TH87546A - วิธีการและอุปกรณ์สำหรับอบเหนียวด้วยก๊าซที่มีแรงดันสูง - Google Patents

Abstract

DC60 ได้มีการนำเสนอวิธีการและอุปกรณ์ใหม่สำหรับอบเหนียวอุปกรณ์กึ่งตัวนำในสภาพแวดล้อมก๊าซ ที่มีแรงดันสูง ตามรูปลักษณะ ภาชนะสำหรับอบเหนียวจะมีโครงสร้างช่องที่เป็นแบบคู่ และก๊าซที่อาจ เป็นพิษ, ติดไฟได้ หรือไม่ก็ทำปฏิกิริยาได้จะถูกกักไว้ในช่องด้านในซึ่งถูกปกป้องด้วยแรงดันของก๊าซ เฉื่อยที่บรรจุอยู่ในช่องด้านนอก ระบบส่งต่อก๊าซที่ผ่านเข้ามาและระบบระบายก๊าซไอเสียจะได้รับการ ปกป้องในลักษณะเดียวกันด้วยวิธีการที่หลากหลาย รูปลักษณะของการประดิษฐ์นี้สามารถนำมาใช้ได้ ตัวอย่างเช่น สำหรับการอบเหนียวเกตไดอิเล็กตริกที่มี K สูง, การอบเหนียวสตุสำหรับการสร้างสภาพ โลหะในภายหลัง และการอบเหนียวด้วยก๊าซที่ใช้ในการขึ้นรูปในขั้นตอนการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ได้มีการนำเสนอวิธีการและอุปกรณ์ใหม่สำหรับอบเหนียวอุปกรณ์กึ่งตัวนำในสภาพแวดล้อมก๊าซ ที่มีแรงดันสูง ตามรูปลักษณะ ภาชนะสำหรับอบเหนียวจะมีโครงสร้างช่องที่เป็นแบบคู่ และก๊าซที่อาจ เป็นพิษ, ติดไฟได้ หรือไม่ก็ทำปฎิกิริยาได้จะถูกกักไว้ในช่องด้านในซึ่งถูกปกป้องด้วยแรงดันของก๊าซ เฉื่อยที่บรรจุอยู่ในช่องด้านนอก ระบบส่งต่อก๊าซที่ผ่านเข้ามาและระบบระบายก๊าซไอเสียจะได้รับการ ปกป้องในลักษณะเดียวกันด้วยวิธีการที่หลากหลาย รูปลักษณะของการประดิษฐ์นี้สามารถนำมาใช้ได้ ตัวอย่างเช่น สำหรับการอบเหนียวเกตไดอิเล็กตริกที่มี K สูง, การอบเหนียวสตุสำหรับการสร้างสภาพ โลหะในภายหลัง และการอบเหนียวด้วยก๊าซที่ใช้ในการขึ้นรูปในขั้นตอนการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ

Claims (40)

1. อุปกรณ์ที่จะใช้ในการอบเหนียวที่แรงดันสูง ซึ่งอุปกรณ์มีส่วนประกอบดังต่อไปนี้ ช่องด้านใน ซึ่งช่องด้านในดังกล่าวจะทำด้วยวัสดุที่ไม่ใช้โลหระ โดยที่ช่องด้านในดังกล่าวจะถูก ออกแบบให้รักษาระดับแรงดันก๊าซที่หนึ่งของก๊าซชนิดที่หนึ่ง และ ช่องด้านนอก ซึ่งช่องด้านนอกดังกล่าวจะทำด้วยวัสดุจำพวกโลหะ โดยที่ช่องด้านนอกดังกล่าวจะ บรรจุช่องด้านในดังกล่าวและถูกออกแบบให้รักษาระดับแรงดันก๊าซที่สองของก๊าซชนิดที่สองภายนอก ช่องด้านในดังกล่าว

2. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งอุปกรณ์ยังประกอบด้วย ตัวยึด ซึ่งตัวยึดดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องด้านในดังกล่าว โดยที่ตัวยึดดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบ ให้ยึดเวเฟอร์กึ่งตัวนำภายในช่องด้านในดังกล่าว

3. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งอุปกรณ์จะยังประกอบด้วย เครื่องให้ความร้อน ซึ่งเครื่องให้ความร้อนดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องด้านในดังกล่าวและช่องด้าน นอกดังกล่าวอย่างน้อยหนึ่งช่อง โดยที่เครื่องให้ความร้อนดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้มีการให้ความ ร้อนแก่ก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวในช่องด้านในดังกล่าว

4. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ แรงดันก๊าซที่หนึ่งดังกล่าวและแรงดันก๊าซที่สองดังกล่าวสามารถควบคุมได้โดยแยกจากกัน

5. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ ช่องด้านในดังกล่าวจะประกอบด้วยกลไกสำหรับเปิดและปิดช่องด้านในดังกล่าวและช่องด้าน นอกดังกล่าวจะประกอบด้วยกลไกลำหรับเปิดและปิดช่องด้านนอกดังกล่าว

6. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ วัสดุที่ไม่ใช้โลหะดังกล่าวจะประกอบด้วยควอทซ์และวัสดุจำพวกโลหะดังกล่าวจะประกอบด้วย เหล็กกล้าไร้สนิม

7. อุปกร์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งยังประกอบด้วย กลไกสำหรับปิดอุปกรณ์ โดยที่กลไกสำหรับปิดอุปกรณ์ดังกล่าวจะรวมถึงการลดแรงดันก๊าซที่ หนึ่งดังกล่าวและแรงดันก๊าซที่สองดังกล่าวอย่างน้อยหนึ่งอย่าง

8. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ ก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวจะประกอบด้วยไฮโดรเจน, ดิวเทอเรียม, ฟลูออรีน, คลอรีน และ แอมโมเนีย อย่างน้อยหนึ่งชนิด และก๊าซชนิดที่สองดังกล่าวจะประกอบด้วยก๊าซเฉื่อย

9. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ ก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวจะประกอบด้วยก๊าซขึ้นรูปที่มีดิวเทอเรียม โดยที่ก๊าซขึ้นรูปดังกล่าวจะมี ดิวเทอเรียม 1% ถึง 99%

10. วิธีการสำหรับแปรรูปวงจรรวม ซึ่งวิธีการจะประกอบด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ การทำให้วงจรรวมสัมผัสกับบรรยากาศการอบเหนียวที่มีดิวเทอเรียม โดยที่บรรยากาศการอบ เหนียวจะมีก๊าซดิวเทอเรียม ตั้งแต่ 1% ถึง 99% และอยู่ที่แรงดันซึ่งมีค่าเกิน 25 atm

11. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทะ 10 โดยที่บรรยากาศการอบเหนียวจะมีก๊าซดัวเทอเรียมตั้งแต่ 2% ถึง 98%

12. วิธีการสำหรับปกป้องช่องปรับแรงดันที่หนึ่ง ซึ่งช่องปรับแรงดันที่หนึ่งจะมีก๊าซชนิดที่หนึ่งที่ แรงดันที่หนึ่ง โดยที่วิธีการจะประกอบด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ การจัดให้มีช่องปรับแรงดันที่สอง ซึ่งช่องปรับแรงดันที่สองจะล้อมรอบช่องปรับแรงดันที่หนึ่งดัง กล่าว และ การเพิ่มก๊าซชนิดที่สองเข้าไปในช่องปรับแรงดันที่สองดังกล่าวเพื่อให้ความแตกต่างระหว่างแรง ดันที่สองของก๊าซชนิดที่สองดังกล่าวกับแรงดันที่หนึ่งของก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวอยู่ภายในช่วงที่กำหนด ไว้ล่วงหน้าอย่างเพียงพอ

13. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 12 ซึ่งยังประกอบด้วย การดำเนินการมาตรการสำหรับเหตุฉุกเฉินถ้าความแตกต่างของแรงดันอยู่นอกช่วงที่กำหนดไว้ ล่วงหน้า

14. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 12 โดยที่ การดำเนินการดังกล่าวจะประกอบด้วยการเปิดกลไกเตือนภัยและการปิดอุปกรณ์ อย่างน้อยหนึ่ง ขั้นตอน

15. วิธีการสำหรับปกป้องช่องด้านใน ซึ่งช่องด้านในจะมีก๊าซชนิดที่หนึ่งที่แรงดันที่หนึ่งและช่อง ด้านนอกมีก๊าซชนิดที่สองที่แรงดันที่สองในภาชนะที่ใช้ในการแปรรูปด้วยแรงดันสูงซึ่งประกอบด้วยช่อง ด้านในและช่องด้านนอก ซึ่งช่องด้านนอกจะบรรจุช่องด้านใน โดยที่วิธีการจะประกอบด้วยขั้นตอนดังต่อ ไปนี้ การปรับปริมาณของก๊าซชนิดที่หนึ่งในช่องด้านในและปริมาณของก๊าซชนิดที่สองในช่องด้าน นอกอย่างน้อยหนึ่งอย่างเพื่อให้ความแตกต่างระหว่างแรงดันที่หนึ่งกับแรงดันที่สองอยู่ภายในช่วงที่ กำหนดไว้ล่วงหน้าอย่างเพียงพอ

16. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 ซึ่งยังประกอบด้วย การดำเนินการมาตรการสำหรับเหตุฉุกเฉินถ้าความแตกต่างของแรงดันอยู่นอกช่วงที่กำหนดไว้ ล่วงหน้า

17. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 โดยที่ การดำเนินการดังกล่าวจะประกอบด้วยการเปิดกลไกเตือนภัยและปิดภาชนะที่ใช้ในการแปรรูป ด้วยแรงดันสูง

18. วิธีการสำหรับเปลี่ยนแปลงแรงดันในช่องปรับแรงดันหลายช่อง ซึ่งช่องที่หนึ่งอย่างน้อยหนึ่ง ช่องจากจำนวนหลายช่องจะบรรจุก๊าซชนิดที่หนึ่งและช่องสองอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่อง บรรจุก๊าซชนิดที่สอง โดยที่ช่องที่หนึ่งอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่องจะบรรจุอยู่ในช่องที่สอง อย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่อง ซึ่งวิธีการจะปรกอบด้วยขึ้นตอนดังต่อไปนี้ การเปลี่ยนแปลงแรงดันที่หนึ่งของก๊าซชนิดที่หนึ่งในช่องที่หนึ่งอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวน หลายช่อง และ การเปลี่ยนแปลงแรงดันที่สองของก๊าซชนิดที่สองในช่องที่สองอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวน หลายช่องเพื่อให้ความแตกต่างระหว่างแรงดันที่หนึ่งดังกล่าวกับแรงดันที่สองดังกล่าวจะยังคงอยู่ที่ภายใน ช่วงที่กำหนดวไล่วงหน้าอย่างเพียงพอ

19. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 18 โดยที่ การเปลี่ยนแปลงแรงดันที่หนึ่งดังกล่าวจะประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้อย่างน้อยหนึ่งขั้นตอน (a) การเพิ่มก๊าซชนิดที่หนึ่งเข้าไปในช่องที่หนึ่งอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่อง และ (b) การระบายก๊าซชนิดที่หนึ่งออกจากช่องที่หนึ่งอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่อง

20. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 18 โดยที่ การเปลี่ยนแปลงแรงดันที่สองดังกล่าวจะประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้อย่างน้อยหนึ่งขึ้นตอน (a) การเพิ่มก๊าซชนิดที่สองเข้าไปในช่องที่สองอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่อง และ (b) การระบายก๊าซชนิดที่สองออกจากช่องที่สองอย่างน้อยหนึ่งช่องจากจำนวนหลายช่อง

21. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 18 ซึ่งยังประกอบด้วย การดำเนินการมาตรการสำหรับเหตุฉุกเฉินถ้าความแตกต่างของแรงดันอยู่นอกช่วงที่กำหนดไว้ ล่วงหน้า

22. อุปกรณ์สำหรับระบายก๊าซจากภาชนะสำหรับอบเหนียวที่แรงดันสูง ซึ่งภาชนะจะประกอบ ด้วยช่องก๊าซหลายช่อง โดยที่อุปกรณ์จะมีส่วนประกอบดังต่อไปนี้ ท่อระบายที่หนึ่ง ซึ่งท่อระบายที่หนึ่งดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้ลำเลียงก๊าซชนิดที่หนึ่งออก จากช่องที่หนึ่งจากจำนวนช่องก๊าซหลายช่อง ท่อระบายที่สอง ซึ่งท่อระบายที่สองดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้ลำเลียงก๊าซชนิดที่สองออกจาก ช่องที่สองจากจำนวนช่องก๊าซหลายช่อง ท่อระบายที่สาม และ ห้อง ซึ่งห้องดังกล่าวจะต่อกับท่อระบายที่หนึ่งดังกล่าวและท่อระบายที่สองดังกล่าวและท่อ ระบายที่สามดังกล่าว โดยที่ก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวและก๊าซชนิดที่สองดังกล่าวจะผสมกันในห้องดังกล่าว และก๊าซผสมจะถูกลำเลียงเข้าไปในท่อระบายที่สามดังกล่าว

23. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 22 โดยที่ท่อระบายที่สามดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้ลำเลียง ก๊าซผสมออกนอกอุปกรณ์

24. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 22 โดยที่ อัตราส่วนของปริมาตรระหว่างช่องที่สองดังกล่าวกับช่องที่หนึ่งดังกล่าวสูงกว่าค่าที่ตั้งไว้ก่อน หน้าที่หนึ่ง และ อัตราส่วนแรงดันระหว่างก๊าซชนิดที่สองดังกล่าวในช่องที่สองดังกล่าวกับก๊าซชนิดที่หนึ่งดัง กล่าวในช่องที่หนึ่งดังกล่าวในระหว่างปฎิบัติการที่ใช้แรงดันสูงมีค่าสูงกว่าค่าที่ตั้งไว้ก่อนหน้าที่สองเพื่อ ให้ความเข้มข้นของก๊าซชนิดที่หนึ่งในก๊าซผสมดังกล่าวยังคงต่ำกว่าค่าที่ตั้งไว้ก่อนหน้าที่สาม

25. อุปกรณืดังระบุในข้อถือสิทธิ 22 ซึ่งอุปกรณ์ยังประกอบด้วย เครื่องฟอกก๊าซเผาไหม้ ซึ่งเครื่องฟอกก๊าซเผาไหม้ดังกล่าวจะต่ออยู่กับท่อระบายที่สามดังกล่าว และ ท่อระบายที่สี่ ซึ่งท่อระบายที่สี่ดังกล่าวจะต่อยู่กับเครื่องฟอกก๊าซเผาไหม้ดังกล่าว โดยที่ท่อระบายที่สี่ดังกล่าวจะถูกนำมาใช้เพื่อทำให้ก๊าซผสมดังกล่าวไหลออกนอกอุปกรณ์

26. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 22 ซึ่งอุปกรณ์จะยังประกอบด้วย ท่อก๊าซ ซึ่งท่อก๊าซดังกล่าวจะต่ออยู่กับห้องดังกล่าว โดยที่ท่อก๊าซดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้ ควบคุมให้ก๊าซที่สามไหลเข้าไปยังท่อระบายที่สามดังกล่าว

27. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 26 โดยที่ ท่อก๊าซดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบ โดยที่ว่ากระแสไหลเของก๊าซชนิดที่สามดังกล่าวในท่อก๊าซดัง กล่าวถูกปรับตามปริมาณกระแสไหลของก๊าซในท่อระบายที่หนึ่งดังกล่าวและท่อระบายที่สองดังกล่าว อย่างน้อยหนึ่งอัน

28. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 26 โดยที่ กระแสไหลของก๊าซที่สามดังกล่าวในท่อก๊าซดังกล่าวจะถูกรักษาระดับไว้เพื่อให้มีกระแสไหล ของก๊าซที่ไหลออกไปข้างนอกในท่อระบายที่สามดังกล่าวซึ่งมุ่งไปที่ด้านนอกของอุปกรณ์ โดยที่กระแส ของอากาศจากด้านนอกอุปกรณ์ในท่อระบายที่สามดังกล่าวจะลดลงอย่างเพียงพอ

29. วิธีการสำหรับระบายก๊าซจากช่องก๊าซหลายช่อง ซึ่งวิธีการจะมีส่วนประกอบดังต่อไปนี้ การดำเนินการระบายก๊าซชนิดที่หนึ่งออกจากช่องที่หนึ่งจากช่องหลายช่อง และ การดำเนินการระบายก๊าซชนิดที่สองออกจากช่องที่สองจากช่องหลายช่อง โดยที่ว่าอัตราส่วน ระหว่างปริมาณของก๊าซชนิดที่หนึ่งซึ่งถูกระบายในระยะเวลาที่กำหนดต่อปริมาณของก๊าซชนิดที่สองใน ระยะเวลาที่กำหนดจะยังคงมากกว่าค่าที่ตั้งไว้ก่อนหน้าที่หนึ่งแต่ต่ำกว่าค่าที่ตั้งไว้ก่อนหน้าที่สอง

30. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิ 29 ซึ่งยังประกอบด้วย การเพิ่มก๊าซชนิดที่สามเข้าไปในระหว่างการดำเนินการระบายก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวและการ ดำเนินการระบายก๊าซชนิดที่สองดังกล่าว อย่างน้อยหนึ่งขั้นตอน

