TR202010936A2 - Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k - Google Patents

Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k Download PDF

Info

Publication number
TR202010936A2
TR202010936A2 TR2020/10936A TR202010936A TR202010936A2 TR 202010936 A2 TR202010936 A2 TR 202010936A2 TR 2020/10936 A TR2020/10936 A TR 2020/10936A TR 202010936 A TR202010936 A TR 202010936A TR 202010936 A2 TR202010936 A2 TR 202010936A2
Authority
TR
Turkey
Prior art keywords
electro
transition metal
glass
chromic
ito
Prior art date
Application number
TR2020/10936A
Other languages
English (en)
Inventor
Habashyani Saman
Mobtakeri Soheil
Gür Emre
Original Assignee
Atatuerk Ueniversitesi Rektoerluegue Bilimsel Arastirma Projeleri Bap Koordinasyon Birimi
Atatürk Üni̇versi̇tesi̇ Rektörlüğü Bi̇li̇msel Araştirma Projeleri̇ ( Bap ) Koordi̇nasyon Bi̇ri̇mi̇
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Atatuerk Ueniversitesi Rektoerluegue Bilimsel Arastirma Projeleri Bap Koordinasyon Birimi, Atatürk Üni̇versi̇tesi̇ Rektörlüğü Bi̇li̇msel Araştirma Projeleri̇ ( Bap ) Koordi̇nasyon Bi̇ri̇mi̇ filed Critical Atatuerk Ueniversitesi Rektoerluegue Bilimsel Arastirma Projeleri Bap Koordinasyon Birimi
Priority to TR2020/10936A priority Critical patent/TR202010936A2/tr
Publication of TR202010936A2 publication Critical patent/TR202010936A2/tr
Priority to PCT/TR2021/050051 priority patent/WO2022010429A2/en
Priority to US17/784,101 priority patent/US20230008253A1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/15Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect
    • G02F1/153Constructional details
    • G02F1/155Electrodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3464Sputtering using more than one target
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3649Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3668Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having electrical properties
    • C03C17/3671Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having electrical properties specially adapted for use as electrodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08Oxides
    • C23C14/086Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
    • C23C14/185Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates by cathodic sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58After-treatment
    • C23C14/5846Reactive treatment
    • C23C14/5853Oxidation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/15Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect
    • G02F1/1514Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material
    • G02F1/1523Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material
    • G02F1/1524Transition metal compounds
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/15Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect
    • G02F1/1514Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material
    • G02F1/1523Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material
    • G02F1/1525Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material characterised by a particular ion transporting layer, e.g. electrolyte
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/90Other aspects of coatings
    • C03C2217/94Transparent conductive oxide layers [TCO] being part of a multilayer coating
    • C03C2217/948Layers comprising indium tin oxide [ITO]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154Deposition methods from the vapour phase by sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32After-treatment
    • C03C2218/322Oxidation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Hybrid Cells (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

Geçiş metal oksit tabakalı bileşikleri içeren yüksek performanslı elektrokromik aygıtların üretim yöntemi ile ilgili olup, özelliği; saçtırma (Sputter) metodu ile cam(3) üzerine öncesinde büyütülmüş olan 80-150 nm kalınlıktaki Indiyum-kalay Oksit alaşımı (ITO) (2) üzerine bir kenarına Pt (1) saçtırma metodu ile metal kontak büyütülmesi, saçtırma (Sputter) metodu ile cam(3) üzerine öncesinde büyütülmüş olan 80-150 nm kalınlıktaki ITO(2) üzerine geçiş metal kalkojenlerinin hedefleri kullanılarak 15-25 mTorr, 300-500 °C alttaş sıcaklığında ve 3-45 dakika süre ile dikey nano-duvarlı yapılar büyütülmesi, büyütülen yapılar oksitleme fırınında 10-60 dakika boyunca oksijen gazı altında 300-450 °C’de oksitlenmesi, elektrokromik aygıt bir karşıt cam/ITO(80-150 nm) ile birlikte aralarında 0.5-1mm mesafe olan ve propilen karbonat (PC) içerisinde 1 Mol/Lit Lityum perklorat(LiClO4) iyon iletken elektrolit(6) ile yüz yüze gelecek şekilde kapatılarak elektro-kromik aygıt hazırlanması yöntem adımlarını içermesidir.

