TW200804701A - Seal - Google Patents
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Description
200804701 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種密封件。該密封件可特定(但非排他 性)地用於真空泵中。 【先前技術】 吾人已知如下真空泵:其增壓室中無油,且因此可用於 諸如半導體工業中所發現之彼等清潔環境中。該等乾式真 空泵通常為多級正排量泵,其在各泵級中採用相互嚙合之
轉子。該等轉子在各級中可具有相同類型剖面,或剖面可 逐級變化。 在魯氏(Roots)或Northey(”爪")類型乾式真空泵中,定子 通常係自多個分離定子組件形成,且該等轉子位於界定於 該等定子組件之間的增壓室中。因此有必要在該等定子組 件之間提供密封,以防止果抽液體自該㈣漏且防止周圍 空氣進u中。通常提供形環密封件來執行此密封功 能0 乾式真空栗經常用於需要其栗抽實質量腐姓液(包括齒 素乳體及溶劑)之應用中。該等物f侵餘。形環密封件,導 ^該等密封件可能變得過於塑性或非常脆,其可能嚴重影 響提供於該等^子組件之間的密封件的完整性。該密封件 上的侵姓強度視多個變數而定,包括(例如)泵抽液體、。形 被材料及泵溫度。舉例而言,諸如Viton⑧或T⑽。驗⑧之 ^叫性體(或氟基彈性體)所形成之密封件在(例如)超過 〇C之溫度下泵抽氟氣時尤其易^受到錢。用於惡劣 H8727.doc 200804701 , 泵抽環境中之現行替代密封件係自諸如Kalrez®或
Chemraz®之FFKM彈性體(或全氟化彈性體)形成,但此等 彈性體較Viton®顯著更昂貴。此外,較之FKM彈性體, FFKM彈性體具有相對高的壓縮形變,亦即,對於一固定 時段,在承受一標準壓縮負載之後,無法恢復至其原始厚 度之物質量相對較高。 至少本發明之較佳實施例之一目標在於試圖解決此問 題。 ⑩ 【發明内容】 在一第一態樣中,本發明提供一種密封件,其包含一柔 性環狀體、一嵌埋於該環狀體内之環狀增強構件及一 FFKM彈性體塗層。 嵌埋於該環狀體内之該增強構件的存在可使該密封件能 夠具有非常低的壓縮形變。該增強構件較佳為抗壓縮形 變,且因此該密封件可隨時間保持一高密封應力。FFKM 彈性體(或全氟化彈性體)塗層可使該密封件能夠具有相對 ® 高的耐蝕性以及良好密閉性及低氣體滲透性。較之完全由 FKM彈性體環狀體形成之密封件,僅使用FFKM彈性體(相 β 對昂貴)層可顯著降低成本。 在一較佳實施例中,該環狀體係自FKM彈性體或氟基彈 性體形成,且因此在一第二態樣中,本發明提供一種密封 件,其包含一 FKM彈性體環狀體、一嵌埋於該環狀體内之 環狀增強構件及一 FFKM彈性體塗層。 該FKM彈性體可包含可購自DuPont,Ausimont,Daikin之 118727.doc 200804701 氟基彈性體(包括Viton®類型A、Viton®類型B、Viton®類型 F及Viton® Extreme材料中之任一者)及可購自Asahi Glass Ltd之Aflas®氟基彈性體中之一者。 該柔性體可包含選自包含碳、氟化鈣、二氧化矽、硫酸 鎖及乳化欽之群中的填充材料。 該FFKM彈性體可包含可購自DuPont之Kalrez®全氟化彈 性體、可購自 Greene,Tweed & Co,Inc·之 Chemraz®全敗化 彈性體、ParofluoT™全氟化彈性體、HifluorTM全氟化彈性 體(二者皆可購自Parker Hannifin Corp.)、可構自 Freudenberg Simrit LP之Simriz®全氟化彈性體及可構自 Busak and Shamban (Trelleborg)之Isolast㊣全氟化彈性胃中 之一者。該塗層較佳具有處於0·1 mm至0·3 mm範圍内之厚 度。 該FFKM彈性體可由另一具有較形成該環狀體之 性體高的耐蝕性的FKM彈性體替換。因此,在本發明之第 三態樣中提供一種密封件,其包含一第一FKM彈性體環狀 體、一嵌埋於該環狀體内之環狀增強構件及一第:FKm# 性體塗層,該第二FKM彈性體具有較該第一FKM彈性體高 之耐餘性。 另一替代方法係該環狀體可由與該塗層相同之材料$ 成。本發明亦提供一種密封件,其包含一柔性環狀體〇 佳由FKM彈性體形成)、一嵌埋於該環狀體内之環狀土曾強 構件及一 FKM彈性體塗層。 在上述任一態樣中,該增強構件較佳包含金屬線圈& $ 118727.doc 200804701 孔金屬或塑膠管中之一者。用於該增強構件之替代形式包 括編織金屬線、編織石墨線及撓性石墨管狀構件。 作為FKM或FFKM之塗層之彈性體係真空相容的,該密 封件可在真空泵中找到特定用途。因此,在另一態樣中, 本發明提供一種真空泵’其包含兩個定子組件及一密封 件,該冑封件係如之前所提及位於該等組件之間,以使得 各組件與該密封件接觸從而提供一位於該等組件之間的 密密封件。 …
【實施方式】 圖1說明來自典型多級乾式泵之泵級的定子組件12之表 面10。泵裝配期’第二定子組件(參看圖2)之相應表面Μ 開始接觸該組件12之表面10以在該等定子組件之間形成一 空穴16。提供此空穴16以容納該泵之轉子組件(未圖示)。 具有魯氏及/或N0rthey(”爪")類型轉子之乾式泵通常包含若 干個如此之級,各级夕介々! A^ 合、,及之工八16經由一端口 18與相鄰下游級 溝通。 如同在習知此類型泵中,圍繞該空穴16之周邊提供一密 封件20,以在該等相鄰定子組件之表面1〇、14之間提供一 液密密封件,使得使用該科防止製程流體自該空穴…益 出且防止周圍空氣進入該空穴16中。 圖2說明-根據本發明之㈣件2()之實例。該密封件2〇 係位於-形成於該等定子組件中之—者表面中的凹㈣ 内。該密封件2G包含-柔性環狀體24、—篏埋於該環狀體 24内之環狀增強構件26及—咖轉性體塗㈣,例如, 118727.doc 200804701
