TH99394A - ระบบเพื่อการป้อนส่งไอน้ำ - Google Patents

Abstract

DC60 ระบบเพื่อการป้อนส่ง 10 สำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะ 12 เข้าไปในห้องเพื่อการดำเนิน กรรมวิธี 14 เพื่อเคลือบพื้นผิวของชิ้นงานขนาดใหญ่ ซึ่งลักษณะดังกล่าวนี้ทำให้เกิดคุณลักษณะ เฉพาะแก่ชิ้นงานดังกล่าว จะประกอบรวมด้วยภาชนะบรรจุสสารเฉพาะ 16 สำหรับการบรรจุสสาร เฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย 18 ของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการ ระเหย 20 สำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวนั้นระเหยอยู่ในภาชนะบรรจุดังกล่าว วิถีทางควบคุมการไหล 22, 24 สำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และวิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจ 28 สำหรับการวัดค่าอัตรา เทียบต่อเวลาของการระเหยของสสารเฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าการไหลของ สสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยซึ่งได้รับการป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธีดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการเฝ้าตรวจได้ ระบบเพื่อการป้อนส่ง 10 สำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะ 12 เข้าไปในห้องเพื่อการดำเนิน กรรมวิธี 14 เพื่อเคลือบพื้นผิวของชิ้นงานขนาดใหญ่ ซึ่งลักษณะดังกล่าวนี้ทำให้เกิดคุณลักษณะ เฉพาะแก่ชิ้นงานดังกล่าว จะประกอบรวมด้วยภาชนะบรรจุสสารเฉพาะ 16 สำหรับการบรรจุสสาร เฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย 18 ของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการ ระเหย 20 สำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวนั้นระเหยอยู่ในภาชนะบรรจุดังกล่าว วิถีทางควบคุมการไหล 22, 24 สำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และวิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจ 28 สำหรับการวัดค่าอัตรา เทียบต่อเวลาของการระเหบของสสารเฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าการไหลของ สสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยซึ่งได้รับการป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธีดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการเฝ้าตรวจได้

Claims (26)

1. ระบบเพื่อการป้อนส่งสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะเข้าไปในห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธี ที่ ซึ่งภายในห้องดังกล่าวนั้น ในการทำงานแล้วนั้น อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดงานขนาดใหญ่มากนั้นจะ ได้รับการกำหนดตำแหน่งไว้เพื่อให้มีหนึ่งคุณลักษณะหรือมากกว่าเกิดขึ้นอยู่บนพื้นผิว (ต่างๆ) ของ ชิ้นงานดังกล่าว ซึ่งระบบดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย ภาชนะบรรจุสสารเฉพาะสำหรับการบรรจุสสารเฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย สสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการระเหยสำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวนั้นระเหยอยู่ในภาชนะ บรรจุดังกล่าว วิถีทางควบคุมการไหลสำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และ วิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจสำหรับการวัดค่าอัตราเทียบต่อเวลาของการระเหยของสสารเฉพาะ จากภาชนะบรรจุดังกล่าวในลักษณะที่ว่าการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยวึ่งได้รับ การป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธีดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการเฝ้าตรวจได้

2. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นจะเป็น มอนอเมอร์ สำหรับใช้ในกรรมวิธีพลาสมา

3. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการระเหยดังกล่าวนั้นจะ ประกอบรวมด้วยวิถีทางเพื่อการให้ความร้อนสำหรับการให้ความร้อนแก่สสารเฉพาะที่เป็นของเหลว ในภาชนะบรรจุ

4. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมการ ไหลดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วยห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีซึ่งสสารเฉพาะที่อยู่ภายใน นั้นสามารถได้รับการทำให้ระเหยออกจากภาชนะบรรจุดังกล่าวและท่อปิดสำหรับการต่อเชื่อมของ ไหลแบบเลือกได้ระหว่างห้องเพื่อการระเหยดังกล่าวและห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี ใน ลักษณะที่ว่าสสารเฉพาะสามารถได้รับการป้องส่งแบบเลือกได้จากห้องเพื่อการระเหยไปยังห้องเพื่อ การดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว

5. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 4 ที่ซึ่งท่อปิดดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย วาล์วสำหรับการควบคุมการต่อเชื่อมของไหลแบบเลือกได้ระหว่างห้องดังกล่าวและห้องเพื่อการ ดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว

6. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมการ ไหลดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วยวิถีทางเพื่อการให้ความร้อนสำหรับการลดการควบแน่นของ สสารเฉพาะบนพื้นผิวภายในของสสารเฉพาะ

7. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการเฝ้า ตรวจดังกล่าวนั้นอาจจะประกอบรวมด้วยวิถีทางเพื่อการกำหนดน้ำหนักสำหรับการวัดค่าการ เปลี่ยนแปลงของน้ำหนักของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในภาชนะบรรจุดังกล่าวเทียบต่อเวลา

8. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 7 ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการกำหนดน้ำหนักดังกล่าวจะ ประกอบรวมด้วยเซลล์ภาระกรรมซึ่งได้รับการทำเป็นฉนวนความร้อนออกจากภาชนะบรรจุ

9. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 6 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจ ดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วยเซ็นเซอร์ระดับสำหรับการส่งสัญญาณระดับของสสารเฉพาะใน ภาชนะบรรจุดังกล่าว

10. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งจะประกอบรวมด้วย วิถีทางควบคุมซึ่งได้รับการประกอบสร้างให้สอดคล้องกับการสนองตอบลักษณะเฉพาะที่ได้รับการ กำหนดไว้ล่วงหน้าของสสารเฉพาะดังกล่าวเพื่อที่จะระเหยด้วยวิถีทางเพื่อการทำให้เกิดการระเหย ดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าอัตราการป้อนส่งของสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นสามารถได้รับการควบคุมอย่าง สอดคล้องกับกระบวนการตามกรรมวิธีพลาสมาตามที่ต้องการเพื่อที่จะได้รับการเพเนินการอยู่ภายใน ห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว

11. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 10 เมื่อข้อถือสิทธิข้อที่ 10 นั้นขึ้นอยู่กับข้อถือ สิทธิข้อที่ 4 หรือข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่งซึ่งขึ้นอยู่กับข้อือสิทธิข้อที่ 4 ที่ซึ่ง วิถีทางควบคุมดังกล่าวจะควบคุมการต่อเชื่อมของไหลระหว่างห้องเพื่อการถ่ายออกดังกล่าวและห้อง เพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าการป้อนส่งของสสารเฉพาะจากห้องเพื่อการ ถ่ายออกไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าวนั้นสามารถได้รับการควบคุม

12. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งจะประกอบรวมด้วย ท่อปิดเพื่อการจ่ายสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวแบบเลือกได้ไปยังภาชนะบรรจุ ดังกล่าว

13. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 12 เมื่อข้อถือสิทธิข้อที่ 12 นั้นขึ้นอยู่กับ ข้อถือสิทธิข้อที่ 10 หรือข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่งที่ขึ้นอยู่กับข้อถือสิทธิข้อที่ 10 ที่ซึ่ง วิถีทางควบคุมดังกล่าวนั้นสามารถควบคุมการจ่ายสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวไปยังภาชนะบรรจุ ดังกล่าว

14. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งจะประกอบรวมด้วย วิถีทางเปรียบเทียบสำหรับการเปรียบเทียบอัตราของการระเหยของสสารเฉพาะที่ได้รับการเฝ้าตรวจ จากภาชนะบรรจุดังกล่าวที่มีอัตราการระเหยที่มีลักษณะเฉพาะซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าแล้ว และการส่งสัญญาณที่เกี่ยวข้องกับความแตกระหว่างอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจดังกล่าวและอัตรา คุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดล่วงหน้าดังกล่าว

15. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมดังกล่าวนั้นจะสนองตอบ ต่อสัญญาณดังกล่าวซึ่งได้รับการส่งจากวิถีทางเปรียบเทียบดังกล่าวและสามารถควบคุมการกระตุ้น วิถีทางเพื่อการระเหยดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจนั้นจะได้รับการปรับแก้เพื่อ ยืนยันกับอัตราคุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าว

16. วิถีการของการป้องส่งสสารเฉพาะไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามวิธี ซึ่งวิธีการนั้น จะประกอบรวมด้วย การป้อนส่งสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวจากแหล่งของสสารเฉพาะไปยังภาชนะบรรจุ การทำให้เกิดการระเหยของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวออกไปจากภาชนะบรรจุดังกล่าว การควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยไปยังห้องเพื่อการดำเนินการ ตามกรรมวิธี และ การเฝ้าตรวจอัตราเทียบต่อเวลาของการระเหยสารสสารเฉพาะออกจากภาชนะบรรจุดังกล่าวใน ลักษณะที่ว่าการไหลที่ได้รับการวัดค่าของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยนั้นสามารถได้รับการ ป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว

17. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 หรือ 17 ที่ซึ่งสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นเป็นมอนอเมอร์สำหรับการใช้ใน กรรมวิธีพลาสมา

18. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 หรือ 17 ที่ซึ่งสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวดังกล่าวนั้นจะ ได้รับการทำให้ระเหยออกจากภาชนะบรรจุดังกล่าวได้ด้วยการให้ความร้อนแก่สสารเฉพาะดังกล่าว

19. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นจะได้รับ การป้อนส่งแบบเลือกได้ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าวเมื่อสสารเฉพาะนั้นได้รับ การกำหนดความต้องการในห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าวสำหรับการดำเนินการตาม กรรมวิธี

20. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการระเหยของสสารเฉพาะจะได้รับ การเฝ้าตรวจด้วยการวัดค่าการเปลี่ยนแปลงน้ำหนักของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในภาชนะบรรจุ ดังกล่าวเทียบต่อเวลา

21. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 20 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการระเหยของสสารเฉพาะจะได้รับ การเฝ้าตรวจด้วยการวัดค่าการเปลี่ยนแปลงระดับของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในภาชนะบรรจุ ดังกล่าวเทียบต่อเวลา

22. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งความร้อนจะได้รับการป้อนส่งไปยัง สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวดังกล่าวในลักษณะที่สอดคล้องกับการสนองตอบคุณลักษณะเฉพาะที่ ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าของสสารเฉพาะดังกล่าวเพื่อป้อนส่งความร้อนในลักษณะที่ว่าอัตราของ การป้อนส่งของสสารเฉพาะดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการควบคุมอย่างสอดคล้องกับกระบวนการ ตามกรรมวิธีพลาสมาที่ต้องการเพื่อที่จะดำเนินการในห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว

23. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 22 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจของการ ระเหยของสสารเฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าวจะได้รับการนำมาเปรียบเทียบกับอัตราคุณลักษณะ เฉพาะที่กำหนดไว้ล่วงหน้าของการระเหยในลักษณะที่ว่าความแตกต่างระหว่างอัตราที่ได้รับการเฝ้า ตรวจดังกล่าวและอัตราคุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าวนั้น สามารถได้รับ การคำนวณค่าได้

24. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 23 ที่ซึ่งการระเหยของสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นจะได้รับการ ควบคุมอย่างสอดคล้องกับความแตกต่างดังกล่าวระหว่างอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจดังกล่าวและอัตรา คุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าว และได้รับการปรับแก้ในลักษณะที่ว่าอัตรา ที่ได้รับการเฝ้าตรวจดังกล่าวนั้นจะยืนยันได้ด้วยอัตราคุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ ล่วงหน้าดังกล่าว

25. เครื่องมือสำหรับกรรมวิธีพลาสมาของพื้นผิวของชิ้นงาน ซึ่งเครื่องมือนั้นจะประกอบรวม ด้วย ห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีที่ซึ่งได้รับการจัดวางไว้ด้วยชิ้นงานอยู่ภายใน ระบบเพื่อการป้อนส่งสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตาม กรรมวิธีสำหรับการก่อรูปพลาสมาในห้องดังกล่าว วิถีทางสำหรับการสร้างไฟฟ้าภายในของห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีสำหรับการ สร้างพลาสมาเมื่อสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นได้รับการป้องส่งเข้าไปในภายในลักษณะที่ว่าพื้นผิวของ ชิ้นงานดังกล่าวนั้นสามารถได้รับการดำเนินการตามกรรมวิธีได้ และ วิธีทางควบคุมความดันสำหรับการควบคุมดันแบบเลือกได้ในห้องเพื่อการดำเนินการตาม กรรมวิธี ที่ซึ่งระบบเพื่อการป้อนส่งดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย ภาชนะบรรจุสสารเฉพาะสำหรับการบรรจุสสารเฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย ของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการระเหยสำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในห้องดังกล่าวสามารถ ระเหยไดด้ วิถีทางควบคุมการไหลสำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และ วิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจสำหรับการเฝ้าตรวจอัตราเทียบต่อเวลาของการระเหยของสสาร เฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าวในลักษณะที่ว่าการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการเฝ้าตรวจได้

26. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 25 ที่ซึ่งระบบเพื่อการป้อนส่งดังกล่าวนั้นมีลักษณะตามข้อถือ สิทธิข้อที่ 1 ถึง 15 ข้อใดข้อหนึ่ง