5，所述第一物体20、所述第二物体30位于所述第二定位挡板4和所述第三推动组件5之间，所述第三推动组件5在第二方向上分别推动所述第一物体20、所述第二物体30向所述第二定位挡板4移动，直至夹紧所述第一物体20、所述第二物体30为止，其中，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。可以了解，在本实施例中，所述第一物体20和所述第二物体30均为石墨舟。

在本实施例中，通过左右夹紧定位机构分别对第一物体20和第二物体30的左右两端进行夹紧定位，从而在第一方向上保证第一物体20和第二物体30的定位精度；通过前后夹紧定位机构分别对第一物体20和第二物体30的前后两端进行夹紧定位，从而在第二方向上保证第一物体20和第二物体30的定位精度。由于夹紧定位装置10一次可以同时夹紧定位两个物体，因此，提高了石墨舟自动装卸设备的生产效率，从而能够满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。

在图示实施例中，所述第一推动组件2包括第一气缸21和第一推板22，所述第一推板22安装在所述第一气缸21的活塞杆上，所述第一气缸21驱动所述第一推板22移动，所述第一推板22推动所述第一物体20向所述第一定位挡板1移动，从而使所述第一推板22和所述第一定位挡板1夹紧所述第一物体20，进而保证第一物体20在第一方向上的定位精度；以及所述第二推动组件3包括第二气缸31和第二推板32，所述第二推板32安装在所述第二气缸31的活塞杆上，所述第二气缸31驱动所述第二推板32移动，所述第二推板32推动所述第二物体30向所述第一定位挡板1移动，从而使所述第二推板32和所述第一定位挡板1夹紧所述第二物体30，进而保证第二物体30在第一方向上的定位精度。在本实施例中，所述第一方向为左右方向。可以了解，在可选的实施例中，所述第一推动组件2也可以由其他的动力元件构成，比如电机等；所述第二推动组件3也可以由其他的动力元件构成，比如电机等。

在图示实施例中，所述第三推动组件5包括第四气缸51、第四推板52、第五气缸53以及第五推板54，所述第四推板52安装在所述第四气缸51的活塞杆上，所述第四气缸51驱动所述第四推板52移动，所述第四推板52推动所述第一物体20向所述第二定位挡板4移动，从而使所述第四推板52和所述第二定位挡板4夹紧所述第一物体20；所述第五推板54安装在所述第五气缸53的活塞杆上，所述第五气缸53驱动所述第五推板54移动，所述第五推板54推动所述第二物体30向所述第二定位挡板4移动，从而使所述第五推板54和所述第二定位挡板4夹紧所述第二物体30。通过所述第四气缸51和所述第四推板52可单独夹紧定位所述第一物体20，通过所述第五气缸53和所述第五推板54可单独夹紧定位所述第二物体30，因此，通过单独夹紧定位所述第一物体20、所述第二物体30，可在第二方向上实现同步或者异步夹紧定位操作，从而提高夹紧定位装置10的适用性。

在可选的实施例中，所述第三推动组件5包括第三气缸（图未示出）和第三推板（图未示出），所述第三推板安装在所述第三气缸的活塞杆上，所述第三气缸驱动所述第三推板移动，所述第三推板分别推动所述第一物体20和所述第二物体30向所述第二定位挡板4移动，从而使第三推板和第二定位挡板4分别夹紧所述第一物体20和所述第二物体30，进而保证所述第一物体20、所述第二物体30在第二方向上的定位精度。在本实施例中，所述第二方向为前后方向。通过所述第三气缸和所述第三推板可同时夹紧定位所述第一物体20、所述第二物体30。

可以了解，在可选的实施例中，所述第三推动组件5也可以由其他的动力元件构成，比如电机等。

在图示实施例中，所述夹紧定位装置10还包括支撑板6，所述支撑板6上设有支撑部61，所述第一物体20和所述第二物体30分别设置在所述支撑部61上。通过所述支撑部61可在第三方向上支撑所述第一物体20和所述第二物体30。在本实施例中，所述第三方向为上下方向。

工作过程：

首先，通过所述左右夹紧定位机构在所述第一方向上夹紧定位所述第一物体20和所述第二物体30；然后，通过所述前后定位机构在所述第二方向上夹紧定位所述第一物体20和所述第二物体30；最后，通过机械手抓取定位后的所述第一物体20、所述第二物体30。

以上为对本实用新型所提供的一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备的描述，对于本领域的技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (6)

1.一种夹紧定位装置，用于夹紧定位第一物体和第二物体，其特征在于，包括：

左右夹紧定位机构，所述左右夹紧定位机构包括第一定位挡板、第一推动组件以及第二推动组件，所述第一定位挡板位于所述第一物体和所述第二物体之间，所述第一推动组件在第一方向上推动所述第一物体向所述第一定位挡板移动，直至夹紧所述第一物体为止；所述第二推动组件在所述第一方向上推动所述第二物体向所述第一定位挡板移动，直至夹紧所述第二物体为止；

前后夹紧定位机构，所述前后夹紧定位机构包括第二定位挡板和第三推动组件，所述第一物体、所述第二物体位于所述第二定位挡板和所述第三推动组件之间，所述第三推动组件在第二方向上分别推动所述第一物体、所述第二物体向所述第二定位挡板移动，直至夹紧所述第一物体、所述第二物体为止，其中，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的夹紧定位装置，其特征在于，

所述第一推动组件包括第一气缸和第一推板，所述第一推板安装在所述第一气缸的活塞杆上，所述第一气缸驱动所述第一推板移动，所述第一推板推动所述第一物体向所述第一定位挡板移动，从而使所述第一推板和所述第一定位挡板夹紧所述第一物体；以及

所述第二推动组件包括第二气缸和第二推板，所述第二推板安装在所述第二气缸的活塞杆上，所述第二气缸驱动所述第二推板移动，所述第二推板推动所述第二物体向所述第一定位挡板移动，从而使所述第二推板和所述第一定位挡板夹紧所述第二物体。

3.根据权利要求1所述的夹紧定位装置，其特征在于，所述第三推动组件包括第三气缸和第三推板，所述第三推板安装在所述第三气缸的活塞杆上，所述第三气缸驱动所述第三推板移动，所述第三推板分别推动所述第一物体、所述第二物体向所述第二定位挡板移动，从而使第三推板和第二定位挡板分别夹紧所述第一物体和所述第二物体。

4.根据权利要求1所述的夹紧定位装置，其特征在于，所述第三推动组件包括第四气缸、第四推板、第五气缸以及第五推板，所述第四推板安装在所述第四气缸的活塞杆上，所述第四气缸驱动所述第四推板移动，所述第四推板推动所述第一物体向所述第二定位挡板移动，从而使所述第四推板和所述第二定位挡板夹紧所述第一物体；所述第五推板安装在所述第五气缸的活塞杆上，所述第五气缸驱动所述第五推板移动，所述第五推板推动所述第二物体向所述第二定位挡板移动，从而使所述第五推板和所述第二定位挡板夹紧所述第二物体。

5.根据权利要求1所述的夹紧定位装置，其特征在于，所述夹紧定位装置还包括支撑板，所述支撑板上设有支撑部，所述第一物体、所述第二物体分别设置在所述支撑部上。

6.一种石墨舟自动装卸设备，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的夹紧定位装置。

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