TW200529690A - Two-wire layered heater system - Google Patents
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200529690 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 且更特定言之 本發明係大致有關於電加熱器與控制器 係有關於層式加熱器之溫度感測。 【先前技術】 層式加熱一般使用Α (Λ?問為阳 , 當需要在橫跨-表面 加熱輸出、或在-極端淨化或具侵略性的化學應用 使用。層式加熱器一般包含不同材料之片層,也就是說 被W基板之介電材料與電阻材料。介電材料首先被施 加=板’且提供在基板與電阻材料之間的電氣隔離,且 同了取J、化在操作期間之電流滲漏。電阻材料在一預設樣 式之下被施加於介電材料,且提供—電阻式加熱器電路。 層式加熱器同時包括一導線,其連接電阻式加熱器電路至 加熱器控制器,及一過模塑材料,其可保護導線與電阻電 路之界面處。如前所述,層式加熱器為可高度配合客戶需 求以應用於多種變化之加熱器。 層式加熱器可能是”厚,,膜層、,,薄,,膜層、或,,熱熔射,,、及 八他的,其中在此等型式層式加熱器之主要差異為形成片 層之方法。例如,厚膜層加熱器之片層一般採用諸如網版 印刷電路、貼印應用、或膜層列印頭及其他的程序所形成。 用於/專膜層加熱器之片層一般採用諸如離子電鍍、賤鐘、 化學氣相沉積(CVD)、及物理氣相沉積(PVD)之沉積過程及 其他的所形成。尚有其他不同於薄與厚膜層技術之製程為 熱溶射’其可能包括舉例之火焰喷塗、電漿喷塗、電弧喷 97699.doc 200529690 塗、及HV0F(高速火焰炼射)、及其他的。 已知採用層式加敎界之糸一 …σ糸、,充一般包括一分離的溫度感測 器’其經由另一組電氣導線被連接於控制器,再加上另一 組用於電阻式加熱器電路導 吩< ¥綠組。溫度感測器通常是被 設置在靠近膜層加埶琴乃/十炎# μ …及/或為棱供加熱器具有溫度迴饋 以用於加熱器控制之處理琴 斋的杲些位置之熱電耦。無論如 何,熱電搞為相對地佔容積、需要額外的電氣導線’、及相 對地無法快速。替代的,—種RTD(電阻式溫度㈣器)可被 結合在層式加熱器之内如同一個別的片層’為獲得更準確 的溫度讀取值’及相較於傳統熱電輕可降低所需要的空 間。不幸的是,RTD亦需要經由一額外的電氣導線組通聯 於控制器。對於採用有大數量溫度感測器之系統,用於每 4❹之相關聯電氣導線的數目為實質的大且造成整體 加熱系統之增加容積與複雜性。 』例如,此等應用之-為電氣導線對於附加有射出成形模 製系統之加熱系統的增加容積與複雜性。射出成形模製系 統且特別是熱澆道系統’通常包含用於高度氣穴壓模之: 量噴嘴’丨中數個零件在單-循環或射出中被模製。喷嘴 通常被加熱以改進樹脂流動,因此在系統中的每一噴嘴, 用於喷嘴加熱器之相關電氣導線組及用於被放置在靠近加 熱器及/或處理器之至少一溫度感測器(例如熱電耦電: 導線組,必須由m统繞線至每—噴嘴。電氣導線之 繞線為一般使用臍帶所完成,其由控制系統分佈至熱澆道 模製系統。此外,繞線槽一般被輾壓進入模製系統::: 97699.doc 200529690 以繞線導線至每一喷嘴,因此增加電氣導線之數目將外加 熱澆道模製系統之成本與複雜性,且造成整體射出成形模 製系統增加容積。 【發明内容】 在一較佳構造中,本發明提供一種包含一厚膜層加熱器 與一雙線路控制器之加熱系統。厚膜層加熱器由一基板、 一配置在基板上之介電層、及一配置在介電層上之電阻層 所構成’其中該電阻層具有充份之溫度係數的電阻特性, 使得電阻層為加熱元件暨溫度感測器。此外,一保護層被 配置在電阻層之上及雙線路控制器利用電阻層之電阻值以 決定厚膜層加熱器之溫度,且由是控制加熱器溫度。 在另一構造中,本發明提供一種包含至少一電阻層之層 式加熱器,其中該電阻層具有充份之電阻特性的溫度係 數’使得電阻層為一加熱元件暨一溫度感測器。層式加熱 器進一步包含一被連接至電阻層之雙線路控制器,其中言: 雙線路控制器利用電阻層之電阻以蚊溫度,I由是控: 加熱器溫度。在本發明之不同的構造中1式加熱器:一 :膜層加熱器、一薄膜層加熱器、一熱炫射加熱器、及一 溶膠-凝膠加熱器。 構造中,本發日賴供—種包含至少__道喷嘴 乂被配置在靠近㈣道噴嘴附近之電阻層,盆中電 阻層具有充份之電阻特性的溫度係數 熱元件暨-溫度减測琴。,敎“ *于電阻層為-加 電阻層之雙線路控制器,直中 妾 雙線路肖電_ 97699.doc 200529690 之電阻以決定溫度,且由是控制加熱器溫度。 此外’本發明提供一種可用於具有至少一溫度感測器輪 入與-電力輸出之現有溫度控制器所使用之加熱系統。本 發明^-改良式,其包含至少一具有至少一電阻層之層式 加熱益’其中该電阻層具有充份之電阻特性的溫度係數, 使得電阻層為一加熱元件暨一溫度感測器、其改良處進— =包含至少一被連接至層式加熱器與溫度控制器之雙線路 模組,其中該雙線路模組利用電阻層之電阻以決定層式加 熱器之溫度,且傳送層式加熱器之溫度至溫度控制器輪 入’及溫度控制器傳送電力輸出至雙線路模組。 在另一構造中,本發明提供—種包含具有至少—電阻層 之層式加熱器,其中該電阻層具有充份之電阻特性㈣ 係數、,使得電阻層為-加熱元件暨一溫度感測器。該加熱 糸統進一步包含_姑;查妨1 、 ^ 被連接至電阻層之電氣導線,及一經由 電氣導線被連接至電阻層 甘士斗4 ^ ?工制态,其中該控制器利用電 阻層之電阻以決定、w, 、、 /皿度且由疋控制加熱器溫度。此外, 一被連接至層式加熱器盥一 裔/、 電力源的共用迴路裝置被連接 至控制器,其中号Γ κ、 、 、U A k凌置提供一由層式加熱器至控 制态之電氣迴路,使得僅 作。 行偟而要早一繞線用於加熱系統之操 依據本發明之一插古 / 斤供之層式加熱器的操作包 含經由一組連接至声4 W θ 1 ”、、态之電阻元件的導線供應電力 加…、器,且經由一组诵濟於庶^ 、、, 層式加熱器之導線的雙線路 夺工制為叶异電阻元件 西 度’其中該電阻元件為一加熱元 97699.doc 200529690 件暨-溫度感測器。在另一樣式巾,該方法被用以操作連 同於熱澆道喷嘴之層式加熱器。 本發明之進一步領域中將可由在下文所提供之詳細說明 中明顯的瞭解。其應瞭解該詳細說明與特定範例雖然指出 本發明之較佳具體實例,其僅用於舉例之目的非用以^制 本發明之範圍。 【實施方式】 以下之敘述僅做為較佳具體實例特性之範例,非用以限 制本發明、及其應用、或使用。 圖1舉例說明本發明之一項構造的簡化加熱系統方塊圖 樣式,且大致以參考編號10標示。加熱系統1〇包含一層式 加熱杰12、一雙線路控制器丨4,其較佳的以微處理器為基 礎、及一位於雙線路控制器14之内或被連接於雙線路控制 器14之電源16。如圖式之層式加熱器12經由單一組電氣導 線18被連接於雙線路控制器14。電力經由電氣導線18被提 供至層式加熱器12,且層式加熱器12之溫度資訊經由傳送 至雙線路控制器14之同一組電氣導線18的指令中所提供。 更特別的是,雙線路控制器14依據所計算之電阻以決定層 式加熱裔12之溫度,其技術之一將敘述如下。雙線路控制 器14接著傳送信號至電源16,由是控制層式加熱器12的溫 度。因此,僅需要有單一組的電氣導線丨8而非一組用於加 熱器及一組用於溫度感測器。 接下來參考圖2,其顯示層式加熱器12之一種構造,其包 含數個配置在基板20上之片層,其中該基板2〇可以是配置 97699.doc -10- 200529690 在靠近將被加熱之構件或裝置的個別元件、或構件或裝置 之本身。如圖所顯示,片層較佳的包含一介電層22、一電 阻層24、及一保護層26。介電層22提供在基板20與電阻層 24之間的電氣隔離,在基板2〇上所配置之厚度方面相對應 的於層式加熱器12之電力輸出。電阻層24被配置在介電層 22上,且依據本發明提供二個主要功能。首先,電阻層24 為用於層式加熱器12之電阻式加熱器電路,因此可加熱基 板20。再者,電阻層24亦是溫度感測器,其中電阻層24之 電阻被使用以決定層式加熱器丨2之溫度,此將敘述如後。 保護層26為較佳的一絕緣體,無論如何依據特定加熱應用 之需求亦可使用諸如導電材料之其他材料,其皆屬於本發 明範圍之内。 進一步說明,端末墊片28被配置在介電層22與電阻層以 之間且接觸電阻層24。如前所述,電氣導線3〇接觸端末墊 片28且連接電阻層24於雙線路控制器14(未於圖中示出),用 於電力輸入且用於傳送加熱器溫度資訊至雙線路控制器 14。此外,保護層26被配置在電阻層24上面,較佳的為用 於電氣隔離之一種介電材料且相對於操作環境保護電阻層 24。因為電阻層24功能如同加熱元件與溫度感測器二者, 僅需要一組電氣導線30(例如雙線)用於加熱系統1〇,而非一 组用於層式加熱器12及另一組用於分開的溫度感測器。因 此,經由使用依據本發明之加熱系統1〇,用於任何指定加 熱系統之電氣導線的數目可被降低達5〇%。此外,因為欠 個電阻層24為一溫度感測器加上加熱元件,可偵知整個力 97699.doc -11 - 200529690 熱元件之溫度而非如同諸如熱電耦之傳統溫度感測器僅可 偵知單一點處的溫度。 在本發明如圖3 a所示之另一構造中,在此方式中的電阻 層24被配置在基板2〇上,其中基板2〇不是導電性且不需要 經由一分別的介電層達到電氣隔離。如圖顯示,保護層26 如先前所述配置在整個電阻層24上。在圖3b顯示之另一構 造中,電阻層24被配置在基板20上,且未設有介電層22及 沒有保護層26。如前所述,本發明之加熱系統1 〇可在至少 一片層情形下操作(就是電阻層24),其中該電阻層24為兼具 加熱元件與溫度感測器二者。其他未在此文中敘述之功能 性片層的組合,可依據特定應用之需求被使用,其皆屬於 本發明範圍之内。 一般而言,層式加熱器12被構造成以附加於多種需要被 加熱之裝置所操作’其中之一為將敘述如後之用於射出成 形模製系統之熱澆道喷嘴。此外,層式加熱器12為較佳的 一種厚膜層加熱器,其採用本發明一種樣式之膜層列印頭 所製造。採用厚膜層製程之片層如同美國專利公開案第 5,973,296號所提出與說明,共同讓與本案申請權人且其全 文以引用的方式併入本文中參考。此外厚膜層處理可包括 舉例說明之諸如網版列印、喷塗、滾捲、及轉印與其他方 式。 無論如何,在另一構造中,層式加熱器12為一薄膜層加 熱器,其中該等片層採用諸如離子鍍、濺鍍、化學氣相沉 積(CVD)、及物理氣相沉積(PVD)、及其他的薄膜層製程所 97699.doc 12 200529690 形成。諸如在美國專利公開案第6,3〇5,923、6,34i,954、及 6,575,729號所揭示之膜層製程,全文以引用的方式併入本 文中參考,可被使用於在此文中說明之加熱系統1〇,其皆 屬於本發明範圍之内。在另一構造中,層式加熱器12為熱 噴鑛加熱裔,其中该片層採用諸如火焰噴塗、電漿喷塗、 電弧喷塗、及HVOF(高速火焰熔射)、及其他的熱噴鍍製程 所構造。在另一構造中,層式加熱器12為一,,溶膠_凝膠,,加 熱器,其中該片層採用溶膠_凝膠材料所構造。一般而言, 溶膠-凝膠片層係採用諸如浸塗、捲旋、或塗刷、及其他的 製程所形成。因此,在此文中所使用”層式加熱器,,名詞應 忒被建構成為包括包含有至少一功能性片層(例如,僅有電 阻層24、電阻層24與保護層26、介電層22與電阻層24與保 護層26、及其他的)之加熱器,其中該片層之形成係經由相 關聯於厚膜層、薄膜層、熱喷鍍、或溶膠_凝膠、及其他的 製程,施加或聚積材料於基板或另一片層所形成。此等製 程亦稱之為’’層化製程”或"層化加熱器製程,,。 為了電阻層24可提供溫度感測器加上加熱元件之二種功 能,電阻層24為較佳的由一種具有相對高溫度係數之電阻 材料(TCR)所構成。當金屬之電阻隨著溫度增加,在任何溫 度t(°C )之電阻為: R=R〇(l+a t)(公式 1) 其中:R〇為某些參考溫度(通常為〇。〇之電阻,及α為電 阻之溫度係數(TCR)。因此,為決定加熱器之溫度,加熱器 之電阻以敘述如後之雙線路控制器14所計算。在一構造 97699.doc -13- 200529690 中,加熱器之端電壓與流過電流係採用雙線路控制器14所 量測,且依據歐姆定律計算電阻。對於熟習該項溫度量測 技術者可依據電阻式溫度偵測器(RTDs)與已知的tcr,利 用公式1或相似公式接著計算出電阻層24之溫度且用於控 制加熱器。 1 因此,在本發明之一項構造中,一相對的高tcr為較佳 的,使得溫度的小變化造成電阻的大變化。因此,包括諸 如白金(TCR4GG39 Ω/Ω/t:)、錄(TCR=G.GG41 Ω/Ω/ °c)、或_CR=0.0039 Ω/ΩΓ(:)、及在其中合金成分之材 料為較佳的用於電阻層24。 無論如何,在本發明之其他構造中,用於電阻層24之材 料不而要必然的具有高TCR。例如,一種負tcr材料或一種 具有非線性TCR材料,應該亦屬於本發明之範圍内,只要 TCR為可預測的。如果所賦予材料之丁cr為已知、如果其所 量測的是在必|的精纟範圍Μ、及士口果是彳重複或可預 測’那麼該材料可被使用以決定加㈣統1()之溫度。此等 TCR(包括如所敘述之相對高T(:R材料),在下文中稱之為具 有充知之TCR特性。如前所述,在此文中所敘述之材料與 它們的相關高TCR’ γ應被建構為限制本發明之範圍。在 文中所敘述之相對局TCR,為本發明之一種較佳的構造。 至於其他充份之咖特性,用於電阻層24之材料必須不 會顯現過度”漂移”,丨為多牙重電阻元件改變特性之傾向, 省如谷積電阻係數或TCR、延時。因此,用於電阻層^之 材料在漂移方面為較佳的穩定或可預測,無論如何對於超 97699.doc -14- 200529690 犄之/示移可經由雙線路控制器丨4之調校予以補償,此將敘 述如後。此外,漂移可經由加熱器之,,預燒,,以誘導任何可 能在橫跨時間歷程發生之電阻飄移而予以減少或略去。如 月所述,電阻層24為較佳的一種具有相對地高溫度係數電 阻之材料,且其在漂移關係方面為穩定的。無論如何,如 果/示移疋可預測的,材料可被用於電阻層同時屬於本發明 範圍之内。 在本發明之一項構造中,電阻層24係以如前所述之列印 一種電阻材料在介電層22上所形成。特別的是,二種電阻 材料RI1與RI2在本發明被測試使用時,其中RI丨之TCR在接 近 0.0008 Ω/Ω/Ι 與接近 〇·0016 之間,且 RI2 之 丁 CR 在接近 0.0026 Ω/Ω/°(:與接近 〇·〇〇4〇 q/q/°c 之間。 