200933693 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於利用光照射於被處理物，而急速且高溫 地加熱處理的光照射式加熱處理裝置。 【先前技術】 半導體製造工程的光照射式加熱處理，是全面地進行 © 在成膜、擴散、退火等的廣泛範圍。任何處理部是高溫地 加熱處理板狀工件的半導體晶圓（以下也僅稱爲晶圓）者 0 若在該加熱處理使用光照射式加熱處理，則可急速地 加熱或是冷卻晶圓。例如在對於晶圓的光照射開始後數秒 鐘至數十秒鐘內，就可將晶圓昇溫至1 000°c以上。若停止 光照射，就可急速地冷卻晶圓。 光照射式加熱處理裝置，是一般作爲熱源使用複數支 © 白熾燈。燈絲配設於透光性材料所成的發光管的內部所成 的白熾燈，是光輸出的上昇快速而適用於工件的急速加熱 處理。尤其是，鹵素燈的時候，利用被封入於發光管（燈 泡）內的鹵素與加熱蒸發的鎢製燈絲的循環再生反應（鹵 素週期）的效果，即使小型化燈泡也不會黑化，具有也延 長壽命的優點。 在此’若晶圓的材質爲矽的時候，在將晶圓加熱成 1 0 50 °C以上之際，若溫度分布的不均句發生，則發生在晶 圓發生被稱爲晶圓發生被稱爲滑動的現象，亦即發生結晶 -4- 200933693 轉移的缺陷。結果’經加熱處理的晶圓是成爲不良品。在 此，使用光照射式加熱處理裝置而進行加熱處理晶圓的時 候，則使得晶圓全面的溫度分布成爲均勻的方式，必須進 行加熱、高熱保持、冷卻。又，爲了成膜，即使加熱晶圓 的情形也同樣。亦即’爲了將膜以均勻的厚度形成於晶圓 表面，把晶圓的溫度分布成爲均勻的方式必須加熱晶圓。 晶圓全面的物理特性爲均勻的時候，若擬使晶圓全面 © 的放射照度成爲均勻的方式來進行光照射，則晶圓的溫度 是會成爲均勻。然而，實際上，而使在此種照射條件下在 晶圓進行光照射’也使得晶圓周邊部的溫度變低，而在晶 圓會產生溫度分布的不均勻。如上述地，擬將晶圓加熱至 1 05 0 °C以上的時候，若在晶圓上產生溫度分布不均勻，則 在晶圓會發生滑動。 如此地晶圓周邊部的溫度變低，乃從晶圓的側面或是 晶圓的側面近旁等的晶圓周邊部放射熱所致。因此，爲了 ❹ 在晶圓全面地把溫度分布作成均勻，必須補償來自晶圓周 邊部的熱放射所致的溫度降低。例如，將晶圓周邊部表面 的放射照度成爲比晶圓中央部表面的放射照度還要大的方 式，進行光照射。 一方面，作爲防止晶圓周邊部的溫度降低的一種方法 ，在以前，就被提案將與晶圓同等的熱容量的補助材料配 置成包圍晶圓的外周的方法。此種補助材料一般稱爲保護 環。 若配置成包圍晶圓的外周的保護環的熱容量與晶圓的 -5- 200933693 熱容量同等的時候，則可視作爲晶圓與保護環被一體化的 一枚假想板狀體。該情形’晶圓的周邊部是不成爲上述假 想板狀體的周邊部之故’因而不會發生來自晶圓的周邊部 的熱放射。所以，有晶圓周邊部的溫度不會降低的情形。 亦即，利用使用如上述的保護環，來補償來自晶圓周邊部 的熱放射所致的溫度降低，而成爲可將晶圓的溫度作成均 勻。 G 又，保護環是設置成包圍晶圓的外周之故，因而在保 護環附設保持晶圓的周緣部的機構，而將保護環兼用作爲 晶圓保持材料的情形也很多。 然而，實際要將保護環製作成與晶圓被視爲一體（亦 即，熱容量成爲同等般地）爲很困難。將其理由表示於如 下。 (a) 欲將保護環與晶圓的熱容量作成同等，則將保 護環的材質作成與晶圓的材質相同就可以。例如，晶圓爲 ® 矽晶圓時，則將保護環的材質作成矽（Si )就可以。然而 ，矽爲若重複曝露於很大溫度差，則會變形而無法發揮作 爲保護環的功能。 (b) 爲了避免變形的問題，一般保護環是由碳化矽 (SiC )所製作的情形較多。碳化矽是比熱比矽還稍大， 惟並不會有很大差異。然而，碳化矽是很難加工，利用加 工上的問題（良品率）而無法將厚度作成比1mm還薄之 故，因而成爲比晶圓的厚度0.7〜〇.8mm還要厚。藉由上 述的矽與碳化矽的比熱的不相同，及晶圓的厚度與碳化矽 -6- 200933693 所製的保護環的厚度的不相同，保護環的熱容量是被加熱 成高溫時，則與晶圓相比較，每一單位面積大約大1 . 5倍 〇 因此，以補償晶圓周邊部的溫度降低的方式，欲將保 護環作成具功能，則必須解決晶圓與保護環的上述熱容量 差的影響。具體上，保護環上的放射照度比晶圚上的放射 照度還要大的方式必須進行光照射。 〇 如以上所說明地，在工件存在著加熱、冷卻特性不相 同的領域。例如，工件爲晶圓時，在晶圓中央部領域與晶 圓周邊部領域，會受到來自晶圓周邊部的熱放射的影響， 而兩領域的加熱、冷卻特性是互相地不相同。因此，晶圓 全面的物理特性作成均句時，即使把晶圓全面的放射照度 成爲均勻的方式進行著光照射，晶圓的溫度也不會成爲均 勻。 所以，爲了在晶圓全面地仍均勻地維持溫度分布，而 ® 進行晶圓的光照射式加熱處理，則晶圓表面的加熱、冷卻 特性互相不相同的各領域別地，必須分別調整該領域的放 射照度。 此爲，在補償工件晶圓周邊部的溫度降低的方式使用 保護環的情形也同樣。使用保護環時，考慮晶圓與保護環 之上述熱容量差，必須將保護環領域以比晶圓領域還要大 的放射照度進行光照射。 亦即，在工件的光照射式加熱處理中，考慮工件的加 熱、冷卻特性，將工件表面使用保護環時，也包含保護環 200933693 表面分割成複數區，而對於各領域必須以不相同的光強度 分別進行光照射。 利用如上述的事項，光照射式加熱裝置是成爲必須任 意地設定工件上的各領域的照度分布而進行光照射的功能 。藉由使用具有此種功能的光照射式加熱裝置，成爲工件 全面地仍均句地維持溫度分布，可進行工件的光照射式加 熱處理。以下，針對於具有上述功能的光照射式加熱裝置 © 加以說明。 在上述的光照射式加熱裝置中，加熱源是以複數白熾 燈所構成。又，藉由將複數燈分成幾個控制領域（燈群） 來控制，而將照射領域的照度分布設定在所定分布。 例如，被記載於專利文獻1的光照射式加熱裝置，是 將加熱手段的光照射手段並聯地排列複數直管型鹵素燈所 構成。此些鹵素燈是被分割成複支別地的燈群，而將各燈 群作爲控制單位，獨立地控制來自各燈群的熱輸出。具體 © 上’首先，以放射溫度計來檢測出工件的複數點的溫度。 之後’依據該檢測結果，使得工件的溫度成爲均勻的方式 ’上述控制單位被控制。 又’專利文獻1所述的光照射式加熱裝置是利用並聯 地排列複數直管型的鹵素燈來構成光照射手段。所以，對 工件上的各領域以不相同的光照度分別進行光照射的控制 以下也稱爲領域控制，是僅適用於與直管型燈的管軸方向 正交的一維方向。例如，如第12圖所示地，考慮將工件 W的照射領域分割成工件中央部的領域B，工件周邊部的 -8 - 200933693 領域A的情形。 因應於各領域，構成光照射手段的直管型鹵素燈， 被分成對應於領域A的領域A用燈群LA，領域B用燈 LB。 這時候，對於表示於第12圖的一維方向，各燈群 可對應於各領域。例如，藉由將領域A用燈群LA所放 的光的光強度設定成比從領域B用燈群LB所放出的光 〇 光強度還要大，而成爲可將領域A的放射照度作成比領 B的放射照度還大。 另一方面，針對於直管型燈的管軸方向（與第12 的一維方向正交的方向。1支燈對應於兩領域之故，因 實施領域控制成爲不可能。因此，一般對於工件全面（ 即，二維方向）爲了適用領域控制，光照射中，旋轉工 w的情形較多。亦即，使用專利文獻1的饋電線來加熱 件的時候，則設定於工件上的各區域，是同心圓狀地被 ❹割。 在此’旋轉工件W的時候，例如在領域A的所定 置中’藉由工件W的旋轉，主要照射若來自領域a用 群LA的光的期間，主要照射著領域b用燈群LB的光 期間會週期性地循環。亦即，放射照度的脈動狀態爲區 A整體全面地平均化。因此，當旋轉工件，則放射照度 被平均化實效上成爲可進行二維的領域，惟工件本體的 熱精度是低。 視情形’藉由高照度期間，低照度期間的重複，也 也 群 是 出 的 域 圖 而 亦 件 工 分 位 燈 的 域 是 均 有 -9- 200933693 發生工件變形的情形。 另一方面，未旋轉工件，任意地設定工件上的各領域 的照度分布而具有光照射的功能的光照射式加熱裝置，是 藉由發明人等被提案。 該光照射式加熱裝置是使用專利文獻2所述的燈。該 燈是如專利文獻2的第10圖所示地，在1支發光管的內 部，沿著該燈在大約同一軸上配置有複數燈絲。此些燈絲 Ο 是分別被連接於個別的饋電裝置。因此，對於1支發光管 內部的複數燈絲的供給電力是成爲可個別地進行控制。以 下，將此種構成的燈稱爲多白熾燈。 發明人等所提案的光照射式加熱裝置，是具有並聯地 排列複數此種多白熾燈所構成的光照射手段。 在此，並聯地排列複數支多白熾燈所構成的光照射手 段的各燈絲，是如專利文獻3所述地，對應於工件上的照 射領域。來決定長度或個數。例如，在表示於專利文獻3 Ο 的第4圖的例子中，將照射領域分割成晶圓領域，保護環 內側領域，保護環外側領域的3個領域，對應於各領域， 來設定構成光照射手段的各多白熾燈內部所配置的複數燈 絲的長度。 藉由個別地控制對於如此地所設定的各燈絲的供給電 力，對於各領域，成爲以任意光強度可進行光照度。亦即 ，不必旋轉工件，對於被設定在包括工件的照射領域內的 各層，各領域的放射照度分別成爲所期望値的方式，成爲 可進行光照射。 -10- 200933693 專利文獻1 :日本特開昭62-20308號公報 專利文獻2:日本特開200 6-2 79008號公報 專利文獻3 :日本特開2007- 1 5 7 7 80號公報 【發明內容】 如上述地，若使用具有並聯地排列複數多白熾燈所構 成的光照射手段的光照射式加熱處理裝置，則不必旋轉工 © 件，成爲高精度地可實現領域控制。 然而，如上述地，對於多白熾燈內部的複數燈絲的供 應電力是個別地被控制。因此，基本上，僅燈絲數的分量 成爲需要獨立的控制系統。 隨著工件的巨型化，若燈絲數增多，則因應於其數成 爲需要多數的控制系統。因此，光照射式加熱處理裝置本 體爲大型者，而使得裝置成本會增大。 本發明是因應於此種情形而創作者，其課題是在於提 © 供使用具有由包括多白熾燈的複數燈所構成的光照射手段 的光照射式加熱處理裝置來進行工件的光加熱處理之際， 即使隨著工件的巨大化使得燈絲數變多，裝置也不會成爲 大型，而可抑制裝置成本的增大的光照射式加熱處理裝置 〇 亦即，提供以有效率且較簡單的構成可實現對於對應 於在光照射領域所設定的各領域的各燈的燈絲的電力供給 控制的光照射式加熱處理裝置，作爲目的。 本案發明人等經各種檢討的結果，發現了在具備由包 -11- 200933693 括上述的多白熾燈的複數燈所構成的光照射手段的光照射 式加熱處理裝置中，即使隨著工件的巨大化而使得燈絲數 變多，也將工件區劃成特定的領域，而將對應於該特定的 領域的燈絲構成作爲一塊的群，該群別地進行控制，即使 控制部數少，也可進行所期望的溫度控制。 依據以上，在本發明中，如下地來解決上述課題。 (1)將來自於軸方向排列一個發光管內部的複數燈 ❹ 絲分別配設有個別地饋電的引線的燈並聯配置複數支的燈 單元的光照射於工件，俾加熱上述工件的光照射式加熱處 理裝置，匯集位於某一燈內的燈絲，及另一燈內的燈絲而 被構成於複數群。 又，設置：饋電於上述燈的各燈絲的驅動部’及分別 設於上述各群，而一倂地控制饋電於屬於各群的燈絲的上 述驅動部的電力控制部。 (2 )在上述（1 )中，上述各燈內的各燈絲長度，是 © 並聯地排列複數燈時，被設定成利用各燈絲分別形成有同 心圓的長度，上述複數燈是利用各個燈絲形成有同心圓的 方式，並聯地配設複數。 