TARIFNAME YÜKSEK GEÇIRGEN ÖZELLIKTE, MEKANIK DAYANIMI ARTTIRILMIS ÇIFT TEKNIK ALAN Bulus, gün isigi geçirgen ve isi yalitim cami olarak kullanilan, içeriginde kizilötesi yansitici katmanlar olan günes kontrol özellikli bir düsük yayinimli (low-e) kaplama ile ilgilidir. ÖNCEKI TEKNIK Camlarin optik özelliklerini farklilastiran etmenlerden biri cam yüzeyine yapilan kaplama uygulamalaridir. Kaplama uygulamalarindan biri de vakum ortaminda manyetik alan destekli siçratma yöntemidir. Özellikle low-e özelligine sahip mimari ve otomotiv kaplamalarin üretiminde sik basvurulan bir yöntemdir. Bahsedilen yöntemle kaplanan camlarin görünür, yakin kizilötesi ve kizil ötesi bölgedeki geçirgenlik ve yansitma degerleri hedeflenen seviyelerde elde edilebilmektedir. Geçirgenlik ve yansitma degerleri disinda, kaplamali camlarda seçicilik degeri de önemli bir parametredir. Seçicilik, lSO 9050 (2003) standardinda görünür bölge geçirgenlik degerinin solar faktöre orani olarak tanimlanmaktadir. Kaplamalarin seçicilik degerleri de içerdigi Ag katmani sayisi, kullanilan çekirdeklestirici katman türü, katmanlarin parametrik optimizasyonlari ile hedeflenen seviyelerde tutulabilmektedir. U89499899 yayin numarali bulusta bir altlik ve altlik üzerinde olusturulan bir yansitici katmani içerebilen düsük yayinma özelligine sahip panellerin olusturulmasi için sistemler, yöntemler ve aparat ifsa edilmektedir. Düsük yayinma özelligine sahip paneller, ilâve olarak, yansitici katman üzerinde olusturulan bir üst dielektrik katmani Içerebilmekte ve böylece, üst dielektrik katman ve altlik arasinda yansitici katman olusturulmaktadir. Üst dielektrik katman, çinko kalay alüminyum oksit gibi bir üçlü metal oksidi içerebilmektedir. Üst dielektrik katman ayrica alüminyum da içerebilmektedir. Alüminyumun konsantrasyonu, %1 atomik civari ilâ olabilmektedir. Üst dielektrik katmandaki çinkonun kalaya atomik orani, 0,67 civari ilâ 1,5 civari arasinda ve 0,9 civari ilâ 1,1 civari arasinda olabilmektedir. BULUSUN KISA AÇIKLAMASI Mevcut bulus ilgili teknik alana yeni avantajlar getirmek üzere, günes kontrol özellikli bir low-e kaplamali cam ile ilgilidir. Bulusun bir amaci, görünür isigi etkin bir sekilde geçirirken ayni zamanda günes enerjisini etkin bir sekilde yansitan bir low-e kaplamali cam ortaya koymaktir. Bulusun bir diger amaci, nötralligi iyilestirilmis bir yüksek geçirgen low-e kaplamali cam ortaya koymaktir. Bulusun bir diger amaci; isi iletim katsayisi düsürülmüs bir yüksek geçirgen low-e kaplamali cam ortaya koymaktir. Bulusun bir diger amaci; mekanik özellikleri iyilestirilmis bir yüksek geçirgen low-e kaplamali cam ortaya koymaktir. Yukarida bahsedilen ve asagidaki detayli anlatimdan ortaya çikacak tüm amaçlari gerçeklestirmek üzere mevcut bulus, bir low-e kaplamali camdir. Buna göre söz konusu bulusun özelligi bahsedilen low-e kaplamanin camdan disari dogru sirasiyla; - SIxNy, SiOxNy, ZnSnOx, TIOx, TiNx, ZrNx' den seçilen bir birinci dielektrik - TiOx, ZrOx, NbOx' den seçilen bir ikinci dielektrik katman - NiCr, NiCrOx, TIOx, ZnSnOx, ZnAIOx, ZnOx'den seçilen bir birinci çekirdeklestirici katman; - NiCr, NiCrOx, Ti, TIOx, ZnAI, ZnSn, ZnSnOx, SiAI, SiAlN, SIAIOxNy, ZnOx'den seçilen bir ikinci çekirdeklestirici katman; - Bir birinci kizilötesi yansitici katman; NiCr, NiCrOx, Ti, TIOx, ZnAIOx, ZnOxlden seçilen bir birinci bariyer SixNy, TiNx, ZrNx, ZnSnOx, ZnAlOx, SiOxNy, TiOx, ZnOx, den seçilen bir üçüncü dielektrik katman; SixNy, TiNx, ZrNx, ZnSnOx, ZnAlOx, SiOxNy, TiOx, ZnOx* den seçilen bir dördüncü dielektrik katman; NiCr, NiCrOx, TiOx, ZnAlOx, ZnSnOx, ZnOx'den seçilen bir üçüncü çekirdeklestirici katman; Bir ikinci kizilötesi yansitici katman; NiCr, NiCrOx, Ti, TiOx, ZnAIOx, ZnOx'den seçilen bir ikinci bariyer ZnSnOx, ZnAIOx, SIOxNy, ZrOx, SiOx, SIxNy, TIOx, ZnOx'den seçilen bir besinci dielektrik katman; SiOxNy