TH87546B - วิธีการและอุปกรณ์สำหรับอบเหนียวด้วยก๊าซที่มีแรงดันสูง - Google Patents
วิธีการและอุปกรณ์สำหรับอบเหนียวด้วยก๊าซที่มีแรงดันสูงInfo
- Publication number
- TH87546B TH87546B TH701000501A TH0701000501A TH87546B TH 87546 B TH87546 B TH 87546B TH 701000501 A TH701000501 A TH 701000501A TH 0701000501 A TH0701000501 A TH 0701000501A TH 87546 B TH87546 B TH 87546B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- gas
- high pressure
- equipment
- methods
- pressure gas
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 abstract 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 abstract 1
Abstract
ได้มีการนำเสนอวิธีการและอุปกรณ์ใหม่สำหรับอบเหนียวอุปกรณ์กึ่งตัวนำในสภาพแวดล้อมก๊าซ ที่มีแรงดันสูง ตามรูปลักษณะ ภาชนะสำหรับอบเหนียวจะมีโครงสร้างช่องที่เป็นแบบคู่ และก๊าซที่อาจ เป็นพิษ, ติดไฟได้ หรือไม่ก็ทำปฎิกิริยาได้จะถูกกักไว้ในช่องด้านในซึ่งถูกปกป้องด้วยแรงดันของก๊าซ เฉื่อยที่บรรจุอยู่ในช่องด้านนอก ระบบส่งต่อก๊าซที่ผ่านเข้ามาและระบบระบายก๊าซไอเสียจะได้รับการ ปกป้องในลักษณะเดียวกันด้วยวิธีการที่หลากหลาย รูปลักษณะของการประดิษฐ์นี้สามารถนำมาใช้ได้ ตัวอย่างเช่น สำหรับการอบเหนียวเกตไดอิเล็กตริกที่มี K สูง, การอบเหนียวสตุสำหรับการสร้างสภาพ โลหะในภายหลัง และการอบเหนียวด้วยก๊าซที่ใช้ในการขึ้นรูปในขั้นตอนการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ
Claims (2)
1. อุปกรณ์ที่จะใช้ในการอบเหนียวที่แรงดันสูง ซึ่งอุปกรณ์มีส่วนประกอบดังต่อไปนี้ ช่องด้านใน ซึ่งช่องด้านในดังกล่าวจะทำด้วยวัสดุที่ไม่ใช้โลหระ โดยที่ช่องด้านในดังกล่าวจะถูก ออกแบบให้รักษาระดับแรงดันก๊าซที่หนึ่งของก๊าซชนิดที่หนึ่ง และ ช่องด้านนอก ซึ่งช่องด้านนอกดังกล่าวจะทำด้วยวัสดุจำพวกโลหะ โดยที่ช่องด้านนอกดังกล่าวจะ บรรจุช่องด้านในดังกล่าวและถูกออกแบบให้รักษาระดับแรงดันก๊าซที่สองของก๊าซชนิดที่สองภายนอก ช่องด้านในดังกล่าว
2. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งอุป
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH87546A TH87546A (th) | 2007-11-09 |
| TH87546B true TH87546B (th) | 2007-11-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Wu et al. | Zinc ferrite based gas sensors: A review | |
| GB201110117D0 (en) | method and device for manufacturing a barrie layer on a flexible substrate | |
| WO2014116681A4 (en) | Substrate transport | |
| WO2009137272A3 (en) | Flowable dielectric equipment and processes | |
| WO2009028485A1 (ja) | 有機電子デバイス、有機電子デバイスの製造方法、有機電子デバイスの製造装置、基板処理システム、保護膜の構造体、および制御プログラムが記憶された記憶媒体 | |
| JP2011142309A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| Seo et al. | Bending properties of organic–inorganic multilayer moisture barriers | |
| WO2019098977A3 (en) | A cooling device | |
| WO2014107818A3 (de) | Lagerungsvorrichtung zur lagerung und/oder zum transport von objekten aus der fertigung von elektronischen bauteilen | |
| US10529510B2 (en) | Gas insulated switchgear with the use of insulating gases or fluids, and method of producing the same | |
| WO2015105596A3 (en) | Hazardous-environmental diving systems | |
| MY183420A (en) | Refrigerator and/or freezer body | |
| MX2019005662A (es) | Artículos mejorados aislados al vacío con aislamiento microporoso. | |
| WO2012112673A3 (en) | Method and apparatus for protecting downhole components with inert atmosphere | |
| TW200623371A (en) | High-reliable semiconductor device using hermetic sealing of electrodes | |
| WO2016191194A8 (en) | Pentachlorodisilane | |
| WO2012104079A3 (de) | Kühlanlage, insbesondere zur kryokonservierung biologischer proben, mit einrichtungen für den fall einer havarie | |
| TW200744145A (en) | Cluster processing apparatus | |
| WO2007099575A3 (en) | Use of non-evaporable getter alloys for the sorption of hydrogen in vacuum and in inert gases | |
| WO2006078889A3 (en) | Methods and compositions for dielectric materials | |
| TW200733242A (en) | Methods and apparatuses for high pressure gas annealing | |
| EP3102534A1 (en) | Controlling pressure in cavities on substrates | |
| WO2015010690A3 (de) | Flexible brandschutzmasse | |
| JP6107673B2 (ja) | 耐熱容器 | |
| CN105568175A (zh) | 一种防爆金属材料 |