CN117626231A - 一种化学气相沉积设备的腔体结构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种化学气相沉积设备的腔体结构，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括外箱体和固定连接在外箱体底部的底板，所述底板的一侧安装有水箱，所述外箱体的顶部安装有气体罐，还包括：进气管，安装在气体罐的底部，放置板，设置在外箱体的内部，所述外箱体的内部开设有分隔腔体，热丝装置，安装在外箱体的内顶面，腔体置物机构，设置在放置板的顶部，腔体密封机构，对称设置在外箱体的内底面，解决了在应对不同尺寸和形状的基材时，仍可能出现定位不稳，造成基材滑动的情况，进而对后续的化学反应生成薄膜造成阻碍，同时现有装置腔体结构之间的密封性较差，相邻腔体之间可能出现气体泄漏和相互影响的问题。

Description

一种化学气相沉积设备的腔体结构

技术领域

本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种化学气相沉积设备的腔体结构。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相沉积工艺需要用到化学气相沉积设备，现有化学气相沉积设备的腔体结构内部，一般包括有加热组件、进气管道、冷却水组件和衬底材料放置结构。

如公开号为CN219032363U的一种多腔体化学气相沉积设备，其中，包括：箱体、尾气处理系统和活性气体罐，所述箱体内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板，两所述活动板下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆，两所述第二螺纹杆下端均延伸至活动板内部，两所述第二螺纹杆外部均螺纹连接有第二螺纹块，两所述第二螺纹块外部均固定连接有固定块，两所述固定块下端均呈间隔固定连接有两连接杆，两所述连接杆下端固定连接有密封板，通过上述结构，利用活动板与密封板进行配合，可以保障隔板的密封性，并且利用旋钮可以随时打开两相连的腔室，该装置通过弹簧与拉杆进行配合，可以对基材进行定位，使置物板在移动的过程中使基材保持稳定，但是，装置通过上下压紧定位，在应对不同尺寸和形状的基材时，例如基材的高度较高，或是基材的顶面不为水平状态时，通过该结构对基材的定位，仍可能出现定位不稳，造成基材滑动的情况，进而对后续的化学反应生成薄膜造成阻碍，影响了装置的加工质量和效率，具有一定的局限性，同时，现有一种化学气相沉积设备，通过将箱体分隔成三个腔室，在阻隔相连的腔室的密封时，仅利用气缸带动活动板进行移动，腔体结构的密封性较差，相邻腔体之间可能出现气体泄漏和相互影响的情况，也阻碍了化学反应生成薄膜的正常进行。

所以我们提出了一种化学气相沉积设备的腔体结构，以便于解决上述中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种化学气相沉积设备的腔体结构，以解决在应对不同尺寸和形状的基材时，仍可能出现定位不稳，造成基材滑动的情况，进而对后续的化学反应生成薄膜造成阻碍，同时现有装置腔体结构之间的密封性较差，相邻腔体之间可能出现气体泄漏和相互影响的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种化学气相沉积设备的腔体结构，包括外箱体和固定连接在外箱体底部的底板，所述底板的一侧安装有水箱，所述外箱体的顶部安装有气体罐，所述水箱的一侧下部连接有进水管，所述水箱的一侧上部连接有排水管；

还包括：

进气管，安装在气体罐的底部，且所述进气管的底端与外箱体的内部相连通，所述外箱体的正面安装有箱门；

放置板，设置在外箱体的内部，所述外箱体的内部开设有分隔腔体，所述分隔腔体不少于三个；

热丝装置，安装在外箱体的内顶面，所述热丝装置位于放置板的上方；

腔体置物机构，设置在放置板的顶部，所述腔体置物机构包括对称设置的固定板，所述固定板的一侧固定连接有滑杆，所述固定板的一侧对称安装有电动推杆，所述滑杆的外侧滑动连接有滑座，所述滑座的一侧安装有夹板一；