又，屬於同一同心圓的各燈絲，是再被分割成1至複 數的群，被分割的各群別地，設有上述電力控制部’該電 力控制部一倂地控制饋電於屬於各群的燈絲驅動部。 (3 )在上述（1 ) 、（ 2 )中，設有將利用燈絲所照 射的各領域的溫度予以檢測的溫度感測器。上述電力控制 部是利用上述溫度感測器所檢測的 '溫度成爲事先所定的溫 -12- 200933693 度圖案的方式，驅動饋電於各群的燈絲的驅動部，而控制 上述各領域的溫度。 (4)在上述（1) 、（2)中’在電力控制部，設定 有事先所定的控制圖案。電力控制部是依據上述事先所定 的控制圖案，驅動饋電於各群的燈絲的驅動部，控制成把 上述各領域成爲所期望的溫度。 在本發明中，可得到以下的效果。 © (1)將工件的照射領域的領域設定，不僅設定成如 習知的同心圓狀，還將同一的同心圓分割成複數領域，而 作成將各領域的放射照度可設定在所定値之故，因而成爲 晶圓全面地將溫度分布高精度地維持在均勻之下，可進行 晶圓的光照射式加熱處理。 (2) 對應於各領域，匯集構成光照射手段的燈單元 的複數燈內的燈絲而構成燈絲群，將各燈絲個別地連接於 饋電電能的驅動部，藉由來自將驅動部分別設於各群的電 © 力控制部的同一控制訊號，一倂地進行控制之故，因而不 必設置僅燈絲數分量獨立的控制系統，藉由一個控制訊號 一倂地可控制對於屬於同一群的各燈絲的饋電。 所以，成爲以有效率地且較簡單地構成可實施對於各 燈的燈絲的電力供給控制。 (3) 依據事先所定的溫度控制圖案與來自溫度感測 器的溫度資訊，個別地調整施加於屬於各燈絲群的燈絲的 電壓，藉由控制各領域的溫度，而將工件的溫度分布維持 在大約均勻的狀態下，成爲可將包括昇溫過程、降溫過程 -13- 200933693 的加熱處理施加於工件。 又，反饋來自溫度感測器的溫度資訊’來控制對於各 燈絲群的饋電之故’因而成爲高精度地可實施加熱處理中 的領域的溫度控制。 【實施方式】 以下，針對於本發明的實施形態加以說明。 ❹ A.光照射式加熱裝置的整體構成 首先，針對於本發明的光照射式加熱裝置的構成例加 以說明。 第1圖是用以說明光照射式加熱裝置100的構成的圖 式。 如第1圖所示地，光照射式加熱裝置100是具有腔 3 00’腔3 00的內部是利用石英窗4被分割成燈單元收容 © 空間S 1與加熱處理空間S2。將從被收容於燈單元收容空 間S 1的燈單元1 〇所放出的光’經由石英窗4照射於被設 置於加熱處理空間S 2的工件6 ’藉此，施加工件的加熱 處理。 被收容於燈單元收容空間S1的光照射手段的燈單元 1 〇 ’是例如以所定間隔並聯地配置8支直管狀白熾燈1所 構成。 在使用於本加熱方法的加熱裝置的燈單元1〇中，具 備複數發光部分的白熾燈1 ’例如僅隔著所定距離並聯地 -14- 200933693 排列。 在此，構成燈單元10的白熾燈1，是例如局部採用著 如專利文獻2所述地將配置於直管狀發光管的內部的燈絲 分割成複數，而獨立地可饋電於各燈絲各個的構造的加熱 器。 亦即，構成燈單元1〇的各加熱器，是直管狀的白熾 燈構造，又，具有配置1個以上於大約同一軸狀的發光部 〇 分。 又，個別地發光各加熱器的發光部分的燈絲，或是利 用個別地調整各加熱器對於燈絲的供應電力，而成爲任意 地且高精度地設定工件6上的光強度分布。在第2圖，表 示若具有3個燈絲14a、14b、14c的白熾燈1 (以下也稱 爲加熱器）的例子。 在此，具有直管狀白熾燈構造的各加熱器1所具有的 發光部分，是並不必配置一個以上於大約同一軸上。然而 〇 ，若將各發光部分配置1個以上於大約同一軸上，則成爲 可將各加熱器作成直管構造之故，因而使得燈單元的各加 熱器的配置成爲簡單，而可將各加熱器間隔容易地作成較 狹窄。亦即，作爲白熾燈的構造，採用發光管形狀爲直管 形狀而對於燈絲的饋電裝置設於直管的兩端部的所謂直管 型兩端燈構造較佳。 在第2圖表示專利文獻2所述的加熱器1的細構造。 如第2圖所示地，加熱器1的發光管11是藉由箍縮密封 ’在一端側形成有密封部1 2 a，而在另一端側形成有密封 -15- 200933693 部12b，氣密地封著發光管11內部。在此，箍縮密封是金 屬箔13a、13b、13c被埋設於密封部12a，而金屬箔13d 、13e、13f被埋設於密封部12b的方式所進行。在金屬箔 1 3 a、1 3 b、1 3 c、1 3 d、1 3 e及 1 3 f分別電性地連接有外部 引線 18a、18b、18c、18d、18e、18f。在發光管 11 的內 部，沿著大約同一軸上，依次地設置有3個燈絲1 4a、1 4b 、1 4c。在燈絲1 4 a與1 4b之間設有絕緣體6 1 a，而在燈絲 © 14b與14c之間設有絕緣體61b。 在燈絲14a的一端側，電性地連接有饋電線15a，又 ，饋電線15a是被連接於金屬箱13a。另一方面，在燈絲 14a的另一端側，電性地連接有饋電線15f，又，饋電線 15f是被連接於金屬箔13f。在此，饋電線15f是依次設置 成通過設於絕緣體6 1 a的貫通孔6 1 1 a，與燈絲1 4b相對的 絕緣管1 6c，設於絕緣體6 1 b的貫通孔6 1 1 b ’及與燈絲 14c相對的絕緣管16f。 © 在燈絲14b的一端側，電性地連接有饋電線15b ’又 ，饋電線1 5 b是被連接於金屬箔1 3 b。另一方面’在燈絲 1 4 b的另一端側，電性地連接有饋電線1 5 e，又’饋電線 15e是被連接於金屬箔13e。在此’饋電線15b是設置成 通過設於絕緣體6 1 a的貫通孔6 1 2a ’與燈絲1 4a相對的絕 緣管1 6 a。 又，饋電線15e是設置成通過設於絕緣體61b的貫通 孔612b，與燈絲14c相對的絕緣16e。 在燈絲1 4c的一端側，電性地連接有饋電線1 5c ’又 -16- 200933693 ，饋電線15c是被連接於金屬箔13c。另一方面，在燈絲 14c的另一端側，電性地連接有饋電線15d，又，饋電線 15d是被連接於金屬箔13d。在此，饋電線15c是依次設 置成通過設於絕緣體61b的貫通孔613b，與燈絲14b相對 的絕緣管16d，設於絕緣體61a的貫通孔613a，及與燈絲 14a相對的絕緣管16b。 燈絲14a、14b、14c是藉由被配設於發光管11的軸 © 方向的複數個錨部17所支撐。錨部17是被夾住保持於發 光管11的內壁，與絕緣管16a、16d或16e之間。 在加熱器1中，在外部引線1 8 a與1 8 f之間連接有饋 電裝置62，在外部引線18b與18e之間連接有第2饋電 裝置63，在外部引線18c與18d之間連接有第3饋電裝 置64。亦即，燈絲14a、14b及14c，是分別藉由個別的 饋電裝置62、63、64獨立地被饋電。饋電裝置62、63及 64是可變電源，視需要成爲可調整饋電量。又，各饋電裝 © 置是對於燈絲，供給DC電力者，或是供給AC電力者都 可以。又，針對於可電力控制的饋電裝置的詳細，將在以 後加以說明。 亦即，依照表示於第2圖的加熱器1，沿著大約同一 軸上，依次設置若3個燈絲14a、14b、14c，而各燈絲 14a、14b、14c是藉由個別的饋電裝置62、63、64的分別 獨立地可饋電之故，因而個別地可調整從各個燈絲所放射 的光量。所以，依照具有此種加熱器的燈單元，成爲任意 地且高精度地可設定工件6上的光強度分布。 -17- 200933693 又，並不是在包括於燈單元10的各加熱器的所有燈 絲各個個別地設置饋電裝置，而依所期望的光強度分布， 作成將複數燈絲連接於1台饋電裝置也可以。 以下，將複數饋電裝置予以總稱也稱爲電源部7的情 形。 回到第1圖，在燈單元10的上方，配置有反射鏡2。 反射鏡2，是例如在無氧氣銅所成的母材施以鍍金的構造 © ，而反射斷面具有圓的一部分，橢圓的一部分，拋物線的 一部分或平板狀等的形狀。反射鏡2，是將從燈單元10朝 上方所照射的光反射至工件6側。 亦即，在光照射式加熱裝置1 0 0中，從燈單元1 0所 放出的光是直接或是在反射鏡2被反射，而被照射在工件 6 ° 在燈單元收容空間S 1，來自冷卻風單元8的冷卻風 從設於腔300的冷卻風供給噴嘴81的吹出口 82被導入。 © 被導入於燈單元收容空間S1的冷卻風，是被噴上於燈單 元10的各加熱器1，進行構成各加熱器1的發光管11。 在此，各加熱器1的密封部12a、12b是比其其他部 位耐熱性低。所以，冷卻風供應噴嘴8 1的吹出口 8 2是相 對於各加熱器1的密封部12a、12b而配置，優先地冷卻 各加熱器1的密封部12a、12b的方式所構成較佳。噴上 於各加熱器1，利用熱交換成爲高溫的冷卻風，是從設於 腔300的冷卻風排出口 83被排出。又，冷卻風的流動是 考慮到經熱交換而成爲高溫的冷卻風不會相反的加熱各加 •18- 200933693 熱器1。 上述冷卻風是反射鏡2也同時地被冷卻的方式來設定 風的流動。又，反射鏡2利用省略圖示的水冷機構被水冷 的情形’並不一定也同時地冷卻反射鏡2的方式而不設定 風的流動也可以。 然而’藉由來自被加熱的工件6的輻射熱會發生在石 英窗4的蓄熱。利用從被蓄熱的石英窗4二次地被放射的 Ο 熱線，工件6是有受到不期望的加熱作用的情形。 這時候，會發生起因於工件的溫度控制性的冗長化（ 例如，工件的溫度比設定溫度還成爲高溫的過越量），或 是被蓄熱的石英窗4本體的溫度參差不齊的工件的溫度均 勻性的降低等的不方便。又，成爲很難提昇工件6的降溫 速度。 因此，爲了抑制此些不方便，如第1圖所示地，將冷 卻風供應噴嘴81的吹出口 83也設於石英窗4的近旁’而 ® 利用來自冷卻風單元8的冷卻風作成冷卻石英窗4的方式 較佳。 燈單元10的各加熱器1 ’是利用一對燈固定台5 00、 501所支撐。燈固定台是由使用導電性構件所形成的導電 台52，及使用陶瓷等的絕緣構件所形成的保持台51所構 成51。保持台51是被設於腔3 00的內壁’俾保持導電台 52 ° 將構成上述燈單元10的加熱器的支數作爲n1’而將 具有上述加熱器所分割的燈絲的個數作爲m 1 ’而獨立地 -19- 200933693 供應電力於各燈絲全面的情形’則一對燈固定台500、501 的組數是η 1 X m 1組。 在腔3 00，設有由電源部7的饋電裝置的饋電線所連 接的一對電源供應埠71、72。又，在第1圖中表示著1組 的電源供應埠71、72，惟因應於加熱器1的個數’各加熱 器內的燈絲的個數等’ 一組的電源供應埠的個數是被決定 〇 © 在第1圖的例子中，電源供應埠7 1是與燈固定台500 的導電台5 2被電性地連接。又，電源供應埠7 2是與燈固 定台501的導電台52被電性地連接。 燈固定台500的導電台52是例如與燈單元10的1個 加熱器1的饋電裝置的外部引線參照第2圖）被電 性連接。燈固定台501的導電台52是例如與外部引線18f (參照第2圖）被電性地連接。藉由此種構成，成爲可從 饋電裝置，對燈單元10的1個加熱器1的燈絲14a的饋 ❹電。 針對於加熱器1的其他燈絲1 4b、1 4c，或是燈單元 1 0的其他加熱器1的各燈絲的各加熱器1的各燈絲，也藉 由其他一對的電源供應埠7 1、72，分別施以同樣的電性連 接。 另一方面，在加熱處理空間S2，設有固定著工件6 的處理台5。例如，工件6爲半導體晶圓時，處理台5是 如鉬或鎢、鉅的高融點金屬材料或碳化矽（SiC)等的陶 瓷材料，或是石英矽（Si)所構成的薄板環狀體，而在該 -20- 200933693 圓形開口部的內周部形成有支撐半導體晶圓的階段差部的 保護環構造較佳。 