此外’ RI1與RI2之溫度漂移在不同的溫度下測試,且漂移 變化由RI1的大約3%與RI2的大約1〇%。藉由前述之,,預燒 π,顯示出漂移已被減少至RI1的大約的大約4%。 用於電阻層24之材料及它們的相對應TCR數值與溫度漂 移,在此文中所敘述為示範性的特性,非用以建構限制本 發明之範圍。先前提出任何具有充份TCR特性之電阻材料 可被用於電阻層24,其皆屬於本發明範圍之内。 因為依據本發明使用具有溫度感測器能力之數種層式加 熱器,雙線路控制器14必須具有加熱器之特定資訊(且特別 是有關於電阻層24),以正確的調校整體加熱系統。用於此 等調校之必要參數包括耐寒性、耐寒值被量測之溫度、及 特定的TCR特性(位於_溫度之TCR及/或橫跨一溫度範 97699.doc -15- 200529690 圍)以由加熱裔之電阻計算出加熱器的溫度。較佳地,系 統將如下所述利用雙線路控制器14依據所量測的電屬與電 流自動地計算每—層式加熱器12之耐寒性。此外,每二層 式加熱器12之TCR特性必須採用手動及/或電氣方法被輸入 系統(例如雙線路控制器14)。此等數值可個別的或用於全部 層式加熱器12之單一數值以輸入,端視諸如用於電阻層24 、,材料疋否末自於一共通的製造批次。無論如何,調校資 料,也就是耐寒性、耐寒溫度、及每一層式加熱器12之丁cr 為較佳的被輸入雙線路控制器14,用於更為準確的及控制 加熱系統1 〇之操作。 有多種提供每一層式加熱器12iTCR特性與耐寒資料至 雙線路控制裔14的方法可被採用,其皆屬於本發明範圍之 内。例如,每一層式加熱器12可包括一條碼,其可由操作 者掃描以下載耐寒資料與TCR特性至雙線路控制器14。另 一實施例’一晶片智慧卡或其他電氣裝置可被附裝於每一 層式加熱器12,其可相似地由操作者掃描以下載調校資料 至雙線路控制器14。同時在另一構造中,調校資料可經由 網際網路(例如經由一供應商網頁)被下載至雙線路控制器 14。在一替代實施例,TCR特性與耐寒資料可被預可程式 輸入雙線路控制器14。 除了用於電阻資料與TCR之調校,用於電氣導線3〇之電 阻的補償,亦將依據本發明由加熱系統1〇所提供。因為電 氣導線30將增加電路之電阻,如果未對於所增加之電阻進 行補償,將有可能造成溫度錯誤。此外,用於電氣導線3〇 97699.doc -16 - 200529690 之材料可能具有一 TCR值高於電阻層24之TCR值,其將造成 外露於較高溫度之電氣導線30的部位產生更多電阻。因 此,雙線路控制器14亦提供用於導線電阻之調校。 雙線路控制器14為較佳地被設計帶有溫度調校能力,其 進步降低由於漂移造成長時距的溫度錯誤。溫度調校方 法之一為藉由使用一或多個既存的熱電耦或其他既存的溫 度感測器所完成,以確知溫度與溫度穩定性二者。來自於 熱電I馬之溫度資料接著被傳送至雙線路控制器14用以計算 電阻。此外所量測層式加熱器12之耐寒性的改變,可被用 以適當的計算新的TCR特性數值。在溫度調校之另一樣式 中,雙線路控制器14為較佳地包含一用於溫度補償參數之 輸入的調校補償特徵。當層式加熱器12之位置為遠離於所 希望感測溫度之最佳位置有某些距離時,此等補償為所希 望的。因此,溫度補償參數可被使用,使得加熱系統1〇所 和:供之溫度’其更為接近代表在最佳位置之實際的溫度。 接著就圖4a-4c所示之層式加熱器12的構造說明,電阻層 24為較佳的被配置在介電層22上,其樣式4〇將產生針對所 將加熱之指定基板或元件所希望具有之溫度輪廓。圖扣顯 示之電阻層2 4 a係依據基板2 0 a之矩形輪摩所產生之矩形樣 式40a。圖4b顯示之電阻層24b係依據基板20b之圓形輪廓所 產生之圓形樣式40b。圖4c所顯示之電阻層24c係依據基板 2〇c之柱形輪廓所產生之螺旋形樣式4〇c。此外,樣式4〇a_c 的寬度,,W ”及/或節距” P ”亦可能依據加熱系統之特定加熱 需求予以改變。因此,電阻層24a之樣式為較佳的針對每一 97699.doc 17 200529690 加熱系統ίο之應用予以客製化。在此文中舉例之樣式僅為 範例,非企圖用以限制本發明之範圍。 層式加熱器12包括其每一片層與端末墊片28亦可依據美 國專利公開案第 6,410,894、6,222,166、6,037,574、 5,973,296、及5,714,738號所建構,其共同讓與本發明且其 全文以引用的方式併入本文中參考,其皆屬於本發明範圍 之内。此外,未被涵括於文中之針對專利案的釐清與參考 用之相關另項材料、製造技術、及建構處理方式的他項特 性,對於此等他項特性將併入本文中參考。 雙線路控制器(14) 雙線路控制器14構造之一,如圖5之方塊圖所示。如圖顯 不之雙線路控制器14大致包含一電源5〇、一電壓與電流量 、J元件52 電力凋節器元件54、及一通聯於層式加熱器 12之微處理器56。微處理器56亦通聯於一通聯組件58,其 中來自於加熱系統10的特定輸出(例如溫度讀取數)被遞送 出且同時可提供該等輸入(例如更新之TCR值、調校數據、 溫度設定點、電阻設定點)至加熱系統1〇。 一接著參考圖6,為更詳細說明雙線路控制器14之電壓量測 疋件52。一般而言,雙線路控制器14在交流電循環跨過〇 值期間施加直流電偏壓或低強度直流電至層式加熱器η, =致電流數值乘上-公稱的加熱器電阻產生產生一電壓, 其=於在跨過〇值之全波形電壓,在〇值的每一側邊保持 有k段。在此時段,層式加熱器12之電廢被放大且相較 於參考電壓,及接著控制提供至層式加熱器12之電力,此 97699.doc -18- 200529690 將在此文中進一步敘述。在美國專利公開案第4,736,〇91號 有進一步說明直流電偏壓之應用,其共同讓與本發明之應 用,其全文以引用的方式併入本文中參考。在本發明另一 構造中’交流電流可被用於偏壓以取代直流電偏壓以決定 層式加熱器12之電阻。 如圖式顯示之雙線路控制器14包含一電晶體6〇、一二極 體62、及一第一電阻64,其中第一電阻以結合層式加熱器 t成電壓刀配器。對於直流電偏壓,在跨過〇值期間電晶 體60被開啟一短暫期間(例如200 μ8),且當加熱器正接收電 力之負值半循環期間進一步限制電流流過電源5 〇 (未於圖 中示出)。此外,當層式加熱器12正接收電力之正值半循環 期間,二極體62可限制電流流過電源5〇。層式加熱器η之 輸出接著經由一第二電阻66被傳送與且進入一包含有放大 器70與電阻72、74、及76之運算放大器電路68。因此放大 器70之輸出電壓被用以計算電阻及決定層式加熱器^之 度,其中該放大器70之輸出電壓為在微處理器56内之類比 對數位轉換所讀取。此外,在直流電偏壓期間,將放大器 放大器70在正接收電力期間於正與負半循環期間被過度驅 動。 之輸出電Μ由類比信號轉換成為數位信號,且如果所計 算的電阻或層式加熱器12溫度經藉由—控制運算法則決定 出需要有來自於層式加熱器12之額外的電力,—來自於閘 路控制80之選通脈衝將被遞送至層式加熱器12。如進一步 顯不,-場效電晶體82釘住放大器7〇之輸入,目此可防止 97699.doc -19- 200529690 將進-步敘述如後之微處理器56,一般經由輸出控制 84、偏壓㈣86、及加熱器輸人88通聯於所顯示之電路。 此外,微處理器56進-步包含及/或軟體(未於圖中示 出)。動體9〇可被可程式用於多種功能,此等包括但不限於 依據1刪519之允許電力的半循環遞送或全循環電力以改 進可控制能力。在進-步範例中,勃體9〇可包括控制運算 法則以補償熱能暫態回應與其他如前所述之調校資料。: 此。’。將微處理器56結合直流電偏壓電路❹以決定層式加 熱器12溫度及更有效的控制提供電力至層式加熱器12。 在圖7進一步分解雙線路控制器14。電源5〇為較佳的非隔 離式且如圖顯不之電容式輕合於線性調節器刚。因此視操 作所需將調節電源50之交流電力向下至特定的數值。進一 γ S、’員示,來自於電源5〇之通聯於微處理器56的跨過〇值正旋 波(直流電偏壓)。在跨過〇值期間,直流電偏壓經由電晶體 102、二極體104、及電阻1〇6所施加。跨過層式加熱器η 之電壓被放大且以放大器1〇8所補償,且放大器u〇被使用 供做在微處理器56内之用於溫度變異的類比對數位轉換之 蒼考。 在層式加熱器12之端電壓與電流值的改變之量測係採用 雙放大器112、114及類比開關116、118所完成,其中電壓 信號之改變係經由放大器丨12與類比開關丨16、及電流改變 係經由放大器114與類比開關118。如進一步顯示,電流之 改變係使用並聯電阻116所量測。此外,雙線路控制器14 包含一閘路控制120,其在跨過〇值期間為不導電且在每一 97699.doc -20- 200529690 半循環嶋導電。在直流電偏屢期間,如果所量測的電 阻經控制運异法則決定出需要來自於層式加熱器12之額外 的電力將备生—類比對數位轉換且由閘路控制120遞送- ㈣1此’在圖7顯示電路圖中提供二種計算電阻之方 法即以直流電偏壓電路與並聯電阻電路。此外,雖秋本 發明為較佳的量測電壓與電流以決^電阻,替代為' 採用諸如電壓閘門或亦可採用已如電流以決定電阻,其皆 屬於本發明範圍之内。 在另一構造中,閘路控制120為較佳的隨機觸發閘路控 制,使得層式加熱器12可在高導電角度被觸發以減少在取 樣期間被遞送至層式加熱器12之能量數量。例如,在⑽ 度14 340度之導電角度下觸發層式加熱器12可令在12〇 具有充份之取樣同時降低輸送能量至層式加熱器12。替代 的,僅在16G度或僅在34G度取樣應該是要產生6()Hz之取樣 速率,同時進—步減半能量輸人。此外,當採用隨機觸發 閘路控制,當溫度(或在其他的構造中的電阻)趨近於設定點 時,可採用任何速率功能以在較小遞增量中遞送能量。因 此,層式加熱器12在愈來愈高的導電角度被觸發進入全線 循環。 如進一步所顯示,對於雙線路控制器14之通聯進與出發 生於微處理器56之對向側邊。通聯組件58包含一串列光隔 離為122、124、及126,加上無線電收發機128。因此,通 聯可經由多種通信協定所完成,包括在此文中做為舉例之 RS-485通聯。除了其他功能以外,可利用此通聯界面輸入 97699.doc 21 200529690 調校資料。 韋刃體90經由如圖顯示之連接之Isp(線±程式燒錄開發軟 體)被載入微處理器56。因此,在雙線路控制器14内之特定 修改的設定(包括如同前述之輸入調校資料)可在一有效方 式下完成。 如圖7所洋細敘述之特定電路元件連同電路元件之數值 與構造(例如電阻值、電容值及其他的)為雙線路控制器14 之、種構這的範例,其不應構成本發明之限制範圍。如前 所述替代f路7C件、構造、及數值以及電阻量測電路拓 撲邏輯可被應用在此文中所定義之雙線路控制器,其皆屬 於本發明範圍之内。 熱澆道喷嘴應用 依據本發明原理之加熱系統_—項已知應用方式,為 應用於如圖8料之射出成㈣㈣統的錢料嘴。熱洗 道噴嘴150為-般被配置在熱操作模系統152之内,JL進一 步包含複數個模繞線槽154,提供m氣導線(未^圖中 丁出)之’VU線,其被配置在靠近熱澆道喷嘴丨至在此文中 說明的雙線路控制器(未於圖中示出)。因為每-加熱器形同 兼:加熱元件與如同溫度感測器二者,每一加熱器僅需要 、、導 ' 良而非、组導線用於加熱器與一組導線用於溫度 感j。。、。果,牙過模繞線槽154分佈之導線的數量被減少 -半’且相關容積與複雜性可極劇地減少。 此外’射出成形模製系統裝備一般包括一臍帶164,其由 控制器分佈至熱操作模系統152,全部導線與其他導線電氣 97699.doc -22- 200529690 凡件被配置在其中。藉由本發明所極劇地減少導線之數 量,臍帶164之大小與容積同樣極劇地減少。此外,因為是 以加熱1§之整個電阻層感測溫度,所感測之溫度係跨過一 長度而非如同傳統熱電耦般之點狀處。 如圖9、1〇所示,更詳細說明用於熱澆道喷嘴15〇,之加熱 系統。加熱系統2〇〇包含一配置在熱澆道喷嘴15〇,之本體2〇3 周圍的層式加熱器202、一經由單一組導線205通聯於層式 加熱器202之雙線路控制器2〇4。層式加熱器2〇2進一步包含 一基板206,其被構造以密接在熱澆道喷嘴15〇,之幾何外形 (圖式為柱形)周圍。層式加熱器202進一步包含一配置在基 板206上之電阻層208、一配置在電阻層2〇8上之電阻層 210、及一配置在保護層214上之保護層214。如進一步顯 不,端末墊片216被配置在電阻層2〇8上且接觸於電阻層 210。如前所述,電氣導線205接觸端末墊片216且連接電阻 層210至雙線路控制器2〇4。結果,對於加熱系統2〇〇僅需要 有一組電氣導線205,而非一組用於層式加熱器2〇2及另一 組用於不同的溫度感測器。 如圖11所示’在另一種構造中的層式加熱器2〇2,被配置在 熱澆道喷嘴150,之外表220上,而非如先前敘述的在不同的 基板上。類似地,層式加熱器2〇2,包含被配置在外表22〇上 之介電層208’、一被配置在介電層208»上之電阻層21〇,、及 一被配置在電阻層210,上之保護層214,。端末墊片216,為類 似地被配置在介電層208’上,且接觸電阻層21〇,。如同進一 步所顯示,單一組導線2〇5,連接加熱器2〇2,至雙線路控制器 97699.doc •23- 200529690 204’。 在本發明之另一構造中,依據本發明之一模組化方式可 在如圖12所設置與說明之現有採用分離式溫度感測器(例 如熱電耦、電阻式溫度偵測器)之現有控制器,更新加熱系 統。如圖式,雙線路模組230被設置在層式加熱器232與已 存在溫度控制器234之間。溫度控制器234包含溫度感測器 輸入236與電力輸出238。雙線路模組230因此包含如前所述 之雙線路電阻量測電路,且在雙線路模組23〇之内所計算之 溫度被傳送至已存在之溫度控制器234的溫度感測器輸入 236。依據此等溫度輸入,溫度控制器234經由電力輸出238 控制層式加熱器232。如圖顯示其應瞭解電力控制可能是溫 度控制器234之一部分或可能是個別的電力控制器24〇,直 皆屬於本發明範圍之内。如前所述,已存在之溫度控制器 可連同雙線路模組230被更新以實現本發明之加熱系統,而 不需要幾乎完全重製作且修改現有系統。 參考如圖13所示,依據本發明之加熱系統的另-構造, 其可舉例說明減少電氣導令 电汛導線,且大致標不為參考號碼3〇〇。 加熱糸統3 0 0包含一 «λ為如。Α1 t 層式加熱裔302與一操作如同前述 制器304,直中声彳a也抑 ^ ^ 、〆、曰$ 口…、斋302之一電阻層(未於圖中示出) 同岭為一加熱元件與一、、w冷β ,皿度感測态二者。加熱系統3 0 〇進一 步包含一電源306,在一太a R0 ^ # a丄^ ,本舍明之構造中其較佳的為低電壓 者,其提供電力至層式加熱器3〇2 3〇2經由-單-電氣導線3齡之^加熱益 中立端之梦署、、工 5又疋為—共同迴路或 、(例如熱濟道噴嘴系統模組)的本體或構造 97699.doc -24- 200529690 被連接至控制器304,其中共用迴路裝置3 10提供一由層式 加熱器302至層式加熱器302之電氣迴路。加熱系統3〇〇使用 裝置3 1 0材料之電氣導電特性以完成電氣電路,且因此需要 限制電源306流過裝置310之電流強度。因此,因為使用裝 置構造3 10以連接層式加熱器302至控制器3 〇4,可略去另一 電氣導線,使該控制器304等效於”單一線束控制器”。 本發明之敘述僅做為特性之範例,因此其未脫離本發明 實質之變異者’其皆屬於本發明範圍之内。此等變異不應 視為脫離本發明之精神與範圍。 【圖式簡單說明】 完全瞭 本發明將經由如下之詳細說明與伴隨圖式更易於 解,其中:
視圖; 項加熱系統的方塊圖; 項層式加熱器之放大橫切面
層之層式加熱器的放大橫切面視圖; 電阻層與一保護 圖3 b為依據本發明原理之一項僅包含有 加熱器的放大橫切面視圖; 圖4a為依據本發明内容建構之一 電阻層之層式
圖4b為依據本發明原理建構之一 視圖; 一電阻層樣式之平面 圖4c為依據本發明原理建構之一 第三電阻層樣式 之立視 97699.doc -25- 200529690
圖5為依據本發明原理之一項雙 圖6為依據本發明内容建 工制系統之方塊圖; 化電路概要目; 、雙怎路L·制糸統之簡 圖7為依據本發明内容建構之一 細電路概要圖; 貢又線路控制系統之詳 嘴發:内容建構之應用於具有附加熱_ 視圖;…、、6射出成形杈製系統之高度氣穴壓模的立 圖9為依據本發明内容建構一 之側視圖; 賴&道噴嘴加熱系統 圖1〇為依據本發明原理之沿著圖9切線A-A的孰洗道喷嘴 加熱系統之側向剖視圖; )”、、此道噴爲 =依據本發明内容建構之熱洗道噴嘴加熱系統之替 代具體實例的側向剖視圖; 圖12為依據本發明原理之更新進入現有系統之模組化加 熱糸統之概要圖;及 ㈣為依據本發明原理採用單—線束的方塊 圖0 在諸圖式中,相同的參考編號標示相同之部件 【主要元件符號說明】 ^ 10 加熱系統 12 層式加熱器 14 雙線路控制器 16 電力源 97699.doc -26- 200529690 18 電氣導線 20 基板 22 介電層 24 電阻層 26 保護層 28 終端襯墊 30 電氣導線 40 樣式 50 電力源 52 電壓量測元件 54 電力調節器元件 56 微處理器 58 通信組件 60 電晶體 62 第二極體 64 第一電阻 66 第二電阻 68 運算放大器電路迴路 70 放大器 72 電阻 74 電阻 76 電阻 80 閘路控制 82 場效電晶體 97699.doc -27- 200529690 84 輸出控制 86 偏壓控制 88 加熱器輸入 90 韌體 100 線性調節器 102 電晶體 104 二極體 106 電阻 108 放大器 110 放大器 112 放大器 114 放大器 116 並聯電阻 116 類比開關 118 類比開關 120 收發器 120 閘路控制 122 光隔離β 124 光隔離器 126 光隔離器 150 熱澆道喷嘴 150f 熱澆道喷嘴 152 熱操作模系統 154 模繞線槽 97699.doc 200529690 164 臍帶 200 加熱系統 202, 加熱器 203 本體 204 雙線路控制器 204, 雙線路控制器 205 電氣導線 205, 導線 206 基板 208 電阻層 208, 介電層 210 電阻層 210f 電阻層 214 保護層 214? 保護層 216 終端襯墊 2l6f 終端襯墊 220 外表 230 雙線路模組 232 層式加熱器 234 溫度控制器 236 溫度感測器輸入 238 電力輸出 240 電力控制器 97699.doc -29 200529690 300 加熱系統 302 層式加熱器 304 控制器 306 電力源 308 電氣導線 310 共用迴路裝置 97699.doc
Claims (1)
- 200529690 十、申請專利範圍: 1 · 一種加熱系統,包含: 居膜層加熱器,其界定: 一基板; 被配置在基板上之介電層; 被配置在介電層上之電阻層,該電阻層具有充份之 1度係數的電阻特性,使得該電阻層為一加熱元件暨〆浪 度感測器;及 一被配置在電阻層上方之保護層;及 一通聯於該厚膜層加熱器之雙線路控㈣器,纟中該雙線 路控制器採用該電阻層之電阻值以決定厚膜層加熱器之 溫度’且藉以控制加熱器溫度。 2. —種加熱系統,包含: -包含有至少一電阻層之厚膜層加熱器,該電阻層具 有充份之溫度係數的電阻特性,使得該電阻層為一加熱 元件及一溫度感測器;及 -被連接於該電阻層之雙線路控制器,其中該雙線路 控制器採用該電阻層之電阻值 值以決疋厚膜層加熱器之溫 度’且藉以控制加熱器溫度。 3 · —種加熱系統,包含: “層之溥膜層加熱器,該電阻層具 一包含有至少 有充份之溫度係數的電阻特 元件及一溫度感測器;及 一被連接於該電阻層之雙 性’使得該電阻層為一加熱 線路控制器,其中該雙線路 97699.doc 200529690 控制益利用電阻層之電阻值以決定厚膜層加。^ …、為之溫 度,且藉以控制加熱器溫度。 4 · 一種加熱糸統,包含: 一包含有至少一電阻層之熱熔射加埶芎 …夯该電阻層具 有充份之溫度係數的電阻特性,使得該電阻層為一加熱 元件及一溫度感測器;及 口… -被連接於該電阻層之雙線路㈣器,其中該雙線路 控制器、利用電阻層之電阻值以決定熱熔射加熱器之溫 度,且藉以控制加熱器溫度。 〜 1 5. 一種加熱系統,包含: -包含有至少一電阻層之溶膠-凝膠加熱器,該電阻層 具有充份之溫度係數的電阻特性,使得該電阻層為一力曰口 熱元件及一溫度感測器;及 《〜 Π -被連接於該電阻層之雙線路控制器,其中該雙 控制器利用電阻層之電阻值以決定厚膜層加執写之π 度,且藉以控制加熱器溫度。 11 皿 6.一種加熱系統,包含: -包含有至少一電阻層之層式加熱器,該電阻層且有 充伤之溫度係數的電阻特性,使得該 件及-溫度感測器’·及 為—加熱7ϋ 該電阻層之雙線路控制器,其中該雙線路 1 工!^利用電阻層之電阻值以決定層式加熱器之溫度, 且糟以控制加熱器溫度。 如β求項6之加熱系統,其中該雙線路控制器包含一直流 97699.doc -2- 200529690 8· 9. 電偏壓控制以用於該電阻層之電阻的計算。 “月^員6之加熱系統,其中該雙線路控制器 電偏壓控制以用於該電阻層之電阻的計算。 如睛求項6之加熱系統,其t該雙線路控制器 角度觸發。 包含一交流 包含高導電 並聯 包含 1〇:請求項6之加熱系、统,其㈣雙線路控制n包含_ 龟阻以用於該電阻層之電阻的計算。 Η·如%求項6之加熱系統,其中該雙線路控制器進一半 一微處理器。 乂 12.=求項6之加熱系統,其中該電阻層界u由螺旋形、 形、及圓形組成之群中所選出之一樣式。 13·如明求項6之加熱系統,其,該雙線路控制 韌體。 &文包合 14· —種加熱系統,包含·· 一厚膜層加熱器,其界定: 一介電層; -被配置在該介電層上之電阻層,該電阻層具有充 份之溫度係數的電阻特性,使得該電阻層為—加熱元件 及一溫度感測器;及 一被配置在電阻層上方之保護層;及 —通聯於該厚膜層加熱器之雙線路控制n,其中該雙 線路控制器’利用電阻層之電阻值以決定厚膜層加熱器之 溫度,且藉以控制加熱器溫度。 15· 一種熱澆道喷嘴加熱系統,包含: 97699.doc 200529690 至少一熱澆道喷嘴; 一緊鄰於熱澆道噴嘴配置之基板; 被配置在基板上之介電層· 一被配置在介電層上之雷 <寬阻層,該電卩且層具有充份之 溫度係數的電阻特性,使得該電阻層為〆加熱元件及一 溫度感測器;及 一被配置在電阻層上方之保護層;及 被連接於„亥電阻層之雙線路控制器,其中該雙線路 、 控制器採用該電阻層之電阻值以決定加熱系統之温度, 且藉以控制加熱器溫度。 16·—種熱澆道噴嘴加熱系統,包含: 至少一熱澆道喷嘴;及 至少-緊鄰於該熱澆道喷嘴配置之電阻層,該電阻層 具有充份之溢度係數的電阻特性,使得該電阻層為一加 熱元件及一溫度感測器;及 -被連接於該電阻層之雙線路㈣器,其巾該雙㈣ 、 控制器利料阻層之電阻值以決定加熱系統之溫度,且 藉以控制加熱器溫度。 17.-種可與具有至少一溫度感測器輸入與一電力輸出之現 有溫度控制器-起使用之加熱系統,其改良處包含: 至少一層式加熱器,該層式加熱器包含有至少—電阻 層,該電阻層具有充份之電阻特性的溫度係數,使得電 阻層為一加熱元件及一溫度感測器;及 至少一被連接至該層式加熱器與該溫度控制器之雙線 97699.doc 200529690 路模組, 〃中咸又線路拉組利用電阻層之電阻以決定層式加熱 器之溫度’且傳送該層式加熱器之溫度至溫度控制器輸 入’及溫度控制器傳送電力輸出至雙線路模組。 1 8 · —種加熱系統,包含·· έ有至 >、電阻層之層^加熱器,該電阻層具有 充份之電阻特性的溫度係數,使得該電阻層為一加熱元 件及一溫度感測器; 一被連接於該電阻層之電氣導線; -經由該電氣導線被連接至電阻層之控制器,立中該 控:器利用該電阻層之電阻值以決定加熱系統之溫度, 且藉以控制加熱器溫度; 被連接至該層式加熱器之共用迴路裝置;及 一被連接至該控制器之電力源, 该層式加熱器至該控制器 包含以下之步驟: 之電阻層的導線供應電力 其中該共用迴路裝置提供由 之電氣迴路。 19· 一種操作一層式加熱器之方法 經由一組連接至層式'加熱器 至層式加熱器;及 經由一組導線連接至;s武如#⑽ 禮式加熱裔之雙線路控制器計算 €阻層之溫度, 20 “ί中該電阻層為一加熱元件及-溫度感測器。 項19之方法,進—步包含電阻數據調校之步驟。 口月求項19之方法,進-步包含導線調校之步驟。 200529690 22. 如請求項19之方法,進一步包含溫度調枚之步· 23. 如請求項19之方法,進一步包含TCR調校 殚 ^ 〇 • 一種操作一結合一熱澆道噴嘴系統之屛 法,包含以下之步驟: 工σ熱态的方 經由-組連接至層式加熱器之電阻 至層式加熱器;及 導線七、應電力 經由-組導線連接至層式加熱 電阻元件之溫度, 又線路控制器計算 其中該電阻層為一加熱元件及一溫度感測器。 97699.doc
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI601964B (zh) * | 2012-04-19 | 2017-10-11 | Kyushu Nissho Co Ltd | Thermostat |
Families Citing this family (117)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6731925B2 (en) * | 2001-10-24 | 2004-05-04 | Mouhamad Ahmad Naboulsi | Safety control system for vehicles |
| US7196295B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-03-27 | Watlow Electric Manufacturing Company | Two-wire layered heater system |
| US8536496B2 (en) * | 2004-09-15 | 2013-09-17 | Watlow Electric Manufacturing Company | Adaptable layered heater system |
| EP1803328B1 (en) * | 2004-09-30 | 2012-04-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular layered heater system |
| TWI252813B (en) * | 2004-11-10 | 2006-04-11 | Benq Corp | Fluid injector device with sensors and method of manufacturing the same |
| EP2042290B1 (en) * | 2005-04-07 | 2013-09-25 | Mold-Masters (2007) Limited | Injection molding apparatus |
| US20060289469A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-12-28 | Noble Fiber Technologies Llc | Flexible electrically conductive circuits |
| US7459104B2 (en) * | 2005-07-18 | 2008-12-02 | Datec Coating Corporation | Low temperature fired, lead-free thick film heating element |
| KR100645688B1 (ko) * | 2005-08-30 | 2006-11-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증착장치의 히터 및 이를 채용한 증발원 |
| US7280750B2 (en) * | 2005-10-17 | 2007-10-09 | Watlow Electric Manufacturing Company | Hot runner nozzle heater and methods of manufacture thereof |
| US20080188845A1 (en) * | 2007-02-01 | 2008-08-07 | Mcgreevy Francis T | Tissue fusion instrument and method to reduce the adhesion of tissue to its working surfaces |
