KR100892781B1

KR100892781B1 - 진공챔버용 도어

Info

Publication number: KR100892781B1
Application number: KR1020070014230A
Authority: KR
Inventors: 고중석
Original assignee: 주식회사 휴먼메디텍
Priority date: 2007-02-12
Filing date: 2007-02-12
Publication date: 2009-04-15
Also published as: ES2466670T3; CN101642002A; EP2116113A1; JP2010518291A; WO2008100056A1; BRPI0807488A2; EP2116113B1; KR20080075279A; US20100090573A1; EP2116113A4

Abstract

본 발명은 진공챔버용 도어에 관한 것으로서, 챔버의 일측 개방부를 개폐시키는 도어가 챔버의 진공시 휨 하중에 따라 변형되는 것을 예방하여 챔버 내부의 진공이 확실하게 이루어지도록 함은 물론, 도어의 유지보수비용을 줄일 수 있는 진공챔버용 도어를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 일측에 개방부가 형성되는 챔버와; 상기 챔버를 지지하는 프레임의 일부로서 고정된 상태를 유지하고, 상기 챔버의 개방부와 연통되는 개방부가 형성된 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트의 일측에 설치된 힌지어세이에 그 일단이 회전가능하게 결합되는 가이드 플레이트와; 상기 가이드 플레이트의 내면이 그 외면에 일정간격만큼 이격이 가능하게 고정결합되어 상기 가이드 플레이트의 일측이 힌지어세이와의 결합부위를 기점으로 회전됨에 따라 상기 베이스플레이트 및 챔버의 개방부들을 개폐시키게 되는 도어를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

플라즈마, 챔버, 진공, 도어

Description

진공챔버용 도어{Door for vacuum chamber}

도 1은 종래의 플라즈마 멸균장치를 도시한 것으로서, 진공챔버와 도어의 결합관계를 나타낸 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 진공챔버와 도어의 결합관계를 나타낸 사시도.

도 3은 도 2의 A-A부 결합단면도.

도 4는 도 3의 분리단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 플라즈마 멸균장치

20 : 챔버 30 : 도어

32 : 요홈 34 : 체결홈

40 : 베이스플레이트 60 : 힌지어세이

70 : 가이드 플레이트 72 : 요홈

74 : 관통공 82 : 체결부재

84 : 가이드 부시 84a : 통공

84b : 제 1부재 84c : 제 2부재

90 : 탄성부재 92 : 공간부

본 발명은 진공챔버용 도어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도어가 구비되어 그 내부로 물품의 수납이 가능한 구성으로 이루어진 진공챔버에 있어서, 상기 진공챔버 내부를 진공시킬 경우에 도어가 휨 하중에 따라 변형되는 것을 예방하도록 한 진공챔버용 도어에 관한 것이다.

종래에는, 물질의 삼태인 고체, 액체, 기체 상태와 더불어 제4의 물질상태인 플라즈마를 이용하는 방법이 산업 전반에 걸쳐 널리 사용되고 있다.

예컨대, 일상생활에 널리 사용되고 있는 형광등, 네온사인 등을 비롯하여 반도체 및 평판표시장치 등의 제조 공정 중, 웨이퍼 또는 기판의 제조 공정에서는 건식 식각이나, 물리적 또는 화학적 기상 증착, 감광제 세정 및 기타 처리 등의 단위 공정에서 플라즈마를 이용한 방법이 널리 이용되고 있다.

또한, 의료기구와 같이 세균이 있어서는 안될 물품을 소독,멸균시키는데에도 플라즈마를 이용한 방법이 이용되고 있다.

본원발명 출원인은 과산화수소를 이용하여 의료기구 등의 피소독물을 멸균시키고, 사용된 과산화수소를 플라즈마를 이용하여 비독성물질로 분해시켜 배출시키는 플라즈마 멸균장치를 연구개발하여 다수의 특허를 출원하여 등록받은 바 있는데, 플라즈마 멸균장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공이 이루어지는 진공챔 버(20)가 구비되고, 이 챔버(20)내로 의료기구 등의 피소독물을 수납하기 위한 도어(30)가 일측에 설치된 구조로 이루어져 있다.

상기 챔버(20)는 일측만 개방되는 밀폐형으로 이루어지고, 개방된 일측에는 개폐가능한 도어(30)가 설치되어 있다.

