TR201810324T4 - Tamamen kapatılmış bir hazne kalıptan çekme profiline sahip vakum tesisi, özellikle de plazma tesisi. - Google Patents
Tamamen kapatılmış bir hazne kalıptan çekme profiline sahip vakum tesisi, özellikle de plazma tesisi. Download PDFInfo
- Publication number
- TR201810324T4 TR201810324T4 TR2018/10324T TR201810324T TR201810324T4 TR 201810324 T4 TR201810324 T4 TR 201810324T4 TR 2018/10324 T TR2018/10324 T TR 2018/10324T TR 201810324 T TR201810324 T TR 201810324T TR 201810324 T4 TR201810324 T4 TR 201810324T4
- Authority
- TR
- Turkey
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- profile
- vacuum chamber
- plant
- Prior art date
Links
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 210000001061 forehead Anatomy 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/16—Vessels; Containers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/14—Plasma, i.e. ionised gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
- B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0894—Processes carried out in the presence of a plasma
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Public Health (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Buluş, özellikle de bir plazma tesisi formunda bir vakum tesisiyle (10) ilgilidir. Vakum tesisi (10), bir vakum haznesi (12) içerir. Vakum haznesinin (12) yan duvarları, sürekli kapatılmış bir hazne kalıptan çekme profili formunda yapılandırılmıştır. Hazne kalıptan çekme profilinin bir birinci alın tarafı tercihen bir plakayla kapatılmıştır. Hazne kalıptan çekme profilinin birinci alın tarafının karşısında bulunan bir ikinci alın tarafı, tersinir açılabilen ve kapatılabilen bir kapı (16) içerir. Kapı (16) tercihen en az bir menteşe (18, 20) vasıtasıyla döndürülebilecek şekilde hazne kalıptan çekme profilinde sabitlenmiştir. Hazne kalıptan çekme profilinin uzunlamasına ekseninin enine tamamen kapatılmış yan duvarlar, vakum haznesinin (12) basit ve ucuz bir imalatını mümkün kılarlar. Tercihen, vakum haznesi (12), en azından kısmen aynı şekilde bir kalıptan çekme profili formunda yapılandırılmış bir muhafaza (14) içerisine, en azından kısmen alınmıştır.
Description
TARIFNAMETAMAMEN KAPATILMIS BIR HAZNE KALIPTAN CEKME
PROFILINE SAHIP VAKUM TESISI. ÖZELLIKLE DE
PLAZMA TESISIBulus, vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan
vakum haznesi dis tarafinin tek parça halinde bir hazne kaliptan
çekme profilinden yapilandirilmis oldugu, bir vakum haznesine sahipbir vakum tesisiyle ilgilidir.Bu tarz bir türüne uygun vakum tesisi US 6,405,423 B1”den
bilinmektedir. Bilinen vakum tesisi, bir vakuin haznesi içerir. Vakum
haznesinin yan duvarlari bir hazne kaliptan çekme profilinden
olusurlar. Hazne kaliptan çekme profilinin alin taraflari, hazne
kaliptan çekme profiline Vidalanmis plakalar vasitasiyla kapatilmistir.
Hazne kaliptan çekme profili, hazne kaliptan çekme profilinin alin
tarafina dik olarak yapilandirilmis en az bir dis tarafta, yani bir yan
duvarda, vakum haznesinin doldurulmasi ve bosaltilmasi için bir
açiklik içerir. Açikligin, hazne kaliptan çekme profili içerisine çaba vepara harcanarak frezeleninesi gerekir.Buna göre, mevcut bulusun görevi, vakum haznesi yüksek bir
sizdirmazlik içeren ve buna ragmeii kolay ve ucuz bir sekilde imaledilebilen bir vakum tesisinin temin edilmesidir.
Bu görev, bulusa uygun olarak, istem 1°e uygun bir vakuin tesisi
sayesinde yerine getirilir. Alt istemler, tercih edilen daha dagelistirilmis uygulama sekillerini verirler.Bulusa uygun görev, böylece, vakum haznesi merkezi uzunlamasina
eksenine paralel uzanan vakum haznesi dis tarafinin tek parça halinde
bir hazne kaliptan çekme profilinden yapilandirilmis oldugu, bir
vakum haznesine sahip bir vakum tesisi sayesinde yerine getirilmekte
olup, burada hazne kaliptan çekme profili, vakuin haznesi inerkezi
uzunlamasina ekseninin enine tamamen kapatilmis olarak
yapilandirilmistir ve alin tarafinda tersinir açilabilen ve kapatilabilenbir kapi içerir.Bulusa göre, böylece, hazne kaliptan çekme profili içerisine bir
açikligin çaba ve harcama gerektiren frezelenmesinden feragat edilir.