所述滑座的外侧对称固定有斜杆，所述斜杆的一侧连接有连接杆，所述连接杆远离斜杆的一侧安装有夹板二，所述斜杆的中部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离斜杆的一侧转动连接有辅助杆，所述夹板一的内部滑动连接有滑动杆；

腔体密封机构，对称设置在外箱体的内底面，所述腔体密封机构包括隔板，所述隔板安装在外箱体的内部，所述隔板的内部滑动连接有密封板体，所述外箱体的内底面固定连接有底座，所述底座的内部开设有卡槽。

优选的，所述固定板与放置板固定连接，所述电动推杆的伸缩部一端与滑座固定连接，所述滑座靠近夹板一的一侧对称固定有推动杆，所述夹板一的一侧固定连接有滑套，所述推动杆与滑套滑动连接，所述推动杆的外侧套接有弹簧一，所述弹簧一位于滑座和滑套之间。

通过采用上述技术方案，设置有腔体置物机构，通过夹板一和夹板二的配合夹紧，提高了腔体内部对于不同尺寸和形状基材的泛用性，使得基材夹持的更加稳定，有利于后续的化学气相沉积顺利进行，设置有腔体密封机构，提高了腔体之间的分隔密封性，减少了不同腔体内部气体的相互影响，提高了化学气相沉积成品的质量。

优选的，所述密封板体与卡槽卡合连接，所述底座的内部开设有凹槽，所述凹槽的内部转动连接有转轴，所述转轴的外侧上部固定连接有密封块，所述转轴的外侧下部固定连接有连杆，所述连杆的底端固定连接有挤压球，所述连杆的一侧安装有弹簧四。

通过采用上述技术方案，启动隔板内部的气缸，带动密封板体下移，使得密封板体卡到卡槽的内部，密封板体同时挤压挤压球，挤压球向下转动，能带动顶部的密封块向内侧转动，进而使得密封块，将密封板体与底座的连接处缝隙压紧密封。

优选的，所述滑套与滑动杆的内部相连通，所述推动杆靠近滑动杆的一端为球形设置，所述滑动杆的一端为球形设置，所述夹板一的内部对称开设有限位槽，所述滑动杆的一侧固定连接有复位块，所述复位块的一侧固定连接有弹簧二，所述弹簧二安装在限位槽的内部。

通过采用上述技术方案，在解除基材的夹持时，弹簧二带动复位块复位，进而能辅助滑动杆的复位。

优选的，所述连接杆与斜杆转动连接，所述辅助杆远离伸缩杆的一端与连接杆转动连接，所述辅助杆的顶部开设有弧形槽，所述滑动杆的底部一侧固定连接有定位块，所述定位块位于弧形槽的内部。

通过采用上述技术方案，当滑动杆上的定位块，在弧形槽的内部滑动时，使得定位块推动辅助杆转动，进而使得辅助杆带动连接杆向中间收紧，连接杆最终带动转动件和夹板二向中间移动，使得夹板二压紧基材的前后两侧。

优选的，所述定位块与弧形槽滑动连接，所述连接杆远离斜杆的一侧转动连接有转动件，所述夹板二与转动件滑动连接，所述夹板二与转动件之间套接有弹簧三。

通过采用上述技术方案，且转动件与连接杆转动连接，使得夹板二能适配不同的倾斜面夹持，弹簧三能起到一定的缓冲作用，减少了夹板二对基材的夹持损伤。

优选的，所述隔板与外箱体的内顶面固定连接，所述隔板的内部安装有气缸，所述气缸的伸缩部底端与密封板体固定连接。

通过采用上述技术方案，在进行相邻腔体密封时，启动隔板内部的气缸，带动密封板体下移，使得密封板体卡到卡槽的内部，进行腔体的分隔使用。

优选的，所述凹槽与卡槽相连通，所述密封块的长度与密封板体的长度相等，所述密封块和连杆对称设置有多组。

通过采用上述技术方案，便于更好地将密封块卡紧密封板体与底座的连接处缝隙。

优选的，所述弹簧四的一端与连杆固定连接，所述弹簧四的另一端与底座固定连接，所述弹簧四不少于两个。

通过采用上述技术方案，弹簧四用于密封板体上升后，密封块的复位，提高了腔体之间的分隔密封性。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：设置有腔体置物机构，通过夹板一和夹板二的配合夹紧，提高了腔体内部对于不同尺寸和形状基材的泛用性，使得基材夹持的更加稳定，有利于后续的化学气相沉积顺利进行，设置有腔体密封机构，提高了腔体之间的分隔密封性，减少了不同腔体内部气体的相互影响，提高了化学气相沉积成品的质量；