Description

TARIFNAME YUKSEK PERFORMANSLI ELEKTRO-KROMIK AYGIT URETIM Y'ONTEMINDE YENILIK Teknik Alan Bulus, geçis metal oksit tabanli bilesikleri içeren yüksek performansli elektrokromik aygitlarin üretim yöntemi ile ilgilidir. Bulus özellikle akilli cam teknolojisini gelistirmek üzere saçtirma metodu ile dikey nano duvarli geçis metal oksit tabanli özellikle WOa (tungsten trioksit) ve M003 (molibden trioksit) yapilarinin 'üzgün bir metotla üretilerek, yüzey alani genisletilmis nano yapilardan elektrokromik malzemelerin üretim yöntemi ile ilgilidir. Teknigin Bilinen Durumu Günümüzde akilli cam olarak adlandirabilecegimiz elektro-kromik camlar birçok alanda kullanilmaktadir. Ozellikle cep telefonlarinda, televizyon ekranlarinda, reklam panolarinda. günes gözlüklerinde ve dikiz aynalar kullanim alanlarinin sadece birkaç tanesidir. Elektrokromizm uygulanan voltaj ile cam üzerine kaplanmis olan elektrokromik ince filmin renginin çok kisa sürede degistirmesi Özelligidir ve uygulanan voltajin tersine çevrilmesiyle elektrokromik malzemeler tekrar eski orijinal seffaf durumlarina geri dbnerler. Ayrica bu malzemelerden üretilen akilli camlar enerji tasarrufu saglamakta ve yeni nesil ekranlarda kullanilmaktadir. Bu ekranlarin önemli bir özelligi uygulanan voltajin sifirlanmasiyla sahip oldugu durumu korumasinda yatmaktadir. Bu da bu akilli camlardan perdeleme yapma veya reklam panolari gibi alanlarda da kullanimlarini saglamaktadir. Birçok elektrokromik malzeme hali hazirda bulunmaktadir. Genel olarak geçis metal oksitleri bu anlamda elektrokromik özellik gösteren malzemelerdir. Bunlardan en önemli olanlari göstermis olduklari üstün performanslarindan dolayi (kisa açilma/kapanma zamani, uzun süre dayanim, zaman ile performans bozulmamasi, renklenme verimi vb.) W03 ve M003 olarak gösterilmektedir. Bu akilli camlar için en 'Önemli performans parametreleri voltaj uygulandiktan sonra renklenme hizlari ve tekrar seffaf hale geri dönüs hizlaridir. Bunun yaninda kaç tekrar sonucunda aygitin performansinin bozulmadan çalisabilecegi de yine 'Önemli bir parametredir. Son olarak önemli bir diger parametre de renklenme verimidir. Voltaj uygulandiktan sonra aygit renklendiginde, optik geçirgenlik degerindeki degisimin oldukça yüksek olmasi istenmektedir ve günümüzde %50-%60 degisimli elektro-kromik camlar hali hazirda mevcuttur. Bu geçirgenlik degerlerindeki degisim yeterince yüksek degildir. Sanayide 5 s ve üzerinde çalisan elektro-kromik camlar bulunmaktadir. Bu zaman aslinda yüksektir ve bu malzemelerin ticarilesmesindeki en önemli engellerden bir tanesidir. TR 2018/18520 numaralari patent basvurusunda bir elektrokromik cam imalat yönteminden bahsedilmektedir. Bu yöntem; iletken oksitin birinci ve ikinci tabakasi ile, elektrokromik elektrot, kati elektrolit, karsit elektrotun birlikte belli dalga boylarinda isinlanma ile isil islemi ve sonrasinda belli bir süre boyunca radyasyon altinda kalmasi ile bir elektrokromik cam imalat yöntemi olup, bahsedilen yöntem hem maliyetli açisindan yüksektir hemde istenilen faydayi verememektedir. Sonuç olarak, yukarida anlatilan olumsuzluklardan dolayi ve mevcut çözümlerin konu hakkindaki yetersizligi nedeniyle ilgili teknik alanda bir gelistirme yapilmasi gerekli kilinmistir. Bulusun Amaci Bulus, mevcut durumlardan esinlenerek olusturulup yukarida belirtilen olumsuzluklari çözmeyi amaçlamaktadir. Bulusun öncelikli amaci, elektrokromik aygitin açma/kapama zamanini 5 saniyenin altina düsürmektir. Bulusun diger bir amaci, kullaniciya sürekli maliyet olusturmadan, güvenli sekilde uzun süreler çalisabilen bir elektrokromik aygit üretmektir. Bulusun bir baska amaci, optik geçirgenlik degerindeki degisimin oldukça yüksek olmasi saglanarak elektrokromik aygitin renklenme verimini %60'Iar mertebesine çikarmaktir. Bulusun baska bir amaci, elektrokromik aygit üretmek için maliyet açisinda uygun ve verimli bir üretim yöntemi olusturmaktir. Bulusun yapisal ve karakteristik özellikleri ve tüm avantajlari asagida verilen sekiller ve bu sekillere atiflar yapilmak suretiyle yazilan detayli açiklama sayesinde daha net olarak anlasilacaktir