Daha ziyade, hazne kaliptan çekme profili, vakum haznesi merkezi
uzunlamasina ekseninin eniiie tamamen kapatilmis olarak
yapilandirilir. Vakum haznesinin doldurulmasi ve bosaltilmasi, bunun
bir tersinir açilabilen ve kapatilabilen kapi formunda yapilandirilmis
alin tarafi üzerinden gerçeklesir. US 6,405,423 Bl”in tersine, hazne
kaliptan çekme profili, böylece, bulusa uygun vakum tesisinde, dikey
duracak sekilde degil, bilakis yatay duracak sekilde kullanilir. Vakum
haznesi merkezi uzunlamasina ekseni, bu yüzden, vakum tesisinin
isletiminde yatay olarak uzanir. Toplamda, bulusa uygun vakum tesisi,
bu sekilde konstrüktif açidan çok daha basit yapilandirilabilir ve
böylelikle daha ucuz imal edilebilir.Vakum haziiesi, bir birinci aliii tarafinda, üste yerlestirilebilir bir kapiiçerebilir. Bu tür bir üste yerlestirilebilir kapi, vakum haznesinin
kapatilmasi için, bir pompa vasitasiyla emilebilir. Buna alternatif
olarak, vakum haznesi, bir birinci alin tarafinda bir sürme kapi
içerebilir. Hem üste yerlestirilebilir bir kapi, hem de bir sürme kapi
durumunda, vakum haznesi mentesesiz olarak yapilandirilabilir.
Bulusa göre, vakum haznesi, ancak bir birinci alin tarafinda bir
dönerek açilabilen ve kapatilabilen kapi içerir. Kapinin dönme ekseni
burada tercihen vakum haznesi merkezi uzunlamasina ekseninin
enine, özellikle de vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine
paralel bir eksene dik olarak uzanir. Vakum tesisi bu sekilde
konstrüktif açidan özellikle basit ve ucuz imal edilebilir.Alin tarafinda döndürülebilen bir kapinin hazne kaliptan çekme
profilinde yapilandirilmasi için, hazne kaliptan çekme profili, bulusa
göre dis tarafinda, vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine
paralel uzanan bir birinci mentese çikintisi içermekte olup, bu mentese
çikintisinda bir birinci mentese, kapi ile hazne kaliptan çeknie profili
arasinda bir döner baglanti için düzenlenmistir. Birinci mentese
çikintisi sayesinde, bir birinci mentesenin montaji önemli ölçüde
kolaylastirilir. Hazne kaliptan çekme profili, dis tarafinda, vakum
haznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan bir ikinci
mentese çikintisi içerebilir, bu mentese çikintisinda bir ikinci mentese,
kapi ile hazne kaliptan çekme profili arasinda bir döner baglanti için
düzenlenmistir. Ikinci mentese, kapi ile hazne kaliptan çekme profili
arasinda döner baglantiyi sabitler, böylece kapi ile hazne kaliptançekme profili arasindaki sizdirmazlik önemli ölçüde arttirilir.Hazne kaliptan çekme profiliiide kapinin kapatilmasi için, vakum
tesisi, bir birinci mandal tutma çikintisinda düzenlenmis bir birincimandal içerebilir, burada manda] tutma çikintisi, vakum haznesi
merkezi uzunlamasina eksenine paralel olarak hazne kaliptan çekmeprofilinin dis tarafinda yapilandirilmistir.Bulusun tercih edilen yapilandirma seklinde, hazne kaliptan çekme
profili, dis tarafinda vakuin haznesi merkezi uzunlamasina eksenine
paralel uzanan bir ikinci maiidal tutma çikintisi içermekte olup, bu
mandal tutma çikintisinda bir ikinci mandal, kapinin hazne kaliptan
çekme profilinde kapatilmasi için düzenlenmistir. Ikinci maiidal
vasitasiyla, kapi ile hazne kaliptaii çekme profili arasindakisizdirinazlik daha da arttirilir.Hazne kaliptan çekme profili, ayrica, dis tarafinda, vakum haznesi
nierkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan bir sogutma kanadi da
içerebilir. Tercihen, hazne kaliptan çekme profili, dis tarafinda, vakum
haznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan çok sayida
sogutma kanadi içerir. Sogutma kanadi(kanatlari) sayesinde birçokuygulamada suyun sogutulinasindan feragat edilebilir.Vakum tesisi tercihen bir muhafaza içerir. Vakum haznesinin bu
muhafazada sabitlenmesi için, hazne kaliptan çekme profili, dis
tarafinda, vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel
uzanan bir birinci sabitleme çikintisi içerebilir. Birinci sabitleme
çikintisi, vakum haznesinin muhafazaya montajini kolaylastirir,böylece montaj maliyeti düsürülür.Tercihen, hazne kaliptan çekme profili, dis tarafinda, vakum
haznesiniii vakum tesisinin muhafazasinda sabitlenmesi için, vakumhaznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan bir ikinci
sabitleme çikintisi içerir. Ikinci sabitleine çikintisi sayesinde, vakum
haznesi konstrüktif açidan 'özellikle basit ve ayni zainanda emniyetliolarak vakum tesisinin muhafazasinda sabitlenir.Bulusun daha da tercih edilen yapilandirma seklinde, hazne kaliptan
çekme profili, iç tarafinda, bir plakanin içeri itilmesi için, vakum
haznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan iki karsilikli
içeri itme oyugu içerir. Bu sayede, bir vakum haznesinin içerisinde birnumune tutucunun imalati basitlestirilir.Tercihen, haziie kaliptan çekme profili, iç tarafinda, plakalarin içeri
itilmesi için, vakum haznesi inerkezi uzunlainasina eksenine paralel
uzanan çok sayida karsilikli içeri itme oyugu içerir. Hazne kaliptan
çekine profilinin iinalatinda bile, bu sayede, birden fazla plaka tutucu
elde edilir, bu sekilde vakum tesisinin imalati 'Önemli ölçüdekolaylastirilir.Kaliptan çekme profilinin birinci alin tarafinin karsisinda bulunan bir
ikinci alin tarafi, bir vasatin hazne içerisine beslenmesi ya dahazneden disari bosaltilmasi için bir flans içerebilir.Hazne kaliptan çekme profili alüminyumdan veya bir alüminyum
alasiinindan yapilandirildiginda, vakum haznesinin 'ozellikle basit veucuz bir imalati gerçeklesir.Vakum tesisi, içerisine vakuin haziiesinin alindigi bir muhafaza
içerdiginde, vakum tesisinin imalati çok daha kolaylastirilir, bu siradamuhafazanin vakum haznesi merkezi uzunlainasina eksenine paralel
uzanan bir kisini, bir muhafaza kaliptan çekme profili formunda
yapilandirilmistir. Bir baska deyisle: vakum tesisinin imalati, vakuin
haznesinin sadece 'Önemli bir kisminin, yani hazne kaliptan çekme
profilinin degil, bilakis ayrica muhafazanin bir kisminin, yani
muhafaza kaliptan çekme profiliiiin de bir kaliptan çekme yöntemivasitasiyla elde edilebilmesi sayesinde basitlestirilir.Bulusuii daha da tercih edilen yapilandirma seklinde, hazne kaliptan
çekme profili, kaliptan çekme profiliiiin muhafazasiyla tek parçahalinde yapilandirilmistir.Vakum tesisi, bir vakumlu kurutucu formunda yapilandirilmis olabilir.Vakum tesisi, bunun için, vakum haznesinin havasinin en azindan
kismen bosaltilmasi amaciyla bir pompa içerebilir. Ayrica, vakumtesisi bir isitici da içerebilir.Kaliptan çekme profili, korozyonu önlemek için, en azindan iç
tarafinda nikelle kaplanmis olabilir. Tercihen, toplam vakum haznesi,iç tarafinda nikelle kaplanmistir.Bulusun daha da tercih edilen yapilandirma seklinde, vakum tesisi, bir
plazma tesisi formunda yapilandirilmistir. Vakum tesisinin içerisinde,
bu durumda, en az bir plazma elektrotu düzenlenmis olabilir. Bir
plazma tesisi formunda vakum tesisi, ayrica, bir pompa, bir
havalandirma valfi, bir gaz akis ölçer, bir basinç göstergesi ve/veya biryüksek gerilim besleme birimi de içerebilir.