상기 챔버(20)의 개방부에는 중앙이 개방된 베이스플레이트(40)가 설치되어 있으며, 상기 베이스플레이트(40)의 전면에는 이 베이스플레이트의 중앙 개방부를 개폐시키게 되는 도어(30)가 구비되는데, 상기 도어(30)의 일측은 베이스플레이트(40)의 일측에 대하여 힌지어세이(50)로 결합됨으로써, 상기 도어(30)가 베이스플레이트(40)에 대하여 힌지어세이(50)를 기점으로 회전되면서 개폐가 이루어지게 된다.

따라서, 상기 도어(30)를 힌지어세이(50)를 기점으로 회전시켜서 베이스플레이트(40)의 개방부 및 챔버(20)의 일측 개방부를 통해 멸균시키고자 하는 의료기구 등의 피소독물을 넣고 상기 도어(30)를 다시 힌지어세이(50)를 기점으로 회전시켜서 베이스플레이트(40)의 개방부 및 챔버(20)의 개방부를 밀폐시킨 후, 챔버(20)에 플라즈마를 발생시켜 멸균처리하면 된다.

여기서, 챔버(20)에 플라즈마를 발생시켜서 피소독물을 멸균시키기 위해서는 상기 챔버(20) 내부를 진공상태로 하여야 하는데, 챔버(20)의 진공에 따라 외부로부터의 대기압에 의해 도어(30)는 챔버(20) 안쪽으로 당겨지게 된다.

이와 같이, 챔버(20)의 진공시마다 도어(30)가 챔버(20)의 안쪽으로 당겨짐이 반복되면, 상기 도어(30)의 힌지어세이(50)가 하중에 의한 변형이 발생되고, 이 로 인하여 도어(30) 전체가 비틀어질 우려가 있게 된다.

즉, 도어(30)의 힌지어세이(50)가 도어(30)의 일측에만 설치됨으로 인하여 챔버(20)의 진공에 따라 도어(30)가 챔버(20)의 안쪽으로 당겨지게 되면, 상기 힌지어세이(50)에 응력이 집중되는 바, 힌지어세이(50)가 하중에 의한 변형이 발생되고, 이로 인한 도어(30)의 비틀림이 발생되면, 챔버(20)와 도어(30)의 밀폐가 완벽하게 이루어지지 않게 됨으로써, 결국 챔버(20)의 진공이 제대로 이루어지지 않게 되는 문제점이 있었다.

따라서, 도어(30)를 수시로 교체해야 하는 경우가 발생되어 유지보수비용이 증가되는 문제점도 가지고 있었다.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 챔버의 일측 개방부를 개폐시키는 도어가 챔버의 진공시 휨 하중에 따라 변형되는 것을 예방하여 챔버 내부의 진공이 확실하게 이루어지도록 함은 물론, 도어의 유지보수비용을 줄일 수 있는 진공챔버용 도어를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 진공챔버용 도어는, 일측에 개방부가 형성되는 챔버와; 상기 챔버를 지지하는 프레임의 일부로서 고정된 상태를 유지하고, 상기 챔버의 개방부와 연통되는 개방부가 형성된 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트의 일측에 설치된 힌지어세이에 그 일단이 회전가능하게 결합되는 가이드 플레이트와; 상기 가이드 플레이트의 내면이 그 외면에 일정간격만큼 이격이 가능하게 고정결합되어 상기 가이드 플레이트의 일측이 힌지어세이와의 결합부위를 기점으로 회전됨에 따라 상기 베이스플레이트 및 챔버의 개방부들을 개폐시키게 되는 도어를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

이 경우, 상기 도어에는 일정간격마다 일정깊이의 체결홈이 형성되고, 상기 가이드 플레이트에는 상기 체결홈과 대응하는 관통공이 형성되어서, 체결부재가 상기 관통공을 관통하여 그 끝단이 상기 체결홈에 체결됨으로써, 상기 도어와 가이드 플레이트를 결합시키는 것이 바람직하다.

또한, 상기 도어에서 가이드 플레이트와 맞닿게 되는 면에는 일정간격마다 요홈이 형성되고, 상기 가이드 플레이트에는 상기 도어의 요홈에 대응하는 요홈이 형성되어서, 상기 도어와 가이드 플레이트가 맞닿게 될 경우, 상기 요홈들에 의하여 일정크기의 공간부가 형성되는 것이 바람직하다.

