TW200527726A - Piezoelectric transducer - Google Patents

Piezoelectric transducer Download PDF

Info

Publication number
TW200527726A
TW200527726A TW093134364A TW93134364A TW200527726A TW 200527726 A TW200527726 A TW 200527726A TW 093134364 A TW093134364 A TW 093134364A TW 93134364 A TW93134364 A TW 93134364A TW 200527726 A TW200527726 A TW 200527726A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
piezoelectric
converter
regions
region
touch panel
Prior art date
Application number
TW093134364A
Other languages
English (en)
Inventor
Nicholas Patrick Roland Hill
Original Assignee
3M Innovative Properties Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 3M Innovative Properties Co filed Critical 3M Innovative Properties Co
Publication of TW200527726A publication Critical patent/TW200527726A/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)
  • Electrophonic Musical Instruments (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Description

200527726 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於經極化壓電轉換器及關於利用經極化壓電 轉換器來發射或感測振動之裝置。 【先前技術】 壓電裝置係用於將機械能轉換成電能及將電能轉換成機 械此。對壓電裝置機械地施加應力導致該裝置中之電荷不 平衡,從而建立可量測之電場。相反地,在整個壓電裝置 上施加電場可引起機械應力,其可用於可控地操縱耦接至 忒I置之物件。在一些應用中,可將壓電裝置耦接至物件 之表面亚用於偵測該等物件中之振動、發射振動至該等物 件、或(其兩者。此之實例包括將壓電裝置機械地耦接至平 t面板亚使用该等裝置在面板中引起導致可聽見之訊號的 振動’從而將該面板轉換成揚聲器裝置。同樣地,面板可 用於接收由μ接至該面板之壓電裝置所感測之振動,從而 將該面板轉換成麥克風。壓電裝置㈣於偵測由觸摸平板 而於該平板中所引扣 之振動。所偵測之振動可用於判定觸 摸位置。 j 【發明内容】 本發明提供一種尿⑤絲。 + 土包轉換器,其包括複數個經極化之属 電區域,該等壓電區 n , $係自弟一區域至最末區域串聯連招 且以並列排列而予以 甲%連招 丁从文置,每一區域具有第一 以及自該區域之篦一生 ^汉罘一表面 表面指向該區域之第一 > 而^ 向,每-對相連接之相計 a之弟-表面的極化方 相郇區域係自該等相鄰區域之一者的 97206.doc 200527726 第一表面電氣連接至該等相鄰區域之另一者的第二表面。 該轉換器亦包括-安置於第一區域之第一表面上的第一端 電極及安置於最末區域之第二表面上的第二端電極。 本發明進-步提供-種使用者輸人裝置,其包括一觸摸 平板及安置於該觸摸平板之表面上的至少一壓電轉換器。 該轉換器包括-系列以並列排列而予以安置之經極化壓電 區域,每一區域具有一由北極及南極所界定之極化方向, 每一區域之極化方向垂直於觸摸平板之表面,該等區域係 串聯連接以使得-區域之北極電氣連接至該系列中之下一 區域之南極。 本發明亦提供一種用於增加Μ電裝置之電壓靈敏度之方 去β方法^括·提供具有第一表面及相反之第二表面的 壓電材料;極化該材料之第一部分以建立自第一表面指向 第二表面之第-極性;極化該材料之與第-部分相鄰且不 同於第一部分之第二部分以建立自第二表面指向第一表面 之第一極性’及於第_表面處電氣連接第—及第二部分。 本毛明之另一方法藉由以下步驟來提供製作壓電裝置: 提供第I包裝置,其係於第_方向極化藉此界定該第— 裝置之北及南表面;提供第二壓電裝置,其係於第二方向 極化藉此界定該第:裝置之北及南表面;將該第—及該第 二裝置以並列排列安置於-表面上;言玄第-及該第二方向 各自垂直於該表面;及將第-裝置之南表面電氣連接至第 '一叙置之北表面。 本赉明之U上内容並非用以描述本發明之每一所揭示之 97206.doc 200527726 以下諸圖及詳細描述更明確地例示 實施例或每個實施例。以下 說明了此等實施例。 【實施方式】 本發明係關於壓電轉換器, 且特定言之係關於當用作振
部分之北極)連接至另一 使得一裝置之北極(或相同裝置之一 一裝置之南極(或相同裝置之另一部 刀之南極)。並列排列指示該排列允許該等裝置(或其部分) 個別地機械耦接至相同表面。此可與裝置之堆疊排列相 反,例如與所謂雙壓電晶片(bi_morph)壓電裝置相反。裝 置之並列排列亦指示裝置係以大致垂直於該等裝置之極化 方向之任意方向彼此相鄰置放。 相對於具有類似之總尺寸及材料特性的單一、同性極化 之壓包轉換裔而言,本發明之組態可增強壓電轉換器之電 壓靈敏度。本發明之裝置可尤其適於偵測彎曲波振動,例 如(諸如)揭示於 W0 01/48684、US 2002/0135570、WO 00/38104,及界〇 02/01490中之振動偵測觸摸輸入裝置, 其每一者全部倂入此文獻中,所倂入之程度如同全文複製 一般0 本文所論述之壓電轉換器之極化方向大致通過裝置之厚 度’该厚度方向大致垂直於與轉換器結合或將結合之表 面。極化定向可為頂部至底部或者為相反之方向(底部至 97206.doc 200527726 頂部)。為容易參看起見,使用通常與磁體描述相關聯之 北/南方向之類比來指代極化方向。北向極對應於底部至 頂部極化’在該狀況下將頂面及底面分別稱為北面及南 二此描述並不暗示磁特性’其純粹用於輔助本發明之簡 潔描述。 考慮-機械耦接至一平板表面的單一、同性極化之壓帝 =器^裝置之極化方向垂直於該平板表面。當物件: 里、’板%,產生振動波0當振動到達轉換器時,轉換器受 严::仗而產生電何不平衡,且因此產生在整個轉換器 ΙΓ Γ的可谓測之電麼降落。同樣地’機械能轉換成 :二由於麼電轉換器為電容器,故能量與1/2W成比 降落:、中C。為轉換器之電容,且V。為整個轉換器上的電屋 …見考慮與第—壓電轉換器相同之第二壓電轉換器,該第 一壓電轉換器之一半 、,、为 +反向地極化,且此等兩 丰昼笔轉換器係自-半之北極串聯地電氣連接至另一半之 t極。當此第二轉換器機械轉接至相同平板之相同表面 :二:將相同振動轉換成相同電能。然而,由於該等兩半 係串聯連接,每—Θ rr- 一 +具有原始轉換器之一半電容或1/2C。, 第一裝置之總雷交Γ1 —1 / η 帝六的 為CN=、C。,其係歸因於串聯連接之 电谷盗的電容如何累加,即:
CN ^ y2c. 门樣地’由於第二轉換器之電容減至、c。,故如由關 97206.doc 200527726 ν2ί:ΝνΝ2=ν2,,2所確定的,第三轉換器之電壓靈敏度% 增至兩倍(意即Vn=2@以維持相同能量輸出。一般而言, 相對於具有相同總尺寸及材料特性之單一、同性極化:轉 換器而言’ _聯連接之壓電裝置或區域(經由該等串聯連 接而使極反向)之任意並列組態將導致增強的電壓靈敏 度,尤其對於振動感測而言。 圖1示意性地展示裝置100 ,其包括於並列排歹,J中之心 極化壓電區域11〇及12〇。區域11〇包括第一表面ιΐ2及第二 表面114,且具有自此等表面之—者指向另_者之極化方 向。區域120包括第一表面122及第二表面124,且具有自 此等表面之-者指向另-者之極化方向。儘管獨立展示區 域㈣及⑽,但其亦可為形成於單片材料中之不同區域。 區域11〇與12〇可串聯連接使得一區域之北極連接至另一區 域之南極。如以下論述中所說明的,此可以多種方式來完 成0 本發明之壓電轉換器包括經極化裝置,其大致包含所有 壓電材料。壓電材料之實例包括以下材料:鍅鈦酸鉛 (pzt),其為鐵電壓電材料,通常為多晶的;石英,其為 單晶壓電材料;鈦酸鋇,其為—般以多晶形式(類似於 Ρ^τ)使用之壓電材料,但其亦可以單晶形式使用;及聚偏 氟乙烯(PVDF) ’其為一般开》成為膜之聚合物壓電材料。 如熟習此項技術者將瞭解的’可以多種方式極化壓電材 料。舉例而言,可將.電極安置於一片壓電材料之相反表面 上。可於整個電極上引起電壓下降使得電場足以永久地極 97206.doc 200527726 化該材料。可使用僅橫跨待極化之區域的電極並在各種電 極對上施加適當極性之電壓來同時或相繼地獨立極化相同 片材料之多個區域。 圖2示意性地展示根據本發明之壓電轉換器2〇〇,其包括 壓電材料210’該壓電材料210包括兩不同極化之區域220 及230。區域220具有自第一表面214指向第二表面212之極 化方向226。區域230具有自第二表面212指向第一表面214 之極化方向236。單
置方式使彳于區域220及230自區域220之北極串聯地電氣立 接至區域230之南極。儘管本發明涵蓋其中電極24〇覆蓋一 面212之足夠部分以電氣連接區域22〇與23〇之任意及所习 實施例,但如圖所示,共同電極24〇覆蓋整個表面212。^ 一端電極250僅於第一區域22〇内安置於表面214上。第二 端電極260僅於第二區域23〇内安置於表面214上。端電才』 允許連接至導線或導電軌線以傳達訊號至控制器電子設存 及/或自控制器電子設備傳達訊號。
由於端電極250與260均安置於轉換器2〇〇之相同表通 上,故可方便地將轉換器機械耦接至一表面 等端電極Μ位成朝向該表面。以此方式,可將導線„ 電軌線圖案化或另外的情況係安置於該表面轉換 器機械轉接至該表 _田轉換 ^ u 知电極與導線或軌線電接 觸。表面上之接觸焊墊以及焊料、導電膏、導妾 或任意其它合適材料可用輔 ' "W、 - C連接至端電極。太如 不性貫施例中,導電黏著 在例 骑知電極電耦接至訊號 97206.doc -10- 200527726 載體(例如’導線、導電轨绩莖、 軌線寺)及用於將轉換器機械耦接 至表面。舉例而言,可使用7紅道不$从 便用z軸導電黏著劑,俾可機械耦 接轉換裔之整個底部部分,同技祕杜 问日守維持端電極對與訊號載體 之間的適當電氣絕緣。 圖3示意性地展示根據本發明之另一壓電轉換器,盆 包括以並列排列安置的第—壓電裝置31〇及第二壓電裝置 320。第-裝置310具有自第一表面314指向第二表面犯之 極化方向3i6。第二裝置32()具有自第二表面322指向第一 表= 324之極化方向326。電極34〇係安置成將第一裝置31〇 之第二表面312電氣連接至第二裝置32〇之第二表面奶, 藉此將第一裝置310之北極串聯連接至第二裝置320之南 極。第-端電極安置於褒置31〇之第—表面314上,且第二 端電極安置於裝置320之第—表面似上。在其中轉換: 300用於振㈣測之例示性實施例中,裝置則與32〇安置 得足夠鄰近使得可將兩裝置一起用於债測所要波長範圍内 之振動。儘管轉換哭3; 和侠σσ 300係由獨立裝置31〇及32〇來建構, U力此上與轉換器2〇〇類似,且共用了能夠在裝置之 相同側上(較佳在與轉換器機械輕接之表面上)電氣連接兩 端電極之態樣。 圖4展示根據本發明之另一麼電轉換器400,其包括一經 々同性極化之單—㈣裝置41(),該單_屡電裝置㈣具有自 =一表面414指向第二表面412之極化方向416。儘管轉換 二同!生極化,但其藉由利用不同電極及特殊電極連 而开V成兩不同極化區域。如圖所示,電極442及450 97206.doc 200527726 &跨約裝置之—半’其中電極442安置於第二表面4i2上且 电極450安置於第一表面414上。類似地,電極及构橫 跨約I置之另一半,其中電極46〇安置於第二表面412上且 電極444安置於第一表面414上。儘管所示之電極排列將轉 換斋400近似劃分成兩帛,但可使用其它排列,其包括將 轉換器劃分成兩個以上之對稱部分或將轉換器劃分成兩個 或兩個以上非對稱部分。電極442與444係藉由共同連接器 440而連接在一起,該共同連接器44〇可呈經焊接或另外之 情況適當地於一端處連接至電極442且於另一端處連接至 電極444之導線或其它導電執線之形式。此共同連接串聯 地電氣連接轉換器之兩半,同時使連接之間的裝置極性反 向,使得將轉換器400之一半的北極連接至另一半的南 極。電極450及460為用於將訊號載運至轉換器4〇〇並自轉 換器400載運訊號之端電極。 儘管圖4展示使用單一壓電裝置41〇之組態,但可使用以 並列關係安置之獨立裝置來建構類似組態,其中每一裝置 具有平行極化方向,但其f —裝置之北極串聯連接至下一 相鄰裝置之南極。此外,可使用任意數目之裝置建構串聯 鏈,鏈之第一及最末裝置具有端電極。 圖5展示根據本發明之另一壓電轉換器5〇〇,其包括以並 列關係安置(較佳為彼此鄰近)之三個壓電裝置5丨〇、52〇及 530。第-裝置510具有自第一表面514指向第二表面512之 極化方向516。第二裝置52〇具有自第二表面522指向第一 表面524之極化方向526。第三裝置53〇具有自第一表面兄4 97206.doc -12- 200527726 指向第二表面532之極化方向536。排列該等裝置使得可將 第一共同電極540安置於表面512及522上,且可將第二共 同電極545安置於表面524及534上。電極54〇連接裝置51〇 與520使得裝置51〇之北極連接至裝置52〇之南極。電極 連接衣置520與5 30使得裝置520之北極連接至裝置53〇之南 極。以此方式串聯連接裝置,其中於每一串聯連接處使得 極反向。第一端電極55〇安置於裝置51〇之表面514上且第 二端電極560安置於裝置53〇之表面532上。該等端電極可 用於傳達號至轉換器並自轉換器傳達訊號。 圖6展示根據本發明之另一壓電轉換器6〇〇,其包括以並 列關係安置(較佳為彼此鄰近)之四個壓電裝置61 〇、、 6:30及640。