Ozetlemek gerekirse, bulusa uygun vakum tesisi kapsaminda bir
kaliptan çekme profilinin kullanimi içiii asagidaki varyantlardüsünülebilir:a) vakum haznesi bir hazne kaliptan çekme profili içerir;b) vakum tesisi bir muhafaza kaliptan çekme profili içerir.Hazne kaliptan çekme profili, muhafaza kaliptan çekme profiline
baglanmis olabilir. Örnegin, hazne kaliptan çekme profili, muhafaza
kaliptan çekme profiline kaynaklanmis ve/Veya Vidalanmis olabilir.
Buna alternatif olarak, hazne kaliptan çekme profili ve muhafaza
kaliptan çekme profili tek kisim halinde, yani tek parça halinde
yapilandirilmis olabilir. Bulusun diger özellikleri ve avantajlari, bulus
açisindan önemli detaylari gösteren çizimin Sekilleri yardimiyla,
bulusun birden fazla uygulama örneginin asagidaki detayli tarifinden
ve ayrica istemlerden elde edilir. Çizim içerisinde gösterilen
özellikler, bulusa uygun detaylar açikça görülebilecek sekildegösterilmistir.Burada:Sekil 1, bir plazma tesisi formunda bir vakum tesisinin bir perspektif
görünüsünü;Sekil 2, bir birinci hazne kaliptan çekme profilinin bir yukaridan
görünüsünü;Sekil 3, Sekil Z'ye göre birinci hazne kaliptan çekme profilinin bir
yukaridan görünüsünü göstermekte olup, burada birinci hazne kaliptan
çekme profili, bir birinci muhafaza kaliptan çekme profilindesabitlenmistir; ve
Sekil 4, bir ikinci muhafaza kaliptan çekme profiliyle tek parça
halinde yapilandirilmis bir ikinci hazne kaliptan çekine profilinin biryukaridan görünüsünügösterir.Sekil 1, bir vakum haznesine (12) sahip bir vakum tesisini (10)
gösterir. Vakum haznesi (12), mümkün oldugunca bir muhafaza (14)
tarafindan çevrelenmistir. Vakum haznesi (12), menteseler (18, 20)
vasitasiyla dönerek açilabilen ve kapatilabilen bir kapi (16) içerir.
Menteseler (18, 20), bir uçtan kapida (16) ve diger uçtan bir hazne
kaliptan çekme profilinde (22) (bkz. Sekil 2) sabitlenmistir. Kapinin
(16) hazne kaliptan çekme profilinde (22) kapatilmasi için, mandallar
(24, 26) öngörülmüstür. Mandallar (24, 26), bir uçtan hazne kaliptan
çekme profilinde (22) (bkz. Sekil 2) sabitlenmistir, ve kapi (16) kapali
oldugunda, diger uçtan, kapinin (16) uygun tutuculari içerisinekavrarlar.Vakum haznesi (12) yatay olarak düzenlenmistir, yani bir vakum
haznesi merkezi uzunlamasina ekseni (28), vakum tesisinin (10)isletim durumunda yatay yönde uzanir.Vakum tesisi (10), bir basinç göstergesi (30), bir zaman ayarlayici
(32), gaz akisi kumanda tesisatlari (34, 36) ve ayrica bir yüksek
gerilim kuinandasi (38) içerir. Basinç göstergesi (30), vakum
haznesinin (12) iç basincinin gösterilmesine yarar. Zaman ayarlayici
(32), bir proses zamaninin ayarlanmasi islevini görür. Gaz akisikumanda tesisatlari (34, 36) sayesinde, vakum haznesi (12)
içerisindeki gaz akisi ayarlanabilir ve kontrol edilebilir. Yüksek
gerilim kumandasi (38), vakum haznesi (12) içerisinde
(gösterilmeyen) bir plazma elektrotunun geriliminin beslenmesineyarar.Sekil 2, hazne kaliptan çekme profilini (22) gösterir. Hazne kaliptan
çekme profili (22), Sekil 2”de sadece noktali çizgilerle gösterilmis
olan vakuin haziiesi merkezi uzunlamasina ekseni (28) yönünde
düzgün olarak yapilandirilmistir. Ayrica, hazne kaliptan çekme profili
(22), bir vakum haznesi merkezi uzunlamasina düzlemine (40)
simetrik olarak yapilandirilmistir. Hazne kaliptan çekme profili (22)alüminyumdan yapilmistir.Hazne kaliptan çekme profili (22), dis tarafinda, bir birinci mentese
çikintisi (42) ve bir ikinci mentese çikintisi (44) içerir. Menteseler (18,
) (bkz. Sekil 1), mentese çikintilarina (42, 44) monte edilmistir.