içeren bir üst dielektrik katman içermesidir. Bulusun tercih edilen bir diger yapilanmasi Iowe kaplamali camin özelligi, birinci dielektrik katman kalinliginin 10 nm - 20 nm araliginda, ikinci dielektrik katman kalinliginin 2 nm - 8 nm araliginda, birinci çekirdeklestirici katman kalinliginin 18 nm - 30 nm araliginda, Ikinci çekirdeklestirici katman kalinliginin 0,3 nm - 1,2 nm araliginda, birinci kizilötesi yansitici katman kalinliginin 6 nm - 20 nm araliginda, birinci bariyer katman kalinliginin 1,6 nm - 2,5 nm araliginda, üçüncü dielektrik katman kalinliginin 11 nm - 27 nm araliginda, dördüncü dielektrik katman kalinliginin 35 nm - 55 nm araliginda, üçüncü çekirdeklestirici katman kalinliginin 18 nm - 30 nm araliginda, ikinci kizilötesi yansitici katman kalinliginin 6 nm - 20 nm araliginda, ikinci bariyer katman kalinliginin 1,6 nm - 2,5 nm araliginda, besinci dielektrik katman kalinliginin 14 nm - 29 nm araliginda, üst dielektrik katman kalinliginin 10 nm - 25 nm araliginda olmasidir. Bulusun tercih edilen bir yapilanmasi lowe kaplamali camin özelligi, SixNy içeren birinci dielektrik katman; TiOx içeren ikinci dielektrik katman; ZnAlOx içeren birinci çekirdeklestirici katman; NiCr içeren ikinci çekirdeklestirici katman; Ag içeren birinci kizilötesi yansitici katman; NiCrOx içeren birinci bariyer katman; ZnAlOx içeren bir üçüncü dielektrik katman; SixNy içeren bir dördüncü dielektrik katman; ZnAIOx içeren üçüncü çekirdeklestirici katman; Ag içeren ikinci kizilötesi yansitici katman; NiCrOx içeren ikinci bariyer katman; ZnAIOx içeren besinci dielektrik katman; SiOxNy içeren üst dielektrik katman içermesidir. Böylece low-e kaplamanin mekanik dayanimi arttirilmaktadir. Bulusun tercih edilen bir yapilanmasinda lowe kaplamali camin özelligi, bahsedilen low-e kaplamanin camdan disari dogru sirasiyla; SixNy içeren birinci dielektrik katmanin 10 nm - 18 nm kalinlik araliginda; TiOx içeren ikinci dielektrik katmanin 2 nm - 6 nm kalinlik araliginda; ZnAIOx içeren birinci çekirdeklestirici katmanin 19 nm - 27 nm kalinlik araliginda; NiCr içeren ikinci çekirdeklestirici katmanin 0,3 nm - 1,0 nm kalinlik araliginda; Ag içeren birinci kizilötesi yansitici katmanin 7 nm - 19 nm kalinlik araliginda; NiCrOx içeren birinci bariyer katmanin 1,7 nm - 2,4 nm kalinlik araliginda; ZnAlOx içeren bir üçüncü dielektrik katmanin 13 nm - 24 nm kalinlik araliginda; SixNy içeren bir dördüncü dielektrik katmanin 40 nm - 52 nm kalinlik araliginda; ZnAIOx içeren üçüncü çekirdeklestirici katmanin 19 nm - 27 nm kalinlik araliginda; Ag içeren ikinci kizilötesi yansitici katmanin 7 nm - 19 nm kalinlik araliginda; NiCrOx içeren ikinci bariyer katmanin 1,7 nm - 2,4 nm kalinlik araliginda; - ZnAIOx içeren besinci dielektrik katmanin 16 nm - 27 nm kalinlik araliginda; - SIOxNy içeren üst dielektrik katmanin 12 nm - 21 nm kalinlik araliginda olmasidir. SEKILIN KISA AÇIKLAMASI Sekil 1' de low-e katman diziliminin genel bir görünümü verilmistir. SEKILDE VERILEN REFERANS NUMARALARI Cam 101 Low-e kaplama Alt dielektrik yapi 201 Birinci dielektrik katman 202 Ikinci dielektrik katman 21 Çekirdeklestirici yapi 211 Birinci çekirdeklestirici katman 212 Ikinci çekirdeklestirici katman 22 Birinci kizilötesi yansitici katman 23 Birinci bariyer katman 24 Orta dielektrik yapi 241 Üçüncü dielektrik katman 243 Üçüncü çekirdeklestirici katman Ikinci kizilötesi yansitici katman 26 Ikinci bariyer katman 27 Üst dielektrik yapi 271 Besinci dielektrik katman 272 Üst dielektrik katman BULUSUN DETAYLI AÇIKLAMASI Bu detayli açiklamada bulus konusu low-e kaplamali (101) cam (10) sadece konunun daha iyi anlasilmasina yönelik hiçbir sinirlayici etki olusturmayacak örneklerle açiklanmaktadir. Mimari ve otomotive yönelik low-e kaplamali (101) camlarin (10) üretimi gerçeklestirilmektedir. Bu bulus genel olarak; gün isigi geçirgen ve isi