由前頭指示該等裝置中每一者的極化方向。相 鄰裝置具有相反極性使得可將共同電極用於簡單地串聯連 接相郤衣置(其中於連接處使極反向)。同樣地,共同電極 652係安置成將裝置61〇之北極連接至裝置62〇之南極。共 同电極654係女置成將裝置62〇之北極連接至裝置之南 極。共同電極656係安置成將裝置63〇之北極連接至裝置 640之南極。第一端電極65〇安置於裝置6ι〇之南極上,且 弟二端電極660安置於裝置64〇之北極上。此轉換器排列亦 允許將訊號載體連接至位於與轉換器相結合或另外之情況 機械輕接之相同表面處之端電極。 應说識到··#看圖1至6所述之並列壓電裝置排列僅為說 明各種可能之組態且並不詳盡。允許裝置串聯地電氣連接 U中於相連裝置之間使極反向)之壓電裝置或區域的任意 97206.doc -13- 200527726 合適並列排列可配合兩個或兩個以上任意合適數目之壓電 裝置或區域一同使用。舉例而言,圖7(a)及7(b)展示狹長 壓電裝置之各種可能的並列排列中之兩者。圖7(a)及7(b) 指示圖3所示之總排列之特定組態。圖7(a)展示轉換器 700A,其包括以並列排列安置的兩壓電裝置710A及 720A,該等裝置具有相反極性。裝置710A及720A係狹長 的且沿其短軸彼此分離。裝置71 0A之北極係由共同電極 750A而連接至裝置720A之南極。端電極740A及760A分別 安置於裝置710A及720A之下表面上。圖7(b)展示轉換器 700B,其包括以並列排列安置的兩壓電裝置710B及 720B,該等裝置具有相反極性。裝置710B及720B係狹長 的且沿其長軸彼此分離。裝置710B之北極係由共同電極 750B而連接至裝置720B之南極。端電極740B及760B分別 安置於裝置710B及720B之下表面上。 儘管將轉換器700A及700B各自展示為由獨立壓電裝置 組成,但其亦涵蓋:該等轉換器700A及700B可由具有獨 立極化區域之單一壓電裝置來建構。在其中轉換器700A及 700B由獨立壓電裝置組成之實施例中,是否使用如轉換器 700A之轉換器構造的選擇可取決於所要轉換器定向以及特 定應用之細節(諸如量測應力所沿之方向)。在狹長轉換器 (其係置放於矩形平板之角中且定向成使得該轉換器之長 軸指向平板中心,其中該轉換器係用以感測由於平板中所 傳播之振動而產生的應力)之狀況下,由於沿縱向(量測應 力所沿之最可能的方向)之結構係一體化的,故可能需要 97206.doc -14- 200527726 使用諸如轉換器700A之轉換器。 圖8展示本發明之另一壓電轉換器800,其包括以並列矩 形排列安置從而使得每一裝置與其它三個裝置相鄰之四個 壓電=置810、820、83〇及84〇。該等裝置係如箭頭所示極 化。I置810之南極經由共同電極852而連接至裝置8加之 北極衣置820之南極經由橋電極855而連接至裝置⑽之 北極,該橋電極855橫跨裝置82〇與84〇之間的角對角間 隙,從而將裝置820上之電極854連接至裝置84〇上之電極 856。I置84〇之南極經由共同電極而連接至裝置之 北極。第-端電極850安置於震置81〇之北極表面上,且第 二端電極860安置於裝置請之南極表面上。第-端電極 850及弟二端電極86〇係安置於轉換器_之相同側上,浐 :允許轉換器電氣連接至相同表面(較佳地與轉換器㈣ 口之表面)上之兩端電極。雖然與線性鏈相比 之組態類似於二維陣 轉換』0 仁了 W為轉換器8〇〇是圖6中 之功能排列之一實例。 祕圖制至:所不之各種轉換器組態指示了排列壓電裝置及區 或以衣作本發明之轉換器 j此之°又什遥擇。此等設計選 释包括·使用相同壓雷 ( 、 私材枓之經獨立極化之區域對 置:):吏用獨立經極化塵電裝置;對相同裝置之相鄰裝 個行定向以具有相同或相反極性;使用兩個或兩 個以上昼電區域或裝置或其組 U ^ ^ ^ 災用^域或1置之線性 鏈或一維陣列;對待沿其 A^〜 平田^長釉或沿平面中之不同方 口亚,疋位之狹長區域或裝 1 丁疋同,選擇一或多種壓 97206.doc -15> 200527726 “才料’寻寻。藉由本文所提供之描述將理解並睁解未特 識別之其它組態設計選擇。可單獨或組 寻汉相擇之每-者來製作根據本發明之轉換器。 可將本U之;s电轉換器機械結合或另外之情況叙接至 物件(諸如平板)之表面,且針對其特殊優點而將其用於谓 測振動’諸如傳播通過物件之彎曲波。亦可將轉換器用於 將振動驅動至物件中,(例如)以感測由其它轉換器所發射 之振動及/或以量測所發射之振動歸因於物件與外部訊號 或刺激之間的相互作用之變化。 u 圖9展示裝置900之示意性側視圖,其包括安置於平板 910之表面912上的壓電轉換器92〇A及92〇b。壓電轉換器 舰及9細可為根據本發明之轉換器。裝置_係為說; 性目的而展示’且應瞭解’可利用更少或更多之轉換器且 可將轉換器安置於平板之相同或不同表面上,例如於表面 912及表面914上。可將壓電轉換器92〇a及92〇b中每一者 組態成發射及/或接收振動,藉此導致及/或感測平板91〇中 之彎曲波。舉例而t ’裝置_可為觸摸感測裝置,藉以 使觸摸建構與表面912或表面914之間的相互作用導致可由 壓電轉換器920A及920B感測之振動。此等振動可歸因於 觸&建構對表面之碰撞’或由觸摸建構橫越表面之摩擦移 動而引起。所感測之振動可用於判定觸摸輸入之位置,例 如WO (H/48684中所描述的。此外,壓電轉換器92〇a與 920B之一或其兩者可發射可由對表面912或表面914之觸摸 輸入來反射、衰減、或另外之情況改變的振動。壓電轉換 97206.doc -16· 200527726 时920A及920B之一或其兩者隨後可用於感測經改變之 發射振動來判定與觸摸輸入相關之資訊(諸如觸模^之所 例如WO 〇1/48684中所描述的。裝置9〇〇可為用於接收或)發 射平板振動之任意其它合適裝置,諸如面板型麥克風5 x 板型揚聲器,或其類似物。平板91〇可為能夠支撐待感貝I 及/或待發射之振動的任意材料。較佳地’平板9ι〇為剛: 平板,且可為任意合適材料,諸如玻璃、塑膠(聚两稀酸 酯、聚碳酸酯等等)、木質品、紙板、金屬,或其類: 物。壓電轉換器920A及92〇B可藉由任意合適方法而 至平板91 〇,例如使用黏著劑。 當在用於感測由觸摸輸入所導致或造成之振動的觸摸啟 動使用者輸入裝置中使用本發明之轉換器時,可能需要安 置四個感測轉換器,矩形平板之每一角處安置有一轉換 杰,垓矩形平板界定觸摸表面。舉例而言,圖1〇展示振動 感測觸摸感測器1000之示意性俯視圖,其包括轉換器 1020A至1020D,其中觸摸平板1〇1〇之每一角中安置有一 轉換器。可將轉換器安置於觸摸平板1〇1〇之頂部或其下 方。在所示之實施例中,轉換器1〇2〇八至1〇2〇〇中每一者 係狹長的,其各自的長軸與平板之側形成近45度角。此可 在裂置回應引入之振動時給予該裝置對稱量測。例示性轉 換器係狹長的且具有2:1至5:1之縱橫比,轉換器之個別經 極化區域係沿該轉換器之長軸以並列關係安置。在一些實 施例中’轉換為、1020A至1020D中每一者均可用於感測振 動。在一些實施例中,轉換器1〇2〇八至1〇2〇d中至少一者 97206.doc 200527726 可用於發射振動。另外或其它,—或多個其它麼電裝置 (未圖示)可用於發射振動,例如作為專用功能,其可允許 轉換器1020A至1020D專用於發射模式。 