Kakez⑧全氟化彈性體、Chemraz⑧全氟化彈性體、 Parofluor™全氟化彈性體、Hifluor™全氟化彈性體、 Simriz®4氟化彈性體、Isolast®全氟化彈性體及Perlast®全 氟化彈性體中之一者。 該環狀體24可由適於該密封件欲使用之環境的任何材料 形成。為用於相對高的溫度下,可藉由自可熔融處理之氟 塑膠材料形成該環狀體而提供熱穩定性,該氟塑膠材材料 係諸如氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基(PFA)、聚氯三氟 乙烯(CTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)及聚氟乙烯(PVF)。為 用於相對低的溫度下,可藉由自FKM彈性體形成該環狀體 而提供熱穩定性。該FKM彈性體可包含可購自DuPont, Ausimont,Daikin之氟基彈性體(包括Viton®類型A、Viton® 類型B、Viton®類型F及Viton⑧Extreme材料中之任一者)及 可購自Asahi Glass Ltd之Aflas®氟基彈性體中之一者。選 自包含碳、氟化鈣、二氧化矽、硫酸鋇及氧化鈦之群中的 填充材料可分散於該環狀體24内。 在圖2及圖3中所說明之實例中,該環狀增強構件26係由 一抗壓縮形變線圈26提供。該線圈26較佳由金屬材料形 成,諸如不銹鋼。在圖4及圖5中所說明之實例中,該環狀 增強構件係由一穿孔金屬或塑膠管26提供。使用熟習該項 技術者已知之技術,該環狀體24係經由壓縮或射出成形形 成於該增強構件26上。 該FFKM彈性體塗層28較佳具有處於0.1 mm至0.3 mm之 範圍内的厚度,最佳為約0.2 mm。經由傳遞模塑或其類似 118727.doc 200804701 技術以該FFKM彈性體來塗佈該環狀體24。 在另一實施例中,該環狀體24可自Viton®類型A氟基彈 性體製成,而該塗層28可自Viton® Extreme氟基彈性體製 成,Viton® Extreme氟基彈性體具有較Viton®類型A氟基彈 性體高的耐蝕性,且較使用FFKM彈性體便宜。該密封件 將適用於不太惡劣之環境中,在該環境中使用FFKM彈性 . 體塗層28被認為係不必要的。在又一實施例中,該塗層28 可由與該環狀體24相同之材料形成。 • 【圖式簡單說明】 圖1為真空泵之定子組件的正視圖; 圖2為圖1中密封件之側視橫截面圖; 圖3為用於圖2之密封件之插入件之一實例的透視圖; 圖4為適用於真空泵中之另一密封件之側視橫截面圖; 圖5為用於圖4之密封件之插入件之一實例的透視圖。 【主要元件符號說明】 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 表面 定子組件 表面 空穴 端口 密封件 凹槽 環狀體 環狀增強構件 塗層 118727.doc
Claims (1)
- 200804701 十、申請專利範圍: 1. 一種密封件,其包含一柔性環狀體、一嵌埋於該環狀體 内之環狀增強構件及FKM彈性體與FFKM彈性體中之一 者之塗層。 2. 如請求項1之密封件,其中該環狀體包含可熔融處理之 • 氟塑膠。 < 3.如請求項1之密封件,其中該環狀體包含FKM彈性體。 4. 一種密封件,其包含:一包含FKM彈性體之環狀體、—— • 嵌埋於該環狀體内之環狀增強構件,及FFKM彈性體與 第二FKM彈性體中之一者之塗層,該第二FKM彈性體具 有較該首先提及之FKM彈性體高之耐蝕性。 5. 如請求項3或4之密封件,其中該環狀體之該FKM彈性體 包含Viton®類型氟基彈性體及Aflas®氟基彈性體中之一 者。 , 6. 如請求項1至4中任一項之密封件,其中該柔性體包含選 自包含碳、氟化鈣、二氧化矽、硫酸鋇及氧化鈦之群中 ® 的填充材料。 7. 如請求項1至4中任一項之密封件,其中該FFKM彈性體 包含Kalrez®全氟化彈性體、(31^1111^2@全1化彈性體、 Parofluor™全氟化彈性體、Hifluor™全氟化彈性體、 Simdz®全氟化彈性體、Isolast®全氟化彈性體及Perlast® 全氟化彈性體中之一者。 8. 如請求項1至4中任一項之密封件,其中該增強構件包含 一金屬線圈。 118727.doc 200804701 其中該增強構件包含 9·如請求項1至4中任一項之密封件 一穿孔金屬或塑膠管。 ίο. 一種真空=,其包含兩個定子組件及—如請求項…中 任一項之密封件,該密封件係位於該等組件之間,使得 各組件與該密封件接觸以提供一位於該等組卞 密密封件。 之間的液118727.doc
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DE102011078639A1 (de) * | 2011-07-05 | 2013-01-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Befehls- und Meldevorrichtung |