半導體晶圓6是配置成將半導體晶圓6予以嵌入於上 述的圓環狀的處理台5(保護環）的圓形開口部，而使用 上述階段差部。處理台5(保護環）是本身也藉由光照射 成爲高溫，會補助地放射相對面的半導體晶圓6的外周緣 ’俾補償來自半導體晶圓的外周緣的熱放射。藉由此，來 〇 抑制起因於來自半導體晶圓6的外周緣的熱放射等的半導 體晶圓周緣部的溫度降低。 在被設置於處理台5的工件6的光照射面的背面側， 溫度測定部91抵接或近接設於工件6。溫度測定部9 1是 監測工件6的溫度分布所用者，而因應於工件6的尺寸來 設定著個數、配置。 溫度測定部9 1是例如使用熱耦或放射溫度計。藉由 溫度測定部9 1被監測的溫度資訊是被送出到溫度計9。溫 Ο 度計9是依據由各溫度測定部91所送出的溫度資訊’來 算出各溫度測定部9 1的測定地點的各領域的溫度。 又，因應於加熱處理的種類，在加熱處理空間S2連 接導入、排氣製程氣體的製程氣體單元800也可以。例如 ，進行熱氧化製程的情形，於加熱處理空間S2連接著導 入、排氣氧氣體，及沖洗加熱處理空間S2所用的沖洗氣 體（例如氮氣體）的製程氣體單元800。 來自製程氣體單元800的製程氣體，沖洗氣體是從設 於腔300的氣體供應噴嘴84的吹出口 85被導入於加熱處 -21 - 200933693 理空間S2。又，排氣是由排出口 86所進行。 B.對應於光照射領域的領域分割例及對應於各領域的燈絲 的配置例 以下，針對於使用本發明的光照射式加熱裝置來加熱 處理工件的情形的光照射領域的領域的分割例及對應於各 領域的多白熾燈內的燈絲的配置例使用第3圖加以說明。 © 作爲例子，工件是作爲半導體晶圓，而爲了容易了解 而未考慮到保護環者。 如上述地，工件爲晶圓的時候，在晶圓中央部領域與 晶圓周邊部領域，受到來自晶圓周邊部的熱放射的影響， 兩領域的加熱、冷卻特性是互相不相同。 在此，如習知地，首先將工件上的光照射領域分成兩 個領域。亦即，設定晶圓中央部領域（領域1 )與晶圓周 邊部領域。兩領域是配置成同心圓狀，而內側成爲晶圓中 ® 央部領域，外側成爲晶圓周邊部領域。 在此，例如，藉由工件的光照射式加熱處理來進行熱 氧化製程的時候，在加熱處理空間S2，被導入、排氣有 氧氣體，及沖洗加熱處理空間S2所用的沖洗氣體（例如 ’氮氣體）。除了熱氧化製程以外，在膜成長於晶圓表面 的時候，導入有膜成長用的製程氣體。 如此地，在加熱處理空間S2頻繁地進行著氣體導入 、排氣之故，因而加熱處理空間S2內的環境是動態地變 動。 -22- 200933693 如此地，在加熱處理空間S2中’存在著製程氣體、 沖洗氣體等的氣體流動的時候’位於氣體的上游側的工件 表面領域與位於氣體的下游側的工件表面領域，成爲各領 域的加熱、冷卻特性是互相地不相同。 在此種狀況下，僅將工件上的光照射領域單純地設定 成同心圓狀，即使分別調整各領域的放射密度，在晶圓全 面地均勻地維持溫度分布之狀態下，也成爲很難進行晶圓 〇 的光照射處理。在此種氣體的上游側、下游側的加熱、冷 卻特性的不同，尤其是在晶圓周邊部領域成爲顯著。 又，在第1圖加以領域，惟在加熱處理空間S2的壁 部一部分，設有用以將工件搬入、搬出於該加熱處理空間 S2內。當然，搬入口、搬出口表面並不是如通常的壁部 地平坦，而是存在凹凸部。對於設置於此種構造的加熱處 理空間S2內的工件進行光照射的時候，由光照射手段的 光的一部分利用上述的搬入口、搬出口的凹凸部被複雜地 © 反射。亦即’在晶圓的周邊部近旁，存在著光的反射條件 並不均勻的光反射面。因此，晶圓周邊部領域的加熱、冷 卻特性並不是均勻。亦即，即使在氣體流動靜止的狀態下 ’也與有氣體流動時同樣，若僅將工件上的光照射領域單 純地設定成同心圓狀，則晶圓全面地均勻地維持溫度分布 之狀態下’成爲很難進行晶圓的光照射式加熱處理。 在此’爲了對應於氣體流動的影響，加熱處理空間 S2的壁部的光反射特性的影響，更細分化領域的設定。 如上述地’氣體流動的影響，加熱處理空間S2的壁部的 -23- 200933693 光反射特性的影響’是對於晶圓周邊 亦即，利用此些影響’晶圓周邊部領 是成爲不均勻。因此’細分化晶圓周 爲了容易瞭解，在第3圖中，製 流動，是作成從上部流向下部者。又 出口是作成配置於與氣體的流動的方 作成設於第3圖的左側者，而搬出口 ❹ 側者。 在此種構成中，圓環狀的晶圓周 上游側、氣體下游側、搬入口近旁側 成爲加熱、冷卻特性分別不相同。在 周邊部領域分割成領域2、領域3、i 亦即，將氣體上游側領域設定爲 側領域設定爲領域3，將搬入口近旁 ，將搬出口近旁側的領域設定爲領域 © 以虛線所圍繞的各流域，以四方所圍 示各領域的號碼。 如以上地，將工件照射領域分割 領域3、領域4、領域5，而藉由分別 放射領域，晶圓全面地均勻地維持溫 爲可進行晶圓的光照射式加熱處理。 如對應於如上所設定的5個領域 熾燈的複數燈所成的光照射手段的各 以及各燈絲的配置。 部領域顯著地作用。 域的加熱、冷卻特性 邊部領域。 程氣體或沖洗氣體的 ，工件的搬入口、搬 向者。亦即，搬入口 作成設於第3圖的右 邊部領域，是在氣體 、搬出口近旁側中， 此，將圓環狀的晶圓 ΐ域4、領域5。 領域2，將氣體下游 側領域設定爲領域4 5 (在第3圖中，爲 繞的數字1〜5爲表 成領域1、領域2、 個別地調整各領域的 度分布之狀態下，成 地，來決定包括多白 燈絲的長度的設定， -24- 200933693 在表示於第3圖的例子中，光照射手段是由4支多白 熾燈（第1燈、第2燈、第3燈、第4燈）與4支單白熾 燈（第5燈、第6燈、第7燈、第8燈）所構成。 4支多白熾燈是配置於對應於工件中央側的位置，而 4支單白熾燈是分別配置兩支於4支多白熾燈的外側。 亦即，如對應於晶圓中央部領域1地，配置有第1燈 的燈絲（1 )，第2燈的燈絲（1 )，配置於第1燈的外側 © 的第3燈的燈絲（1 )，配置於第2燈的外側的第4燈的 燈絲（1 )(燈絲是在第3圖中以具括弧的表示）。 以下，爲了將表記作成簡單，將第A燈的燈絲B稱爲 燈絲A_B。例如第1燈的燈絲（1 )是成爲燈絲1 -1。 亦即，對應於領域1的燈絲是由第3圖的左邊，配置 成燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4 -1的順序。又，在以下，在總稱 此些燈絲的情形，也有稱爲燈絲1 4的情形。 又，如對應於圓形地，也設定各燈絲的長度。亦即， ® 燈絲3 -1、4 -1的長度是比燈絲1 -1、2-1的長度還短。 同樣地，對應於配置於氣體上游側的領域2的方式， 燈絲3-2、1-2、2-2、4-2爲從第3圖左側依次地配置。此 些燈絲的長度是對應於領域2的形狀被設定。 又，對應於配置於氣體下游側的領域3的方式，燈絲 3-3、1-3、2-3、4-3爲從第3圖左側依次地配置。此些燈 絲的長度是對應於領域3的形狀被設定。 又，對應於配置於搬入口側的領域4的方式，燈絲Τ-ΐ 、 5-1 爲從第 3 圖左側 依次地 配置。 此些燈 絲的長 度是對 -25- 200933693 應於領域4的形狀被設定。 又，對應於配置於搬出口側的領域5的方式，燈絲6-1、8-1爲從第3圖左側依次地配置。此些燈絲的長度是對 應於領域5的形狀被設定。 亦即，將燈從第3圖左側依次地排列爲第7燈、第5 燈、第3燈、第1燈、第2燈、第4燈、第6燈、第8燈 時，則各燈內的各燈絲長度，是如下地被設定。 © 燈絲3 - 1、1 -1、2-1、4-1的長度，是以如上述的順序 並聯地排列各燈時，則被設定成形成有對應於領域1的圓 的長度。 又，燈絲 3-1、1-2、2-2、4-2、3-3、1-3、2-3、4-3 、7-1、5-1、6-1、8-1的長度，是以如上述的順序並聯地 排列各燈時，則被設定成形成有對應於晶圓周邊部領域（ 領域2、領域3、領域4、領域5 )的同心圓的長度。 © C.電源部的構成 在本發明中，將對應於領域1的燈絲3 -1、1 -1、2 -1 、4-1構成作爲第1燈絲群，一倂控制對於屬於該第1燈 絲群的各燈絲的供給電力。 同樣地，將對應於領域2的燈絲3-2、1-2、2-2、4-2 構成作爲第2燈絲群，將對應於領域3的燈絲3-1、1-3、 2-3、4-3構成作爲第3燈絲群，將對應於領域4的燈絲Τ-ΐ 、 5-1 構成 作爲第 4 燈絲群 ，將 對應 於領域 5 的燈絲 6-1 、8-1構成作爲第5燈絲群，分別一倂控制對於屬於各群 -26- 200933693 的各燈絲的供應電力。 亦即，對應於同一同心圓的晶圓周邊部的各燈絲，是 再被分割成構成第2、第3、第4、第5燈絲群，而分別一 倂地控制對於屬於各群的各燈絲的供應電力。 針對於分別一倂地控制對於分別屬於第1、第2、第3 、第4、第5的燈絲群的各燈絲的供應電力的構成，使用 圖式詳細地說明本發明的實施例1、實施例2。 ❹ (a )實施例1 第4圖是表示本發明的第1實施例的電源部的構成的 圖式。 如第4圖所示地，對於各燈絲的饋電，是藉由個別地 被連接於各燈絲各個的驅動部DR1-1〜DR2-5所進行。驅 動部DR1-1〜DR2-5是利用來自電力控制部Pci〜Pc5的 指令，來調整從電力供應電源Pw所供應的電能而饋電於 © 各燈絲。 在對應於領域1的第1燈絲群中，對燈絲1 -1的饋電 ，是藉由驅動部DR1-1所實施。同樣地，對燈絲2-1、3-1 、4-1的饋電是分別藉由驅動部DR2-1、DR3-1、DR4-1所 實施。在此，驅動部DR1-1是在通電時從燈絲1-1所放出 的光的光強度成爲所定値的方式，調整從電力供應電源 Pw所供應的電能，而將經調整的電能饋電於燈絲1 -1。同 樣地，驅動部DR2-1、DR3-1、DR4-1是在通電時從燈絲 2-1、3-1、4-1所放出的光的光強度成爲所定値的方式， -27- 200933693 調整從電力從電力供應電源Pw所供應的電能，而將經調 整的電能分別饋電於燈絲2 -1、3 -1、4 - 1。又，在以下總 稱上述驅動部的時候，稱爲驅動部DR，而總稱上述電力 控制部的時候，稱爲電力控制部Pc。 在此，領域1的放射照度是必須設定成在所定値成爲 大約均勻。從各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1所放出的光的光 強度，是把領域1的放射照度在所定値成爲大約均勻的方 〇 式，分別被調整成所定値。在此，爲了容易瞭解，在領域 1中，假定爲没有從對應於其他的領域的燈絲所放出的光 的迂迴者。作成如此，從各燈絲1 -1、2- 1、3 -1、4-1所放 出的光的光強度，是必須調整成大約同一値。 因此，被供應於各燈絲1 -1、2- 1、3 - 1、4-1的電能， 是把從各燈絲1 -1、2 -1、3 _ 1、4 -1所放出的光的光強度被 調整成在所定値成爲大約同一。 電力控制部Pci是對於驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1 © 、DR4-1，送訊把領域1的放射照度在所定値成爲大約均 勻的指令訊號。在此，對於上述的各驅動部的指令訊號是 成爲同一訊號。 各驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1是當上述指 令訊號被輸入，則把從各燈絲】-1、2-1、3-1、4-1所放出 的光的光強度在所定値成爲大約同一的方式，來調整供應 於各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1的電能。