Claims (26)
1. ระบบเพื่อการป้อนส่งสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะเข้าไปในห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธี ที่ ซึ่งภายในห้องดังกล่าวนั้น ในการทำงานแล้วนั้น อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดงานขนาดใหญ่มากนั้นจะ ได้รับการกำหนดตำแหน่งไว้เพื่อให้มีหนึ่งคุณลักษณะหรือมากกว่าเกิดขึ้นอยู่บนพื้นผิว (ต่างๆ) ของ ชิ้นงานดังกล่าว ซึ่งระบบดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย ภาชนะบรรจุสสารเฉพาะสำหรับการบรรจุสสารเฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย สสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการระเหยสำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวนั้นระเหยอยู่ในภาชนะ บรรจุดังกล่าว วิถีทางควบคุมการไหลสำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และ วิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจสำหรับการวัดค่าอัตราเทียบต่อเวลาของการระเหยของสสารเฉพาะ จากภาชนะบรรจุดังกล่าวในลักษณะที่ว่าการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยวึ่งได้รับ การป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินกรรมวิธีดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการเฝ้าตรวจได้1. A delivery system for feeding specific substances into a processing chamber, within which at least one large-scale workpiece is positioned to achieve one or more properties on its surface. This system comprises a substance container for holding the substance fed from a liquid substance source, an evaporation pathway for evaporating the liquid substance within the container, a flow control pathway for regulating the flow of the evaporated substance to the processing chamber, and a monitoring pathway for measuring the evaporation rate of the substance from the container so that the flow of the evaporated substance fed into the processing chamber can be monitored.
2. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นจะเป็น มอนอเมอร์ สำหรับใช้ในกรรมวิธีพลาสมา2. A delivery system pursuant to claim 1, in which the specific substance shall be a monomer for use in a plasma process.
3. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการระเหยดังกล่าวนั้นจะ ประกอบรวมด้วยวิถีทางเพื่อการให้ความร้อนสำหรับการให้ความร้อนแก่สสารเฉพาะที่เป็นของเหลว ในภาชนะบรรจุ3. A delivery system as per claim 1 or 2, whereby such evaporation pathway shall include a heating pathway for heating a specific liquid substance in a container.
4. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมการ ไหลดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วยห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีซึ่งสสารเฉพาะที่อยู่ภายใน นั้นสามารถได้รับการทำให้ระเหยออกจากภาชนะบรรจุดังกล่าวและท่อปิดสำหรับการต่อเชื่อมของ ไหลแบบเลือกได้ระหว่างห้องเพื่อการระเหยดังกล่าวและห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี ใน ลักษณะที่ว่าสสารเฉพาะสามารถได้รับการป้องส่งแบบเลือกได้จากห้องเพื่อการระเหยไปยังห้องเพื่อ การดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว4. A system for supplying one of the aforementioned claims in which such flow control pathway shall include a processing chamber in which the specific substance contained therein can be evaporated from such container and a closed pipe for selective fluid connection between such evaporation chamber and the processing chamber in such a way that the specific substance can be selectively delivered from the evaporation chamber to the processing chamber.
5. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 4 ที่ซึ่งท่อปิดดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย วาล์วสำหรับการควบคุมการต่อเชื่อมของไหลแบบเลือกได้ระหว่างห้องดังกล่าวและห้องเพื่อการ ดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว5. The system for supplying fluids as per claim 4, where such closed pipe shall include valves for selective fluid connection control between the said chamber and the chamber for the said procedure.
6. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมการ ไหลดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วยวิถีทางเพื่อการให้ความร้อนสำหรับการลดการควบแน่นของ สสารเฉพาะบนพื้นผิวภายในของสสารเฉพาะ6. A system for supplying one of the aforementioned claims where such flow control pathway includes a heating pathway for reducing condensation of a specific substance on the inner surface of that substance.
7. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการเฝ้า ตรวจดังกล่าวนั้นอาจจะประกอบรวมด้วยวิถีทางเพื่อการกำหนดน้ำหนักสำหรับการวัดค่าการ เปลี่ยนแปลงของน้ำหนักของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในภาชนะบรรจุดังกล่าวเทียบต่อเวลา7. A system for delivering under one of the aforementioned claims, where such monitoring method may include a method for determining the weight for measuring the change in weight of a specific liquid substance in such container over time.
8. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 7 ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการกำหนดน้ำหนักดังกล่าวจะ ประกอบรวมด้วยเซลล์ภาระกรรมซึ่งได้รับการทำเป็นฉนวนความร้อนออกจากภาชนะบรรจุ8. The system for feeding under claim number 7, whereby the method for determining the weight shall consist of a load cell which is thermally insulated from the container.
9. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 6 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งวิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจ ดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วยเซ็นเซอร์ระดับสำหรับการส่งสัญญาณระดับของสสารเฉพาะใน ภาชนะบรรจุดังกล่าว9. A system for transmitting information pursuant to any one of claims 1 through 6, whereby such monitoring method shall include a level sensor for transmitting the level signal of a specific substance in such container.
10. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งจะประกอบรวมด้วย วิถีทางควบคุมซึ่งได้รับการประกอบสร้างให้สอดคล้องกับการสนองตอบลักษณะเฉพาะที่ได้รับการ กำหนดไว้ล่วงหน้าของสสารเฉพาะดังกล่าวเพื่อที่จะระเหยด้วยวิถีทางเพื่อการทำให้เกิดการระเหย ดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าอัตราการป้อนส่งของสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นสามารถได้รับการควบคุมอย่าง สอดคล้องกับกระบวนการตามกรรมวิธีพลาสมาตามที่ต้องการเพื่อที่จะได้รับการเพเนินการอยู่ภายใน ห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว10. A delivery system under one of the aforementioned claims shall include a control pathway constructed to respond to the predetermined characteristics of the specific substance to be vaporized by such pathway, in such a way that the delivery rate of the specific substance can be controlled in accordance with the desired plasma process to be performed within the processing chamber.
11. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 10 เมื่อข้อถือสิทธิข้อที่ 10 นั้นขึ้นอยู่กับข้อถือ สิทธิข้อที่ 4 หรือข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่งซึ่งขึ้นอยู่กับข้อือสิทธิข้อที่ 4 ที่ซึ่ง วิถีทางควบคุมดังกล่าวจะควบคุมการต่อเชื่อมของไหลระหว่างห้องเพื่อการถ่ายออกดังกล่าวและห้อง เพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าการป้อนส่งของสสารเฉพาะจากห้องเพื่อการ ถ่ายออกไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าวนั้นสามารถได้รับการควบคุม11. A system for the supply and delivery pursuant to claim 10, where claim 10 is dependent on claim 4, or any one of the aforementioned claims is dependent on claim 4, in which such control pathway shall regulate the fluid connection between the discharge chamber and the processing chamber in such a way that the supply and delivery of specific substances from the discharge chamber to the processing chamber can be controlled.
12. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งจะประกอบรวมด้วย ท่อปิดเพื่อการจ่ายสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวแบบเลือกได้ไปยังภาชนะบรรจุ ดังกล่าว12. A delivery system pursuant to one of the aforementioned claims, which shall include a closed supply pipe for the selective delivery of a specific liquid substance to such container.
13. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 12 เมื่อข้อถือสิทธิข้อที่ 12 นั้นขึ้นอยู่กับ ข้อถือสิทธิข้อที่ 10 หรือข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่งที่ขึ้นอยู่กับข้อถือสิทธิข้อที่ 10 ที่ซึ่ง วิถีทางควบคุมดังกล่าวนั้นสามารถควบคุมการจ่ายสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวไปยังภาชนะบรรจุ ดังกล่าว13. A system for supplying according to claim 12, where claim 12 is dependent on claim 10, or any one of the aforementioned claims is dependent on claim 10, in which case such control pathway can control the dispensing of a specific liquid substance to the said container.
14. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งจะประกอบรวมด้วย วิถีทางเปรียบเทียบสำหรับการเปรียบเทียบอัตราของการระเหยของสสารเฉพาะที่ได้รับการเฝ้าตรวจ จากภาชนะบรรจุดังกล่าวที่มีอัตราการระเหยที่มีลักษณะเฉพาะซึ่งได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าแล้ว และการส่งสัญญาณที่เกี่ยวข้องกับความแตกระหว่างอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจดังกล่าวและอัตรา คุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดล่วงหน้าดังกล่าว14. A system for providing input under one of the foregoing claims, which shall include a comparative pathway for comparing the evaporation rate of the monitored substance from such container with a predetermined characteristic evaporation rate, and the signaling relating to the discrepancy between such monitored rate and such predetermined characteristic rate.