yalitim cami (10) olarak kullanilan, isil islem dayanimi yüksek olan çift gümüslü low-e kaplamali (101) camlar (10), bahsedilen low-e kaplamanin (101) içerigi ve uygulamasi ile ilgilidir. Bulus konusu low-e kaplamali (101) cam (10), mimari ve otomotiv sektörleri için isi cam ünitesi ve laminasyonlu yapilarda kullanilabilmektedir. Bu bulusta, bir camin (10) yüzeyine uygulanmak üzere yüksek seviyede görünür isik geçirgenligine sahip, isil islenebilir bir sekilde tasarlanmis olan ve günes kontrol özelligine de sahip bir low-e kaplamali (101) cam (10) elde edebilmek amaci ile siçratma yöntemi kullanilarak cam (10) yüzeyinde konumlanan çoklu sayida metal, metal oksit ve/veya metal nitrür/oksinitrür katmanlarindan olusan bir low-e kaplama (101) gelistirilmistir. Söz konusu katmanlar sirasi ile birbiri üzerine vakum ortaminda biriktirilmektedir. Isil islem olarak; temperleme, kismi temperleme, tavlama, bükme, laminasyon, lazer ve anlik isin radyasyonu (flashlamp) gibi islemler ve bunlarla sinirli olmamak kaydi ile diger isil islemlerinden en az biri ve/veya birkaçi birlikte kullanilabilmektedir. Bulus konusu günes kontrol özellikli low-e kaplamali (101) cam (10) mimari ve otomotiv cami (10) olarak kullanilabilmektedir. Gerek üretim kolayligi açisindan, gerekse optik özellikleri açisindan isil islenebilir, günes kontrol özellikli bir low-e kaplama (101) dizilimini gelistirmek üzere deneysel çalismalar neticesinde asagidaki veriler tespit edilmistir. Bulus konusu low-e kaplamada (101); günes enerjisi spektrumu görünür bölgeyi (bundan sonra % Tvis olarak adlandirilacaktir) hedeflenen düzeyde geçirmeyi ve kizilötesi bölgede olan isil radyasyonu yansitmayi (daha az geçirerek) saglayan bir birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve bir ikinci kizilötesi yansitici katmandir (25). Birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) olarak Ag katmani kullanilmaktadir ve isi yayinimi düsüktür. Bulus konusu low-e kaplamali (101) camda (10); tüm katmanlarin kirma indisleri alinan tek katman ölçümlerinden elde edilen optik sabitler üzerinden hesaplamali yöntemler kullanilarak belirlenmistir. Söz konusu kirma indisleri 550 nm'deki kirma indisi verileridir. Bulus konusu low-e kaplamada (101); cama (10) temas edecek sekilde bir alt dielektrik yapi (20) mevcuttur. Bahsedilen alt dielektrik yapida (20) en alt katman olarak bir birinci dielektrik katman (201) kullanilmaktadir. Bahsedilen birinci dielektrik katman (201) SixNy, SiOxNyZnSnOx, TiOx, TiNx, ZrNx malzemelerinden en az birini içermektedir. Tercih edilen uygulamada birinci dielektrik katman (201) SixNy içermektedir. SixNy içeren birinci dielektrik katman (201), difüzyon bariyeri olarak davranarak, yüksek sicaklikta kolaylasan alkali iyon göçünü engelleme amacina hizmet etmektedir. Böylece SixNy içeren birinci dielektrik katman (201), low-e kaplamanin (101) isil islem süreçlerine dayanimina destek vermektedir. SixNy içeren birinci dielektrik katmaninin (201) kirma indisi için degisim araligi 2,00 ile 2,15 arasindadir. Tercih edilen yapida SixNy içeren birinci dielektrik katmaninin (201) kirma indisi için degisim araligi 2,02 ile 2,12' dir. SixNy içeren birinci dielektrik katmani (201) kalinligi 10 nm - 20 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada SIxNy içeren birinci dielektrik katmani (201) kalinligi 10 nm - 18 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada SIxNy içeren birinci dielektrik katmani (201) kalinligi 12 nm - 17 nm arasindadir. Alt dielektrik yapi (20) ile birinci kizilötesi yansitici katman (22) olan Ag katmani arasinda en az bir çekirdeklestirici yapi (21) konumlanmaktadir. Bahsedilen çekirdeklestirici yapi (21) bir birinci çekirdeklestirici katman (211) ve ikinci çekirdeklestirici katman (212) içermektedir. Ikinci çekirdeklestirici katman (212) birinci kizilötesi yansitici katman (22) ile temas halindedir. Bahsedilen birinci çekirdeklestirici katman (211) NiCr, NiCrOx, TIOx, ZnSnOx, ZnAIOx, ZnOxi den en az birini içermektedir. Tercih edilen uygulamada birinci çekirdeklestirici katman (211) ZnAlOx içermektedir. Birinci çekirdeklestirici katman (211) kalinligi 18 nm - 30 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada birinci çekirdeklestirici katman (211) kalinligi 19 nm - 27 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada birinci çekirdeklestirici katman (211) kalinligi 20 nm - 25 nm arasindadir. Birinci çekirdeklestirici katman (211) ile SixNy içeren birinci dielektrik katmani (201) arasinda bir ikinci dielektrik katman (202) konumlanmaktadir. Bahsedilen ikinci dielektrik katman (202) TiOx, ZrOx, NbOx katmanlarindan en az birini içermektedir. Tercih edilen uygulamada ikinci dielektrik katman (202) olarak TIOx kullanilmaktadir. TiOx, kirilma indisi yüksek bir malzeme oldugu için, daha az toplam fiziksel kalinlik ile ayni optik performansin elde edilmesini saglamakta, low-e kaplamanin (101) %Tvis degerini artirici rol oynamaktadir. TiOx katmaninin kirilma belirlenmistir. Ikinci dielektrik katman (202) olan TiOx katmani kalinligi 2 nm - 8 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada TiOx katmani kalinligi 2 nm - 6 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada TiOx katmani kalinligi 2 nm - 5 nm arasindadir. Camdan sonraki birinci ve ikinci katmanlar olan SixNy içeren birinci dielektrik katmani (201) ve ikinci dielektrik katman (202) olan TiOx katmani birlikte kullanildiginda, ikinci dielektrik katman (202) olan TiOx katmaninin yüksek kirma indisi sayesinde, daha ince SixNy içeren birinci dielektrik katman (201) kullanimi ile optik performansin optimize edilmesi mümkün olmaktadir. Belirtilen kalinlik degerlerinin altinda veya üzerine çikilmasi durumunda low-e kaplamali (101) camin (10) renk ve optik performansinda ciddi degisimler görülmektedir. Bahsedilen renk degerlerinden ClELAB renk uzayindaki a* ve b* degerleridir. Birinci çekirdeklestirici katman (211) ile birinci kizilötesi yansitici katman (22) arasinda bir ikinci çekirdeklestirici katman (212) konumlanmaktadir. Bahsedilen ikinci çekirdeklestirici katman (212) NiCr, NiCrOx, Ti, TiOx, ZnAl, ZnSn, ZnSnOx, SiAI, SiAIN, SiAlOxNy, ZnOx malzemelerinden en az birini içermektedir. Tercih edilen uygulamada ikinci çekirdeklestirici katman (212) olarak metalik yapida olan NiCr kullanilmaktadir. Ikinci çekirdeklestirici katman (212) olan NiCr katman kalinligi 0,3 nm - 1,2 nm araligindadir. Böylece yüksek geçirgen özellikte ve mekanik dayanimi yüksek olan bir low-e kaplamali (101) cam (10) elde edilebilmektedir. Tercih edilen uygulamada ikinci çekirdeklestirici katman (212) NiCr katman kalinligi 0,3 nm - 1,0 nm araligindadir. Böylece isil islem sonrasi nihai üründe yüksek geçirgenlik saglanmasi kolaylasmaktadir. En tercihen ikinci çekirdeklestirici katman (212) olan NiCr katman kalinligi 0,4 nm - 0,9 nm arasindadir. Böylece isil islem sonrasi low-e kaplamali (101) camin (10) yüksek geçirgen özellikte elde edilebilmesine ilaveten mekanik dayaniminin gerek yeter mertebede arttirilmasi kolaylasmaktadir. Birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) arasinda konumlanarak birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katmani (25) birbirinden ayiran ve low-e katman (101) diziliminin hedeflenen performansa ulasmasini saglayan bir orta dielektrik yapisi (24) mevcuttur. Bahsedilen orta dielektrik yapisi (24) en az bir dielektrik katman içermektedir. Bulusun bir uygulamasinda orta dielektrik yapisi (24) en az bir dielektrik katman ile birlikte dielektrik katman komsulugunda konumlanan en az bir üçüncü çekirdeklestirici katman (243) içermektedir. Üçüncü çekirdeklestirici katman (243) NiCr, NiCrOx, TiOx, ZnSnOx, ZnAIOx, ZnOx'den en az birini içermektedir. Tercihen