在此，從被調整成 大約同一的各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1所放出的光的光強 度，是領域1的放射照度在所定値成爲大約均一的光強度 -28 - 200933693 亦即，分別饋電於構成對應於領域1的第1燈絲群的 各燈絲 1-1、2-1、3-1 ' 4-1 的驅動部 DIU-l、DR2-1、 DR3-1、DR4-1的動作，是利用來自電力控制部Pci的同 一指令訊號，一倂地進行控制。 同樣地，各領域2、3、4、5的放射照度是必須在各 個所定値設定成大約均勻。因此，從構成對應於領域2的 G 第2燈絲群的各燈絲，從構成對應於領域3的第3燈絲群 的各燈絲，從構成對應於領域4的第4燈絲群的各燈絲， 從構成對應於領域5的第5燈絲群的各燈絲所放出的光的 光強度，也必須設定成在各個所定人宜成爲大約同一。 實現此種設定的方式，對應於第2燈絲群的各驅動部 ，對應於第3燈絲群的各驅動部，對應於第4燈絲群的各 驅動部，對應於第5燈絲群的各驅動部，是分別個別地調 整饋電於屬於各燈絲群的各燈絲的電能。 ® 又，如上述地，在各領域中，假定爲沒有從對應於其 他領域的燈絲所放出的光的迂迴者。 在此，分別饋電於構成對應於領域2的第2燈絲群的 各燈絲 1-2、2-2、3-2、4-2 的驅動部 DR1-2、DR2-2、 DR3-2、DR4-2的動作，是利用來自電力控制部Pc2的同 一訊號一倂地進行控制。 又，分別饋電於構成對應於領域3的第3燈絲群的各 燈絲 1-3、2-3、3-3、4-3 的驅動部 DR1-3、DR2-3、DR3-3 、DR4-3的動作，是利用來自電力控制部Pc3的同一訊號 -29- 200933693 ，一倂地進行控制。 又，分別饋電於構成對應於領域4的第4燈絲群的各 燈絲5-1、7-1的驅動部DR1 -4、DR2-4的動作，是利用來 自電力控制部Pc4的同一訊號，一併地進行控制。 又，分別饋電於構成對應於領域5的第5燈絲群的各 燈絲6-1、8-1的驅動部DR1 -5、DR2-5的動作，是利用來 自電力控制部Pc5的同一訊號，一倂地進行控制。 〇 如以上地在本發明，是對應於各領域1、2、3、4、5 ，匯集構成光照射手段的燈單元的複數燈內的燈絲以構成 燈絲群 1、2、3、4、5。 詳細爲，匯集燈單元的燈內的燈絲，及其他燈內的燈 絲，以構成1個燈絲群。 各燈絲是個別地連接於饋電電能的驅動部。在此，對 屬於各燈絲群的各燈絲饋電電能的驅動部DR，是利用來 自分別設於各燈絲群別地的電力控制部Pc的同一控制訊 © 號，一倂地進行控制。 例如，利用來自設於第1燈絲群的電力控制部Pc 1的 控制訊號，對屬於同群的各燈絲1-2、2-1、3-1、4-1饋 電電能的各驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1的動作 ，是一倂地被控制。 同樣地，利用來自設於第2、第3、第4、第5燈絲群 的電力控制部Pc2、Pc3、Pc4、Pc5的控制訊號，對屬於 各群的各燈絲饋電電能的各驅動部的動作’是分別一倂地 被控制。 -30- 200933693 又，表示於第2圖的各饋電裝置62〜64是相當於上 述的電力供應電源Pw及各燈絲DR。又，電源部7是相當 於表示於第4圖的各電力控制部pc，電力供應電源Pw， 各燈絲DR整體。 以下’詳細地說明，針對於對屬於對應於1個領域的 燈絲群的各燈絲一倂地控制饋電電能的各驅動部的動作所 用的構成。 Ο 以下，以對應於表示於第3圖的領域1的第1燈絲群 的控制作爲例子加以說明。 屬於對應於領域1的第1燈絲群的燈絲，是從第3圖 的左邊以燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4 -1的順序進行配置。又， 對應於圓形領域1的方式，也設定各燈絲的長度。亦即， 燈絲3 -1、4-1的長度，是比燈絲1 -1 ' 2-1的長度還要短 〇 如上述地，欲將領域1的放射照度在所定値作爲大約 ® 均勻’必須從各燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4 -1在通電時所放出 的光的光強度設定成大約均勻。 欲將領域1的放射照度設定在所定値的時候，決定在 領域1的每一單位時間，每一單位面積的放射能的放射密 度（W/cin2 )。在此，當決定燈的燈泡（發光管）的間隔 (cm ) ’則燈絲的每一單位長度的電力。將該每一單位長 度的電力稱爲電力密度（W/cm )。電力密度（W/cm )， 是以放射密度（W/cm2 )與燈泡（發光管）的間隔（cm ) 的相乘積所表示。 -31 - 200933693 燈絲的額定電力，是以上述的電力密度（W/cm )與 燈絲的長度（cm )的相乘積所表示。當在燈絲消耗額定電 力’則領域1的放射照度被設定在所定値。 另一方面，通常燈絲是以所定捲繞間距線圈狀地形成 燈絲的素線者。燈絲的電阻値，是藉由燈絲的素線徑、線 圈的直徑、線圈的捲繞間距値所決定。 各燈的燈絲的素線徑、線圈的直徑、線圈的捲繞間距 © 値，是一般被設計成同一之故，因而各燈絲的電阻値是分 別具有所定値。 將在燈絲消耗額定電力之際，被施加於燈絲的電壓稱 爲額定電壓，則該額定電壓是由燈絲的額定電力，電阻値 所決定。 如上述地，屬於第1燈絲群的各燈絲3 -1、1 -1、2-1 、4-1的長度並不是同一之故，因而以電力密度（w/cm ) 與燈絲的長度（cm )的相乘積所表示的額定電力是在各燈 ® 絲中全部並不是同一。 在此，考量將各燈絲的額定電壓設定成同一的情形。 如上述地額定電壓是藉由燈絲的額定電力，電阻値所決定 。各燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4 -1的額定電力是如上述地互相 不相同之故，因而欲將各燈絲3 -1、1 -1、2 - 1、4 -1的額定 電壓設定成一同’則必須將各燈絲3·1、丨-丨、2d、4_丨的 電阻値設定成所定値。 然而，如上述地’各燈的燈絲的素線徑、線圈的直徑 、線圈的捲繞間距値是通常被設計成同一之故，因而各燈 -32- 200933693 絲3-1、1-1、2-1、4-1的電阻値是分別被固定在所定的一 定値。因此，各燈絲的額定電壓是無法設定成同一。亦即 ，對於長度互相不相同的各燈絲，必須分別施加所定的額 定電壓。藉由將所定額定電壓分別施加於各燈絲3 -1、1 -1 、2-1、4-1，使得領域1的放射照度被設定在所定値。 在此，電力供應電源Pw是一般爲商用電源，藉由電 力供應電源Pw，被施加於負荷的電壓是成爲一定。因此 〇 ，爲了將所定額定電壓分別施加於各燈絲3 -1、1 -1、2 -1 、4-1，必須利用驅動部DR，來調整對於負荷的燈絲的施 加電壓。 以下，使用第5圖來說明驅動部的詳細構成例。 第5圖是表示驅動部DR的詳細方塊圖。如第5圖所 示地，驅動部DR是由偏壓設定部BS，閘流體驅動器部 SDr，閘流體SR所構成。負荷的燈絲14是經由閘流體SR 被連接於電力供應電源Pw。在本構成中，對於負荷的燈 © 絲14的施加電壓爲藉由驅動部DR被調整。 如上述地，電力控制部Pc是將某一領域的放射照度 在所定値成爲大約均勻的指令訊號送訊至驅動部DR。 例如，驅動部DR1-1〜DR4-1的偏壓設定部BS，是依 據上述指令訊號，從各燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4-1所放出的 光的光強度成爲大約同一値的方式，來設定由電力供應電 源Pw對於被施加於負荷的燈絲3 -1、1 -1、2-1、4-1的電 壓的偏壓，作成珞燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4 -1施加有額定電 壓。 -33- 200933693 在此，如上述地施加於各燈絲的額定電壓 之故，因而被連接於各燈絲的各驅動部DR1-1 偏壓設定部BS的設定也不是同一。 在此，各偏壓設定部BS，是分別可個別 之故，因而藉由來自電力控制部Pci的同一指 得對各燈絲3 -1、1 -1、2 -1、4 -1的額定電壓成 定成爲所定値。 © 當在各偏壓設定部BS設定有偏壓，則偏Λ 是將驅動訊號送訊至閘流體驅動部SDr。閘 SDr，是依據來自偏壓設定部BS的驅動訊號’ 應電源Pw施加於負荷（燈絲Μ )的電壓加上 使得施加於燈絲1 4的電壓成爲額定電壓的方 作聞流體SR。又，上述的偏壓’是例如設定有 藉由如上述地構成驅動部DR ’而利用來 部Pc的同一訊號，對各燈絲1 4分別施加所定 © 的方式，成爲一倂地可進行控制。 又，在第5圖中’在驅動部DR表示使用 的例子，惟驅動部的構成是並不被限定於此者 採用在驅動部DR使用開關元件的PWM控制方 在本實施例中’工件的照射領域的領域設 如以往地設定成同心圓’還將同一同心圓分割 。此種領域的設定’是不僅考慮到來自工件的 放射的影響’還考慮到設定有工件的收容空間 如，氣體的流動’利用收容空間壁部的不均句 是並不同一 〜DR4-1的 地設定偏壓 令訊號，使 爲分別可設 g設定部BS 流體驅動部 在從電力供 所定偏壓， 式，進行動 負値。 自電力控制 的額定電壓 丨閘流體SR 。例如也可 式。 定，爲不僅 成複數領域 周邊部的熱 的環境（例 的光反射等 -34- 200933693 的影響。因此，利用將各領域的放射照度設定成所定値， 在晶圓全面地將溫度分布予以高精度地均勻地維持之下， 成爲可進行晶圓的光照射式加熱處理。 又，不僅燈絲的數量分設置獨立的控制系統，還藉由 1個控制訊號一倂地可控制對於屬於同一群的各燈絲的饋 電之故，因而成爲有效率地且以較簡單的構成就可實施對 於對應於光照射領域所設定的各領域的各燈的燈絲的電力 〇 供應控制。亦即，即使工件的巨大化而增加燈絲的數量， 也不會使光照射式加熱處理裝置成爲大型，而成爲可抑制 同裝置的裝置成本的增大。 工件的加熱處理是例如以表示於第6 ( a )圖的順序進 行。在此，以熱氧化處理等將工件一直加熱到1 1 〇〇°C的情 形作爲例子。 在期間（1 )〜（2 )中，工件是例如到達溫度昇溫至 600°C。工件溫度到達至600°C之後，在期間（2)〜（3) 〇 中，工件是被維持在600°c。此爲一直到1 100°c的加熱處 理前，將構成光照射手段的燈單元的複數燈的動作予以穩 定化，而爲了謀求加熱處理環境的穩定化。 使加熱處理環境穩定之後，在期間（3 )〜（4 )中， 工件本身的溫度被昇溫一直到達至1 1 〇〇°C。在工件溫度到 達至1100 °c之後，在期間（4)〜（5)中，工件是被維持 在1100°C。又，被維持在ll〇〇°C的時間是藉由加熱處理 的種類，被適當地設定。又，時機（5)以後，工件是被 降溫。 -35- 200933693 爲了實現如上述的加熱處理，各電力控制部Pc，是控 制驅動部DR，而實現各燈絲群的點燈控制。 例如，第1電力控制部P c 1是以以下的要領來控制對 於第1燈絲群的供應電力。 第7圖是表示在第1實施例中，驅動第1燈絲群的電 力控制部，驅動部者。又，在以下爲了簡單地可瞭解，如 第7圖所示地，燈絲1 · 1及2 -1的長度作成相等，而燈絲 Ο 3-1及4-1的長度作成相等。又，燈絲1-1及2-1的長度 是作成比燈絲3 - 1及4 -1的長度還要長者。 