ve bu nedenle degerlendirmenin de bu sekiller ve detayli açiklama göz önüne alinarak yapilmasi gerekmektedir. Bulusun Anlasilmasina Yardimci Olacak Sekiller Sekil 'I, bulusa konu olan elektrokromik aygit üretim yontemi adimlaridir. Sekil 2, bulusa konu olan elektrokromik aygitin perspektif görünümdür. Parça Referanslarinin Açiklamasi 2. ITO 3. Cam 4. W82 . WC?, 6. Iyon iletken elektrolit (LiCIO4) Bulusun Detayli Açiklamasi Bu detayli açiklamada, bulusa konu olan elektrokromik aygit üretim yöntemi için tercih edilen yapilanmalari, sadece konunun daha iyi anlasilmasina yönelik olarak açiklanmaktadir. Bulus konusu sanayiye uygun bir kaplama metodu olan saçtirma metodu ile dikey nano-duvarli W03(Tungsten trioksit )(5) ve iVloOa yapilarin özgün bir metotla üretilerek, yüzey alani oldukça genis olan nano yapilarin kullanilarak elektro-kromik malzemelerin üretilmesini içermektedir. Bu malzemeler ile üretilen W03(5) tabanli açilma/kapanma zamani Ss'nin altinda olan, binlerce saat çalisabilen ve renklenme verimi %60 mertebesinde olan elektro-kromik aygitlar üretmek mümkün olmustur. Olusan elektro-kromik aygitlarin yüksek performansli çalismasini saglayan özgün olarak üretilmis W03(5), MoOS gibi kromik tabakalarin ve aygitin üretim asamalari asagida adim adim verilen sekilde açiklanmistir; Ilk olarak saçtirma (Sputter) metodu ile cam(3) üzerine Öncesinde büyütülmüs olan 80- (1) saçtirma metodu ile metal kontak büyütülür. Elektrokromik aygitlarda karsit elektrot olarak Cam(3) ve ITO(2) elektrotu kullanilirBu noktada bu elektrokromik aygitlar yine kullanilarak da ayni aygitlar üretilebilir. Sonrasinda saçtirma (Sputter) metodu ile cam(3) üzerine öncesinde büyütülmüs olan üzerine geçis metal kalkojenlerinin (W82(Tungsten 0C alttas sicakliginda ve 3-45 dakika araliklarinda dikey nano-duvarli yapilar büyütülür. Büyütülen yapilar oksitleme firininda 10-60 dakika boyunca oksijen gazi altinda 300- 400 0C sicaklik araliginda oksitlenir. Bu sicaklik araligi büyütülen M082 ve W82 vs. gibi malzemenin kalinligina göre degisim göstermektedir. Sonrasinda elektro-kromik aygit bir karsit cam/ITO(80-150 nm) ile birlikte aralarinda 0.5-1mm mesafe olan ve propilen karbonat (PC) içerisinde 1 MolfLit Lityum perklorat(LiClO4) iyon iletken elektrolit(6) ile yüz yüze gelecek sekilde kapatilarak elektro-kromik aygit hazirlanir. Li iyonlari bu iyon iletken(6) çözelti içerisinde bulunur. Ayni zamanda bu aygitlar Cs tabanli ve Na tabanli elektrolitlerin kullanilmasiyla da gerçeklestirilebilir Cam(3)/ITO(2)/Elektro-kromik tabaka, dikey nano duvarli W03(5), M003 vb. geçis metal oksit tabakasidir. Li iyonlarinin bu tabakalara girerek yüksek performansli elektro-kromik aygit olusturmasini saglar. Aygit olusturulduktan sonra cam(3)/ITO(2)IPt(1) tabakasindan bulunan Pt(1) elektrotlar ile aygitin çalistirilabilmesi için bir güç kaynagi baglanir. Aygita -3 V uygulanir. Voltaj uygulandiktan sonra iyon iletken elektrolit(6) tabakasinda bulunan Li+ iyonlari cam(3)/ITO(2)IeIektro-kromik tabaka içerisine girer ve zamanla seffaf olan cam renklenmeye baslar. Elektrotlara +3 V uygulanmasiyla bu sefer renkli halde bulunan cam seffaf hale döner. Yüzde Geçirgenlik guçii'guilik dc Patent konusunu içeren metot ile olusturulmus olan Cam!ITO/WOB/elektrolit/ITO/Cam yapisindaki elektrokromik aygitin performans verisi yukaridaki sekilde gösterilmektedir. Bu veri 700 nm dalgaboyunda elektrokromik aygitin dinamik olarak geçirgenlik verisini göstermektedir. Sekildeki ilk 30 saniyelik bölümde elektrokromik aygita -3 V uygulanmis ve baslangiçtaki geçirgenlik degerinden aygitin geçirgenligi %10 degerlerinin altina düstügü gozlenmistir. Bu durum aygitin renklenme durumudur ve aygit kararmistir. Bu düsüsün ilk %67ilik kismi aygitin renklenme zamani olarak ifade edilmektedir ve sekilden de gözükt'üg'u gibi bu zaman 2.28 sadir. Ikinci 30 saniyelik kisimda ise aygita +3 V uygulanmis ve aygitin tekrar eski durumuna geri dönmesi olmasi saglanmistir. Burada da aygitin açilma zamani 1.28 5 olarak belirlenmistir. Bu veri patent konusu olan metot ile üretilen aygitin 'üstün performansini göstermektedir. TR TR