| US9492220B2 (en) * | 2007-02-01 | 2016-11-15 | Conmed Corporation | Apparatus and method for rapid reliable electrothermal tissue fusion |
| US9498277B2 (en) * | 2007-02-01 | 2016-11-22 | Conmed Corporation | Apparatus and method for rapid reliable electrothermal tissue fusion and simultaneous cutting |
| US20080290542A1 (en) * | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Mold-Masters (2007) Limited | Hot Runner Having Temperature Sensor for Controlling Nozzle Heater |
| US7800021B2 (en) * | 2007-06-30 | 2010-09-21 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Spray deposited heater element |
| US8089337B2 (en) * | 2007-07-18 | 2012-01-03 | Watlow Electric Manufacturing Company | Thick film layered resistive device employing a dielectric tape |
| US8557082B2 (en) * | 2007-07-18 | 2013-10-15 | Watlow Electric Manufacturing Company | Reduced cycle time manufacturing processes for thick film resistive devices |
| US7950918B2 (en) * | 2007-08-24 | 2011-05-31 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Apparatus for controlling melt flow in a melt distribution network |
| DE202007014964U1 (de) * | 2007-10-25 | 2009-02-26 | Günther Heisskanaltechnik Gmbh | Anschlusseinrichtung |
| US10159114B2 (en) * | 2008-03-18 | 2018-12-18 | Watlow Electric Manufacturing Company | Layered heater system with honeycomb core structure |
| US8061402B2 (en) * | 2008-04-07 | 2011-11-22 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method and apparatus for positioning layers within a layered heater system |
| US20100025391A1 (en) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Itherm Technologies, L.P. | Composite inductive heating assembly and method of heating and manufacture |
| WO2010045221A1 (en) * | 2008-10-13 | 2010-04-22 | Egc Enterprises, Incorporated | Temperature monitoring and control system for negative temperature coefficient heaters |
| US9345067B2 (en) * | 2008-10-13 | 2016-05-17 | ECG Operating Company LLC | Temperature monitoring and control system for negative temperature coefficient heaters |
| IT1392225B1 (it) * | 2008-12-12 | 2012-02-22 | Microglass S R L | Metodo di regolazione e di controllo automatico della potenza e della temperatura di riscaldamento di componenti riscaldanti destinati a riscaldare superfici od ambienti in particolare per apparecchiature di riscaldamento e per applicazioni di vario genere. |
| IT1392224B1 (it) * | 2008-12-12 | 2012-02-22 | Microglass S R L | Dispositivo di controllo elettronico per la regolazione automatica della potenza e della temperatura di riscaldamento di componenti riscaldanti destinati a riscaldare superfici od ambienti, in particolare per apparecchiature di riscaldamento e per applicazioni di vario genere. |
| WO2012012519A2 (en) | 2010-07-22 | 2012-01-26 | Watlow Electric Manufacturing Company | Combination fluid sensor system |
| US8840609B2 (en) | 2010-07-23 | 2014-09-23 | Conmed Corporation | Tissue fusion system and method of performing a functional verification test |
| US8927909B2 (en) * | 2010-10-11 | 2015-01-06 | Stmicroelectronics, Inc. | Closed loop temperature controlled circuit to improve device stability |
| US9062354B2 (en) * | 2011-02-24 | 2015-06-23 | General Electric Company | Surface treatment system, a surface treatment process and a system treated component |
| US8692605B2 (en) | 2011-06-27 | 2014-04-08 | Mediatek Inc. | Receiving circuits for core circuits |
| MX337205B (es) | 2011-08-30 | 2016-02-16 | Watlow Electric Mfg | Sistema de calentamiento de alta definicion que tiene un medio fluido. |
| US20130154143A1 (en) | 2011-09-29 | 2013-06-20 | Watlow Electric Manufacturing Company | High dynamic temperature control system |
| CN102361520B (zh) * | 2011-10-21 | 2013-11-27 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 温控反馈电加热板 |
| DE102012103120B4 (de) * | 2012-04-11 | 2025-04-30 | Günther Heisskanaltechnik Gmbh | Werkzeugeinsatz mit Schichtheizung, Formplatte mit einem solchen Werkzeugeinsatz und Verfahren zum Betrieb eines solchen Werkzeugeinsatzes |
| US9224626B2 (en) * | 2012-07-03 | 2015-12-29 | Watlow Electric Manufacturing Company | Composite substrate for layered heaters |
| US20140034628A1 (en) * | 2012-08-06 | 2014-02-06 | Chien-Chou Chen | Temperature control module for electric blankets |
| US20160113063A1 (en) * | 2013-05-21 | 2016-04-21 | Heat Trace Limited | Electrical heater |
| CN104552845B (zh) * | 2013-09-10 | 2018-11-02 | 奥托门纳创新有限责任公司 | 具有分区段式加热器的热流道喷嘴 |
| US9716022B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-07-25 | Lam Research Corporation | Method of determining thermal stability of a substrate support assembly |
| DK2908036T3 (da) * | 2014-02-18 | 2016-05-30 | Möhlenhoff GmbH | Omskiftningsarrangement til indstilling af en ventil |
| JP6219227B2 (ja) * | 2014-05-12 | 2017-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | ヒータ給電機構及びステージの温度制御方法 |
| US10440829B2 (en) * | 2014-07-03 | 2019-10-08 | United Technologies Corporation | Heating circuit assembly and method of manufacture |
| DE102014113482B4 (de) * | 2014-09-18 | 2019-01-03 | Bruker Daltonik Gmbh | Ionisierungskammer mit temperierter Gaszufuhr |
| EP3213598B1 (en) | 2014-10-31 | 2023-07-05 | Watlow Electric Manufacturing Company | Thermal dynamic response sensing systems for heaters |
| GB2533137A (en) * | 2014-12-11 | 2016-06-15 | Nicoventures Holdings Ltd | Electronic vapour provision system |
| US11540358B2 (en) * | 2015-05-29 | 2022-12-27 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater assembly with interchangeable auxiliary sensing junctions |
| US9888526B2 (en) * | 2015-07-30 | 2018-02-06 | Edwards Vacuum Llc | Detecting heater failure in a group of electric heaters in a process equipment heating system |
| AU2016309552B2 (en) * | 2015-08-14 | 2020-09-24 | Mequ A/S | Infusion fluid warmer comprising printed circuit board heating elements |
| US10154542B2 (en) | 2015-10-19 | 2018-12-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Composite device with cylindrical anisotropic thermal conductivity |
| US9826574B2 (en) | 2015-10-28 | 2017-11-21 | Watlow Electric Manufacturing Company | Integrated heater and sensor system |
| US9812342B2 (en) | 2015-12-08 | 2017-11-07 | Watlow Electric Manufacturing Company | Reduced wire count heater array block |