이 경우, 상기 도어의 요홈은 체결홈의 둘레에 일정깊이만큼 형성되고, 상기 가이드 플레이트의 요홈은 관통공의 둘레에 일정깊이만큼 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 공간부에는 탄성부재가 개재되되, 상기 탄성부재의 일단은 도어의 요홈 내면에, 그 타단은 가이드 플레이트의 요홈 내면에 각각 고정되는 것이 바람직하며, 여기서 상기 탄성부재는 코일 스프링인 것을 적용하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 체결부재가 관통되기 위한 통공이 형성되는 것으로, 상기 가이드 플레이트의 관통공을 통과하여 상기 공간부 상을 일정간격만큼 슬라이드하게 되는 제 1부재와, 상기 가이드 플레이트의 관통공 직경보다 그 직경이 크게 형성되어서 상기 가이드 플레이트의 외면에 걸림되는 제 2부재로 이루어진 가이드 부시를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 가이드 부시는 체결부재의 끝단이 도어의 체결홈에 완전히 체결된 상태에서, 그 제 2부재가 가이드 플레이트의 외면에 대하여 일정간격만큼 유격(G)을 가지도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 가이드 플레이트의 강성을 증대시키고 가이드 부시를 안내하기 위한 통공을 갖는 블록이 상기 가이드 플레이트에 체결되도록 하는 것이 바람직하다.

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이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 진공챔버용 도어의 결합관계를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 A-A선 단면도이며, 도 4는 도 3의 분리단면도이다.

도시된 바와 같이, 플라즈마를 발생시키기 위하여 진공이 이루어지는 챔버(20)가 구비되고, 이 챔버(20)내로 의료기구 등의 피소독물을 수납하기 위한 도 어(30)가 챔버(20)의 일측에 설치되어 있다.

상기 챔버(20)는 일측의 개방부를 제외하고 밀폐형으로 이루어지고, 이 개방부를 개폐가능한 도어(30)가 설치되어 있다.

즉, 상기 챔버(20)의 개방부에는 중앙이 개방된 베이스플레이트(40)가 설치되어 있으며, 상기 베이스플레이트(40)의 전면에는 베이스플레이트(40)의 중앙 개방부를 개폐시키게 되는 도어(30)가 구비되어 있다.

상기 베이스플레이트(40)는 챔버(20)를 지지하는 프레임의 일부로서 고정된 상태를 유지하고 있으며, 이 베이스플레이트(40)의 일측에는 상기 도어(30)와 결합되는 가이드 플레이트(70)가 회전가능하게 결합되어 있다.

즉, 상기 베이스플레이트(40)의 일측에는 힌지어세이(60)가 설치되어 있고, 이 힌지어세이(60)에 가이드 플레이트(70)의 일측단이 회전가능하게 결합되어 있는데, 상기 가이드 플레이트(70)는 복수의 결합구조물(80)에 의해 도어와 결합된다.

한편, 상기 도어(30)의 외면에서 가이드 플레이트(70)가 맞닿게 되는 외면에는 일정간격마다 일정깊이만큼 요홈(32)이 형성되어 있고, 이 요홈(32)의 중앙에는 상기 요홈(32)보다 더 깊은 깊이로 체결홈(34)이 형성되어 있다.

또한, 상기 가이드 플레이트(70)에서 상기 도어(30)의 외면과 맞닿게 되는 내면에는 상기 도어(30)의 요홈(32)과 대응하는 요홈(72)이 일정깊이만큼 형성되어 있다.

따라서, 상기 가이드 플레이트(70)와 도어(30)를 맞댄 상태에서는 각 요 홈(32,72)들이 포개어져서 일정크기의 공간부(92)를 형성하게 된다.

그리고, 상기 가이드 플레이트(70)의 요홈(72) 중앙에는 후술되는 가이드 부시(84)와 체결부재(82)가 관통되기 위한 관통공(74)이 형성되어 있다.

상기 가이드 부시(84)는 대략 T자형, 즉 가이드 플레이트(70)의 관통공(74)을 관통하여 그 일부가 상기 공간부(92)에서 일정간격만큼 슬라이드 되는 제 1부재(84b)와, 상기 가이드 플레이트(70)의 관통공(74) 직경보다 그 직경이 크게 형성되어서 가이드 플레이트(70)의 외면에 걸림되는 제 2부재(84c)로 이루어져 있다.