Claims (7)

ISTEMLER
1. Geçis metal oksit tabakali bilesikleri içeren yüksek performansli elektro-kromik aygitlarin üretim yöntemi ile ilgili olup, özelligi; o Saçtirma (Sputter) metodu ile cam(3) üzerine öncesinde büyütülmüs üzerine bir kenarina oksitlenme islemleri sirasinda ITO'nun iletkenligini korumak için Pt (1) saçtirma metodu ile metal kontak büyütülmesi, . Saçtirma (Sputter) metodu ile cam(3) üzerine öncesinde büyütülmüs olan üzerine geçis metal kalkojenlerinin 45 dakika süre ile dikey nano-duyarli yapilar büyütülmesi, o Büyütülen yapilar oksitleme firininda 10-60 dakika boyunca oksijen gazi altinda 300-450 0Cide oksitlenmesi, o Elektro-kromik aygit bir karsit cam/lTO(80-150 nm) ile birlikte aralarinda 0.5-1mm mesafe olan ve propilen karbonat (PC) içerisinde 1 MoI/Lt Lityum perklorat(LiClO4) iyon iletken elektrolit(6) ile yüz yüze gelecek sekilde kapatilarak elektro-kromik aygit hazirlanmasi
2.Istem 1!e uygun bir elektro-kromik aygit üretim yöntemi olup, özelligi; ITO(2) üzerinde kullanilan geçis metal kalkojenlerinin tungsten disülfür(4) (WS2) ve molibden disülfit (MoSZ) olmasidir.
3.Istem 1Je uygun bir elektro-kromik aygit üretim yöntemi olup, özelligi; saçtirma asamasinda yerine 80-150 nm FTO (florine katkili Kalay Oksit alasimi) kullanilmasidir.
4. istem 1'e uygun bir elektro-kromik aygit `üretim yöntemi olup, özelligi; Iityum perklorat(LiCIO4) iyon iletken elektrolit(6) yerine Cs tabanli ve Na tabanli elektrolitlerin kullanilmasidir.
5. Bu bulus, yüksek performansli elektro-kromik aygit 'üretim metodu olup özelligi; Iyon iletken elektrolitten (LiCIO4) (6) Li iyonlarinin geçis metal oksit tabakasina girerek yüksek performans olusturulmasinda görev alan cam(3)/ITO(2)/elektro-kromik tabakasi içermesidir.
6. istem 5'te bahsedilen, elektro-kromik aygit olup özelligi; geçis metal oksit tabakasinin geçis metal oksitlerini içeriyor olmasidir.
7. Istem 5'te bahsedilen, elektro-kromik aygit olup özelligi; geçis metal oksit tabakasinin tercihen W03 (5) ve M003 içermesidir.
TR2020/10936A 2020-07-09 2020-07-09 Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k TR202010936A2 (tr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2020/10936A TR202010936A2 (tr) 2020-07-09 2020-07-09 Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k
PCT/TR2021/050051 WO2022010429A2 (en) 2020-07-09 2021-01-21 Innovation in high performance electro-chromic device manufacturing method
US17/784,101 US20230008253A1 (en) 2020-07-09 2021-01-21 Innovation In High Performance Electro-Chromic Device Manufacturing Method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2020/10936A TR202010936A2 (tr) 2020-07-09 2020-07-09 Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TR202010936A2 true TR202010936A2 (tr) 2020-08-21