| US10690414B2 (en) * | 2015-12-11 | 2020-06-23 | Lam Research Corporation | Multi-plane heater for semiconductor substrate support |
| US10247445B2 (en) | 2016-03-02 | 2019-04-02 | Watlow Electric Manufacturing Company | Heater bundle for adaptive control |
| WO2017151975A1 (en) | 2016-03-02 | 2017-09-08 | Watlow Electric Manufacturing Company | Bare heating elements for heating fluid flows |
| CN108886835B (zh) * | 2016-03-02 | 2021-12-31 | 沃特洛电气制造公司 | 预测加热系统中的电阻加热元件温度的方法及其控制系统 |
| US10340171B2 (en) | 2016-05-18 | 2019-07-02 | Lam Research Corporation | Permanent secondary erosion containment for electrostatic chuck bonds |
| JP7143226B2 (ja) | 2016-06-15 | 2022-09-28 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | 熱システムのための電力コンバータ |
| WO2018006258A1 (en) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. | Bonding materials of dissimilar coefficients of thermal expansion |
| US11069553B2 (en) * | 2016-07-07 | 2021-07-20 | Lam Research Corporation | Electrostatic chuck with features for preventing electrical arcing and light-up and improving process uniformity |
| TWI664873B (zh) | 2016-07-07 | 2019-07-01 | 美商瓦特洛威電子製造公司 | 用於適應性控制之加熱器束及減少電流洩漏之方法 |
| EP3272259A1 (en) * | 2016-07-22 | 2018-01-24 | Duravit Aktiengesellschaft | Sanitary device and method for controlling an operation power provided by a power unit of a sanitary device |
| EP3526003B1 (en) * | 2016-10-17 | 2023-12-13 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Apparatus and method for heating a side gate nozzle |
| TWI751469B (zh) * | 2016-10-21 | 2022-01-01 | 美商瓦特洛威電子製造公司 | 具有低漂移電阻反饋之電氣加熱器 |
| US10910195B2 (en) | 2017-01-05 | 2021-02-02 | Lam Research Corporation | Substrate support with improved process uniformity |
| EP3879564B1 (en) | 2017-06-15 | 2023-11-15 | Watlow Electric Manufacturing Company | System and method for controlling power to a heater |
| EP4089267A1 (en) | 2017-06-16 | 2022-11-16 | Watlow Electric Manufacturing Company | Temperature-based control of reagent distribution |
| CA3071112A1 (en) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | Watlow Electric Manufacturing Company | Sensor system and integrated heater-sensor for measuring and controlling performance of a heater system |
| US11236422B2 (en) | 2017-11-17 | 2022-02-01 | Lam Research Corporation | Multi zone substrate support for ALD film property correction and tunability |
| JP7303820B2 (ja) | 2017-11-21 | 2023-07-05 | ワトロー エレクトリック マニュファクチュアリング カンパニー | ビアを有さない複数領域ペデスタルヒーター |
| EP3763168B1 (en) * | 2018-03-08 | 2023-11-15 | Watlow Electric Manufacturing Company | Control system for controlling a heater |
| DE202018101634U1 (de) * | 2018-03-23 | 2018-04-03 | Türk & Hillinger GmbH | Vorrichtung zur Umwandlung von elektrischer Energie in Wärme und elektrische Heizvorrichtung mit einer solchen Vorrichtung |
| DE102018108573A1 (de) * | 2018-04-11 | 2019-10-17 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren zum Betrieb eines thermischen Menschmodells, Elektronikbaugruppe und thermische Simulatorbaugruppe |
| JP7374922B2 (ja) | 2018-04-11 | 2023-11-07 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | 温度センシング電源ピン及び補助センシングジャンクションを備えた抵抗ヒータ |
| US10633742B2 (en) | 2018-05-07 | 2020-04-28 | Lam Research Foundation | Use of voltage and current measurements to control dual zone ceramic pedestals |
| US11908715B2 (en) | 2018-07-05 | 2024-02-20 | Lam Research Corporation | Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system |
| US10872747B2 (en) | 2018-08-08 | 2020-12-22 | Lam Research Corporation | Controlling showerhead heating via resistive thermal measurements |
| US11183400B2 (en) | 2018-08-08 | 2021-11-23 | Lam Research Corporation | Progressive heating of components of substrate processing systems using TCR element-based heaters |
| WO2020056103A1 (en) | 2018-09-14 | 2020-03-19 | Watlow Electric Manufacturing Company | System and method for a closed-loop bake-out control |
| CN109862632A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-06-07 | 广西桂仪科技有限公司 | 一种新能源汽车热管理的平板厚膜加热器及其制备工艺 |
| WO2020159991A1 (en) | 2019-01-29 | 2020-08-06 | Watlow Electric Manufacturing Company | Virtual sensing system |
| WO2020185744A1 (en) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | Lam Research Corporation | Electrostatic chuck heater resistance measurement to approximate temperature |
| US11240881B2 (en) | 2019-04-08 | 2022-02-01 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method of manufacturing and adjusting a resistive heater |
| US12048069B2 (en) | 2019-04-09 | 2024-07-23 | Watlow Electric Manufacturing Company | Thermal system with a temperature limiting device |
| WO2020247787A1 (en) * | 2019-06-07 | 2020-12-10 | Watlow Electric Manufacturing Company | System and method for calibrating a control system operating an electric heater |
| US12057334B2 (en) | 2019-11-04 | 2024-08-06 | Watlow Electric Manufacturing Company | Control and monitoring system for gas delivery system |
| WO2021173668A1 (en) | 2020-02-24 | 2021-09-02 | Watlow Electric Manufacturing Company | Dynamic calibration of a control system controlling a heater |
| TWI809369B (zh) | 2020-04-06 | 2023-07-21 | 美商瓦特洛威電子製造公司 | 具備可互換式輔助感測接合部之模組化加熱器總成 |
| CN118777362A (zh) | 2020-05-02 | 2024-10-15 | 沃特洛电气制造公司 | 监测部件的表面条件的方法 |
| KR20230006583A (ko) | 2020-05-06 | 2023-01-10 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 열 시스템용 격리형 전력 변환기 |
| EP4154680B1 (en) * | 2020-05-19 | 2025-02-12 | Watlow Electric Manufacturing Company | Passive and active calibration methods for a resistive heater |
| JP2023535756A (ja) | 2020-07-27 | 2023-08-21 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | システム制御および診断を改善するために中間データを使用するためのシステムおよび方法 |
| JP2023537389A (ja) | 2020-08-12 | 2023-08-31 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | 電気ヒータのための可変ランプアップ制御を行なうための方法及びシステム |
| KR102799668B1 (ko) | 2020-09-04 | 2025-04-22 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 에너지 제어를 이용하여 전기 가열기를 제어하는 방법 및 시스템 |
| US12215994B2 (en) | 2020-09-18 | 2025-02-04 | Watlow Electric Manufacturing Company | Devices for detecting material deposits in fluid flow conduits |