设置有腔体置物机构，腔体置物机构包括放置板、滑杆、电动推杆、滑座、夹板一、夹板二、推动杆、滑套、弹簧一、滑动杆、斜杆、连接杆和辅助杆，在装置使用时，打开对应腔体的箱门，将需要反应的基材放置在放置板的顶部中间，启动电动推杆工作，电动推杆带动滑座在滑杆上滑动，滑座通过推动杆推动滑套和夹板一移动，使得两侧的夹板一首先对基材的左右两侧夹持，夹板一的夹持面设置有保护垫，减少了对基材的损坏，接着，由于弹簧一的配合，滑座可继续移动带动推动杆向滑套的内部滑动，推动杆的球形端挤压滑动杆的球形端，使得滑动杆向外侧伸长，滑座同时带动斜杆移动，滑动杆上的定位块在弧形槽的内部滑动，使得定位块推动辅助杆转动，进而使得辅助杆带动连接杆向中间收紧，连接杆最终带动转动件和夹板二向中间移动，使得夹板二压紧基材的前后两侧，且转动件与连接杆转动连接，使得夹板二能适配不同的倾斜面夹持，弹簧三能起到一定的缓冲作用，减少了夹板二对基材的夹持损伤，通过夹板一和夹板二的配合夹紧，提高了腔体内部对于不同尺寸和形状基材的泛用性，使得基材夹持的更加稳定，有利于后续的化学气相沉积顺利进行，解决了装置在应对不同尺寸和形状的基材时，仍可能出现定位不稳，造成基材滑动的情况，进而对后续的化学反应生成薄膜造成阻碍的问题；

设置有腔体密封机构，轻体密封机构包括隔板、密封板体、底座、转轴、密封块、连杆、挤压球和弹簧四，在进行相邻腔体密封时，启动隔板内部的气缸，带动密封板体下移，使得密封板体卡到卡槽的内部，密封板体同时挤压挤压球，挤压球向下转动，能带动顶部的密封块向内侧转动，进而使得密封块，将密封板体与底座的连接处缝隙压紧密封，弹簧四用于密封板体上升后，密封块的复位，提高了腔体之间的分隔密封性，减少了不同腔体内部气体的相互影响，提高了化学气相沉积成品的质量，解决了现有装置腔体结构之间的密封性较差，相邻腔体之间可能出现气体泄漏和相互影响的问题。

附图说明

图1为本发明正视整体结构示意图；

图2为本发明腔体置物机构结构示意图；

图3为本发明正剖视整体结构示意图；

图4为本发明图1中A处放大结构示意图；

图5为本发明图1中B处放大结构示意图；

图6为本发明夹板一和夹板二夹持状态示意图；

图7为本发明图3中C处放大结构示意图；

图8为本发明图3中D处放大结构示意图；

图9为本发明底座立体整体结构示意图；

图10为本发明底座剖视立体结构示意图。

图中：1、外箱体；2、底板；3、水箱；4、气体罐；5、进气管；6、箱门；7、进水管；8、排水管；9、放置板；10、热丝装置；11、固定板；12、滑杆；13、电动推杆；14、滑座；15、夹板一；16、夹板二；17、推动杆；18、滑套；19、弹簧一；20、滑动杆；21、复位块；22、弹簧二；23、斜杆；24、连接杆；25、伸缩杆；26、辅助杆；27、弧形槽；28、定位块；29、转动件；30、弹簧三；31、隔板；32、密封板体；33、卡槽；34、底座；35、凹槽；36、转轴；37、密封块；38、连杆；39、挤压球；40、弹簧四。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-10，本发明提供一种技术方案：一种化学气相沉积设备的腔体结构，包括外箱体1和固定连接在外箱体1底部的底板2，底板2的一侧安装有水箱3，外箱体1的顶部安装有气体罐4，水箱3的一侧下部连接有进水管7，水箱3的一侧上部连接有排水管8；

