TH99394B - Systems for feeding steam - Google Patents

Systems for feeding steam

Info

Publication number
TH99394B
TH99394B TH801004946A TH0801004946A TH99394B TH 99394 B TH99394 B TH 99394B TH 801004946 A TH801004946 A TH 801004946A TH 0801004946 A TH0801004946 A TH 0801004946A TH 99394 B TH99394 B TH 99394B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
specific
matter
evaporation
fed
flow
Prior art date
Application number
TH801004946A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH99394A (en
Inventor
นาย เฟรดฮอพเพอร์ นาย ชาร์ลส์ เอ็ดมันด์คิง นายสตีเฟน ริชาร์ด คูลสัน
Original Assignee
พี2ไอ แอลทีดี พี2ไอ แอลทีดี
Filing date
Publication date
Application filed by พี2ไอ แอลทีดี พี2ไอ แอลทีดี filed Critical พี2ไอ แอลทีดี พี2ไอ แอลทีดี
Publication of TH99394B publication Critical patent/TH99394B/en
Publication of TH99394A publication Critical patent/TH99394A/en

Links

Abstract

ระบบเพื่อการป้อนส่ง 10 สำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะ 12 เข้าไปในห้องเพื่อการดำเนิน กรรมวิธี 14 เพื่อเคลือบพื้นผิวของชิ้นงานขนาดใหญ่ ซึ่งลักษณะดังกล่าวนี้ทำให้เกิดคุณลักษณะ เฉพาะแก่ชิ้นงานดังกล่าว จะประกอบรวมด้วยภาชนะบรรจุสสารเฉพาะ 16 สำหรับการบรรจุสสาร เฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย 18 ของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการ ระเหย 20 สำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวนั้นระเหยอยู่ในภาชนะบรรจุดังกล่าว วิถีทางควบคุมการไหล 22, 24 สำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และวิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจ 28 สำหรับการวัดค่าอัตรา เทียบต่อเวลาของการระเหบของสสารเฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าการไหลของ สสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยซึ่งได้รับการป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธีดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการเฝ้าตรวจได้ Infeed system 10 for specific material feeding 12 into the processing chamber 14 to coat the surface of large workpieces Which these characteristics give rise to Only for such workpieces It consists of 16 specialized containers of matter for containing matter Specific, it is fed from a supply of 18 liquid specific matter. Pathways for Evaporation 20 For evaporation of specific liquid matter in the container. Flow control paths 22, 24 for controlling the flow of specific evaporated matter. To the room for processing the process And monitoring methods 28 for rate measurement Compared to the time of the dispersing of a particular substance from such a container. In such a way that the flow of The specific evaporation material that is fed to the chamber for the treatment of this process. Can be monitored

Claims (1)

1. ระบบเพื่อการป้อนส่งสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะเข้าไปในห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธี ที่ ซึ่งภายในห้องดังกล่าวนั้น ในการทำงานแล้วนั้น อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดงานขนาดใหญ่มากนั้นจะ ได้รับการกำหนดตำแหน่งไว้เพื่อให้มีหนึ่งคุณลักษณะหรือมากกว่าเกิดขึ้นอยู่บนพื้นผิว (ต่างๆ) ของ ชิ้นงานดังกล่าว ซึ่งระบบดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย ภาชนะบรรจุสสารเฉพาะสำหรับการบรรจุสสารเฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย สสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการระเหยสำหรับการทำให้สสารเ1. Infeed system for the entry of a specific substance into a chamber for processing where inside the chamber is In the work then At least one very large job type will It is positioned so that one or more characteristics occur on the surface (different) of the workpiece. Which the system will include Dedicated substance container for containing specific matter, which is fed from supply. Liquid specific matter Evaporation pathways for evaporation
TH801004946A 2008-09-25 Systems for feeding steam TH99394A (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH99394B true TH99394B (en) 2009-12-09
TH99394A TH99394A (en) 2009-12-09

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2010126902A4 (en) Temperature control of chemical mechanical polishing
FI3188836T3 (en) Synthesis of dna
WO2007062114A3 (en) Apparatus and method for agitating liquids in wet chemical processing of microfeature workpieces
CN105080750A (en) Coating system for coating objects
BR112017000419A2 (en) gas distribution and welding systems and workpiece welding process
US8114249B2 (en) Method and apparatus for monitoring an evaporator
JP2015092538A5 (en)
ATE545907T1 (en) APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING OBJECTS
US10111973B2 (en) Method and system for cleaning and sanitizing convey lines
MX2010003142A (en) Vapour delivery system.
JP2018501491A5 (en)
JP7367075B2 (en) How to drive and operate a sterilizer
Criscuoli et al. Study of the performance of a membrane-based vacuum drying process
TW200625387A (en) System for cleaning a surface using cryogenic aerosol and fluid reactant
CN102372099B (en) container sterilizing device
GB2223678A (en) Automated supply and control of sterilizing vapour
ATE424746T1 (en) SYSTEM FOR TREATING AN OBJECT WITH STEAM
TW200732507A (en) Apparatus and method for agitating liquids in wet chemical processing of microfeature workpieces
WO2017121724A8 (en) Apparatus and process for the automated chemical synthesis of compounds
JP2021503926A (en) How to operate a pasteurizer and pasteurizer
WO2017101894A1 (en) Process for processing an adhesive and a device therefor
TW200713446A (en) Liquid material feeding apparatus and control method for the liquid material feeding apparatus
CN112791220B (en) System and method for killing microorganisms and germs by chemical contact method
TH99491A (en) Systems for feeding steam
Duan et al. A highly efficient and selective polysilsesquioxane sorbent for heavy metal removal