| US11740152B2 (en) | 2021-01-19 | 2023-08-29 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method and system for detecting and diagnosing fluid line leakage for industrial systems |
| KR102883317B1 (ko) | 2021-03-10 | 2025-11-06 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 열구배 보상을 위한 히터 번들 |
| KR20220127174A (ko) | 2021-03-10 | 2022-09-19 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 열적 그래디언트 보상을 위한 가상 감지를 가진 히트 번들 |
| KR20220127171A (ko) | 2021-03-10 | 2022-09-19 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 구역들 내부에서 가변 출력을 가지는 히터 번들 |
| KR20220127173A (ko) | 2021-03-10 | 2022-09-19 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | 로컬 파워 스위치를 가진 히터 번들 |
| CN112949155B (zh) * | 2021-03-24 | 2023-05-05 | 辽宁科技大学 | 一种全周期ac-hvaf热喷涂溅射与沉积行为的数值模拟方法 |
| US20220316711A1 (en) * | 2021-04-05 | 2022-10-06 | Whirlpool Corporation | Heating apparatus |
| US12062565B2 (en) | 2021-06-29 | 2024-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Electrostatic chuck, assembly including the electrostatic chuck, and method of controlling temperature of the electrostatic chuck |
| CN113729501B (zh) * | 2021-09-03 | 2024-06-14 | 宁波方太厨具有限公司 | 蒸箱控制方法及蒸箱 |
| US11973409B2 (en) * | 2021-09-29 | 2024-04-30 | Chromalox, Inc. | Heating system and method of heating a process fluid |
| JP2024534664A (ja) | 2021-09-30 | 2024-09-20 | ワトロー エレクトリック マニュファクチュアリング カンパニー | 電気ヒーターの電気特性を計算する方法およびシステム |
| CA3238681A1 (en) | 2021-11-22 | 2023-05-25 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method of generating a digital twin of the environment of industrial processes |
| US11796589B1 (en) | 2022-10-21 | 2023-10-24 | AEM Holdings Ltd. | Thermal head for independent control of zones |
| US11656272B1 (en) | 2022-10-21 | 2023-05-23 | AEM Holdings Ltd. | Test system with a thermal head comprising a plurality of adapters and one or more cold plates for independent control of zones |
| US11693051B1 (en) | 2022-10-21 | 2023-07-04 | AEM Holdings Ltd. | Thermal head for independent control of zones |
| US12259427B2 (en) | 2022-10-21 | 2025-03-25 | AEM Singapore Pte, LTD. | Thermal head comprising a plurality of adapters for independent thermal control of zones |
| US11828795B1 (en) | 2022-10-21 | 2023-11-28 | AEM Holdings Ltd. | Test system with a thermal head comprising a plurality of adapters for independent thermal control of zones |
| US11828796B1 (en) | 2023-05-02 | 2023-11-28 | AEM Holdings Ltd. | Integrated heater and temperature measurement |
| US12013432B1 (en) | 2023-08-23 | 2024-06-18 | Aem Singapore Pte. Ltd. | Thermal control wafer with integrated heating-sensing elements |
| US12085609B1 (en) | 2023-08-23 | 2024-09-10 | Aem Singapore Pte. Ltd. | Thermal control wafer with integrated heating-sensing elements |
| WO2025040957A1 (en) * | 2023-08-23 | 2025-02-27 | Aem Singapore Pte. Ltd. | Thermal control wafer with integrated heating-sensing elements |
| US12000885B1 (en) | 2023-12-20 | 2024-06-04 | Aem Singapore Pte. Ltd. | Multiplexed thermal control wafer and coldplate |
Family Cites Families (100)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US929473A (en) * | 1908-01-13 | 1909-07-27 | Johan Ludvig Nilsson | Soldering-tool. |
| US2072887A (en) * | 1932-07-22 | 1937-03-09 | Babcock & Wilcox Co | Forced flow generator and method of operating same |
| US3515850A (en) * | 1967-10-02 | 1970-06-02 | Ncr Co | Thermal printing head with diffused printing elements |
| US3544767A (en) * | 1969-03-27 | 1970-12-01 | Stevens & Co Inc J P | Heating control circuit with scr-unijunction transistor combination |
| US3609294A (en) * | 1969-10-10 | 1971-09-28 | Ncr Co | Thermal printing head with thin film printing elements |
| US3758844A (en) * | 1972-04-10 | 1973-09-11 | Waynco | Control circuit for load having measureable coefficient of resistance |
| US3789190A (en) † | 1972-10-17 | 1974-01-29 | A J Matlen | Temperature regulation for electrical heater |
| US3869596A (en) * | 1973-09-28 | 1975-03-04 | Safeway Products Inc | Cookware heater |
| US3999040A (en) * | 1974-02-01 | 1976-12-21 | Delphic Research Laboratories, Inc. | Heating device containing electrically conductive composition |
| US4072516A (en) * | 1975-09-15 | 1978-02-07 | Fiber Materials, Inc. | Graphite fiber/metal composites |
| US4099046A (en) * | 1977-04-11 | 1978-07-04 | Northern Telecom Limited | Thermal printing device |
| JPS604793B2 (ja) * | 1977-05-31 | 1985-02-06 | 日本電気株式会社 | 厚膜型サ−マルヘツドの製造方法 |
| US4259564A (en) * | 1977-05-31 | 1981-03-31 | Nippon Electric Co., Ltd. | Integrated thermal printing head and method of manufacturing the same |
| US4241103A (en) * | 1977-05-31 | 1980-12-23 | Nippon Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing an integrated thermal printing head |
| CA1109927A (en) * | 1978-06-26 | 1981-09-29 | Edmund T. Marciniec | Manufacture of thin film thermal print head |
| CH638055A5 (fr) * | 1979-06-07 | 1983-08-31 | Siv Soc Italiana Vetro | Miroir chauffant, destine a constituer un element de retroviseur exterieur pour vehicule. |
| GB2072887A (en) † | 1980-03-24 | 1981-10-07 | Kenwood Mfg Co Ltd | Control of electrical heating elements |
| US4523084A (en) * | 1981-09-02 | 1985-06-11 | Oximetrix, Inc. | Controller for resistive heating element |
| US4549073A (en) | 1981-11-06 | 1985-10-22 | Oximetrix, Inc. | Current controller for resistive heating element |
| SE442079B (sv) * | 1982-02-08 | 1985-11-25 | Tocksfors Verkstads Ab | Kretsanordning for reglering av ett elvermeelements temperatur |
| GB2123991B (en) * | 1982-05-31 | 1986-02-12 | Hideo Sugimori | Heater control device |
| CA1171938A (fr) | 1983-01-07 | 1984-07-31 | David Bensoussan | Controleur automatique de temperature, de chauffage d'air conditionne et d'humidite sensible au mouvement et a la lumiere |
| GB2148467B (en) | 1983-10-18 | 1988-04-13 | Gainsborough Electrical | Water heaters |
| US4713525A (en) | 1986-07-23 | 1987-12-15 | Kowah, Inc. | Microcomputer controlled instant electric water heating and delivery system |
| US4688547A (en) | 1986-07-25 | 1987-08-25 | Carrier Corporation | Method for providing variable output gas-fired furnace with a constant temperature rise and efficiency |