이때, 상기 가이드 부시(84)에는 체결부재(82)가 관통되기 위한 통공(84a)이 형성되어 있는 바, 상기 체결부재(82)를 가이드 부시(84)의 통공(84a)을 통해 삽입한 후, 그 끝단을 도어(30)의 체결홈(34)에 체결하면 되는데, 이때 상기 체결부재(82)의 끝단이 도어(30)의 체결홈(34)에 완전히 체결된 상태에서 가이드 부시(84)의 제 2부재(84c)는 가이드 플레이트(70)의 외면에 대하여 일정간격만큼 이격되어 유격(G)을 가진 상태가 되도록 하며, 그 이유는 후술하기로 한다.

또한, 상기 도어(30)와 가이드 플레이트(70)의 요홈(32,72)들에 의해 형성된 공간부(92)에는 가이드 부시(84)의 제1부재(84b) 외면을 감싸는 형태로 탄성부재(90)가 설치되어 있는데, 상기 탄성부재(90)의 일단은 도어(30)의 요홈(32) 내면에, 그 타단은 가이드 플레이트(70)의 요홈(72) 내면에 각각 고정되어 있다.

상기 탄성부재(90)는 일정한 탄성을 갖는 것이면 종래에 공지된 어떠한 것이어도 무방하나, 코일 스프링을 적용하는 것이 가장 바람직하다.

한편, 상기 가이드 부시(84)를 감싸서 그 슬라이드를 안내하고, 가이드 플레 이트(70)의 보강성을 증대시키기 위한 블록(86)이 볼트에 의해 가이드 플레이트(70)에 설치되어 있다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 진공챔버용 도어의 작동관계를 정리해서 설명하면 다음과 같다.

도어(30)를 열어서 피소독물을 챔버(20)내에 인입시키고, 다시 도어(30)를 닫아 챔버(20)를 밀폐시킨 후, 챔버(20) 내부를 진공상태로 하여 플라즈마를 발생시킨다.

이때, 상기 도어(30)는 결합구조물(80)에 의해 결합된 가이드 플레이트(70)들이 베이스플레이트(40)의 일측에 고정설치된 힌지어세이(60)에 대하여 회전이 이루어짐으로써, 회전에 따른 개폐가 가능해진다.

상기 챔버(20)의 진공에 따라 외부의 대기압에 의해 도어(30)는 챔버(20) 안쪽으로 당겨지게 된다.

이 경우, 상기 도어(30)의 상하 양측 각 모서리 영역에 형성된 체결홈(34)에 체결부재(82)의 끝단이 체결되어 있는 바, 상기 도어(30)의 당겨짐에 따라 체결부재(82) 또한 안쪽으로 연동하여 이동하게 된다. 이때, 상기 도어(30)의 요홈(32)과 가이드 플레이트(70)의 요홈(72)에 의해 형성된 공간부(92)에 설치되어 있는 탄성부재(90)는 도어(30)의 당겨짐에 의해 인장되고, 동시에 체결부재(82)가 관통된 가이드 부시(84) 또한 일정간격만큼 안쪽으로 당겨지게 된다.

이때, 상기 가이드 부시(84)가 당겨지는 간격은, 앞서 설명한 바와 같이, 가이드 플레이트(70)와 가이드 부시(84)에서 제 2부재(84c) 사이에 형성되는 유격(G) 만큼이 최대가 된다.

즉, 도어(30)가 챔버(20) 내의 진공에 따른 대기압으로 인해 챔버(20) 안쪽으로 당겨질 때, 체결부재(82) 또한 연동하여 안쪽으로 당겨지게 됨으로써, 탄성부재(90)가 인장되면서 상기 체결부재(82)가 관통된 가이드 부시(84) 또한 안쪽으로 이동하여 당겨지게 되고, 이때 가이드 플레이트(70)는 고정된 위치를 유지하게 된다.

따라서, 상기 가이드 플레이트(70)와 베이스플레이트(40)에 고정설치된 힌지어세이(60)와의 결합부위에 큰 하중이 가해지지 않게 된다.

그리고, 상기 챔버(20)내부에 진공상태를 해제하여 다시 대기압상태로 하게 되면, 도어(30)는 탄성부재(90)의 복원력에 의해 다시 바깥쪽으로 밀려나오면서 가이드 플레이트(70)와 밀착되게 되며, 동시에 체결부재(82) 또한 가이드 부시(84)와 함께 바깥쪽으로 밀려나게 됨으로써, 상기 가이드 부시(84)의 제2부재(84c)는 다시 가이드 플레이트(70)와 일정간격만큼 벌어져 유격을 갖게 된다.