在諸如圖9及圖Π)中所示之—些實施例中,使用導線或 圖案化導電執線(例如印刷在與轉換器機械輕接之平板上 的導電軌線)將訊號載運至轉換器並自轉換器載運訊號。 在-些狀況下,導線或軌線之電容可用於藉由有效增加轉 換器之電容來減少壓電轉換器之輸出電壓。可藉由在轉換 器與訊號載運導線或軌線之間增加放大器來抑止—嫩) 此效應。舉例而言,可將敢大器直接提供至與W 之表面上,其中為每-轉換器提供一放大器,例如:: 大器定位成與其對應轉換器相鄰。載運訊號之導線或軌線 可經由放大器而搞接至轉換器,其搞接方式使得放大器緩 衝由轉換器所產生之電壓。此可極大地減少電壓靈敏度之 潛在損失。緩衝放大器亦可減少驅動導線或印刷導電軌線 之阻抗,從而潛在地導致雜訊檢拾(nGlse Plekup)方面的經 改良效能。 可以任意合適方式將本發明之壓電轉換器結合至表面並 電氣連接至訊號載體。在於裝置之相同側上包括兩端電2 ::換器的狀況下,可能需要將轉換器結合至—表面:得 已括知電極之轉換器側結合至該表面。可提供諸如導線或 =執線之訊號載體’使得當將轉換器置放並結合至表面 日守建立適當的電接觸。可藉由使用導電材料來辅助電接 觸’該導電材料諸如焊料、導電膏、導電黏著劑(諸:充 97206.doc 200527726 銀環氧樹脂(silver-filled epoxy)),或其類似物。合適導電 黏著劑之-特殊實例為聚合物厚膜銀質環氧油墨(p〇iynJr thick film Silver epoxy ink),例如由 Erc〇n,在商標名稱 ERCON 5600 A/B下所銷售之導電黏著劑。在一些狀況 下,可將導電黏著劑置放於轉換器之端電極中每一者上, 且可將非導電黏著劑置放於轉換器之底部表面之剩餘部分 上。非導電黏著劑之實例包括各種環氧樹脂、胺基甲酸 酯,及氰基丙烯酸酯(異氰酸酯)黏著劑。在其它狀況下, 僅可使用導電黏著劑。舉例而言’可將導電黏著劑僅分配 於其中在轉換器與訊號載體之間建立電接觸之彼等區域 中。在此狀況下,僅將轉換器之所選部分結合至該表面。 用於此套件中之例示性導電黏著劑包括構自― T—gy,Inc.之銀環氧樹脂⑻術啊力,其包括 ^名稱議丨、則27及麵_pFC下所銷f之彼等銀環氧 Ί。/,它實施例令’可使用_導電黏著劑或各向異 轉換器所覆蓋之:二:劑, — 们£域中。ζ軸導電黏著劑提供通過黏 :劑層厚度之電氣連接且大體上防止了黏著劑層平面中之 电軋連接以抑制端電極與訊號載體之間的串择。 傳=振動:測觸摸面板裝置時’可提供;於支擇振動 土反土板將成為用於觸摸面板裝置之觸摸平板 =地,該基板為矩形。可在執行額外步驟之前形成、尺 及切割基板,或可在置放導線或導電軌線、本發 轉換器、可選電尾件(electncal㈣等之任意者或其全部 97206.doc -19- 200527726 之後將基板切割成一定尺寸。視需要可塗覆基板以提供防 炫光(anu-glare)或防反射面、有紋理表面齡d 或其它光學或另外之情況功能元件。 α可將導線或導電執線提供於基板上以自轉換器所置放之 區或引向可建立電氣連接之區域從而將導線或導電執線搞 接至控制器電子設備。可為每一轉換器提供一對導線或執 線’其中置放每-對中之導線或軌線之一者來與每一轉換 器之=電極之-者或另一者電氣連接。在圖案化導線或執 線之别、之後,或於其期間,可分配可選導電材料來辅助 建立電氣連接。舉例而言,可將焊料、導電黏著劑、導電 Μ >或另—合適導電材料分配於基板上建立電接觸之區 域中或將其直接分配於轉換器之端電極上。在將轉換器置 放於所選感測器區域中 .^ ^ Α中之則,亦可將黏著劑材料分配至基 =上’轉換益上’或其兩者上’以輔助將轉換器固定或結 :至基板’從而使得轉換器可機械麵接至該基板。黏著劑 =4可為任意合適黏著劑材料,且可需要由加熱、曝露於 田ί或其它方法進行之進一步固化步驟。隨後可將轉換器 置放於基板之所選區域上且將其固定於其上。 :將具有連接至導線或圖案化執線之每一者之引線的電 ^附者至觸摸面板。可在將導線圖案化之前或之後附著 導線或圖案化軌線。 將尾件之引線電氣連接至 圖U示意性地展示包括振動感測觸摸感測器⑽之觸摸 感測器系統蘭,該振動感測觸摸感測器㈣包括根據本 97206.doc -20- 200527726 發明之壓電轉換器。觸摸感測器111〇之壓電轉換器係耦接 至控制電子設備1120,該控制電子設備112〇可位於轉換器 附近(例如位於相同觸摸平板上或位於連接至該觸摸平板 之私路板上)或遠離轉換器(例如位於連接至觸摸感測器之 私月白中的控制板上)。視需要而定,觸摸感測器111 〇可安 置於顯示器113G上方使得可經由觸摸感測器㈣來觀看該 减不為。在其它實施例中,觸摸感測器1UG可位於遠離顯 示器1130處,諸如用於控制膝上型電腦之顯示幕上之光椤 賴摸塾。顯示器㈣可為電子顯示器,諸如液晶顯: 杰、有機電致發光顯示HH極體顯示器、陰極射線 管顯示器、電漿顯示器,或其類似物。顯示器113〇亦可包 括靜態圖形或其它標誌。 不應認為本發明侷限於上述特殊實例,而應瞭解,本發 明涵蓋了如在附加中請專利範圍内所清楚陳述之所有發明 態樣。熟習本發明所針對之此項技術者在回顧本說明書時 將容易地明顯看出本發明所適用之各種修改、均等處理, 以及眾多結構。 【圖式簡單說明】 圖1為包括兩不同極化區域之壓電轉換器的示意性側視 圖; 圖2為根據本發明之壓電轉換器之—實施例的示意性側 視圖; 、圖3為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意性側 97206.doc -21 - 200527726 圖4為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意性側 視圖; β為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意性側 視圖; 圖6為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意性側 視圖; 圖7(a)為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意 圖; 圖7(b)為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意 圖, 圖8為根據本發明之壓電轉換器之一實施例的示意性側 視圖; 圖9為利用根據本發明之壓電轉換器之振動感測及/或發 射裝置之一實施例的示意圖; 圖10為根據本發明之振動感測觸摸輸入裝置之一實施例 的示意性俯視圖;且 圖π為根據本發明之觸摸感測器系統之一實施例的示意 圖。 管本發明服從各種修改及替代形式,但其細節已由實 例之方式展示於圖式中且將對其進行詳細描述。然而應瞭 解’目的並非在於將本發明侷限於所描述之特定實施例。 相反地,本發明將涵蓋屬於本發明之精神及範疇内的所有 修改、均等物及替代物。 【主要元件符號說明】 97206.doc -22- 200527726 100 裝置 110 壓電區域 112 第一表面 114 第二表面 120 壓電區域 122 第一表面 124 第二表面 200 壓電轉換器 210 壓電材料 212 第二表面 214 第一表面 220 經極化區域 226 極化方向 230 經極化區域 236 極化方向 240 單一電極 250 單一端電極 260 第二端電極 300 壓電轉換器 310 第一壓電裝置 312 第二表面 314 第一表面 316 極化方向 320 第二壓電裝置
