TH99394B - ระบบเพื่อการป้อนส่งไอน้ำ - Google Patents
ระบบเพื่อการป้อนส่งไอน้ำInfo
- Publication number
- TH99394B TH99394B TH801004946A TH0801004946A TH99394B TH 99394 B TH99394 B TH 99394B TH 801004946 A TH801004946 A TH 801004946A TH 0801004946 A TH0801004946 A TH 0801004946A TH 99394 B TH99394 B TH 99394B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- specific
- matter
- evaporation
- fed
- flow
- Prior art date
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract 3
- 230000037361 pathway Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract 1
Abstract
ระบบเพื่อการป้อนส่ง 10 สำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะ 12 เข้าไปในห้องเพื่อการดำเนิน กรรมวิธี 14 เพื่อเคลือบพื้นผิวของชิ้นงานขนาดใหญ่ ซึ่งลักษณะดังกล่าวนี้ทำให้เกิดคุณลักษณะ เฉพาะแก่ชิ้นงานดังกล่าว จะประกอบรวมด้วยภาชนะบรรจุสสารเฉพาะ 16 สำหรับการบรรจุสสาร เฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย 18 ของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการ ระเหย 20 สำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวนั้นระเหยอยู่ในภาชนะบรรจุดังกล่าว วิถีทางควบคุมการไหล 22, 24 สำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และวิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจ 28 สำหรับการวัดค่าอัตรา เทียบต่อเวลาของการระเหบของสสารเฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าการไหลของ สสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยซึ่งได้รับการป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธีดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการเฝ้าตรวจได้
Claims (1)
1. ระบบเพื่อการป้อนส่งสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะเข้าไปในห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธี ที่ ซึ่งภายในห้องดังกล่าวนั้น ในการทำงานแล้วนั้น อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดงานขนาดใหญ่มากนั้นจะ ได้รับการกำหนดตำแหน่งไว้เพื่อให้มีหนึ่งคุณลักษณะหรือมากกว่าเกิดขึ้นอยู่บนพื้นผิว (ต่างๆ) ของ ชิ้นงานดังกล่าว ซึ่งระบบดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย ภาชนะบรรจุสสารเฉพาะสำหรับการบรรจุสสารเฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย สสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการระเหยสำหรับการทำให้สสารเ
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH99394B true TH99394B (th) | 2009-12-09 |
| TH99394A TH99394A (th) | 2009-12-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2010126902A4 (en) | Temperature control of chemical mechanical polishing | |
| FI3188836T3 (fi) | DNA:n synteesi | |
| WO2007062114A3 (en) | Apparatus and method for agitating liquids in wet chemical processing of microfeature workpieces | |
| CN105080750A (zh) | 用于给物体涂装的涂装系统 | |
| BR112017000419A2 (pt) | sistemas de distribuição de gás e de soldadura e processo para soldar peça de trabalho | |
| US8114249B2 (en) | Method and apparatus for monitoring an evaporator | |
| JP2015092538A5 (th) | ||
| ATE545907T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum reinigen von gegenständen | |
| US10111973B2 (en) | Method and system for cleaning and sanitizing convey lines | |
| MX2010003142A (es) | Sistema de suministro de vapor. | |
| JP2018501491A5 (th) | ||
| JP7367075B2 (ja) | 殺菌装置を駆動操作する方法 | |
| Criscuoli et al. | Study of the performance of a membrane-based vacuum drying process | |
| TW200625387A (en) | System for cleaning a surface using cryogenic aerosol and fluid reactant | |
| CN102372099B (zh) | 容器灭菌设备 | |
| GB2223678A (en) | Automated supply and control of sterilizing vapour | |
| ATE424746T1 (de) | Anlage zur behandlung eines objekts mit dampf | |
| TW200732507A (en) | Apparatus and method for agitating liquids in wet chemical processing of microfeature workpieces | |
| WO2017121724A8 (en) | Apparatus and process for the automated chemical synthesis of compounds | |
| JP2021503926A (ja) | 低温殺菌装置及び低温殺菌装置を作動する方法 | |
| WO2017101894A1 (de) | Verfahren zur verarbeitung eines klebstoffes und eine entsprechende vorrichtung | |
| TW200713446A (en) | Liquid material feeding apparatus and control method for the liquid material feeding apparatus | |
| CN112791220B (zh) | 一种采用化学接触法进行微生物与病菌灭杀的系统及方法 | |
| TH99491A (th) | ระบบเพื่อการป้อนส่งไอน้ำ | |
| Duan et al. | A highly efficient and selective polysilsesquioxane sorbent for heavy metal removal |