TH8973B - ระบบการแยกสารให้บริสุทธิ์ที่อุณหภูมิต่ำสำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีน - Google Patents

Abstract

ระบบแยกสารที่อุณหภูมิต่ำสำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีนจาก สายการไหลของแก๊สพาหะ เช่น สายของไหลออกจากชุดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ซึ่งประกอบ ด้วยอุปกรณ์สัมผัสสำหรับการถ่ายเทมวล เช่น หอสำหรับล้างที่อุณหภูมิต่ำที่ผนวกเข้ากับ ระบบหอแยกสารให้บริสุทธิ์ที่อุณหภูมิต่ำ

Claims (2)

1. วิธีการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีน ซึ่งประกอบด้วย (A) การผ่านสารป้อนที่เป็นแก๊ส ซึ่งประกอบด้วยแก๊สพาหะ, สารประกอบฟลูออรีน ที่มีค่าการระเหยสูง และสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยต่ำเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเท มวล และการผ่านของเหลวที่ใช้ล้างเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล (B) การผ่านสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยสูง และสารประกอบฟลูออรีนที่ มีค่าการระเหยต่ำเข้าไปในของเหลวที่ใช้ล้างภายในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลเพื่อทำให้เกิดไอ ซึ่ง ประกอบด้วยแก๊สพาหะและของเหลวที่ใช้ล้าง ซึ่งประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยสูง และสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยต่ำ (C) การผ่านของเหลวที่ใช้ล้างซึ่งประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการ ระเหยสูงและสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยต่ำเข้าไปในหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกในลักษณะ ที่เป็นสายป้อนเข้าหอแยกสายแรก และทำการแยกสายป้อนเข้าหอแยกสายแรกภายในหอแยกสารให้ บริสุทธิ์ตัวแรกดังกล่าว โดยการแยกที่อุณหภูมิต่ำออกเป็นไอตอนบนที่ประกอบด้วยสารประกอบ ฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยสูงและของเหลวที่ใช้ล้าง ซึ่งประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการ ระเหยต่ำ (D) การดึงไอตอนบนที่ประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยสูงออก จากหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรก และเก็บกลับคืนอย่างน้อยส่วนหนึ่งเป็นผลิตภัณฑ์ของสารประกอบ ฟลูออรีน (E) การผ่านของเหลวที่ใช้ล้าง ซึ่งประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการ ระเหยต่ำเข้าไปในหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สอง ในลักษณะของสายป้อนเข้าหอแยกสายที่สอง และทำ การแยกสายป้อนเข้าหอแยกสายที่สอง ภายในหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สองดังกล่าว โดยการแยกที่ อุณหภูมิต่ำออกเป็นไอตอนบนที่ประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยต่ำ และกากของ เหลวที่ใช้ล้าง และ (F) การดึงไอตอนบนที่ประกอบด้วนสารประกอบฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยต่ำออก จากหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สอง และเก็บกลับคืนอย่างน้อยส่วนหนึ่งเป็นผลิตภัณฑ์ของสารประกอบ ฟลูออรีน 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่สายป้อนที่เป็นแก๊สถูกทำให้เย็นโดยการแลกเปลี่ยน ความร้อนทางอ้อมด้วยไอที่ประกอบด้วยแก๊สพาหะก่อนที่จะถูกผ่านเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่าย เทมวล 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ส่วนของไอตอนบนที่ประกอบด้วยสารประกอบ ฟลูออรีนที่มีค่าการระเหยสูงที่ถูกดึงจากหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกถูกผ่านเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อ การถ่ายเทมวล 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่กากของเหลวที่ใช้ล้างถูกดึงจากหอแยกสารให้บริสุทธิ์ ตัวที่สอง และถูกผ่านเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ของเหลวที่ใช้ล้างมีอุณหภูมิจุดเยือกแข็งต่ำกว่าอุณหภูมิ ของสายป้อนที่เป็นแก๊ส ในขณะที่ของเหลวที่ใช้ล้างเข้าสู่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล และมีความดัน ไอที่อุณหภูมิดังกล่าวน้อยกว่า 1.0 มิลลิเมตรปรอท 6. ชุดอุปกรณ์สำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีน ซึ่งประกอบด้วย (A) อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล และอุปกรณ์สำหรับการผ่านสายป้อนที่ประ กอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล (B) อุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวที่ใช้ล้างเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเท มวล (C) หอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกและอุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวจากอุปกรณ์ สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลเข้าไปในหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรก (D) อุปกรณ์สำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีนที่ถูกแยกออกจากส่วน ด้านบนของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรก (E) หอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สอง และอุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวจากส่วน ด้านล่างของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกเข้าไปในหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สอง และ (F) อุปกรณ์สำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีนที่ถูกแยกออกจากส่วน ด้านบนของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สอง 7. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยอุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อน และวิถีอุปกรณ์สำหรับการผ่านของไหลจากส่วนด้านบนของอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลผ่าน อุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อน โดยที่วิถีอุปกรณ์สำหรับการผ่านสายป้อนที่ประกอบด้วยสารประกอบฟลู- ออรีนเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลก็มีการไหลผ่านอุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อนดังกล่าว เช่นกัน 8. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยวิถีอุปกรณ์สำหรับการผ่านของ ไหลที่ถูกแยกออกจากส่วนด้านบนของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกเข้าสู่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเท มวล 9. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่วิถีอุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวจากอุปกรณ์ สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลเข้าสู่หอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกประกอบด้วยถังเก็บสารแบบแบช (batch) 1 0. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่วิถีอุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวจากส่วนด้าน ล่างของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวแรกเข้าสู่หอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สองประกอบด้วย ถังเก็บสารแบบ แบช 1 1. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยวิถีอุปกรณ์สำหรับการผ่านของ เหลวจากส่วนด้านล่างของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ตัวที่สองเข้าสู่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล 1 2. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลประกอบด้วยหอที่ ใช้ล้าง 1 3. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลประกอบด้วย อุปกรณ์แยกน้ำออกโดยให้เกาะตัวเป็นน้ำแข็ง 1 4. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 6 โดยที่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลประกอบด้วย หอ สเปรย์ 1 5. วิธีการสำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีน ซึ่งประกอบด้วย (A) การผ่านสายป้อนที่เป็นแก๊ส ซึ่งประกอบด้วย แก๊สพาหะและสารประกอบ ฟลูออรีนเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล และการผ่านของเหลวที่ใช้ล้างเข้าไปในอุปกรณ์ สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล (B) การผ่านสารประกอบฟลูออรีนเข้าไปในของเหลวที่ใช้ล้างภายในอุปกรณ์สัมผัส เพื่อการถ่ายเทมวลเพื่อผลิตไอซึ่งประกอบด้วยแก๊สพาหะและของเหลวที่ใช้ล้างซึ่งประกอบด้วยสาร ฟลูออรีน (C) การผ่านของเหลวที่ใช้ล้างซึ่งประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนเข้าไปในหอ แยกสารให้บริสุทธิ์ในลักษณะของสายป้อนเข้าหอแยก และทำการแยกสายป้อนเข้าหอแยกภายในหอแยก สารให้บริสุทธิ์ดังกล่าว โดยการแยกที่อุณหภูมิต่ำให้เป็นไอตอนบนที่ประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีน และของเหลวที่ใช้ล้างตอนล่าง และ (D) การดึงไอตอนบน ซึ่งประกอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนออกจากหอแยกสาร ให้บริสุทธิ์และการเก็บคืนอย่างน้อยส่วนหนึ่งเป็นผลิตภัณฑ์ของสารประกอบฟลูออรีน 1 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่ของเหลวที่ใช้ล้างตอนล่างถูกดึงออกจากหอแยกสาร ให้บริสุทธิ์และผ่านเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล 1 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่ของเหลวที่ใช้ล้างมีจุดเยือกแข็งต่ำกว่าอุณหภูมิของสาย ป้อนที่เป็นแก๊ส ในขณะที่ของเหลวที่ใช้ล้างเข้าสู่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล และมีความดันไอที่ อุณหภูมิดังกล่าวน้อยกว่า 1.0 มิลลิเมตรปรอท 1 8. ชุดอุปกรณ์สำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีน ซึ่งประกอบด้วย (A) อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล และอุปกรณ์สำหรับการผ่านสายป้อนที่ประ- กอบด้วยสารประกอบฟลูออรีนเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล (B) อุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวที่ใช้ล้างเข้าไปในอุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเท มวล (C) หอแยกสารให้บริสุทธิ์และอุปกรณ์สำหรับการผ่านของเหลวจากอุปกรณ์สัมผัส เพื่อการถ่ายเทมวลเข้าไปในหอแยกสารให้บริสุทธิ์ และ (D) อุปกรณ์สำหรับการเก็บกลับคืนสารประกอบฟลูออรีนที่ถูกแยกออกจากส่วน ด้านบนของหอแยกสารให้บริสุทธิ์ 1 9. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 โดยที่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลประ- กอบด้วยหอที่ใช้ล้าง 2 0. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 โดยที่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลประกอบด้วย อุปกรณ์แยกน้ำออกโดยให้เกาะตัวเป็นน้ำแข็ง 2

1. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 โดยที่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวลประกอบด้วย หอสเปรย์ 2

2. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยวิถีอุปกรณ์สำหรับการ ผ่านของเหลวจากส่วนด้านล่างของหอแยกสารให้บริสุทธิ์เข้าสู่อุปกรณ์สัมผัสเพื่อการถ่ายเทมวล