97206.doc -23- 200527726 322 第二表面 324 第一表面 326 極化方向 340 電極 400 壓電轉換器 410 第一壓電裝置 412 第二表面 414 第一表面 416 極化方向 440 共同連接器 442 電極 444 電極 450 電極 460 電極 500 壓電轉換器 510 壓電裝置 512 第二表面 514 第一表面 516 極化方向 520 壓電裝置 522 第二表面 524 第一表面 526 極化方向 530 壓電裝置 97206.doc -24- 200527726 532 第 二 表 面 534 第 一 表 面 536 極化 方 向 540 第 一 共 同 電 極 545 第 二 共 同 電 極 550 第 一 端 電 極 560 第 二 端 電 極 600 壓 電 轉換 器 610 壓 電 裝 置 620 壓 電 裝 置 630 壓 電 裝 置 640 壓 電 裝 置 650 第 一 端 電 極 652 共 同 電 極 654 共 同 電 極 656 共 同 電 極 660 第 二 端 電 極 700A 轉換 器 710A 壓 電 裝 置 720A 壓 電 裝 置 740A 端 電 極 750A 共 同 電 極 760A 端 電 極 700B 轉換 器 97206.doc -25 - 200527726 710B 壓電裝置 720B 壓電裝置 740B 端電極 750B 共同電極 760B 端電極 800 壓電轉換器 810 壓電裝置 820 壓電裝置 830 壓電裝置 840 壓電裝置 850 第一端電極 852 共同電極 854 電極 855 橋電極 856 電極 858 共同電極 860 第二端電極 900 裝置 910 平板 912 表面 914 表面 920A 轉換器 920B 轉換器 1000 振動感測觸摸感測器 97206.doc -26- 200527726 1010 觸摸平板 1020A 轉換器 1020B 轉換器 1020C 轉換器 1020D 轉換器 1100 觸摸感測器系統 1110 觸摸感測器 1120 電子設備 1130 顯示器 97206.doc -27-

Claims (1)

  1. 200527726 十、申請專利範圍: 1 · 一種壓電轉換器,其包含: 複數個經極化壓電區域,其自一第一區域串聯連接至 一最末區域且以一並列排列而安置,每一區域具有第一 及第二表面以及一自該區域之該第一表面指向該區域之 該第二表面的極化方向,每一對連接之相鄰區域係自該 等相鄰區域之一者之該第一表面電氣連接至該等相鄰區 域之另一者之該第二表面; 一第一端電極,其係安置於該第一區域之該第一表面 上;及 一第二端電極,其係安置於該最末區域之該第二表面 上。 2·=請求項i之壓電轉換器,其中該* 一系列區域係經組 態以機械耦接至一單一表面。 3·=求項i之壓電轉換器,#中該第一端電極及該第二 私極係組悲成用於—單一表面處之電氣連接。 4·如請求項1之壓電轉換器,其中該等區域係存在於一單 一 m電裝置內。 5 ·如明求項1之壓電轉換器 的壓電裝置内。 其中每一區域係存在於獨立 6.
    如請求項1之壓電轉換器,其 狹長的且定向成使得其長軸彼 如請求項6之壓電轉換器,其 沿其長輛而移置。 中该荨區域中至少兩者係 此平行。 中該等至少兩狹長區域係 97206.doc 200527726 8. 9. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 16. 如請求項6之壓電轉換器,其中該等至少兩狹長區域係 垂直於其長軸而移置。 如請求項1之壓電轉換器,其中該等區域係以一線性鏈 排列予以安置。 如請求項9之壓電轉換器’其中該等複數個區域包括至 少三個區域。 如請求項9之壓電轉換器,其中該等複數個區域包括至 少四個區域。 如請求们之壓電轉換器,其中該等區域係以一個二維 陣列排列予以安置。 如請求们2之壓電轉換器,其中該等複數個區域包括至 少四個區域。 種使用者輸入裝置,其包含: 一觸摸平板;及 至少-壓電轉換器,其包含以一並列排列而安置於該 觸摸平板之一表面上的一系列經極化壓電區域,每一區 域具有—由—北極及-南極所界定之極化方向,每-區 域之該極化方向係垂直於該觸摸平板之該表面,該等區 域係串聯連接使得—區域之該北極電氣連接至該系列中 之下一區域之該南極。 月戈員14之使用者輸入裝置,包含兩個或兩個以上壓 電轉換器。 如請求項U之使用者輸入裝置…該觸摸平板為矩 形,且包含至少四個壓電轉換器,該觸摸平板之每一角 97206.doc 200527726 處置放有該等壓電轉換器之一。 17. 18. 19. 20. 21. 22. 23. 24. 一壓電轉換 如明求項14之使用者輸入裝置,其中該至少 器係組態成偵測該觸摸平板中之振動。 如明求項17之使用者輸人裝置,進_步包含㈣成自該 至v壓私轉換|§接收訊號的控制器電子設備,該控制 器電子設備係組態成判定與該觸摸平板中之該等振動相 關的貧訊。 如請求項18之使用者輸入裝置,包含至少三個壓電轉換 裔,其中該等控制器電子設備係耦接成自該等至少三個 壓電轉換器接收訊號。 如請求項19之使用者輸入裝置,其中控制器電子設備係 組態成當對該觸摸平板之一觸摸引起該觸摸平板中之該 等振動時判定對該觸摸平板之該觸摸的位置。 如請求項14之使用者輸入裝置,其中該至少一壓電轉換 器係組態成發射振動至該觸摸平板中。 如請求項14之使用者輸入裝置,其中該至少一壓電轉換 器進一步包含分別電氣連接至一第一及一第二訊號載體 以將電氣訊號傳達至該轉換器並自該轉換器傳達電氣訊 號之第一及第二端電極。 如請求項22之使用者輸入裝置,其中該第一訊號載體及 該第二訊號載體之一係經由一放大器而電氣連接至該轉 換器。 一種用於增加一壓電裝置之電壓靈敏度的方法,其包 含: 97206.doc 200527726 提供一具有一第一表面及一相反的第二表面之壓電材 料; 極化該材料之一第一部分以建立一自該第一表面指向 該第二表面之第一極性; 極化該材料之一與該第一部分相鄰且不同於該第一部 分之第二部分以建立一自該第二表面指向該第一表面之 第二極性;及 於该弟一表面處電氣連接該第一部分與該第二部分。 25· —種用於製作一壓電裝置之方法,其包含: n 提供一第一壓電裝置,其係於一第一方向極化,藉此 界定該第一裝置之北表面及南表面; 提供一第二壓電裝置,其係於一第二方向極化,藉此 界定該第二裝置之北表面及南表面; 以一並列排列將該第一及該第二裝置安置於一表面 上,該第一及該第二方向各自垂直於該表面;及 將該第-裝置之該南表面電氣連接至該第二裝置之該 北表面。 97206.doc 4-
TW093134364A 2003-12-18 2004-11-10 Piezoelectric transducer TW200527726A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/739,471 US7800595B2 (en) 2003-12-18 2003-12-18 Piezoelectric transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW200527726A true TW200527726A (en) 2005-08-16