참고로, 본 발명의 실시 예에서 플라즈마 멸균장치에 적용되는 진공챔버를 일예로 들어 설명하였으나, 일측에 개폐를 위한 도어가 설치된 어떠한 구성의 진공챔버에도 본 발명을 적용할 수 있음은 물론이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 진공챔버용 도어에 의하면, 일측에 힌지 어세이에 의해 회전되는 개폐도어가 설치된 진공챔버에 있어서, 상기 도어의 상하 양측에는 도어와 일정간격만큼 이격이 가능하게 결합되는 가이드 플레이트들이 구비되고, 이 가이드 플레이트들의 일단을 고정된 힌지어세이에 대하여 회전가능하게 결합시킴은 물론, 상기 가이드 플레이트와 도어 사이에 탄성부재를 개재시킴으로써, 상기 진공챔버 내부를 진공상태로 할 때, 도어가 챔버 안쪽으로 당겨지더라도 가이드 플레이트는 고정된 상태를 유지하게 되어 힌지결합부위에 응력이 집중되지 않아 변형이 발생되지 않게 되는 효과가 있다.

즉, 상기와 같이 도어의 힌지결합부위가 응력집중에 의한 변형이 발생되지 않음으로써, 도어가 항상 챔버의 개방부를 일정하게 밀폐시키게 됨으로써, 확실한 진공에 따라 원활한 플라즈마 처리가 가능해지고, 도어를 지속적으로 유지보수할 필요가 없게 되어 결국 유지보수비용이 절감되는 효과가 있다.

Claims

일측에 개방부가 형성되는 챔버와;

상기 챔버를 지지하는 프레임의 일부로서 고정된 상태를 유지하고, 상기 챔버의 개방부와 연통되는 개방부가 형성된 베이스플레이트와;

상기 베이스플레이트의 일측에 설치된 힌지어세이에 그 일단이 회전가능하게 결합되는 가이드 플레이트와;

상기 가이드 플레이트의 내면이 그 외면에 일정간격만큼 이격이 가능하게 고정결합되어 상기 가이드 플레이트의 일측이 힌지어세이와의 결합부위를 기점으로 회전됨에 따라 상기 베이스플레이트 및 챔버의 개방부들을 개폐시키게 되는 도어를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 1항에 있어서,

상기 도어에는 일정간격마다 일정깊이의 체결홈이 형성되고, 상기 가이드 플레이트에는 상기 체결홈과 대응하는 관통공이 형성되어서, 체결부재가 상기 관통공을 관통하여 그 끝단이 상기 체결홈에 체결됨으로써, 상기 도어와 가이드 플레이트를 결합시키는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 2항에 있어서,

상기 도어에서 가이드 플레이트와 맞닿게 되는 면에는 일정간격마다 요홈이 형성되고, 상기 가이드 플레이트에는 상기 도어의 요홈에 대응하는 요홈이 형성되어서, 상기 도어와 가이드 플레이트가 맞닿게 될 경우, 상기 요홈들에 의하여 일정크기의 공간부가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 3항에 있어서,

상기 도어의 요홈은 체결홈의 둘레에 일정깊이만큼 형성되고, 상기 가이드 플레이트의 요홈은 관통공의 둘레에 일정깊이만큼 형성된 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 3항에 있어서,

상기 공간부에는 탄성부재가 개재되되, 상기 탄성부재의 일단은 도어의 요홈 내면에, 그 타단은 가이드 플레이트의 요홈 내면에 각각 고정되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 5항에 있어서,

상기 탄성부재는 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 3항에 있어서,

상기 체결부재가 관통되기 위한 통공이 형성되는 것으로, 상기 가이드 플레이트의 관통공을 통과하여 상기 공간부 상을 일정간격만큼 슬라이드하게 되는 제 1부재와, 상기 가이드 플레이트의 관통공 직경보다 그 직경이 크게 형성되어서 상기 가이드 플레이트의 외면에 걸림되는 제 2부재로 이루어진 가이드 부시를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 7항에 있어서,

상기 가이드 부시는 체결부재의 끝단이 도어의 체결홈에 완전히 체결된 상태에서, 그 제 2부재가 가이드 플레이트의 외면에 대하여 일정간격만큼 유격을 가지게 되는 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
제 7항에 있어서,

상기 가이드 플레이트의 강성을 증대시키고 가이드 부시를 안내하기 위한 통공을 갖는 블록이 상기 가이드 플레이트에 체결된 것을 특징으로 하는 진공챔버용 도어.
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