Hazne kaliptan çekme profili (22), ayrica, birinci mandalin (24) (bkz.
Sekil 1) monte edilmis oldugu bir birinci mandal tutma çikintisi (46)
da içerir. Ikinci inandal (26) (bkz. Sekil 1), bir ikinci mandal tutma
çikintisinda (48) sabitlenmistir. Çikintilar (42, 44, 46, 48), kapinin
(16) (bkz. Sekil 1), hazne kaliptan çekme profilinde (22), dönebilecek
sekilde, konstrüktif açidan basit ve ayni zamanda çok sizdirmaz olarakdüzenlenmesini mümkün kilarlar.Hazne kaliptan çekme profilinin (22) sogutulmasi için, bu dis
tarafinda bir veya daha fazla sogutma kanadi (50, 52, 54) (Sekil 2”dekesik çizgilerle gösterilmistir) içerebilir.
Hazne kaliptan çekme profili (22), iç tarafinda, içlerine birer
(gösterilmeyen) plakanin geçirilebildigi birden fazla içeri itme oyugu
içerir. Kolay görülebilme açisindan, Sekil 2'de, sadece, bir birinci
içeri itme oyugu (56) ve bir ikinci içeri atma oyugu (58) bir referans
isaretle donatilmistir. Içeri itme oyuklari (56, 58), vakum haznesi
uzunlamasina düzlemine (40) simetrik olarak karsilikliyapilandirilmistir.Hazne kaliptan çekme profilinin (22) muhafazada (14) (bkz. Sekil 1)
sabitlenmesi için, hazne kaliptan çekme profili (22), sabitlemeçikintilari (60, 62) içerir.Sekil 3, sabitleme araçlari (64, 66) vasitasiyla bir muhafaza kaliptan
çekme profiline (68) monte edilmis olan hazne kaliptan çekme
profilini (22) gösterir. Muhafaza kaliptan çekme profili (68),
muhafazanin (14) bir kismini (bkz. Sekil 1) olusturur. Mevcut
durumda, sabitleme araçlari (64, 66), Vidalar formundayapilandirilmistir.Sekil 4, bir ikinci hazne kaliptan çekme profilini (70) ve ayrica bir
ikinci muhafaza kaliptan çekme profilini (72) göstermekte olup,
burada kaliptan çekme profilleri (70, 72), kaliptan çekme profillerinin
(22, 68) tersine (bkz. Sekil 3) tek parça halinde yapilandirilmistir. Busayede, bir vakum tesisi özellikle de verimli bir sekilde iinal edilebilir.Kisaca özetlemek gerekirse, bulus, 'Özellikle de bir plazma tesisi
formunda bir vakuin tesisiyle ilgilidir. Vakum tesisi, bir vakuinhaznesi içerir. Vakum haznesinin yan duvarlari, sürekli kapatilmis bir
hazne kaliptan çekme profili formunda yapilandirilmistir. Hazne
kaliptan çekme profilinin bir birinci alin tarafi tercihen bir plakayla
kapatilmistir. Hazne kaliptan çekme profilinin birinci alin tarafinin
karsisinda bulunan bir ikinci alin tarafi, tersinir açilabilen ve
kapatilabilen bir kapi içerir. Kapi en az bir inentese vasitasiyla
döndürülebilecek sekilde hazne kaliptan çekme profilinde
sabitlenmistir. Bunun için, hazne kaliptan çekme profili, dis tarafinda,
vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine paralel uzanan bir
mentese çikintisi içerinekte olup, bu mentese çikintisinda bir mentese
düzenlenmistir. Hazne kaliptan çekme profilinin uzunlamasina
ekseninin enine tamamen kapatilmis yan duvarlar, vakum haznesinin
basit ve ucuz bir imalatini mümkün kilarlar. Tercihen, vakum haznesi,
en azindan kismen ayni sekilde bir kaliptan çekme profili formundayapilandirilmis bir muhafaza içerisine, en azindan kismen alinmistir.