Family

ID=34677617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW093134364A TW200527726A (en) 2003-12-18 2004-11-10 Piezoelectric transducer

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7800595B2 (zh)
EP (1) EP1700352B1 (zh)
JP (1) JP2007515073A (zh)
KR (1) KR101098158B1 (zh)
CN (1) CN1898815B (zh)
AT (1) ATE381732T1 (zh)
AU (1) AU2004313277A1 (zh)
DE (1) DE602004010847T2 (zh)
TW (1) TW200527726A (zh)
WO (1) WO2005069395A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI553524B (zh) * 2013-12-13 2016-10-11 樂金顯示科技股份有限公司 單石觸覺式觸控螢幕、製造方法與包含該螢幕的顯示裝置
TWI761680B (zh) * 2019-05-16 2022-04-21 大陸商業成科技(成都)有限公司 觸覺回饋與感知裝置

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE60335424D1 (de) * 2002-02-06 2011-01-27 Soundtouch Ltd Verfahren für ein Touch pad
US20040233174A1 (en) * 2003-05-19 2004-11-25 Robrecht Michael J. Vibration sensing touch input device
US20050248548A1 (en) 2004-04-14 2005-11-10 Masahiro Tsumura Acoustic touch sensor
US20060073891A1 (en) * 2004-10-01 2006-04-06 Holt Timothy M Display with multiple user privacy
US20060139339A1 (en) * 2004-12-29 2006-06-29 Pechman Robert J Touch location determination using vibration wave packet dispersion
US7683890B2 (en) * 2005-04-28 2010-03-23 3M Innovative Properties Company Touch location determination using bending mode sensors and multiple detection techniques
US20060262104A1 (en) * 2005-05-19 2006-11-23 Sullivan Darius M Systems and methods for distinguishing contact-induced plate vibrations from acoustic noise-induced plate vibrations
US9019209B2 (en) * 2005-06-08 2015-04-28 3M Innovative Properties Company Touch location determination involving multiple touch location processes
US9001045B2 (en) 2005-11-08 2015-04-07 Nokia Corporation Cost efficient element for combined piezo sensor and actuator in robust and small touch screen realization and method for operation thereof
FR2916545B1 (fr) * 2007-05-23 2009-11-20 Inst Pour Le Dev De La Science Procede pour localiser un toucher sur une surface et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede.
US7725014B2 (en) * 2007-08-29 2010-05-25 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Actuator for linear motion and tilting motion
DE102008029843A1 (de) * 2008-06-25 2010-01-07 Biosensor Gmbh Mehrkanal SAW-Sensorchip
KR20110052621A (ko) * 2008-07-15 2011-05-18 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 터치 접촉면을 통한 신호 전파 속도 변동의 보정 시스템 및 방법
GB2468275A (en) * 2009-02-16 2010-09-08 New Transducers Ltd A method of making a touch-sensitive data entry screen with haptic feedback
CN102439549A (zh) * 2009-04-06 2012-05-02 3M创新有限公司 具有模块传感元件的触摸传感器
US8325160B2 (en) * 2009-09-11 2012-12-04 3M Innovative Properties Company Contact sensitive device for detecting temporally overlapping traces
US20110182443A1 (en) * 2010-01-26 2011-07-28 Gant Anthony W Electronic device having a contact microphone
TWI515276B (zh) 2010-05-25 2016-01-01 3M新設資產公司 抗微生物塗料
EP2576472B1 (en) 2010-05-25 2016-03-23 3M Innovative Properties Company Antimicrobial coatings