进气管5，安装在气体罐4的底部，且进气管5的底端与外箱体1的内部相连通，外箱体1的正面安装有箱门6；

放置板9，设置在外箱体1的内部，外箱体1的内部开设有分隔腔体，分隔腔体不少于三个；

热丝装置10，安装在外箱体1的内顶面，热丝装置10位于放置板9的上方；

腔体置物机构，设置在放置板9的顶部，腔体置物机构包括对称设置的固定板11，固定板11的一侧固定连接有滑杆12，固定板11的一侧对称安装有电动推杆13，滑杆12的外侧滑动连接有滑座14，滑座14的一侧安装有夹板一15；

固定板11与放置板9固定连接，电动推杆13的伸缩部一端与滑座14固定连接，滑座14靠近夹板一15的一侧对称固定有推动杆17，夹板一15的一侧固定连接有滑套18，推动杆17与滑套18滑动连接，推动杆17的外侧套接有弹簧一19，弹簧一19位于滑座14和滑套18之间。

滑座14的外侧对称固定有斜杆23，斜杆23的一侧连接有连接杆24，连接杆24远离斜杆23的一侧安装有夹板二16，斜杆23的中部固定连接有伸缩杆25，伸缩杆25远离斜杆23的一侧转动连接有辅助杆26，夹板一15的内部滑动连接有滑动杆20。

滑套18与滑动杆20的内部相连通，推动杆17靠近滑动杆20的一端为球形设置，滑动杆20的一端为球形设置，夹板一15的内部对称开设有限位槽，滑动杆20的一侧固定连接有复位块21，复位块21的一侧固定连接有弹簧二22，弹簧二22安装在限位槽的内部。

连接杆24与斜杆23转动连接，辅助杆26远离伸缩杆25的一端与连接杆24转动连接，辅助杆26的顶部开设有弧形槽27，滑动杆20的底部一侧固定连接有定位块28，定位块28位于弧形槽27的内部。

定位块28与弧形槽27滑动连接，连接杆24远离斜杆23的一侧转动连接有转动件29，夹板二16与转动件29滑动连接，夹板二16与转动件29之间套接有弹簧三30。

实施例一：如图1-2和图4-6所示，在装置使用时，打开对应腔体的箱门6，将需要反应的基材放置在放置板9的顶部中间，启动电动推杆13工作，电动推杆13带动滑座14在滑杆12上滑动，滑座14通过推动杆17推动滑套18和夹板一15移动，使得两侧的夹板一15首先对基材的左右两侧夹持，夹板一15的夹持面设置有保护垫，减少了对基材的损坏。

接着，由于弹簧一19的配合，滑座14可继续移动带动推动杆17向滑套18的内部滑动，推动杆17的球形端挤压滑动杆20的球形端，使得滑动杆20向外侧伸长，滑座14同时带动斜杆23移动，滑动杆20上的定位块28在弧形槽27的内部滑动，使得定位块28推动辅助杆26转动，进而使得辅助杆26带动连接杆24向中间收紧，连接杆24最终带动转动件29和夹板二16向中间移动，使得夹板二16压紧基材的前后两侧。

且转动件29与连接杆24转动连接，使得夹板二16能适配不同的倾斜面夹持，弹簧三30能起到一定的缓冲作用，减少了夹板二16对基材的夹持损伤，通过夹板一15和夹板二16的配合夹紧，提高了腔体内部对于不同尺寸和形状基材的泛用性，使得基材夹持的更加稳定，有利于后续的化学气相沉积顺利进行，解决了装置在应对不同尺寸和形状的基材时，仍可能出现定位不稳，造成基材滑动的情况，进而对后续的化学反应生成薄膜造成阻碍的问题。