Family

ID=75525783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TR2020/10936A TR202010936A2 (tr) 2020-07-09 2020-07-09 Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230008253A1 (tr)
TR (1) TR202010936A2 (tr)
WO (1) WO2022010429A2 (tr)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56128922A (en) * 1980-03-14 1981-10-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Display device
KR20030037744A (ko) * 2001-11-05 2003-05-16 주식회사 케이티 리튬티타늄 옥사이드 필름을 이용한 일렉트로크로믹디스플레이용 보조전극
EP1958199A4 (en) * 2005-07-29 2009-07-08 Kestrel Wireless Inc DEVICES AND PROCESSES FOR OPTICAL SUPPORT
CN100498493C (zh) * 2007-12-14 2009-06-10 北京航空航天大学 一种无机全固态电致变色元件的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2022010429A3 (en) 2022-02-17
US20230008253A1 (en) 2023-01-12
WO2022010429A2 (en) 2022-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Buch et al. Review on electrochromic property for WO3 thin films using different deposition techniques
Da Rocha et al. Influence of cycling temperature on the electrochromic properties of WO3//NiO devices built with various thicknesses
JP4866100B2 (ja) エレクトロクロミックデバイスおよびその製造方法
US9939662B2 (en) Electrochromic nanocomposite films
US4923289A (en) Electrochromic devices having a gradient of color intensities
Cho et al. New switchable mirror device with a counter electrode based on reversible electrodeposition
JPH03500096A (ja) 固体エレクトロクロミック光変調器
Rong et al. New effective process to fabricate fast switching and high contrast electrochromic device based on viologen and Prussian blue/antimony tin oxide nano-composites with dark colored state
CN103370649A (zh) 具有空间协调切换的电致变色多层设备
Niwa et al. All-solid-state reflectance-type electrochromic devices using iridium tin oxide film as counter electrode
JPS6031355B2 (ja) 全固体エレクトロクロミツク素子
KR20200106019A (ko) 다채로운 전기변색 구조, 그 제조방법 및 응용
Zhang et al. Two birds with one stone: a novel thermochromic cellulose hydrogel as electrolyte for fabricating electric-/thermal-dual-responsive smart windows
Heusing et al. Grey, brown and blue coloring sol–gel electrochromic devices
USRE34469E (en) Solid state electrochromic light modulator
US20210255518A1 (en) Multi-layer optical materials systems and methods of making the same
TR202010936A2 (tr) Yüksek performansli elektro-kromi̇k aygit üreti̇m yöntemi̇nde yeni̇li̇k
CN114035389B (zh) 可抑制自褪色/自着色并扩展电位窗口的电致变色薄膜结构、电致变色器件
Talukdar et al. Development and analysis of nanomaterial membrane device
JP2718471B2 (ja) 酸化ニオブエレクトロクロミック材料の製造方法
CN114967267A (zh) 一种透明态到全黑态的电致变色器件
JP2024501599A (ja) 動的光スループット制御を行うエレクトロクロミック二重層装置とその製造工程
JPS6186733A (ja) エレクトロクロミツク素子
US20230367167A1 (en) Multicolor electrochromic structure, fabrication method and application thereof
Milliron et al. Electrochromic nanocomposite films