üçüncü çekirdeklestirici katman (243) ZnAIOx içermektedir. Bulusun tercih edilen uygulamasinda orta dielektrik katman yapisi (24) SIxNy, TINx, ZrNx, ZnSnOx, ZnAIOx, SIAINX, SIAIOxNy, SIOxNy, TiOx, ZnOx' den seçilen en az iki dielektrik katman içermektedir. Seçilen iki dielektrik katman birbirleri ile temas etmektedir. Orta dielektrik yapisi (24) bir üçüncü dielektrik katman (241), bir dördüncü dielektrik katman (242) ve üçüncü çekirdeklestirici katmani (243) birlikte içermektedir. Orta dielektrik yapisi (24) ikinci kizilötesi yansitici katmani (25) olan Ag katmanina dogrudan temas edecek sekilde konumlanmaktadir. Bulusun tercih edilen yapilanmasi üçüncü dielektirik katman (241) olarak ZnAIOx, dördüncü dielektrik katman (242) olarak SixNy içermektedir. Üçüncü dielektrik katman (241) olan ZnAlOx içeren katman kalinligi 11 nm - 27 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada üçüncü dielektrik katman (241) olan ZnAIOx içeren katman kalinligi 13 nm - 24 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada üçüncü dielektrik katman (241) olan ZnAlOx içeren katman kalinligi 15 nm - 20 nm araligindadir. SixNy içeren dördüncü dielektrik katman (242) kalinligi 35 nm - 55 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada SIxNy içeren dördüncü dielektrik katman (242) kalinligi 40 nm - 52 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada SixNy içeren dördüncü dielektrik katman (242) kalinligi 43 nm - 50 nm arasindadir. Üçüncü çekirdeklestirici katman (243) olan ZnAlOx içeren katman kalinligi 18 nm - nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada üçüncü çekirdeklestirici katman (243) olan ZnAIOx içeren katman kalinligi 19 nm - 27 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada üçüncü çekirdeklestirici katman (243) olan ZnAlOx içeren katman kalinligi 20 nm - 25 nm arasindadir. Bahsedilen orta dielektrik yapisinin (24) içermis oldugu dielektrik katmanlarin kalinliklari ve yapilari ayri ayri optimize edilerek cam (10) tarafi ve kaplama tarafi yansima ve renk degerleri hedeflenen degerlerin elde edilmesi konusunda daha fazla seçenek olusturmaktadir. Orta dielektrik yapinin (24) sandviç formunda olmasi hedeflenen yansima ve renk degerlerinin optimize edilebilmesi saglamasinin yaninda ikinci kizilötesi yansitici katman (25) olan Ag katmaninin optoelektronik özelliklerinin iyilestirilmesi için gereklidir. Söyle ki; Orta dielektrik yapinin (24) tek ve kalin bir katmandan olusmasi halinde, amorf olmasi hedeflenen orta dielektrik yapinin (24) kismen ve/veya tamamen kristalin bir yapi gösterme olasiligi artmaktadir. Ikinci kizilötesi yansitici katman (25) olan Ag ile dogrudan temasta olan çekirdeklestirici olarak kullanilan katman, kendisinin diger yüzeyine temas eden katman üzerinde büyürken, büyüdügü katmanin kristalizasyonundan olumsuz etkilenmemesi için büyüdügü bu katmanin amorf yapida olmasi tercih edilmektedir. Bulusta Ag içeren ikinci kizilötesi yansitici katman (25) ile ZnAlOx içeren üçüncü çekirdeklestirici katman (243) dogrudan temastadir. ZnAlOx içeren üçüncü çekirdeklestirici katmanin (243) diger yüzeyine amorf yapidaki SixNy içeren dördüncü dielektrik katmani (242) temas etmektedir. Orta dielektrik yapinin (24) tek ve kalin bir ZnAIOx içeren üçüncü çekirdeklestirici katmandan (243) olusmasi halinde, kristalin olan üçüncü çekirdeklestirici katmanin (243) yüzey pürüzlülügü artmis olacaktir. Yüzey pürüzlülügünün artmasi low-e kaplamali (101) camin (10) mekanik dayanimina olumlu katki saglayacak olmakla birlikte, üçüncü çekirdeklestirici katmanin (243) üzerine konumlanan ikinci kizilötesi yansitici katmaninin (25) kizilötesi isinlari yansitma oranini azaltacaktir. Bu nedenle mekanik ve optik olarak istenilen özelliklerin hepsinin elde edilebilmesi için low-e kaplamadaki (101) katman kalinliklari, katman içerikleri ve dizilim siralanmasinin