12TARIFNAME IÇERISINDE ATIF YAPILAN REFERANSLARBasvuru sahibi tarafindan atif yapilan referanslara iliskin bu liste,
yalnizca okuyucunun yardimi içindir ve Avrupa Patent Belgesinin bir
kismini olusturmaz. Her ne kadar referanslarin derlenmesine büyük
önem verilmis olsa da, hatalar veya eksiklikler engellenememektedirve EPO bu baglamda hiçbir sorumluluk kabul etmemektedir.Tarifname içerisinde atifta bulunulan patent dökümanlari:. US 6405423 B1 [0002] [0006]
Claims (8)
1. Vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine (28) paralel uzanan vakum haznesi (12) dis tarafinin tek parça halinde bir hazne kaliptan çekme profiliiiden (22, 70) yapilandirilmis oldugu, bir vakuin haznesiiie (12) sahip vakum tesisi (10) olup, karakterize edici merkezi uzunlamasina ekseniniii (28) enine tainaineii kapatilmis olarak yapilandirilmis olmasi ve alin tarafinda tersinir açilabilen ve kapatilabilen bir kapi içermesi, burada vakum haznesinin (12), bir alin tarafinda, dönerek açilabilen ve kapatilabilen bir kapi (16) içermesi, burada hazne kaliptan çekme profilinin (22, 70), bir dis tarafinda, vakum haznesi merkezi uzunlamasina ekseniiie (28) paralel uzanan bir mentese çikintisi (42, 44) içermesi, bu mentese çikintisinda, kapi (16) ile hazne kaliptan çekme profili (22, 70) arasiiida bir döner baglanti için bir mentesenin (18, 20) düzenlenmis olmasidir,
2. Istem lie uygun vakuin tesisi olup, burada hazne kaliptan çekme profili (22, 70), bir dis tarafinda, vakum haznesi merkezi uzuiilamasina eksenine (28) paralel uzanan bir inandal tutma çikintisi (46, 48) içerir, bu manda] tutma çikintisinda, kapinin (16) hazne kaliptan çekme profilinde (22, 70) kapatilmasi için bir manda] (24, 26) düzenlenmistir.
3. Oiiceki istemlerden birine uygun vakum tesisi olup, burada hazne kaliptan çekme profili (22, 70), bir dis tarafinda, vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine (28) paralel uzanan bir sogutma kanadi (50, 52, 54) içerir.
4. Önceki istemlerden birine uygun vakum tesisi olup, burada hazne kaliptan çekme profili (22, 70), bir dis tarafinda, vakum haznesinin (12) vakum tesisinin (10) bir muhafazasinda (14) sabitlenmesi için, vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine (28) paralel uzanan bir sabitleme çikintisi (60, 62) içerir.
5. Onceki istemlerden birine uygun vakum tesisi olup, burada hazne kaliptan çekme profili (22, 70), bir iç tarafinda, bir plakaiiin içeri itilinesi için, vakum haznesi merkezi uzunlamasina eksenine (28) paralel uzanan iki karsilikli içeri itnie oyugu (56, 58) içerir.
6. Onceki istemlerden birine uygun vakum tesisi olup, burada vakum tesisi (10), içerisine vakum haznesi (12) alinan bir muhafaza (14) içerir, burada muhafazanin (14) vakum haznesi merkezi uzunlamasina ekseniiie (28) paralel uzanan bir kismi, bir muhafaza kaliptan çekme profili (68, 72) formunda yapilandirilmistir.
7. l”den 6sya kadar olan istemlerdeii birine uygun vakum tesisi olup, burada vakum tesisi, bir vakumlu kurutucu formunda yapilandirilmistir.