從第1燈絲群所放射的光，是光照射表示於第3圖的 工件（晶圓）的照射領域的中央部的領域1。第1電力控 制部Pc 1，是將領域1的放射照度在所定値成爲大約均勻 的指令訊號送訊至驅動部DR1-1 ' DR2-1、DR3-1 ' DR4-1 〇 如先前所述地，將領域1的放射強度設定成所定値時 ® ，則求出對應於上述所定的放射照度的放射密度，而由該 放射密度及燈的燈泡（發光管）的間隔，求出各燈絲的電 力密度。若具有屬於第1燈絲群的各燈絲的的燈泡間隔爲 等間隔時，則屬於第1燈絲群的各燈絲的電力密度是成爲 完全相等。 又，依據該電力密度及各燈絲的長度，將屬於第1燈 絲群的各燈絲的額定電力分別設定成所定値。亦即，在各 燈絲中，當分別個別地設定的額定電力被消耗，則領域1 的放射照度成爲所定値。 -36- 200933693 在此，構成第1燈絲群的燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1是 長度不同一之故，因而如上述地，各燈絲的額定電力是成 爲如以下的關係。亦即，燈絲1 _ 1及2 -1的額定電力是相 等。而燈絲3 -1及4 -1的額定電力是相等。另一方面，燈 絲及2-1的額定電力是燈絲長度較長分量，比燈絲3_ 1、4-1的額定電力還要大❶ 因此’燈絲1-1及2-1的額定電壓是相等，而燈絲3-© 1及4-1的額定電壓電力是相等。另—方面，燈絲及 2- 1的額定電壓是燈絲長度較長分量，比燈絲3 -1、4-1的 額定電壓還要大。 在此’一般電力供應電源Pw是商用電源，藉由電力 供應電源被施加於負荷的電壓是成爲一定。因此，如上述 地’將所定額定電壓分別施加於各燈絲1 - 1、2-1、3 -1、 4-1的方式，藉由各驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1進行調整。 ® 亦即，利用驅動部 DR1 -1、DR2-1、DR3-1、DR4-1 的 各偏壓設定部BS1-1、BS2-1、BS4-1、BS4-1，把偏壓分 別個別地設定，而各偏壓設定部BS1-1、BS2-1、BS3-1、 BS4-1是將驅動訊號分別送訊至閘流體驅動部SDrl-l、 SDr2-l、SDr3，l、SDr4-l 〇 各閘流體驅動部 SDrl-1、SDr2-l、SDr3-l、SDr4-l 是依據來自各偏壓設定部 BSl-l、BS2-1、BS3-1、BS4-1 的驅動訊號’在從電力供應電源施加於負荷的各燈絲1-1 、2-1、3-1、4-1的電壓加上所定偏壓，使得施加於各燈 -37- 200933693 絲1-1、2-1、3-1、4-1的電壓分別成爲額定電壓的方式’ 進行動作各閘流體sm-l、SR2-1、SR3-1、SR4-1。 藉由如上述地構成驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、 DR4-1，而利用來自電力控制部Pci的同一訊號，而對於 各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1分別施加有所定額定電壓被施 加有所定額定電壓的方式，成爲一倂地可進行控制。 在電力控制部Pci，工件的照射領域的領域1的溫度 ❾ 與時間的關係，設有成爲第6 ( a )圖所示的控制圖案。依 據該控制圖案，電力控制部Pc 1是控制各驅動部DR 1 -1、 DR2-1、DR3-1、DR4-1 的驅動。 首先，電力控制部Pci，是依據事先所設定的控制圖 案，在第6 ( a )的昇溫期間（1 )〜（2 )中，使得領域1 的溫度由室溫一直昇溫至600°C的方式，在各驅動部〇111-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1送訊控制訊號A。受訊控制訊 號A的驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1是依據上述 ® 控制訊號A，對各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1分別施加所定 的額定電壓。又，如上述地，驅動部分別地藉由偏壓設定 部個別地設定有偏壓之故，因而藉由來自電力控制部Pci 的同一控制訊號A，使得各驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1 、DR4-1的動作一倂地被控制。 又’如第6 ( b )圖所示地，被施加於燈絲1 -1及2 -1 的額定電壓，是燈絲長度較長的分量，比被施加於燈絲3-1及4-1的額定電壓還要大。 之後’電力控制部Pc 1是依據事先所設定的控制圖案 -38- 200933693 ，在第6(a)圖的溫度維持期間（2)〜（3)中，使得領 域1的溫度被維持在600°C的方式，將控制訊號B送訊至 各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號B的驅動部DIU-1、DR2-1、DR3-1、 DR4-1，是依據上述控制訊號B，將所定的額定電壓分別 施加於各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1。 在此，將領域1的溫度維持在6 00 °C時，則僅補充來 〇 自工件（晶圓）的熱放出分量就可以。因此，在溫度維持 期間（2 )〜（3 )的領域1的放射照度，是被設定成比在 昇溫期間（1 )〜（2 )的領域1的放射照度還要小値。因 此，在溫度維持期間（2 )〜（3 )中被施加於各燈絲的額 定電壓値，是比在昇溫期間（1 )〜（2 )中被施加於各燈 絲的額定電壓値還要小。 又，與昇溫期間（1 )〜（2 )時同樣，各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1的動作，是利用來自電力 © 控制部P c 1的同一控制訊號B —倂地被控制。又，當然在 溫度維持期間（2 )〜（3 )中，被施加於燈絲1 _ 1及2-1 的額定電壓是燈絲長度較長分量，也比被施加於燈絲3 -1 、4-1的額定電壓還要大。 之後，電力控制部Pci是依據事先所設定的控制圖案 ，在第6(a)圖的昇溫期間（3)〜（4)中，使得在領域 1的溫度被昇溫一直到達至1100°C的方式，將控制訊號C 送訊至各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號C的驅動部DIU-l、DR2-1、DR3-1、 -39- 200933693 DR4-1，是依據上述控制訊號C，將所定額定電壓分別施 加於各燈絲 1-1、2-1、3-1、4-1。 將領域1的溫度從600°C昇溫至1 100°C時，與將溫度 從室溫昇溫至600°C時或將溫度維持在600°C時相比較， 則必須增大在領域1的放射照度。亦即，昇溫期間（3 ) 〜（4)的領域1的放射強度，是比在昇溫期間（1)〜（ 2 )，溫度維持期間（2 )〜（3 )的領域1的放射照度， Ο 設定成還要大値。因此，在昇溫期間（3)〜（4)中被施 加於各燈絲的額定電壓値，是比在昇溫期間（1 )〜（2 ) ，溫度維持期間（2 )〜（3 )中被施加於各燈絲的額定電 壓値還要大。 又，與昇溫期間（1 )〜（2 )，溫度維持期間（2 ) 〜（3 )時同樣，各驅動部別地，利用偏壓設定部個別地 設定有偏壓之故，因而藉由來自電力控制部Pci的同一控 制訊號C，一倂地控制著各驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1 © 、DR4 - 1的動作。 又’當然在昇溫期間（3 )〜（4 )中，被施加於燈絲 1-1及2-1的額定電壓，是燈絲長度較長分量，也比被施 加於燈絲3-1、4-1的額定電壓還要大。 之後，電力控制部Pci是依據事先所設定的控制圖案 ’在第6(a)圖的溫度維持期間（4)〜（5)中，使得在 領域1的溫度被維持在1100。〇：的方式，將控制訊號D送 訊至各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號D的驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、 -40- 200933693 DR4-1，是依據上述控制訊號D，將所定額定電壓分別施 加於各燈絲 1-1、2-1、3-1、4-1。 在此，將領域1的溫度維持在no〇°c時’則僅補充來 自工件（晶圓）的熱放出分量就可以。因此，在溫度維持 期間（4 )〜（5 )的領域1的放射照度，是被設定成比在 昇溫期間（3 )〜（4 )的領域1的放射照度還要小値。因 此，在溫度維持期間（4 )〜（5 )中被施加於各燈絲的額 〇 定電壓値，是比在昇溫期間（3 )〜（4 )中被施加於各燈 絲的額定電壓値還要小。 又，在溫度維持期間（4 )〜（5 )中被維持的溫度是 11 〇〇 t，比在溫度維持期間（2)〜（3)中被維持的溫度 60 0 °C還要大之故，因而在溫度維持期間（4 )〜（5 )中 被施加於各燈絲的額定電壓値，是比在溫度維持期間（2 )〜（3 )中被施加於各燈絲的額定電壓値還要大。 又，與昇溫期間（1 )〜（2 )，溫度維持期間（2 ) 〇 〜（3 )，昇溫期間（3 )〜（4 )時同樣，各驅動部別地 ，利用偏壓設定部個別地設定有偏壓之故，因而藉由來自 電力控制部Pc 1的同一控制訊號D，一倂地控制著各驅動 部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1 的動作。 又，當然在溫度維持期間（4)〜（5)中，被施加於 燈絲1 -1及2 -1的額定電壓，是燈絲長度較長分量，也比 被施加於燈絲3 -1、4- 1的額定電壓還要大。 之後，電力控制部Pc 1是依據事先所設定的控制圖案 ，在第6(a)圖的時機（5)以後使得在領域1的溫度會 -41 - 200933693 降溫的方式，將控制訊號E送訊至各驅動部0尺1-1、〇112-1、DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號E的驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、 DR4-1，是依據上述控制訊號E，停止施加對於各燈絲1 -1 、2-1、3-1、4-1 的電壓。 如以上地，電力控制部Pc 1是依據事先所設定的控制 圖案，將控制訊號A、B、C、D、E送訊至饋電於屬於第 © 1燈絲群的各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1的各驅動部D R 1 -1 、DR2-1、DR3-1、DR4-1 ’俾驅動該驅動部而進行調整被 施加於各燈絲的額定電壓，來控制領域1的溫度。 針對於對應於表示於第3圖的領域2、領域3、領域4 、領域5的第2、第3、第4、第5燈絲群，分別藉由電力 控制部P c 2、電力控制部P c 3 '電力控制部p e 4、電力控制 部Pc5，也進行與上述同樣的控制。 亦即’各電力控制部Pc2、電力控制部Pc3、電力控 ® 制部Pc4、電力控制部Pc5，是依據事先所設定的控制圖 案，來驅動對應於第2、第3、第4、第5燈絲群的驅動部 DR’進行控制施加於屬於各燈絲群的燈絲的額定電壓値， 使各領域2、領域3、領域4、領域5的溫度成爲所期望値 〇 在此，表示於第3圖的領域2、領域3、領域4、領域 5’是工件的周邊部領域，在加熱時須補償來自工件周緣 部的散熱。