| US4736091A (en) | 1986-09-10 | 1988-04-05 | Watlow/Winona, Inc. | Integral sensor controller for an electrical heater |
| US4859859A (en) * | 1986-12-04 | 1989-08-22 | Cascadia Technology Corporation | Gas analyzers |
| US4859858A (en) * | 1986-12-04 | 1989-08-22 | Cascadia Technology Corporation | Gas analyzers |
| US4843084A (en) | 1987-02-12 | 1989-06-27 | Parker Electronics, Inc. | Thermostat control system |
| US4829447A (en) | 1987-06-22 | 1989-05-09 | Parker Electronics, Inc. | Bypass controller and bypass system |
| US4860030A (en) * | 1987-12-14 | 1989-08-22 | Xerox Corporation | Resistive printhead arrays for thermal transfer printing |
| US4853294A (en) * | 1988-06-28 | 1989-08-01 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Carbon fiber reinforced metal matrix composites |
| DE8901603U1 (de) | 1989-02-11 | 1989-03-30 | Wilhelm Wetzel GmbH & Co., 40789 Monheim | Schmiegsames Elektrowärmegerät mit reduziertem Störfeldeinfluß |
| GB2229328B (en) * | 1989-03-14 | 1993-10-20 | Plantron Ab | Improvements in or relating to a heating arrangement for a seat |
| US5118983A (en) * | 1989-03-24 | 1992-06-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thermionic electron source |
| US5114439A (en) † | 1989-06-27 | 1992-05-19 | University Of Florida | Direct resistive heating and temperature measurement of metal-clad capillary columns in gas chromatography and related separation techniques |
| US5105067A (en) | 1989-09-08 | 1992-04-14 | Environwear, Inc. | Electronic control system and method for cold weather garment |
| US5036181A (en) | 1990-02-22 | 1991-07-30 | Inductotherm Corp. | Method and apparatus for supplying and controlling power to a resistance furnace |
| US5072098A (en) | 1990-06-11 | 1991-12-10 | Chrysler Corporation | Electrically heated windshield controller |
| JP2745438B2 (ja) * | 1990-07-13 | 1998-04-28 | 株式会社荏原製作所 | 加熱用伝熱材料及び発熱体とそれを用いた加熱装置 |
| US5081471A (en) * | 1990-09-18 | 1992-01-14 | Dynamics Research Corporation | True edge thermal printhead |
| US5280422A (en) | 1990-11-05 | 1994-01-18 | Watlow/Winona, Inc. | Method and apparatus for calibrating and controlling multiple heaters |
| JP2986539B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1999-12-06 | 田中貴金属工業株式会社 | 厚膜抵抗組成物 |
| US5665262A (en) * | 1991-03-11 | 1997-09-09 | Philip Morris Incorporated | Tubular heater for use in an electrical smoking article |
| US5495093A (en) † | 1993-02-05 | 1996-02-27 | Edsyn, Inc. | Soldering apparatus processor having temperature selection, calibration and heating control of tip |
| US5385785A (en) * | 1993-08-27 | 1995-01-31 | Tapeswitch Corporation Of America | Apparatus and method for providing high temperature conductive-resistant coating, medium and articles |
| US5522008A (en) * | 1994-03-16 | 1996-05-28 | Bernard; Costello J. | Device for heating and vaporizing a vaporizable module |
| GB9423900D0 (en) * | 1994-11-26 | 1995-01-11 | Pifco Ltd | Improvements to thick film elements |
| EP0745919A1 (de) * | 1995-05-30 | 1996-12-04 | Koch, Volker | Verfahren zur Temperaturregelung eines Heizelementes |
| GB9511618D0 (en) * | 1995-06-08 | 1995-08-02 | Deeman Product Dev Limited | Electrical heating elements |
| AU1030897A (en) † | 1995-12-04 | 1997-06-27 | Aktiebolaget Electrolux | A resistive heating element for a cooker |
| EP0811892A4 (en) * | 1995-12-25 | 1999-11-17 | Nippon Petrochemicals Co Ltd | LAMINATE STRUCTURE FOR HEATING OPERATION |
| WO1997042792A1 (en) * | 1996-05-05 | 1997-11-13 | Seiichiro Miyata | Electric heating element and electrostatic chuck using the same |
| US5743251A (en) * | 1996-05-15 | 1998-04-28 | Philip Morris Incorporated | Aerosol and a method and apparatus for generating an aerosol |
| IT1291696B1 (it) * | 1996-07-18 | 1999-01-21 | Ennio Carlet | Elemento riscaldante elettrico autoregolante per riscaldatori a cartuccia o a provetta |
| US5994675A (en) * | 1997-03-07 | 1999-11-30 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing furnace heating control system |
| US6762396B2 (en) * | 1997-05-06 | 2004-07-13 | Thermoceramix, Llc | Deposited resistive coatings |
| WO1998053311A2 (en) * | 1997-05-23 | 1998-11-26 | Gamera Bioscience Corporation | Devices and methods for using centripetal acceleration to drive fluid movement in a microfluidics system |
| US6337470B1 (en) * | 1997-10-06 | 2002-01-08 | Watlow Electric Manufacturing Company | Electrical components molded within a polymer composite |
| US6124579A (en) * | 1997-10-06 | 2000-09-26 | Watlow Electric Manufacturing | Molded polymer composite heater |
| DE19745966C1 (de) * | 1997-10-17 | 1998-10-29 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Niederohmige Widerstandsschicht |
| US5951902A (en) * | 1997-12-29 | 1999-09-14 | Kerotest Manufacturing Corp. | Method and apparatus for electrofusing thermoplastic |
| US6305923B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-10-23 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Molding system using film heaters and/or sensors |
| US6011939A (en) * | 1998-07-30 | 2000-01-04 | Hewlett-Packard Company | Sensing print media size to temperature control a multi-heating element fixing device |
| US5973296A (en) | 1998-10-20 | 1999-10-26 | Watlow Electric Manufacturing Company | Thick film heater for injection mold runner nozzle |
| US6884965B2 (en) * | 1999-01-25 | 2005-04-26 | Illinois Tool Works Inc. | Flexible heater device |
| US6512203B2 (en) * | 1999-05-06 | 2003-01-28 | Polymore Circuit Technologies | Polymer thick film heating element on a glass substrate |
| US6222166B1 (en) * | 1999-08-09 | 2001-04-24 | Watlow Electric Manufacturing Co. | Aluminum substrate thick film heater |
| DE19941038A1 (de) * | 1999-08-28 | 2001-03-01 | Guenther Heiskanaltechnik Gmbh | Elektrische Heizung für Heißkanalsysteme und Verfahren zur Herstellung einer solchen Heizung |
| US6225608B1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-05-01 | White Consolidated Industries, Inc. | Circular film heater |
| US6580061B2 (en) * | 2000-02-01 | 2003-06-17 | Trebor International Inc | Durable, non-reactive, resistive-film heater |