bu bulusta anlatildigi sekilde optimize edilmesi gerekmektedir. Böylece kristalin uyumsuzluk gibi bir problem ve dolayisi ile üçüncü çekirdeklestirici katman (243) yapisinin kristalizasyonunun etkilenmesi ve istenmeyen kalinti gerilimin olusmasi ihtimali azaltilmaktadir. Üçüncü çekirdeklestirici katman (243) özelindeki hassasiyet. ikinci kizilötesi yansitici katmanin (25) olmasi gereken kristalografik oryantasyonda büyümesini saglamaktadir. Orta dielektrik yapi (24) toplamda 64 nm- 112 nm araliginda bir kalinliga sahiptir. Tercih edilen uygulamada orta dielektrik yapi (24) toplamda 72 nm- 103 nm araliginda bir kalinliga sahiptir. Daha da tercihen orta dielektrik yapi (24) toplamda 78 nm - 95 nm araliginda bir kalinliga sahiptir. Birinci kizilötesi yansitici katmanin (22) üzerinde bir birinci bariyer katman (23) ve ikinci kizilötesi yansitici katmanin (25) üzerinde bir ikinci bariyer katman (26) konumlanmaktadir. Birinci bariyer katman (23) ve ikinci bariyer katman (26) NiCr, NiCrOx, Ti, TiOx. ZnAlOx, ZnOx malzemelerinden en az birini içermektedir. Tercih edilen uygulamada birinci bariyer katman (23) ve ikinci bariyer katman (26) olarak NiCrOx kullanilmaktadir. NiCrOx içeren birinci bariyer katman (23) ve NiCrOx içeren ikinci bariyer katman (26) kalinliklari 1,6 nm - 2,5 nm araligindadir. Tercih edilen uygulamada NiCrOx içeren birinci bariyer katman (23) ve NiCrOx içeren ikinci bariyer katman (26) kalinliklari 1,7 nm - 2,4 nm araligindadir. Tercih edilen uygulamada NiCrOx içeren birinci bariyer katman (23) ve NiCrOx içeren ikinci bariyer katman (26) kalinliklari 1,8 nm - 2,3 nm arasindadir. NiCrOx içeren birinci bariyer katman (23) ve NiCrOx içeren ikinci bariyer katmani (26); birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) olan Ag katmanlarindan sonra gelen katmanlarin üretimi için kullanilan proses gazlarindan Ag katmanlarinin etkilenmemesi için kullanilmaktadir. Ayni zamanda NiCrOx katmanlari, Ag katmanlarindan sonra gelecek dielektrik katmanlar arasindaki metalik ve dielektrik geçisinde yapisal uyumu saglayarak isil islem öncesi olasi yapisma zayifligini bertaraf etmektedir. Ayrica NiCrOx katmanlari, temper, bükme vb. gibi isil Islem süreçlerinde kendisi öncelikli oksitlenmekte ve böylece Ag katmanlarinin oksitlenerek yapisal bozulmaya ugramasini engellemektedir. Ikinci bariyer katman (26) üzerinde bir üst dielektrik yapi (27) konumlanmaktadir. Bahsedilen üst dielektrik yapi (27) bir besinci dielektrik katman (271) ve bir üst dielektrik katman (272) içermektedir. Besinci dielektrik katman (271) ZnSnOx, ZnAIOx, SiOxNy, ZrOx, SiOx, SixNy, TiOx, ZnOx'den en az birini içermektedir. SIOxNy içeren üst dielektrik katmaninin (272) NiCrOx içeren ikinci bariyer katman (26) ile dogrudan temas halinde olacak sekilde kullanildigi durumda, bahsedilen katmanlar birbirleriyle uyumsuz davranis göstermekte, zayif mekanik ve isil islem dayanimi sergilemektedir. Bu amaçla patente konu olan low-e kaplamada (101) bulunan NiCrOx içeren ikinci bariyer katmani (26) ile SiOxNy içeren üst dielektrik katmani (272) arasina besinci dielektrik katman (271) eklenerek low-e kaplamanin (101) kararli isil islem davranisi göstermesi saglanmaktadir. Besinci dielektrik katman (271), ZnAlOx içermektedir. ZnAlOx içeren besinci dielektrik katman (271) kalinligi 14 nm - 29 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada ZnAlOx içeren besinci dielektrik katman (271) kalinligi 16 nm - 27 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada ZnAlOx içeren besinci dielektrik katman (271) kalinligi 18 nm - nm arasindadir. SixNy içeren üst dielektrik katman (272) yerine, SIOxNy içeren üst dielektrik katman (272) kullanildigi durumda, SiOxNy'ün kirma indisinin SixNy'den daha düsük olmasi nedeni ile ayni optik davranis daha kalin bir SiOxNy içeren katman ile elde edilebilmektedir. Böylece daha