腔体密封机构，对称设置在外箱体1的内底面，腔体密封机构包括隔板31，隔板31安装在外箱体1的内部，隔板31的内部滑动连接有密封板体32，外箱体1的内底面固定连接有底座34，底座34的内部开设有卡槽33。

隔板31与外箱体1的内顶面固定连接，隔板31的内部安装有气缸，气缸的伸缩部底端与密封板体32固定连接，凹槽35与卡槽33相连通，密封块37的长度与密封板体32的长度相等，密封块37和连杆38对称设置有多组。

密封板体32与卡槽33卡合连接，底座34的内部开设有凹槽35，凹槽35的内部转动连接有转轴36，转轴36的外侧上部固定连接有密封块37，转轴36的外侧下部固定连接有连杆38，连杆38的底端固定连接有挤压球39，连杆38的一侧安装有弹簧四40。

弹簧四40的一端与连杆38固定连接，弹簧四40的另一端与底座34固定连接，弹簧四40不少于两个。

实施例二：如图3和图7-10所示，在进行相邻腔体密封时，启动隔板31内部的气缸，带动密封板体32下移，使得密封板体32卡到卡槽33的内部，密封板体32同时挤压挤压球39，挤压球39向下转动，能带动顶部的密封块37向内侧转动，进而使得密封块37，将密封板体32与底座34的连接处缝隙压紧密封，弹簧四40用于密封板体32上升后，密封块37的复位，提高了腔体之间的分隔密封性，减少了不同腔体内部气体的相互影响，提高了化学气相沉积成品的质量，解决了现有装置腔体结构之间的密封性较差，相邻腔体之间可能出现气体泄漏和相互影响的问题。

工作原理：在使用该装置时，首先，如图1-10所示，在装置使用时，打开对应腔体的箱门6，将需要反应的基材放置在放置板9的顶部中间，启动电动推杆13工作，电动推杆13带动滑座14在滑杆12上滑动，滑座14通过推动杆17推动滑套18和夹板一15移动，使得两侧的夹板一15首先对基材的左右两侧夹持，夹板一15的夹持面设置有保护垫，减少了对基材的损坏。

接着，由于弹簧一19的配合，滑座14可继续移动带动推动杆17向滑套18的内部滑动，推动杆17的球形端挤压滑动杆20的球形端，使得滑动杆20向外侧伸长，滑座14同时带动斜杆23移动，滑动杆20上的定位块28在弧形槽27的内部滑动，使得定位块28推动辅助杆26转动，进而使得辅助杆26带动连接杆24向中间收紧。

连接杆24最终带动转动件29和夹板二16向中间移动，使得夹板二16压紧基材的前后两侧，且转动件29与连接杆24转动连接，使得夹板二16能适配不同的倾斜面夹持，弹簧三30能起到一定的缓冲作用，减少了夹板二16对基材的夹持损伤，通过夹板一15和夹板二16的配合夹紧。

在进行相邻腔体密封时，启动隔板31内部的气缸，带动密封板体32下移，使得密封板体32卡到卡槽33的内部，密封板体32同时挤压挤压球39，挤压球39向下转动，能带动顶部的密封块37向内侧转动，进而使得密封块37，将密封板体32与底座34的连接处缝隙压紧密封，弹簧四40用于密封板体32上升后，密封块37的复位，提高了腔体之间的分隔密封性，减少了不同腔体内部气体的相互影响。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种化学气相沉积设备的腔体结构，包括外箱体（1）和固定连接在外箱体（1）底部的底板（2），所述底板（2）的一侧安装有水箱（3），所述外箱体（1）的顶部安装有气体罐（4），所述水箱（3）的一侧下部连接有进水管（7），所述水箱（3）的一侧上部连接有排水管（8）；