8. l”den 6'ya kadar olan istenilerden birine uygun vakum tesisi olup, burada vakum tesisi (10), bir plazma tesisi formunda yapilandirilmistir.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102014213942.2A DE102014213942B4 (de) | 2014-07-17 | 2014-07-17 | Vakuumanlage, insbesondere Plasmaanlage, mit einem rundum geschlossenen Kammerstrangpressprofil |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TR201810324T4 true TR201810324T4 (tr) | 2018-08-27 |
Family
ID=53682673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TR2018/10324T TR201810324T4 (tr) | 2014-07-17 | 2015-07-13 | Tamamen kapatılmış bir hazne kalıptan çekme profiline sahip vakum tesisi, özellikle de plazma tesisi. |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10041730B2 (tr) |
| EP (1) | EP3170196B1 (tr) |
| CN (1) | CN106537551B (tr) |
| DE (1) | DE102014213942B4 (tr) |
| ES (1) | ES2670703T3 (tr) |
| TR (1) | TR201810324T4 (tr) |
| WO (1) | WO2016008844A1 (tr) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014213942B4 (de) * | 2014-07-17 | 2016-01-28 | Christof-Herbert Diener | Vakuumanlage, insbesondere Plasmaanlage, mit einem rundum geschlossenen Kammerstrangpressprofil |
| JP1562489S (tr) * | 2015-08-14 | 2016-11-07 | ||
| DE102018103949A1 (de) * | 2018-02-21 | 2019-08-22 | Christof-Herbert Diener | Niederdruckplasmakammer, Niederdruckplasmaanlage und Verfahren zur Herstellung einer Niederdruckplasmakammer |
| EP3564538B1 (de) * | 2019-02-20 | 2021-04-07 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumsystem und verfahren zur herstellung eines solchen |
| CN112414014A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-26 | 河南泓医药业有限公司 | 一种独一味粉（冻干）的生产装置及生产方法 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3795986A (en) * | 1971-12-13 | 1974-03-12 | Cenco Medical Health Supply Co | Modular compartment sublimator |
| SE450692B (sv) * | 1982-12-09 | 1987-07-20 | Rovac Technology Ab | Anordning for att mojliggora undertrycksbehandling i en behandlingskammare |
| US4526670A (en) * | 1983-05-20 | 1985-07-02 | Lfe Corporation | Automatically loadable multifaceted electrode with load lock mechanism |
| US5288218A (en) * | 1993-02-11 | 1994-02-22 | Mikron Industries | Extrusion calibrator |
| WO1996022496A1 (en) * | 1995-01-20 | 1996-07-25 | Freezedry Specialties, Inc. | Freeze dryer |
| US5746434A (en) * | 1996-07-09 | 1998-05-05 | Lam Research Corporation | Chamber interfacing O-rings and method for implementing same |
| US6182851B1 (en) * | 1998-09-10 | 2001-02-06 | Applied Materials Inc. | Vacuum processing chambers and method for producing |
| US6579579B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-06-17 | Alcan Technology & Management Ltd. | Container made of a light metal alloy and process for its manufacture |
| US20030045098A1 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for processing a wafer |
| US8648977B2 (en) * | 2004-06-02 | 2014-02-11 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for providing a floating seal having an isolated sealing surface for chamber doors |
| US8206075B2 (en) * | 2004-06-02 | 2012-06-26 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for sealing a chamber |
| WO2007127286A2 (en) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Medical Instill Technologies, Inc. | Needle penetrable and laser resealable lyophilization device and related method |
| KR100892781B1 (ko) * | 2007-02-12 | 2009-04-15 | 주식회사 휴먼메디텍 | 진공챔버용 도어 |
| DE102007021386A1 (de) * | 2007-05-04 | 2008-11-06 | Christof-Herbert Diener | Kurztaktniederdruckplasmaanlage |