kalin bir üst dielektrik katman (272) kullanilarak kaplamanin mekanik dayanimi artirilmaktadir. SiOxNy içeren üst dielektrik katman (272) kalinligi 10 nm - 25 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada SiOxNy içeren üst dielektrik katman (272) kalinligi 12 nm - 21 nm arasindadir. Daha da tercih edilen uygulamada SIOxNy içeren üst dielektrik katman (272) kalinligi 13 nm - 20 nm arasindadir. ZnAIOx içeren birinci çekirdeklestirici katman (211), üçüncü dielektrik katman (241), üçüncü çekirdeklestirici katman (243) ve besinci dielektrik katman (271) kirma indisi araliklari 1,93 - 2,13 'dur. Tercih edilen yapilanmada ZnAIOx içeren birinci çekirdeklestirici katman (211), üçüncü dielektrik katman (241), üçüncü çekirdeklestirici katman (243) ve besinci dielektrik katman (271) kirma indisi araliklari 1,98- 2,08'dir. Bulus konusu mimari ve otomotiv kullanima yönelik olan low-e kaplamali (101) ürünler için hedeflenen geçirgenlik ve yansima degerlerini elde edebilmek birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) kalinliklari 6 nm - 20 nm arasindadir. Tercih edilen uygulamada birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) kalinliklari 7 nm - 19 nm arasindadir. Daha spesifik olarak hem hedeflenen performans degerine ulasilmasi hem de istenilen renk özellikleri ve görünür bölgede düsük içe ve disa yansima degerleri elde edilebilmesi için birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) kalinliklari 8 nm - 18 nm arasindadir. Hedeflenen seçicilik ve optik performansin yakalanmasi için ürünün birbirinden bagimsiz Ag içeren iki ayri kizilötesi yansitici katmana sahip olmasi gerekmektedir. Birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) kalinliginin bir birine orani 0,5 ile 1,3 arasindadir. Tercihen birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katman (25) kalinliginin bir birine orani 0,6 ile 1,1 arasindadir. Yukarida anlatilan katman dizilimi ile hedeflenen performans degeri tek cam (10) olarak 6 mm alt cam (10) kullanimi için isil islem öncesi görünür bölge geçirgenlik degeri %60 ile %73 arasinda olmasi tercih edilmektedir. Daha tercih edilen uygulamada, %62 ile %68 arasinda olmalidir. Tek cam (10) olarak 6 mm alt cam (10) kullanimi için isil islem öncesi direkt günes enerjisi geçirgenligi degeri % 31 ile de bu performansin elde edilmesi desteklenmelidir. Low-e kaplamanin (101) en üst dielektrik katmaninin (272) özellikleri, kaplamali camin (10) isil islem esnasindaki karakterini belirlemesinden dolayi low-e kaplamali (101) camin (10) depolama ömrü, isil islenebilirligi, dayanimi ve görsel estetigi açisindan oldukça önemlidir. Birinci bariyer katman (23) ve ikinci bariyer katmanin (26) bir diger rolü; low-e kaplamanin (101) birinci kizilötesi yansitici katman (22) ve ikinci kizilötesi yansitici katmaninin (25) opto-elektronik özelliklerinin ikincil islemler ve kullanim ömrü boyunca kararli sekilde korunmasidir. Low-e kaplamanin (101) birinci bariyer katman (23) ve ikinci bariyer katmaninin (26) kaplama sartlari, kaplamali camin (10) isil islem esnasindaki karakterini belirleyen ve low-e kaplamali (101) camin (10), opto-elektronik özelliklerine etki eden bir diger kritik parametredir. Hedeflenen bariyer katmanin (26) absorblama davranisinin, malzeme özelligi gelistirilerek minimize edilmesi gerekmektedir. Yukarida tanimlanan lowe kaplamali (101) cam (10), nötral renk degerlerine sahip isi yalitim üniteleri elde edilmesine olanak saglamaktadir. CIELAB renk uzayinda, isil islem sonrasi elde edilen lowe kaplamali (101) camin (10) kaplamasiz tarafindaki yüzey normaline 0° ile bakildiginda yansima a* ve b* degerleri 0 ile -10 arasinda kalarak nötralligi saglamaktadir. Yukarida tanimlanan lowe kaplamali (101) cam (10), nötral renk degerlerini farkli gözlem açilarinda korumaktadir. ClELAB renk uzayinda; isil islem sonrasi elde edilen