所以，爲了將加熱處理中的工件的溫度分布作 爲大約均勻，對於工件的光照射時，領域2、領域3、領 -42- 200933693 域4、領域5的放射照度，是須設定成比工件中央部的領 域1的放射照度還要大。 例如，進行如第6 ( a )圖所示的加熱處理時，則在期 間（1)〜（5)中，被設定於屬於第2、3、4、5燈絲的 各燈絲的電力密度，是如第6 ( c )圖所示地，作成比被設 定於屬於第1燈絲的各燈絲的電力密度還要大。 又，第6(c)圖是爲了容易瞭解，表示被設定於屬於 © 第2、3、4、5燈絲群的各燈絲的電力密度視作爲完全相 同的情形。同樣地，也表示被設定於屬於第1燈絲群的各 燈絲的電力密度視作爲完全相同的情形。實際上，如上述 地，在領域2、領域3、領域4、領域5的加熱、冷卻特性 是互相不相同之故，因而在上述領域2、領域3、領域4、 領域5的放射照度也互相不相同，而被設定於屬於第2、3 、4、5燈絲群的各燈絲的電力密度也互相不相同。又，在 上述爲作成容易瞭解，在領域1中，假定爲沒有從對應於 ® 其他領域的燈絲所放出的光的迂迴，惟實際上在接近於領 域的境界中存在著來自其他領域的光的迂迴。因此，欲將 溫度分布更高精度地作成均勻時，則在迂迴光較多的領域 的燈絲中必須減掉迂迴光的能量相當分量來設定電力密度 。這時候，被設定於屬於第1燈絲群的各燈絲的電力密度 也成爲互相地不相同。 然而，在領域2、領域3、領域4、領域5中，有來自 工件周緣部的影響之故，因而被設定於屬於互相不相同的 第2、3、4、5燈絲群的各燈絲的電力密度’都作成比被 -43- 200933693 設定於屬於第1燈絲群的各燈絲的電力密度還要大。 如以上地，各電力控制部Pci、Pc2、Pc3、Pc4、Pc5 是依據事先所設定的控制圖案，將控制訊號送訊至饋電於 屬於第1、2、3、4、5的各燈絲群的燈絲的驅動部DR， 進行驅動該各驅動部DR而個別地調整被施加於屬於各燈 絲群的燈絲的額定電壓，來控制加熱處理中的領域1、2、 3、4、5的溫度。藉由此種控制，在大約均勻地維持工件 Φ 的溫度分布的狀態下，成爲可將包括昇溫製程、降溫製程 的加熱處理施加於工件的情形》 (b )實施例2 在上述實施例中，在各電力控制部Pc事先設定有對 應於工件的加熱處理[例如，第6 ( a )圖]的控制圖案。該 控制圖案是針對於加熱處理中的昇溫製程、溫度維持製程 、降溫製程的期間，共通於各電力控制部Pc全部。另一 © 方面，如上述地，爲了將加熱處理中的工件的溫度分布作 成大約均勻，則必須調整被設定於工件的照射領域的各領 域別地放射照度。所以，在控制圖案中，有關於從屬於各 燈絲群的燈絲所放出的光強度的參數（例如，各燈絲群的 電力密度），是電力控制部Pc別地不相同。 依據此種控制圖案，各電力控制部Pc是控制對於屬 於有關連於該電力控制部Pc的燈絲群的燈絲的饋電。例 如，各電力控制部Pc是依據事先所設定的控制圖案，將 控制訊號送訊至驅動部DR，來控制驅動部DR。驅動部 -44 - 200933693 DR是用以調整對於屬於上述燈絲群的各燈絲的饋電者， 例如，在上述的例子中，驅動部DR是個別地調整被施加 於各燈絲的額定電壓。 亦即，在上述的例子中，藉由依據事先設定於各電力 控制部Pc的控制圖案的開式控制，使得各領域的放射照 度被控制，而把加熱處理中的工件溫度被保持成大約均勻 〇 G 另一方面，在以下所說明的實施例的光照射式加熱裝 置中，對於各領域設置溫度感測器。溫度感測器TS 1〜 TS5是如上述第3圖所示地，設於各領域1〜5的中央部 分。 在各電力控制部Pc，事先設定對應於工件的加熱處理 的溫度圖案。又，比較來自溫度感測器TS1〜TS5的各領 域的溫度資訊與事先設定於各電力控制部Pc的溫度圖案 ，各領域的溫度資訊與上述溫度圖案一致的方式，各電力 〇 控制部Pc是進行驅動部DR。亦即，本實施例的光照射式 加熱裝置，是依據各領域的溫度資訊，藉由控制對於各燈 絲群的饋電的反饋控制，來控制各領域的放射照度，把加 熱處理中的工件溫度保持成大約均勻者。 以下，針對於本實施例加以詳細地說明。 在本實施例中，工件是也作爲半導體晶圓，而爲了容 易瞭解，作成未考慮保護環者。又，工件上的光照射領域 是與開式控制時同樣，分割成晶圓中央部領域（領域1 ) 與圓環狀的晶圓周邊部領域（領域2、領域3、領域4、領 -45- 200933693 域5 )。 如上述第3圖所示地’對於各領域1〜5，配置有測定 各領域的溫度的溫度感測器。亦即，對於領域1、2、3、4 、5，配置有各個溫度感測器TS1、TS2、TS3、TS4、TS5 〇 對於屬於對應於各領域的燈絲群的各燈絲的饋電，是 與上述的實施例同樣，藉由個別地連接於各燈絲各個的驅 e 動部DR所進行。驅動部DR是利用來自電力控制部Pc的 指令，來調整從電力供給電源Pw所供應的電能而饋電於 各燈絲。 將具體性構成表示於第8圖。本圖是除了溫度感測器 以外，表示與第4圖同一的構成。 亦即，在對應於領域1的第1燈絲群中，對於燈絲1 -1的饋電，是藉由驅動部DR 1 - 1所進行。同樣地，對於燈 絲 2-1、3-1、4-1的饋電，是分別藉由驅動部DR2-1、 © DR3-1、DR4-1所進行。在此，驅動部DR1-1是依據來自 電力控制部Pc 1的指令，在通電時從燈絲1 -1所放出的光 的光強度成爲所定値的方式，來調整從電力供應電源Pw 所供應的電能，俾將經調整的電能饋電於燈絲1 -1。同樣 地，驅動部DR2-1、DR3-1、DR4-1，是在通電時從燈絲 2-1、3-1、4-1所放出的光的光強度成爲所定値的方式， 來調整從電力供應電源Pw所供應的電能，俾將經調整的 電能分別饋電於燈絲2 -1、3 -1、4 -1。 在此，領域1的放射照度是必須設定成所定値成爲大 -46- 200933693 約均勻。從各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1所放出的光的光強 度，是把領域1的放射照度在所定値成爲大約均勻的方式 ，分別被調整成所定値。在此，爲了容易瞭解，在領域1 中，假定爲沒有從對應於其他領域的燈絲所放出的光的迂 迴者。作成如此，從各燈絲1 -1、2-1、3 -1、4-1所放出的 光的光強度’是必須調整成爲大約同一値。 因此，被供應於各燈絲1 _ 1、2- 1、3 -1、4_ 1的電能， © 是把從各燈絲1 - 1、2 -1、3 -1、4-1所放出的光的光強度被 調整成在所定値成爲大約同一。 電力控制部P c 1是對於驅動部D R 1 - 1、D R2 -1、D R3 - 1 、DR4- 1，送訊把領域1的放射照度在所定値成爲大約均 勻的指令訊號。在此，對於上述的各驅動部DR的指令訊 號是同一訊號。 各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1，是當上述 指令訊號被輸入，則把從各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1所放 © 出的光的光強度在所定値成爲大約同一的方式，來調節供 應於各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1的電能。在此，從經調整 成大約同一的各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1所放出的光強度 ，是把領域1的放射照度在所定値成爲大約均勻的光強度 〇 亦即，分別饋電於構成對應於領域1的第1燈絲群的 各燈絲 1-1、2-1、3-1、4-1 的驅動部 DR1-1、DR2-1、 DR3-1、DR4-1的動作，是利用來自電力控制部Pci的同 一指令訊號，一併地進行控制。 -47- 200933693 同樣地，各領域2、3、4、5的放射照度是必須在各 個所定値設定成大約均勻。因此’從構成對應於領域2的 第2燈絲群的各燈絲，從構成對應於領域3的第3燈絲群 的各燈絲，從構成對應於領域4的第4燈絲群的各燈絲’ 從構成對應於領域5的第5燈絲群的各燈絲所放出的光的 光強度，也必須設定成在各個所定値成爲大約同一。 實現此種設定的方式，對應於第2燈絲群的各驅動部 〇 DR，對應於第3燈絲群的各驅動部DR，對應於第4燈絲 群的各驅動部DR，對應於第5燈絲群的各驅動部DR，是 依據來自電力控制部Pc2 ' Pc3、Pc4、Pc5的指令，分別 個別地調整饋電於屬於各燈絲群的各燈絲的電能。 又，如上述地，在各領域中，假定爲沒有從對應於其 他領域的燈絲所放出的光的迂迴者。 在此，分別饋電於構成對應於領域2的第2燈絲群的 各燈絲 1-2、2-2、3-2、4-2 的驅動部 DR1-2、DR2-2、 ❹ DR3-2 > DR4-2的動作，是利用來自電力控制部Pc2的同 一訊號一倂地進行控制。 又，分別饋電於構成對應於領域3的第3燈絲群的各 燈絲 1-3、2-3、3·3、4-3 的驅動部 DR1-3、DR2-3、DR3-3 、DR4-3的動作，是利用來自電力控制部PC3的同一訊號 ，一倂地進行控制。 又，分別饋電於構成對應於領域4的第4燈絲群的各 燈絲5-1、7-1的驅動部DR1 -4、DR2-4的動作，是利用來 自電力控制部Pc4的同一訊號，一倂地進行控制。 -48 - 200933693 又，分別饋電於構成對應於領域5的第5燈絲群的各 燈絲6-1、8-1的驅動部DR1-5、DR2-5的動作，是利用來 自電力控制部Pc5的同一訊號，一倂地進行控制。 在此，從各電力控制部Pc被送訊至各驅動部DR的指 令訊號，是依據來自設於各領域的溫度感測器TS1〜TS 5 的溫度資訊與事先設定於各電力控制部Pc的溫度圖案的 比較演算者。 〇 亦即，從電力控制部P c 1 —倂地送訊至各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1的指令訊號，是利用事先 被設定於電力控制部Pci的溫度圖案與來自溫度感測器 TS 1的領域1的溫度資訊的比較演算被設定。詳細爲，把 上述溫度圖案與領域1的溫度資訊的差異變小的方式，指 令訊號是被設定。 亦即，從電力控制部Pc2 —倂地送訊至各驅動部 DR1 -2、DR2-2、DR3-2、DR4-2的指令訊號，是利用事先 © 被設定於電力控制部Pc2的溫度圖案與來自溫度感測器 TS2的領域2的溫度資訊的比較演算被設定。 同樣地，從電力控制部Pc3 —倂地送訊至各驅動部 DR1-3、DR2-3、DR3-3、DR4-3的指令訊號，是利用事先 被設定於電力控制部Pc3的溫度圖案與來自溫度感測器 TS3的領域3的溫度資訊的比較演算被設定。 從電力控制部Pc4 —倂地送訊至各驅動部DR1-4、 DR2-4的指令訊號，是利用事先被設定於電力控制部Pc2 的溫度圖案與來自溫度感測器TS4的領域4的溫度資訊的 -49- 200933693 比較演算被設定。 從電力控制部Pc5 —倂地送訊至各驅動部DR1-5、 DR2-5的指令訊號，是利用事先被設定於電力控制部Pc5 的溫度圖案與來自溫度感測器TS5的領域5的溫度資訊的 比較演算被設定。 然而，在表示於第3圖的例子中，將氣體上游側設定 爲領域2，將氣體下游側的領域設定爲領域3，將搬入口 〇 近旁側的領域設定爲領域4，而將搬出口近旁側領域設定 爲領域5。