15. ระบบเพื่อการป้อนส่งตามข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมดังกล่าวนั้นจะสนองตอบ ต่อสัญญาณดังกล่าวซึ่งได้รับการส่งจากวิถีทางเปรียบเทียบดังกล่าวและสามารถควบคุมการกระตุ้น วิถีทางเพื่อการระเหยดังกล่าว ในลักษณะที่ว่าอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจนั้นจะได้รับการปรับแก้เพื่อ ยืนยันกับอัตราคุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าว15. A system for inputting under claim 14 in which such control pathway responds to such signals received from such comparative pathway and can control the activation of such evaporation pathway in such a way that the monitored rate is adjusted to confirm the predetermined characteristic rate.
16. วิถีการของการป้องส่งสสารเฉพาะไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามวิธี ซึ่งวิธีการนั้น จะประกอบรวมด้วย การป้อนส่งสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวจากแหล่งของสสารเฉพาะไปยังภาชนะบรรจุ การทำให้เกิดการระเหยของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวออกไปจากภาชนะบรรจุดังกล่าว การควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยไปยังห้องเพื่อการดำเนินการ ตามกรรมวิธี และ การเฝ้าตรวจอัตราเทียบต่อเวลาของการระเหยสารสสารเฉพาะออกจากภาชนะบรรจุดังกล่าวใน ลักษณะที่ว่าการไหลที่ได้รับการวัดค่าของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหยนั้นสามารถได้รับการ ป้อนส่งไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว16. The method of delivering the specific substance to the processing chamber includes: feeding the liquid specific substance from its source into the container; causing the liquid specific substance to evaporate from the container; controlling the flow of the evaporated specific substance to the processing chamber; and monitoring the rate of evaporation of the specific substance from the container in such a way that the measured flow of the evaporated specific substance can be fed to the processing chamber.
17. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 หรือ 17 ที่ซึ่งสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นเป็นมอนอเมอร์สำหรับการใช้ใน กรรมวิธีพลาสมา17. The method pursuant to claim 16 or 17 where such specific substance is a monomer for use in plasma processes.
18. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 หรือ 17 ที่ซึ่งสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวดังกล่าวนั้นจะ ได้รับการทำให้ระเหยออกจากภาชนะบรรจุดังกล่าวได้ด้วยการให้ความร้อนแก่สสารเฉพาะดังกล่าว18. The method under claim 16 or 17 in which the specific liquid substance is vaporized from the container by heating the substance.
19. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ได้กล่าวข้างต้นข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นจะได้รับ การป้อนส่งแบบเลือกได้ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าวเมื่อสสารเฉพาะนั้นได้รับ การกำหนดความต้องการในห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าวสำหรับการดำเนินการตาม กรรมวิธี19. Any of the methods under the foregoing claims shall allow the specific substance to be selectively fed into the processing chamber once the specific substance is required in the processing chamber for the processing procedure.
20. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการระเหยของสสารเฉพาะจะได้รับ การเฝ้าตรวจด้วยการวัดค่าการเปลี่ยนแปลงน้ำหนักของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในภาชนะบรรจุ ดังกล่าวเทียบต่อเวลา20. Any of the methods under claims 16 through 19 in which the evaporation of a specific substance is monitored by measuring the weight change of the specific substance as a liquid in the said container over time.
21. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 20 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการระเหยของสสารเฉพาะจะได้รับ การเฝ้าตรวจด้วยการวัดค่าการเปลี่ยนแปลงระดับของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในภาชนะบรรจุ ดังกล่าวเทียบต่อเวลา21. Any of the methods under claims 16 through 20 in which the evaporation of a specific substance is monitored by measuring the change in the level of the specific substance as a liquid in such container over time.
22. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งความร้อนจะได้รับการป้อนส่งไปยัง สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวดังกล่าวในลักษณะที่สอดคล้องกับการสนองตอบคุณลักษณะเฉพาะที่ ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าของสสารเฉพาะดังกล่าวเพื่อป้อนส่งความร้อนในลักษณะที่ว่าอัตราของ การป้อนส่งของสสารเฉพาะดังกล่าวนั้น สามารถได้รับการควบคุมอย่างสอดคล้องกับกระบวนการ ตามกรรมวิธีพลาสมาที่ต้องการเพื่อที่จะดำเนินการในห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีดังกล่าว22. Any of the methods under claims 16 through 21 shall be used in which heat is transferred to such liquid specific substance in a manner consistent with the predetermined specific characteristics of such substance for heat transfer such that the rate of transfer of such substance can be controlled in accordance with the required plasma process to be performed in the processing chamber.
23. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ถึง 22 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจของการ ระเหยของสสารเฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าวจะได้รับการนำมาเปรียบเทียบกับอัตราคุณลักษณะ เฉพาะที่กำหนดไว้ล่วงหน้าของการระเหยในลักษณะที่ว่าความแตกต่างระหว่างอัตราที่ได้รับการเฝ้า ตรวจดังกล่าวและอัตราคุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าวนั้น สามารถได้รับ การคำนวณค่าได้23. Any of the methods under claims 16 through 22 shall be used in which the monitored rate of evaporation of a particular substance from such container shall be compared with a predetermined characteristic rate of evaporation in such a way that the difference between such monitored rate and such predetermined characteristic rate can be calculated.
24. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 23 ที่ซึ่งการระเหยของสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นจะได้รับการ ควบคุมอย่างสอดคล้องกับความแตกต่างดังกล่าวระหว่างอัตราที่ได้รับการเฝ้าตรวจดังกล่าวและอัตรา คุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าว และได้รับการปรับแก้ในลักษณะที่ว่าอัตรา ที่ได้รับการเฝ้าตรวจดังกล่าวนั้นจะยืนยันได้ด้วยอัตราคุณลักษณะเฉพาะที่ได้รับการกำหนดไว้ ล่วงหน้าดังกล่าว24. The method under claim 23 in which the evaporation of such specific substance is controlled in accordance with such difference between such monitored rate and such predetermined characteristic rate and adjusted in such a way that such monitored rate is confirmed by such predetermined characteristic rate.
25. เครื่องมือสำหรับกรรมวิธีพลาสมาของพื้นผิวของชิ้นงาน ซึ่งเครื่องมือนั้นจะประกอบรวม ด้วย ห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีที่ซึ่งได้รับการจัดวางไว้ด้วยชิ้นงานอยู่ภายใน ระบบเพื่อการป้อนส่งสำหรับการป้อนส่งสสารเฉพาะไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตาม กรรมวิธีสำหรับการก่อรูปพลาสมาในห้องดังกล่าว วิถีทางสำหรับการสร้างไฟฟ้าภายในของห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธีสำหรับการ สร้างพลาสมาเมื่อสสารเฉพาะดังกล่าวนั้นได้รับการป้องส่งเข้าไปในภายในลักษณะที่ว่าพื้นผิวของ ชิ้นงานดังกล่าวนั้นสามารถได้รับการดำเนินการตามกรรมวิธีได้ และ วิธีทางควบคุมความดันสำหรับการควบคุมดันแบบเลือกได้ในห้องเพื่อการดำเนินการตาม กรรมวิธี ที่ซึ่งระบบเพื่อการป้อนส่งดังกล่าวนั้นจะประกอบรวมด้วย ภาชนะบรรจุสสารเฉพาะสำหรับการบรรจุสสารเฉพาะซึ่งได้รับการป้อนส่งมาจากแหล่งจ่าย ของสสารเฉพาะที่เป็นของเหลว วิถีทางเพื่อการระเหยสำหรับการทำให้สสารเฉพาะที่เป็นของเหลวในห้องดังกล่าวสามารถ ระเหยไดด้ วิถีทางควบคุมการไหลสำหรับการควบคุมการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการทำให้ระเหย ไปยังห้องเพื่อการดำเนินการตามกรรมวิธี และ วิถีทางเพื่อการเฝ้าตรวจสำหรับการเฝ้าตรวจอัตราเทียบต่อเวลาของการระเหยของสสาร เฉพาะจากภาชนะบรรจุดังกล่าวในลักษณะที่ว่าการไหลของสสารเฉพาะที่ได้รับการเฝ้าตรวจได้25. Equipment for plasma surface treatment of workpieces. This equipment comprises a treatment chamber containing the workpiece, a delivery system for feeding the specific substance into the treatment chamber for plasma formation, a pathway for electrical generation within the treatment chamber once the specific substance is delivered so that the workpiece surface can be treated, and a pressure control system for selective pressure control in the treatment chamber. The delivery system includes a specific substance container for holding the liquid specific substance delivered from the source, an evaporation pathway for evaporating the liquid specific substance in the chamber, a flow control pathway for controlling the flow of the evaporated specific substance to the treatment chamber, and a monitoring pathway for monitoring the evaporation rate of the specific substance from the container so that the flow of the specific substance is monitored.
26. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 25 ที่ซึ่งระบบเพื่อการป้อนส่งดังกล่าวนั้นมีลักษณะตามข้อถือ สิทธิข้อที่ 1 ถึง 15 ข้อใดข้อหนึ่ง26. An instrument under Claim 25 in which the supply system has characteristics as described in Claim 1 through 15.