其特征在于，还包括：

进气管（5），安装在气体罐（4）的底部，且所述进气管（5）的底端与外箱体（1）的内部相连通，所述外箱体（1）的正面安装有箱门（6）；

放置板（9），设置在外箱体（1）的内部，所述外箱体（1）的内部开设有分隔腔体，所述分隔腔体不少于三个；

热丝装置（10），安装在外箱体（1）的内顶面，所述热丝装置（10）位于放置板（9）的上方；

腔体置物机构，设置在放置板（9）的顶部，所述腔体置物机构包括对称设置的固定板（11），所述固定板（11）的一侧固定连接有滑杆（12），所述固定板（11）的一侧对称安装有电动推杆（13），所述滑杆（12）的外侧滑动连接有滑座（14），所述滑座（14）的一侧安装有夹板一（15）；

所述滑座（14）的外侧对称固定有斜杆（23），所述斜杆（23）的一侧连接有连接杆（24），所述连接杆（24）远离斜杆（23）的一侧安装有夹板二（16），所述斜杆（23）的中部固定连接有伸缩杆（25），所述伸缩杆（25）远离斜杆（23）的一侧转动连接有辅助杆（26），所述夹板一（15）的内部滑动连接有滑动杆（20）；

腔体密封机构，对称设置在外箱体（1）的内底面，所述腔体密封机构包括隔板（31），所述隔板（31）安装在外箱体（1）的内部，所述隔板（31）的内部滑动连接有密封板体（32），所述外箱体（1）的内底面固定连接有底座（34），所述底座（34）的内部开设有卡槽（33）。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述固定板（11）与放置板（9）固定连接，所述电动推杆（13）的伸缩部一端与滑座（14）固定连接，所述滑座（14）靠近夹板一（15）的一侧对称固定有推动杆（17），所述夹板一（15）的一侧固定连接有滑套（18），所述推动杆（17）与滑套（18）滑动连接，所述推动杆（17）的外侧套接有弹簧一（19），所述弹簧一（19）位于滑座（14）和滑套（18）之间。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述密封板体（32）与卡槽（33）卡合连接，所述底座（34）的内部开设有凹槽（35），所述凹槽（35）的内部转动连接有转轴（36），所述转轴（36）的外侧上部固定连接有密封块（37），所述转轴（36）的外侧下部固定连接有连杆（38），所述连杆（38）的底端固定连接有挤压球（39），所述连杆（38）的一侧安装有弹簧四（40）。

4.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述滑套（18）与滑动杆（20）的内部相连通，所述推动杆（17）靠近滑动杆（20）的一端为球形设置，所述滑动杆（20）的一端为球形设置，所述夹板一（15）的内部对称开设有限位槽，所述滑动杆（20）的一侧固定连接有复位块（21），所述复位块（21）的一侧固定连接有弹簧二（22），所述弹簧二（22）安装在限位槽的内部。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述连接杆（24）与斜杆（23）转动连接，所述辅助杆（26）远离伸缩杆（25）的一端与连接杆（24）转动连接，所述辅助杆（26）的顶部开设有弧形槽（27），所述滑动杆（20）的底部一侧固定连接有定位块（28），所述定位块（28）位于弧形槽（27）的内部。

6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述定位块（28）与弧形槽（27）滑动连接，所述连接杆（24）远离斜杆（23）的一侧转动连接有转动件（29），所述夹板二（16）与转动件（29）滑动连接，所述夹板二（16）与转动件（29）之间套接有弹簧三（30）。

7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述隔板（31）与外箱体（1）的内顶面固定连接，所述隔板（31）的内部安装有气缸，所述气缸的伸缩部底端与密封板体（32）固定连接。

8.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述凹槽（35）与卡槽（33）相连通，所述密封块（37）的长度与密封板体（32）的长度相等，所述密封块（37）和连杆（38）对称设置有多组。

9.根据权利要求8所述的一种化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于：所述弹簧四（40）的一端与连杆（38）固定连接，所述弹簧四（40）的另一端与底座（34）固定连接，所述弹簧四（40）不少于两个。