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JPH04160271A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 黒鉛質シート状ガスケツト材 |
US5444116A (en) * | 1993-07-14 | 1995-08-22 | Greene, Tweed & Co. | Perfluoroelastomeric compositions and seals having improved chemical resistance and methods of making the same |
CA2150085A1 (en) * | 1994-06-24 | 1995-12-25 | Michael J. Dormer | Gasket for refrigerant compressors |
US5527858A (en) * | 1994-09-02 | 1996-06-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Melt-processable fluoroplastic |
US5791888A (en) * | 1997-01-03 | 1998-08-11 | Smith; Clyde M. | Static seal for rotary vane cartridge pump assembly |
JPH11129398A (ja) * | 1997-10-27 | 1999-05-18 | Daikin Ind Ltd | パーフルオロゴムの積層体およびその製法 |
JPH11201289A (ja) * | 1998-01-09 | 1999-07-27 | Nok Corp | シールリングおよびその製造方法 |
JP2001150595A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Tokai Rubber Ind Ltd | パッキン構造体 |
JP2001316611A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Daikin Ind Ltd | フッ素ゴム塗料組成物 |
US6686012B1 (en) * | 2000-08-23 | 2004-02-03 | 3M Innovative Properties Company | Multi-layer articles including a fluoroplastic layer |
JP3085539U (ja) * | 2001-10-23 | 2002-05-10 | 大晃機械工業株式会社 | 真空ポンプの軸シール構造 |
US6918595B2 (en) * | 2002-11-22 | 2005-07-19 | Dionex Corporation | Seal for high-pressure pumping system |
US20040157035A1 (en) * | 2003-02-10 | 2004-08-12 | Guizzetti Allen R. | Low permeation gaskets |
GB0310615D0 (en) * | 2003-05-08 | 2003-06-11 | Boc Group Plc | Improvements in seal assemblies |
US20050187331A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-08-25 | Yuan Hui L. | Fluoroelastomer gasket compositions |
US7135527B2 (en) * | 2004-03-30 | 2006-11-14 | Freudenberg-Nok General Partnership | Elastomeric compositions containing fluoropolymer blends |
CN2711468Y (zh) * | 2004-04-21 | 2005-07-20 | 金华市科达氟化橡塑有限公司 | 氟化橡胶o形密封圈 |
US7479316B2 (en) * | 2005-06-13 | 2009-01-20 | Dayco Products, Llc | Extruded binary seal |
US20070048476A1 (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | Freudenberg-Nok General Partnership | Assemblies sealed with multilayer composite compression seals having a layer of dispersed fluoroelastomer in thermoplastic |
SG184106A1 (en) * | 2010-03-29 | 2012-10-30 | Greene Tweed Inc | Fluoroelastomer compositions having self-bonding characteristics and methods of making same |
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