DE102010048781B4 (de) * 2010-10-18 2018-01-11 Epcos Ag Hochspannungsgenerator und Verfahren zu seinem Betrieb
EP2803138B1 (en) * 2012-01-12 2020-07-15 Wallac OY A method and a switch device for producing an electrical signal in response to mechanical force
US20130257744A1 (en) * 2012-03-29 2013-10-03 Intermec Technologies Corporation Piezoelectric tactile interface
US9383848B2 (en) * 2012-03-29 2016-07-05 Intermec Technologies Corporation Interleaved piezoelectric tactile interface
WO2013170035A1 (en) * 2012-05-09 2013-11-14 Technophysics Solutions, Corporation System and method for attachment free motion, respiration, heartbeat, and video monitoring
CN104903825B (zh) * 2013-01-18 2017-08-15 株式会社村田制作所 位移检测传感器以及操作输入装置
FR3004550B1 (fr) * 2013-04-10 2016-12-09 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procede d'interaction sonore et tactile entre objets
US9588552B2 (en) * 2013-09-11 2017-03-07 Sentons Inc. Attaching electrical components using non-conductive adhesive
US10447410B2 (en) * 2013-12-02 2019-10-15 Board Of Trustees Of Michigan State University Ultrasonic communication system
CN106449966B (zh) * 2016-11-17 2019-07-26 北京钛方科技有限责任公司 一种压电传感装置及应用
US11039814B2 (en) 2016-12-04 2021-06-22 Exo Imaging, Inc. Imaging devices having piezoelectric transducers
US10129623B2 (en) * 2017-03-15 2018-11-13 Microsoft Technology Licensing, Llc Electronic device having covering substrate carrying acoustic transducer and related technology
WO2018191842A1 (zh) * 2017-04-17 2018-10-25 锐迪科微电子(上海)有限公司 一种优化电容形状的mems压电换能器
BR112020011834B1 (pt) 2017-12-15 2023-12-05 Pgs Geophysical As Medição de pressão e aceleração sísmica
US10477321B2 (en) * 2018-03-05 2019-11-12 Google Llc Driving distributed mode loudspeaker actuator that includes patterned electrodes
IT201800003387A1 (it) * 2018-03-08 2019-09-08 Eltek Spa Sensore di sforzo meccanico e metodo di fabbricazione
US10648852B2 (en) 2018-04-11 2020-05-12 Exo Imaging Inc. Imaging devices having piezoelectric transceivers
US10656007B2 (en) 2018-04-11 2020-05-19 Exo Imaging Inc. Asymmetrical ultrasound transducer array
WO2019234222A1 (en) * 2018-06-08 2019-12-12 Pgs Geophysical As Linear array of piezoelectric transducers for towed marine streamers
US11387402B2 (en) * 2019-08-28 2022-07-12 Signal Solutions, Llc Piezoelectric sensor assembly
TW202337051A (zh) 2019-09-12 2023-09-16 美商艾克索影像股份有限公司 經由邊緣溝槽、虛擬樞軸及自由邊界而增強的微加工超音波傳感器(mut)耦合效率及頻寬
JP7380323B2 (ja) 2020-02-27 2023-11-15 サクサ株式会社 動き検出デバイス及び動き検出デバイスの製造方法
US11819881B2 (en) 2021-03-31 2023-11-21 Exo Imaging, Inc. Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics
US11951512B2 (en) 2021-03-31 2024-04-09 Exo Imaging, Inc. Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL253866A (zh) 1959-07-17
US4129799A (en) 1975-12-24 1978-12-12 Sri International Phase reversal ultrasonic zone plate transducer
US4228532A (en) 1979-01-29 1980-10-14 Sims Claude C Piezoelectric transducer
JPS63268173A (ja) 1987-04-27 1988-11-04 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ヘツド・媒体接触検出装置
FR2674627B1 (fr) * 1991-03-27 1994-04-29 Commissariat Energie Atomique Capteur de pression resonant.