領域2、領域3是對應於氣體上游側與氣體下 游側之故，因而在兩領域的加熱、冷卻特性的差異較大。 然而，在領域4、領域5中，例如搬入口構造，搬出口構 造爲同一時，則在兩領域的加熱、冷卻特性的差異上有可 忽略程度的變小的情形。 在這種情形，在領域4、領域5不必分別地設置溫度 感測器TS4 ' TS5，而利用任一方的溫度感測器，成爲可 © 得到兩領域（領域4、領域5 )的溫度資訊。 第9圖是表示省略對應於領域5的溫度感測器TS 5的 例子。來自對應於溫度感測器TS4的溫度資訊是被送訊至 電力控制部Pc4及電力控制部Pc5的雙方。又，其他構成 是與表示於第8圖者同一之故，因而省略說明。 第1 〇圖是表示依據來自溫度感測器的溫度資訊，用 以一倂地控制將電能饋電於屬於對應於1個領域的燈絲群 的各燈絲」的各驅動部的動作的構成例的圖式。 表示於第10圖的構成例是在先前所說明的第5圖的 -50- 200933693 構成例追加溫度感測器者。因此，溫度感測器以外的構成 的詳細說明是被省略。 以下，以領域1作爲例子加以說明。如上述地，構成 第1燈絲群的各燈絲3-1、1-1、2-1、4-1的長度是並不完 全同一。通常，各燈絲3-1、1-1、2-1、4-1的電阻値是分 別被固十在所定的一定値。因此，對於長度互相不相同的 各燈絲，藉由分別施加所定的額定電壓，把領域1的放射 © 照度設定在所定値。 在電力控制部Pc，事先設定有對應於加熱處理的溫度 圖案。另一方面，溫度感測器是測定某一領域的溫度，而 將溫度資訊送訊至電力控制部Pc。電力控制部Pc是依據 溫度圖案與來自溫度感測器的溫度資訊，藉由演算求出兩 者的差異會變小的指令訊號。 電力控制部Pc是將該指令訊號送訊至驅動部DR，把 某一領域的放射照度控制成在所定値成爲大約均勻。例如 ® :領域1的情形，電力控制部Pc 1是比較事先所設定的領 域1的溫度圖案與來自溫度感測器TS 1的領域1的溫度資 訊而求出指令訊號，並將該指令訊號送訊至驅動部DR1-1 、DR2-1、DR3-1、DR4-1。 驅動部DR的偏壓設定部BS，是依據上述指令訊號， 從各燈絲所放出的光的光強度成爲大約同一値的方式，來 設定由電力供應電源Pw對於被施加於負荷的燈絲3-1、1· 1、2-1、4-1的電壓的偏壓，作成在各燈絲3-1、1-1、2-1 、4-1施加有額定電壓。 -51 - 200933693 在此，如上述地施加於各燈絲的額定電壓是並不同一 之故，因而被連接於各燈絲的各驅動部DR的偏壓設定部 BS的設定也不是同一。 各偏壓設定部BS，是分別可個別地設定偏壓之故’ 因而藉由來自電力控制部Pci的同一指令訊號，使得對各 燈絲3-1、1-1、2-1、4-1的額定電壓成爲分別可設定成爲 所定値。
Ο 當在各偏壓設定部BS設定有偏壓，則偏壓設定部BS 是將驅動訊號送訊至閘流體驅動部S Dr。閘流體驅動部 SDr，是依據來自偏壓設定部BS的驅動訊號，在從電力供 應電源Pw施加於負荷的電壓加上所定偏壓，使得施加於 燈絲的電壓成爲額定電壓的方式，進行動作閘流體SR。 又，上述的偏壓，是例如設定有負値。 藉由如上述地構成，依據來自溫度感測器TS1〜TS5 的領域的溫度資訊，而利用來自電力控制部P c的同一訊 〇 號，對各燈絲分別施加所定的額定電壓的方式，成爲〜倂 地可進行控制。又，針對於領域2、3、4、5，構成也同樣 之故，因而省略說明。 又，在第10圖中’在驅動部DR表示使用閘流體 的例子，惟驅動部DR的構成是並不被限定於此者。例如 也可採用在驅動部使用開關元件的PWM控制方式。 以下，與上述實施例同樣，以如第6(a)圖所示的工 件的加熱處理作爲例子，來說明申請專利範圍第3項的發 明的情形的工件的加熱處理。 -52- 200933693 在期間（1 )〜（2 )中，工件是例如到達溫度昇溫至 600°C。工件溫度到達至600°C之後，在期間（2)〜（3) 中，工件是被維持在60(TC。 之後，在期間（3)〜（4)中，工件本身的溫度被昇 溫一直到達至1 100°C。在工件溫度到達至1 100°C之後， 在期間（4)〜（5)中，工件是被維持在1100°C。又，被 維持在1 1 〇〇°C的時間是藉由加熱處理的種類，被適當地設 Ο 定。又，時機（5 )以後，工件是被降溫。 爲了實現如上述的加熱處理，各電力控制部Pc，是控 制驅動部DR，而實現各燈絲群的點燈控制。 例如，第1電力控制部Pc 1是以以下的要領來控制對 於第1燈絲群的供應電力。 第11圖是表示在第2實施例中，驅動第1燈絲群的 電力控制部的構成的圖式，驅動部者。 又，在以下爲了簡單地可瞭解，如第3圖所示地，燈 ❹ 絲1-1及2-1的長度作成相等，而燈絲3-1及4-1的長度 作成相等。又，燈絲1 -1及2- 1的長度是作成比燈絲3 -1 及4-1的長度還要長者。 從第1燈絲群所放射的光，是光照射表示於第3圖的 工件（晶圓）的照射領域的中央部的領域1。第1電力控 制部Pci，是將領域1的放射照度在所定値成爲大約均勻 的指令訊號送訊至驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1 〇 如先前所述地，將領域1的放射強度設定成所定値時 -53- 200933693 ’則求出對應於上述所定的放射照度的放射密度，而由該 放射密度及燈的燈泡（發光管）的間隔，求出各燈絲的電 力密度。若具有屬於第1燈絲群的各燈絲的的燈泡間隔爲 等間隔時，則屬於第1燈絲群的各燈絲的電力密度是成爲 完全相等。 又，依據該電力密度及各燈絲的長度，將屬於第1燈 絲群的各燈絲的額定電力分別設定成所定値。亦即，在各 Ο 燈絲中’當分別個別地設定的額定電力被消耗，則領域1 的放射照度成爲所定値。 在此’構成第1燈絲群的燈絲1-1、2-1、3-1、4-1是 長度不同一之故，因而如上述地，各燈絲的額定電力是成 爲如以下的關係。亦即，燈絲1 -1及2-1的額定電力是相 等。而燈絲3-1及4-1的額定電力是相等。另—方面，燈 絲1 -1及2 - 1的額定電力是燈絲長度較長分量，比燈絲3 -1、4-1的額定電力還要大。 © 因此’燈絲1-1及2-1的額定電壓是相等，而燈絲3- 1及4-1的額定電壓電力是相等。另—方面，燈絲id及 2-1的額定電壓是燈絲長度較長分量，比燈絲n、4_丨的 額定電壓還要大。 在此’一般電力供應電源Pw是商用電源，藉由電力 供應電源被施加於負荷的電壓是成爲一定。因此，如上述 地，將所定額定電壓分別施加於各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、 4-1的方式，藉由各驅動部DR1-1、DR2-1' DR3-1、DR4-1進行調整。 -54- 200933693 亦即，利用驅動部DRl-l、DR2-1、DR3-1、DR4-1的 各偏壓設定部BS1-1、BS2-1、BS4-1、BS4-1，把偏壓分 別個別地設定，而各偏壓設定部BS1-1、BS2-1、BS3-1、 BS4-1是將驅動訊號分別送訊至閘流體驅動部SDrl-1、 SDr2-l、SDr3-l、SDr4-l。 各閘流體驅動部 SDrl-1、SDr2-l、SDr3-l、SDr4-l 是依據來自各偏壓設定部BS1-1、BS2-1、BS3-1、BS4-1 ® 的驅動訊號，在從電力供應電源施加於負荷的各燈絲1-1 、2-1、3-1、4-1的電壓加上所定偏壓，使得施加於各燈 絲1-1 ' 2-1、3-1、4-1的電壓分別成爲額定電壓的方式， 進行動作各閘流體SRI-1、SR2-1、SR3-1、SR4-1。 藉由如上述地構成驅動部DRl-l、DR2-1、DR3-1、 DR4-1，而利用來自電力控制部Pcl的同一訊號，而對於 各燈絲1 -1、2- 1、3 -1、4- 1分別施加有所定額定電壓被施 加有所定額定電壓的方式，成爲一倂地可進行控制。 在電力控制部Pc 1，工件的照射領域的領域1的溫度 與時間的關係，設有成爲第6(a)圖所示的溫度圖案。依 據該溫度圖案，與來自溫度感測器TS1的領域1的溫度資 訊’電力控制部Pel是控制各驅動部DRl-l、DR2-1、 DR3-1、DR4-1 的驅動。 首先’電力控制部Pel，是依據事先所設定的溫度圖 案’在第6 ( a )的昇溫期間（1 )〜（2 )中，使得領域1 的溫度由室溫一直昇溫至600°C的方式，在各驅動部0111-1、DR2-1 ' DR3-1、DR4-1送訊控制訊號A’。受訊控制訊 -55- e
200933693 號 A’的驅動部 DRl-l、DR2-1、DR3-1、DR4-1 述控制訊號A ’，對各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1 所定的額定電壓。又，如上述地，驅動部分別it 設定部個別地設定有偏壓之故，因而藉由來自霄 Pci的同一控制訊號A’，使得各驅動部DR1-1 DR3-1、DR4-1的動作一倂地被控制。 又，如第6 ( b )圖所示地，被施加於燈絲 的額定電壓，是燈絲長度較長的分量，比被施加 1及4-1的額定電壓還要大。 在此，在電力控制部Pci，輸入有來自溫 TS1的領域1的溫度資訊。電力控制部Pci是右 (1)〜（2)中，以所定間隔來重複實施該溫虔 自溫度感測器TS 1的領域1的溫度資訊的比較漬 演算結果，來更新上述的控制訊號A’。 之後，電力控制部Pci是依據事先所設定的 ，在第6(a)圖的溫度維持期間（2)〜（3)中 域1的溫度被維持在600°C的方式，將控制訊號 各驅動部 DRl-l、DR2-1、DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號B’的驅動部DRl-l、DR2-1 DR4-1，是依據上述控制訊號B’，將所定的額定 施加於各燈絲1 -1、2 -1、3 -1、4 -1。 在此，將領域1的溫度維持在6 0 0 °C時，貝[ 自工件（晶圓）的熱放出分量就可以。因此，在 期間（2 )〜（3 )的領域1的放射照度，是被設 是依據上 分別施加 匕藉由偏壓 i力控制部 、DR2-1、 卜1及2-1 於燈絲3 - 度感測器 三昇溫期間 ί圖案與來 ί算，根據 J控制圖案 ϊ，使得領 Β ’送訊至 、D R 3 -1、 :電壓分別 j僅補充來 :溫度維持 :定成比在 -56- ❹