| US6628498B2 (en) * | 2000-08-28 | 2003-09-30 | Steven J. Whitney | Integrated electrostatic discharge and overcurrent device |
| JP2002170651A (ja) † | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Ibiden Co Ltd | セラミックヒータ |
| US20030121906A1 (en) * | 2000-11-29 | 2003-07-03 | Abbott Richard C. | Resistive heaters and uses thereof |
| JP3483544B2 (ja) * | 2000-12-13 | 2004-01-06 | 株式会社東海ヒット | 透明面温度センサ及び透明面温度制御装置 |
| US6365880B1 (en) * | 2000-12-19 | 2002-04-02 | Delphi Technologies, Inc. | Heater patterns for planar gas sensors |
| US6489742B2 (en) * | 2000-12-26 | 2002-12-03 | John Lumsden | Efficiency maximizing motor controller and method |
| US20020118260A1 (en) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | Waggoner Karen Wytmans | Inkjet printing system |
| US6610964B2 (en) * | 2001-03-08 | 2003-08-26 | Stephen J. Radmacher | Multi-layer ceramic heater |
| ATE311084T1 (de) † | 2001-04-17 | 2005-12-15 | Koninkl Philips Electronics Nv | Isolierende schicht für ein heizelement |
| US6770848B2 (en) * | 2001-04-19 | 2004-08-03 | William S. Haas | Thermal warming devices |
| US6479791B1 (en) * | 2001-05-11 | 2002-11-12 | Illinois Tool Works Inc. | Dynamic voltage sensing with failure indication |
| US7304276B2 (en) * | 2001-06-21 | 2007-12-04 | Watlow Electric Manufacturing Company | Thick film heater integrated with low temperature components and method of making the same |
| WO2003012565A1 (en) † | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Chrysalis Technologies Incorporated | Method and apparatus for generating a volatilized liquid |
| US6580050B1 (en) † | 2002-01-16 | 2003-06-17 | Pace, Incorporated | Soldering station with built-in self-calibration function |
| US6847018B2 (en) * | 2002-02-26 | 2005-01-25 | Chon Meng Wong | Flexible heating elements with patterned heating zones for heating of contoured objects powered by dual AC and DC voltage sources without transformer |
| US7638727B2 (en) * | 2002-05-08 | 2009-12-29 | Btu International Inc. | Plasma-assisted heat treatment |
| US7257464B2 (en) * | 2002-08-21 | 2007-08-14 | Watlow Electric Manufacturing Co. | Variable wattage control system |
| US6911624B2 (en) * | 2002-08-23 | 2005-06-28 | Micron Technology, Inc. | Component installation, removal, and replacement apparatus and method |
| US20040074898A1 (en) * | 2002-10-21 | 2004-04-22 | Mariner John T. | Encapsulated graphite heater and process |
| US6974934B2 (en) * | 2002-12-30 | 2005-12-13 | Intel Corporation | Remote reference resistor |
| DE10314218A1 (de) * | 2003-03-28 | 2004-10-14 | Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg | Elektrisches Heizelement |
| US6875940B2 (en) * | 2003-07-25 | 2005-04-05 | Leviton Manufacturing Co., Inc. | Robust rocker switch mechanism |
| US7196295B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-03-27 | Watlow Electric Manufacturing Company | Two-wire layered heater system |
| US7342206B2 (en) * | 2004-01-06 | 2008-03-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Tailored heat transfer layered heater system |
| US8680443B2 (en) * | 2004-01-06 | 2014-03-25 | Watlow Electric Manufacturing Company | Combined material layering technologies for electric heaters |
| US7132628B2 (en) * | 2004-03-10 | 2006-11-07 | Watlow Electric Manufacturing Company | Variable watt density layered heater |
| EP1787179A2 (en) * | 2004-08-31 | 2007-05-23 | Watlow Electric Manufacturing Company | Operations system distributed diagnostic system |
| US7280750B2 (en) * | 2005-10-17 | 2007-10-09 | Watlow Electric Manufacturing Company | Hot runner nozzle heater and methods of manufacture thereof |
| US20130154143A1 (en) * | 2011-09-29 | 2013-06-20 | Watlow Electric Manufacturing Company | High dynamic temperature control system |
-
2003
- 2003-11-21 US US10/719,327 patent/US7196295B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-11-19 MX MXPA06005752A patent/MXPA06005752A/es active IP Right Grant
- 2004-11-19 ES ES04812091.9T patent/ES2327934T5/es not_active Expired - Lifetime
- 2004-11-19 AT AT04812091T patent/ATE433275T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-11-19 DE DE602004021420T patent/DE602004021420D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-11-19 CA CA2546826A patent/CA2546826C/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-11-19 WO PCT/US2004/039500 patent/WO2005053360A2/en not_active Ceased
- 2004-11-19 PL PL04812091T patent/PL1692920T3/pl unknown
- 2004-11-19 TW TW093135714A patent/TWI290004B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-11-19 EP EP04812091.9A patent/EP1692920B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-11-19 CN CNB2004800385649A patent/CN100556217C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-11-19 PT PT04812091T patent/PT1692920E/pt unknown
-
2006
- 2006-09-07 US US11/517,434 patent/US7601935B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2007
- 2007-02-13 US US11/705,884 patent/US20070138166A1/en not_active Abandoned
-
2012
- 2012-07-02 US US13/540,094 patent/US20120292308A1/en not_active Abandoned
-
2019
- 2019-11-25 US US16/694,252 patent/US20200092951A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI601964B (zh) * | 2012-04-19 | 2017-10-11 | Kyushu Nissho Co Ltd | Thermostat |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI290004B (en) | 2007-11-11 |
| DE602004021420D1 (de) | 2009-07-16 |
| CN100556217C (zh) | 2009-10-28 |
| PL1692920T3 (pl) | 2009-12-31 |
| WO2005053360A3 (en) | 2007-04-19 |
| ES2327934T5 (es) | 2018-02-27 |
| US20200092951A1 (en) | 2020-03-19 |
| MXPA06005752A (es) | 2006-08-23 |
| PT1692920E (pt) | 2009-09-03 |
| CA2546826C (en) | 2011-02-15 |
| US20120292308A1 (en) | 2012-11-22 |
| CA2546826A1 (en) | 2005-06-09 |
| ES2327934T3 (es) | 2009-11-05 |
| US20050109767A1 (en) | 2005-05-26 |
| EP1692920B2 (en) | 2017-11-22 |
| ATE433275T1 (de) | 2009-06-15 |
| EP1692920A2 (en) | 2006-08-23 |
| US20070138166A1 (en) | 2007-06-21 |
| US20070000914A1 (en) | 2007-01-04 |
| EP1692920A4 (en) | 2008-01-16 |
| US7196295B2 (en) | 2007-03-27 |
| US7601935B2 (en) | 2009-10-13 |
| WO2005053360A2 (en) | 2005-06-09 |
| CN101077035A (zh) | 2007-11-21 |
| EP1692920B1 (en) | 2009-06-03 |
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