JP3230552B2 (ja) * 1993-12-03 2001-11-19 キヤノン株式会社 圧電センサ及びそれを使用した座標入力装置
JP3007933B2 (ja) * 1994-12-15 2000-02-14 富士通株式会社 超音波座標入力装置
JPH0922324A (ja) 1995-07-05 1997-01-21 Canon Inc 座標入力装置
JPH0929169A (ja) * 1995-07-19 1997-02-04 Canon Inc 振動伝達板及びその製造方法及び座標入力装置
DE69721220T2 (de) 1996-10-10 2004-02-05 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Piezoelektrischer transformator
US5831371A (en) * 1996-11-22 1998-11-03 Face International Corp. Snap-action ferroelectric transducer
IL130345A0 (en) * 1996-12-25 2000-06-01 Elo Touchsystems Inc Grating transducer for acoustic touchscreen
FR2787608B1 (fr) 1998-12-22 2001-03-30 Clic Choc Multimedia Plaque acoustique interactive a moyens de traitement du signal perfectionnes
CA2392431C (en) 1999-12-23 2007-11-13 New Transducers Limited Contact sensitive device
DE10023556A1 (de) * 2000-05-15 2001-11-29 Festo Ag & Co Piezo-Biegewandler sowie Verwendung desselben
FR2811107B1 (fr) * 2000-06-29 2002-10-18 Jean Pierre Nikolovski Plaque acoustique interactive de precision
JP3988476B2 (ja) * 2001-03-23 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 座標入力装置及び表示装置
GB0116310D0 (en) * 2001-07-04 2001-08-29 New Transducers Ltd Contact sensitive device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI553524B (zh) * 2013-12-13 2016-10-11 樂金顯示科技股份有限公司 單石觸覺式觸控螢幕、製造方法與包含該螢幕的顯示裝置
US10318091B2 (en) 2013-12-13 2019-06-11 Lg Display Co., Ltd. Monolithic haptic touch screen, manufacturing method thereof, and display device including the same
TWI761680B (zh) * 2019-05-16 2022-04-21 大陸商業成科技(成都)有限公司 觸覺回饋與感知裝置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1700352A1 (en) 2006-09-13
KR20070004575A (ko) 2007-01-09
DE602004010847T2 (de) 2008-12-04
CN1898815A (zh) 2007-01-17
JP2007515073A (ja) 2007-06-07
US7800595B2 (en) 2010-09-21
CN1898815B (zh) 2010-10-13
DE602004010847D1 (de) 2008-01-31
EP1700352B1 (en) 2007-12-19
AU2004313277A1 (en) 2005-07-28
ATE381732T1 (de) 2008-01-15
US20050134574A1 (en) 2005-06-23
KR101098158B1 (ko) 2011-12-26
WO2005069395A1 (en) 2005-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200527726A (en) Piezoelectric transducer
WO2018090892A1 (zh) 一种压电传感装置及应用
TWI309016B (en) Tablet apparatus
CN106133665B (zh) 触摸面板以及电子设备
US10757808B2 (en) Display device and method of fabricating the same
CN105164621B (zh) 触摸式输入装置以及显示装置
CN111405455B (zh) 发声装置及其制作方法以及显示装置
WO2012060235A1 (ja) 圧電振動装置
CN104809431B (zh) 超声波感测装置
JP2007515073A5 (zh)
TW201525794A (zh) 內嵌式觸控顯示裝置
US11671750B2 (en) Vibration device and display apparatus including the same
TW200903307A (en) Photo detector array with thin-film resistor-capacitor network
JP6004123B2 (ja) 圧電センサの製造方法
TW200937072A (en) Flat display device unified with touch panel
TW201405209A (zh) 偏光片
TWI486669B (zh) 具有觸控功能的液晶模組
TW201405208A (zh) 偏光片
US8400421B2 (en) Touch panel and multi-touch detecting method thereof
TWI486682B (zh) 具有觸控功能的液晶模組
CN106468979A (zh) 触摸屏及触摸显示模组
TW202018980A (zh) 壓電器件及電子設備
JPWO2015098723A1 (ja) 圧電センサの製造方法
TW201017606A (en) Touch sensor, touch screen panel, and touch screen module
EP4114038A2 (en) Vibration apparatus and apparatus including the same