| DE102007060515A1 (de) * | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Christof-Herbert Diener | Oberflächenbehandlungsverfahren |
| DE102009002337B4 (de) * | 2009-04-09 | 2013-07-11 | Christof-Herbert Diener | Indikator zur Überwachung eines Plasmas |
| WO2011099868A1 (en) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | Norsk Hydro Asa | Modular extrusion die |
| CN202673051U (zh) * | 2012-07-07 | 2013-01-16 | 东莞百进五金塑料有限公司 | 产品表面喷涂真空室活动支铰密封门 |
| US10281538B2 (en) * | 2012-09-05 | 2019-05-07 | General Electric Company | Warm bore cylinder assembly |
| CA2888741C (en) * | 2012-10-26 | 2022-01-04 | James J. Sanfilippo | Flexible package and method of making the same |
| US10207850B2 (en) * | 2012-10-26 | 2019-02-19 | Primapak, Llc. | Flexible package and method of making same |
| WO2014159696A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-10-02 | Stryker Corporation | Sterilization container capable of providing an indication regarding whether or not surgical instruments sterilized in the container were properly sterilized |
| DE102014213942B4 (de) * | 2014-07-17 | 2016-01-28 | Christof-Herbert Diener | Vakuumanlage, insbesondere Plasmaanlage, mit einem rundum geschlossenen Kammerstrangpressprofil |
-
2014
- 2014-07-17 DE DE102014213942.2A patent/DE102014213942B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-07-13 CN CN201580038540.1A patent/CN106537551B/zh active Active
- 2015-07-13 ES ES15739229.1T patent/ES2670703T3/es active Active
- 2015-07-13 EP EP15739229.1A patent/EP3170196B1/de active Active
- 2015-07-13 TR TR2018/10324T patent/TR201810324T4/tr unknown
- 2015-07-13 WO PCT/EP2015/065968 patent/WO2016008844A1/de active Application Filing
-
2017
- 2017-01-13 US US15/405,644 patent/US10041730B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106537551A (zh) | 2017-03-22 |
| US20170122663A1 (en) | 2017-05-04 |
| EP3170196A1 (de) | 2017-05-24 |
| EP3170196B1 (de) | 2018-05-02 |
| DE102014213942B4 (de) | 2016-01-28 |
| WO2016008844A1 (de) | 2016-01-21 |
| CN106537551B (zh) | 2018-05-08 |
| US10041730B2 (en) | 2018-08-07 |
| ES2670703T3 (es) | 2018-05-31 |
| DE102014213942A1 (de) | 2016-01-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TR201810324T4 (tr) | Tamamen kapatılmış bir hazne kalıptan çekme profiline sahip vakum tesisi, özellikle de plazma tesisi. | |
| EP2762815A2 (en) | A home appliance comprising a transfer element between a body and a door thereof | |
| CN105466778B (zh) | 一种适用于多环境真空测试的设备 | |
| ITTO20130710A1 (it) | Apparecchio di refrigerazione con passaggio per elemento tubolare flessibile tra armadio e porta | |
| KR20190068701A (ko) | 좁은 회전 반경을 갖는 접이식 여닫이 도어장치 | |
| CA3023517C (en) | Hinge mounted cabinet | |
| Bajpai et al. | Binding of DNA-bending non-histone proteins destabilizes regular 30-nm chromatin structure | |
| ES2310859T3 (es) | Sistema de apertura de movimiento dual para unidades expositoras. | |
| ES2551509T3 (es) | Sistema de transferencia de agua | |
| US10080446B2 (en) | Refrigerated sales furniture | |
| CN209463433U (zh) | 一种多功能钱箱 | |
| CN210886123U (zh) | 铝型材精密在线风冷淬火系统 | |
| KR101397430B1 (ko) | 가스유입조절수단이 구비된 세포배양 인큐베이터 | |
| JP2010227272A (ja) | 防曇鏡付き混合水栓装置 | |
| CN209413745U (zh) | 活动门组件 | |
| CN205858009U (zh) | 一种柜体暗铰链 | |
| CN208462247U (zh) | 散热水排 | |
| CN204346913U (zh) | 一种气室结构、气体检测箱及气体检测系统 | |
| CN111111797A (zh) | 一种内嵌环形水冷管的恒温水冷设备 | |
| US10123633B2 (en) | Refrigerated display case | |
| CN215626919U (zh) | 带温度控制紫外线消毒器 | |
| CN213883007U (zh) | 一种电热毛巾架 | |
| CN215668190U (zh) | 一种用于调节晶振探头角度的装置 | |
| CN216745184U (zh) | 真空烘箱 | |
| CN220454644U (zh) | 一种组合式防冻水表箱 |