200933693 昇溫期間（1)〜（2)的領域1的放射照度還要 因此，在溫度維持期間（2)〜（3)中被f 絲的額定電壓値，是比在昇溫期間（1 )〜（2 ) 於各燈絲的額定電壓値還要小。 又，與昇溫期間（1)〜（2)時同樣， DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1 的動作，是利月 控制部Pci的同一控制訊號B —倂地被控制。5 溫度維持期間（2 )〜（3 )中，被施加於燈絲】 的額定電壓是燈絲長度較長分量，也比被施加ί 、4-1的額定電壓還要大。 在此，電力控制部Pci是在溫度維持期間（ )中，以所定間隔來重複實施溫度圖案與來自潘 TS 1的領域1的溫度資訊的比較演算，根據演震 更新上述的控制訊號B’。 之後’電力控制部Pci是依據事先所設定的 ，在第6(a)圖的昇溫期間（3)〜（4)中，值 1的溫度被昇溫一直到達至1100 °C的方式，將控 送訊至各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1 受訊控制訊號C’的驅動部DR1-1、DR2-1 DR4-1，是依據上述控制訊號C’，將所定額定電 加於各燈絲 1-1、2-1、3-1、4-1。 將領域1的溫度從600°c昇溫至11〇〇乞時， 從室溫昇溫至6 0 0 °C時或將溫度維持在6 0 0 t時 則必須增大在領域1的放射照度。亦即，昇溫; 小値。 I加於各燈 中被施加 各驅動部 目來自電力 7、，當然在 :-1 及 2-1 絲 3 -1 :2 )〜（3 I度感測器 ί結果，來 Ϊ溫度圖案 ί得在領域 制訊號C ’ 〇 、DR3-1、 :壓分別施 與將溫度 ;相比較， 朗間（3 ) -57- 200933693 〜（4)的領域1的放射強度，是比在昇溫期間（1)〜（ 2)，溫度維持期間（2 )〜（3 )的領域1的放射照度， 設定成還要大値。因此，在昇溫期間（3)〜（4)中被施 加於各燈絲的額定電壓値，是比在昇溫期間（1 )〜（2 ) ，溫度維持期間（2)〜（3)中被施加於各燈絲的額定電 壓値還要大。 又，與昇溫期間（1 )〜（2 )，溫度維持期間（2 ) Ο 〜（3 )時同樣，各驅動部別地，利用偏壓設定部個別地 設定有偏壓之故，因而藉由來自電力控制部Pci的同一控 制訊號C’，一倂地控制著各驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1的動作。 又，當然在昇溫期間（3 )〜（4 )中，被施加於燈絲 1 -1及2 -1的額定電壓，是燈絲長度較長分量，也比被施 加於燈絲3 - 1、4 -1的額定電壓還要大。 在此，電力控制部Pci是在昇溫期間（3)〜（4)中 ® ，以所定間隔來重複實施溫度圖案與來自溫度感測器TS 1 的領域1的溫度資訊的比較演算，根據演算結果，來更新 上述的控制訊號C ’。 之後，電力控制部Pci是依據事先所設定的控制圖案 ，在第6(a)圖的溫度維持期間（4)〜（5)中，使得在 領域1的溫度被維持在11 00°C的方式，將控制訊號D’送 訊至各驅動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號D’的驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、 DR4-1，是依據上述控制訊號D’，將所定額定電壓分別施 -58- 200933693 加於各燈絲 1 -1、2 -1、3 -1、4 -1。 在此，將領域1的溫度維持在1 1 00°C時，則僅補充來 自工件（晶圓）的熱放出分量就可以。因此，在溫度維持 期間（4 )〜（5)的領域1的放射照度，是被設定成比在 昇溫期間（3 )〜（4 )的領域1的放射照度還要小値。因 此，在溫度維持期間（4 )〜（5 )中被施加於各燈絲的額 定電壓値，是比在昇溫期間（3 )〜（4 )中被施加於各燈 〇 絲的額定電壓値還要小。 又，在溫度維持期間（4)〜（5)中被維持的溫度是 1 1 00 °C，比在溫度維持期間（2 )〜（3 )中被維持的溫度 6〇〇 °C還要大之故，因而在溫度維持期間（4 )〜（5 )中 被施加於各燈絲的額定電壓値，是比在溫度維持期間（2 )〜（3 )中被施加於各燈絲的額定電壓値還要大。 又，與昇溫期間（1 )〜（2 )，溫度維持期間（2 ) 〜（3 )，昇溫期間（3 )〜（4 )時同樣，各驅動部別地 ® ，利用偏壓設定部個別地設定有偏壓之故，因而藉由來自 電力控制部Pci的同一控制訊號D’，一倂地控制著各驅 動部 DR1-1、DR2-1、DR3-1、DR4-1 的動作。 又，當然在溫度維持期間（4 )〜（5 )中，被施加於 燈絲1-1及2-1的額定電壓，是燈絲長度較長分量，也比 被施加於燈絲3-1、4-1的額定電壓還要大。 在此，電力控制部Pci是在溫度維持期間（4)〜（5 )中’以所定間隔來重複實施溫度圖案與來自溫度感測器 TS1的領域1的溫度資訊的比較演算’根據演算結果’來 -59- 200933693 更新上述的控制訊號D’。 之後，電力控制部Pci是依據事先所設定的控制圖案 ，在第6 ( a )圖的時機（5 )以後使得在領域1的溫度會 降溫的方式，將控制訊號E’送訊至各驅動部0111-1、0112-1 ' DR3-1、DR4-1。 受訊控制訊號E’的驅動部DR1-1、DR2-1、DR3-1、 DR4-1，是依據上述控制訊號E’，停止施加對於各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1 的電壓。 控制訊號Ε’，是將停止施加對於各燈絲1-1、2-1、3-1、4-1的電壓予以指示的訊號之故，因而不必根據來自溫 度感測器TS 1的領域1的溫度資訊來進行反饋控制。 如以上地，電力控制部Pc 1是依據事先所設定的控制 圖案，與來自溫度感測器TS1的領域1的溫度資訊，將控 制訊號A’ ' B’、C’、D’、E’送訊至饋電於屬於第1燈絲群 的各燈絲 1-1、2-1、3-1、4-1的各驅動部DR1-1、DR2-1 ® 、DR3-1、DR4-1，俾驅動該驅動部而進行調整被施加於 各燈絲的額定電壓，來控制領域1的溫度。 在此，控制訊號A，、B ’、C ’、D，、E ’是以所定間隔依 據來自溫度感測器TS1的溫度資訊，被更新之故，因而在 領域1的溫度控制是成爲高精度。 針對於對應於表示於第3圖的領域2、領域3、領域4 、領域5的第2、第3、第4、第5燈絲群，分別藉由電力 控制部Pc2、電力控制部PC3、電力控制部Pc4、電力控制 部Pc5，也進行與上述同樣的控制。 -60- 200933693 亦即’各電力控制部Pc2、電力控制部Pc3、電力控 制部Pc4、電力控制部pC5，是依據事先所設定的控制圖 案’與來自溫度感測器TS2、TS3、TS4、TS5的領域2、3 、4、5的溫度資訊，來驅動對應於第2、第3、第4、第5 燈絲群的驅動部DR ’進行控制施加於屬於各燈絲群的燈 絲的額定電壓値，使各領域2、領域3、領域4、領域5的 溫度成爲所期望値。 〇 在此，表示於第3圖的領域2、領域3、領域4、領域 5’是工件的周邊部領域’在加熱時須補償來自工件周緣 部的散熱。所以’爲了將加熱處理中的工件的溫度分布作 成大約均勻，對於工件的光照射時，領域2、領域3、領 域4、領域5的放射照度，是須設定成比工件中央部的領 域1的放射照度還要大。 例如，進行如第6 ( a )圖所示的加熱處理時，則在期 間（1 )〜（5 )中，被設定於屬於第2、3、4、5燈絲的 V 各燈絲的電力密度，是如第6 ( c )圖所示地，作成比被設 定於屬於第1燈絲的各燈絲的電力密度還要大。 又，第6(c)圖是爲了容易瞭解，表示被設定於屬於 第2、3、4、5燈絲群的各燈絲的電力密度視作爲完全相 同的情形。同樣地，也表示被設定於屬於第1燈絲群的各 燈絲的電力密度視作爲完全相同的情形。實際上，如上述 地，在領域2、領域3、領域4、領域5的加熱、冷卻特性 是互相不相同之故，因而在上述領域2、領域3、領域4、 領域5的放射照度也互相不相同，而被設定於屬於第2、3 -61 - 200933693 、4、5燈絲群的各燈絲的電力密度也互相不相同。又，在 上述爲作成容易瞭解，在領域1中，假定爲沒有從對應於 其他領域的燈絲所放出的光的迂迴，惟實際上在接近於領 域的境界中存在著來自其他領域的光的迂迴。因此，欲將 溫度分布更高精度地作成均句時，則在迂迴光較多的領域 的燈絲中必須減掉迂迴光的能量相當分量來設定電力密度 。這時候，被設定於屬於第1燈絲群的各燈絲的電力密度 © 也成爲互相地不相同。 然而，在領域2、領域3、領域4、領域5中，有來自 工件周緣部的影響之故，因而被設定於屬於互相不相同的 第2、3、4、5燈絲群的各燈絲的電力密度，都作成比被 設定於屬於第1燈絲群的各燈絲的電力密度還要大。 如以上地，各電力控制部Pci、Pc2、Pc3、Pc4、Pc5 是依據事先所設定的控制圖案，與來自溫度感測器TS 1、 TS2、TS3、TS4、TS5的領域1、2、3、4、5的溫度資訊 ❹ ，將控制訊號送訊至饋電於屬於第1、2、3、4、5的各燈 絲群的燈絲的驅動部DR，進行驅動該各驅動部DR而個別 地調整被施加於屬於各燈絲群的燈絲的額定電壓，來控制 加熱處理中的領域1、2、3、4、5的溫度。 藉由此種控制，在大約均勻地維持工件的溫度分布的 狀態下，成爲可將包括昇溫製程、降溫製程的加熱處理施 加於工件的情形。 尤其是，從各電力控制部Pc被送訊至各驅動部DR的 控制訊號，是利用各領域的溫度資訊定期地被更新之故， -62- 200933693 因而成爲高精度地可實施在加熱處理中的領域1、2、3、4 、5的溫度控制。 又，在上述說明中，如第4圖及第8圖所示地，也可 設置進行控制電力控制部Pci、Pc2、Pc3、Pc4、PC5的上 位控制器的主空制部MC。 藉由設置主控制部MC，就可藉由主控制部MC來管 轄控制電力控制部Pci、Pc2、Pc3、Pc4、Pc5。 © 例如，在上述的實施例中，事先設定控制圖案於各電 力控制部Pci〜Pc5的各個，而依據事先所設定的控制圖 案，使得各電力控制部Pc來控制各驅動部DR，惟如上述 地，設置主控制部MC，將控制圖案從主控制部MC送訊 至各電力控制部Pc，而可設定控制圖案，或是可變長控制 圖案。 【圖式簡單說明】 ® 第1圖是表示本發明的光照射式加熱裝置的構成例的 圖式。 第2圖是表示被表示於公知文獻的加熱器的詳細構造 的圖式。 第3圖是表示光照射領域的領域分割例及多白熾燈內 的燈絲的配置例的圖式。 第4圖是表示本發明的第1實施例的電源部的構成的 圖式。 第5圖是表示第1實施例的驅動部的詳細構成例的圖 -63- 200933693 式。 第6(a)圖至第6(c)圖是表示加熱處理順序與控 制圖案的例子的圖式。 第7圖是表示在第丨實施例中驅動第1燈絲群的電力 控制部、驅動部的構成的圖式。 第8圖是表示本發明的第2實施例的電源部的構成的 圖式。 第9圖是表示在第2實施例中省略對應於領域5的溫 度感測器的例子的圖式。 第1〇圖是表示本發明的第2實施例的電源部的構成 的圖式。 第11圖是表示在第2實施例中驅動第1燈絲群的電 力控制部、驅動部的構成的圖式。 第1 2圖是表示並聯地排列複數直管型燈所構成的習 知的光照射手段的構成例的圖式。 【主要元件符號說明】 1 :燈 I 〇 :燈單元 II :發光管 12a ' 12b :密封部 13a〜13f :金屬箔 1 4 a〜1 4 e :燈絲 18a〜18e、18’、18” ：外部引線 -64- 200933693 2 :反射鏡 300 :腔 4:透射窗構件（石英窗部） 5 :保護環 5 1 :保持台 52 :導電台 500、501、燈固定台 © 5 56 :旋轉機構控制部 6 :工件 60、62、63 :饋電裝置 71、72 :電源供應埠 8 :冷卻風單元 8 1 :冷卻風供應噴嘴 82 :吹出口 83 :冷卻風排出口 © 9 :溫度計 9 1 :溫度測定部 S 1 :燈單元收容空間 S 2 :加熱處理空間 Pci〜Pc5:電力控制部 DR1〜DR5 :驅動部 Pw :電力供應電源 BS :偏壓設定部 SDr :閘流體驅動部 -65- 200933693 SR :閘流體 TS1〜5 :溫度感測器 MC :主控制部
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