low-e kaplamali (101) camin (10) kaplamasiz tarafindaki yüzey normaline - 60'ye kadar olan gözlem açilarinda yansima a* ve b* degerleri en çok ±2 mertebesinde degismektedir. Bu sayede de yukarida bahsedilen nötrallik farkli gözlem açilarinda da korunmaktadir. Birinci kizilötesi yansitici katman (22) altinda konumlanan ikinci çekirdeklestirici katman (212) varligi isil islem sonrasinda gözlenen yapisma ve çizilme dayanimini arttirmaktadir. Mekanik yapisma ve çizilme testleri olarak bant testi, firça testi ve ovalama testidir. Bant testi ASTM 3359 standartlarina uygun olarak gerçeklestirilmektedir. Test, SM Scotch marka yapiskan özellikteki bandin kaplama üzerine 15 mm x 100 mm ebatlarinda yapistirilmasi ve belirli bir süre sonrasinda yüzey normali dogrultusunda tek seferde çikarilmasi sonucu kaplama yüzeyindeki deformasyonlarin ölçümlendigi bir testtir. Firça testi; low-e kaplamali (101) camin (10), cam yikama makinelerindeki firça altindan tek seferde geçis ve 1 dakika süresince firçalanarak bekletilmesi ile yüzeyde olusan deformasyonlarin ölçümlendigi bir testtir. Ovalama testi; üzerine izopropilalkol tatbik edilen tozsuz kagidin kaplamali cam yüzeyindeki ayni bölgenin, belirli bir süre ve tekrarda, tercihen 10 tekrar, ovalanmasi sonucunda yüzeyde olusan deformasyonlarin ölçümlendigi bir testtir. Kaplamanin çizilme ve soyulmaya karsi direncini gözlemlemek üzere kaplamali camdan alinan numuneler otomatize bir teste tabi tutulmustur. Yatay eksende lineer git gel hareketi yapabilme kabiliyetindeki bir kol ucuna yerlestirilen baski parçasina belirli bir agirlik konularak kaplamali cam numunelerin üzerinde hareket etmesi saglanmaktadir. Baski parçasi ile kaplamali cam yüzeyi arasina ISO105-F9 standardina uygun SDC Enterprises marka ve teknikte "cotton Iawn rubbing fabric" olarak bilinen pamuk kumastan imal bir bez yerlestirilmektedir. Teste tabi kaplamali cam yüzeyinde 2ml saf su damlatilarak ve 0,126N/mm2 basinç uygulanarak 50 kez git gel hareketi yapilmaktadir. Tanimi yapilan bu test "otomatik islak ovalama testi" olarak adlandirilmaktadir. Test sonucunda görsel olarak kaplamadaki çizilme ve kalkmalar analiz edilir. Low-e kaplamanin (101) ikincil islemler esnasindaki süreçlere mekanik olarak dayanikli olabilmesi için bu testleri basari ile geçmis olmasi gerekmektedir. Ürün temperlendikten sonra yapilan ovalama, bant, firça ve otomatik islak ovalama testlerinde kaplama yüzeyinde en fazla, kuvvetli isik kaynagi altinda en fazla 30 cm mesafeden bakildiginda az sayida kilcal çizige izin verilmektedir. Kaplamali numunelerin testten geçebilmesi için kabul kriteri, tekrarlanan testler sonrasinda elde edilen sonuçlarin tümü degerlendirildiginde çizik olusmamasi yönünde olmasidir. Herhangi bir soyulma, kopma ve delaminasyon olmasi durumunda numune testlerden geçememektedir. Ikinci çekirdeklestirici katman (212) yukarida belirtilen kalinlik degerinin altinda kullanildigi durumda low-e kaplamali (101) cam (10) yukarida anlatilan testleri basari ile geçememektedir. Bulus konusu low-e kaplamali (101) cama (10) iliskin yukarida anlatilan tüm katmanlar belirtilen sira ve kalinlik aralilarinda kullanilmasi sart ile birinci kizilötesi yansitici katman (22) altinda konumlanan ikinci çekirdeklestirici katmanin (212) belirtilen kalinlik araliklarinda kullanildiginda bulus konusu çift gümüslü low-e kaplamali (101) cam (10) bu testleri basari ile geçebilmektedir. Ikinci çekirdeklestirici katman (212) kullanimi bulus konusu low-e kaplamali (101) camin (10) mekanik dayanimi için önem arz etmektedir. Bulusun koruma kapsami ekte verilen istemlerde belirtilmis olup kesinlikle bu detayli anlatimda örnekleme amaciyla anlatilanlarla sinirli tutulamaz. Zira teknikte uzman bir kisinin, bulusun ana temasindan ayrilmadan yukarida anlatilanlar isiginda benzer yapilanmalar ortaya koyabilecegi açiktir. TR TR TR