31. อุปกรณ์ที่จะใช้ในการอบเหนียวที่แรงดันสูง ซึ่งอุปกรณ์จะมีส่วนประกอบดังต่อไปนี้ ช่องที่หนึ่ง ซึ่งช่องที่หนึ่งดังกล่าวจะถูกออกแบบให้รักษาระดับแรงดันก๊าซที่หนึ่งของก๊าซชนิดที่ หนึ่ง ช่องที่สอง ซึ่งช่องที่สองดังกล่าวจะถูกออกแบบให้รักษาระดับแรงดันก๊าซที่สองของก๊าซชนิดที่ สอง โดยที่ช่องที่สองดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องที่หนึ่งดังกล่าวโดยที่ว่าก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวจะถูก ล้อมรอบด้วยก๊าซชนิดที่สองดังกล่าว ท่อฉีดที่หนึ่ง ซึ่งท่อฉีดที่หนึ่งดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องที่หนึ่งดังกล่าว โดยที่ท่อฉีดที่หนึ่งดังกล่าว จะถูกจัดโครงแบบให้ลำเลียงก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าว และ ท่อฉีดที่สอง ซึ่งท่อฉีดที่สองดังกล่าวจะติดอยู่กับช่องที่สองดังกล่าว โดยที่ท่อฉีดที่สองดังกล่าว จะถูกจัดโครงแบบให้ลำเลียงก๊าซชนิดที่สองดังกล่าว

32. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 31 ซึ่งยังประกอบด้วย กลไกที่หนึ่งสำหรับเปิดและปิดช่องที่หนึ่งดังกล่าว และ กลไกที่สองสำหรับเปิดและปิดช่องที่สองดังกล่าว

33. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 32 ซึ่งยังประกอบด้วย กลไกที่มำให้ก๊าซไหล โดยที่กลไกที่ทำให้ก๊าซไหลดังกล่าวจะอยู่ใกล้กันมากกับกลไกลที่หนึ่ง สำหรับเปิดและปิดดังกล่าวและกลไกที่สองสำหรับเปิดและปิดดังกล่าว อย่างน้อยหนึ่งตัว และก๊าซ ดังกล่าวจะเป็นก๊าซเฉื่อย

34. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 31 โดยที่ ท่อฉีดที่หนึ่งดังกล่าวจะประกอบด้วยท่อเหล็กสเตนเลสที่มีผนังสองชั้น และท่อฉีดที่สองดังกล่าว จะประกอบด้วยท่อเหล็กสเตนเลสที่มีผนังสองชั้น

35. อุปกรณ์สำหรับอบเหนียวอุปกรณ์กึ่งตัวนำโดยใช้ก๊าซที่มีแรงดันสูง ซึ่งอุปกรณ์มี ส่วนประกอบดังต่อไปนี้ ภาชนะ ซึ่งภาชนะดังกล่าวจะประกอบด้วยช่องก๊าซที่หนึ่งและช่องก๊าซที่สอง โดยที่ช่องก๊าซที่ หนึ่งดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้บรรจุก๊าซชนิดที่หนึ่ง และช่องก๊าซที่สองดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบ ให้บรรจุก๊าซชนิดที่สอง โดยที่ช่องก๊าซที่หนึ่งดังกล่าวจะถูกล้อมรอบในช่องก๊าซที่สองดังกล่าว ระบบควบคุมกระแสไหลของก๊าซที่ผ่านเข้ามา ซึ่งระบบควบคุมกระแสไหลของก๊าซที่ผ่านเข้ามา ดังกล่าวจะต่ออยู่กับภาชนะดังกล่าว และระบบควบคุมกระแสไหลของก๊าซที่ผ่านเข้ามาดังกล่าวจะ ประกอบด้วยท่อก๊าซที่หนึ่งและท่อก๊าซที่สอง โดยที่ท่อก๊าซที่หนึ่งดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องก๊าซที่หนึ่งดัง กล่าว และท่อก๊าซที่สองดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องก๊าซที่สองดังกล่าว และ ระบบระบายก๊าซ ซึ่งระบบระบายก๊าซดังกล่าวจะต่ออยู่กับภาชนะดังกล่าว

36. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 35 โดยที่ ระบบควบคุมกระแสไหลของก๊าซที่ผ่านเข้ามาดังกล่าวยังประกอบด้วยวาล์วสำหรับเปิดและปิด กระแสไหลของก๊าซ และ (a) วาล์วดังกล่าว, (b) ท่อก๊าซที่หนึ่งดังกล่าว และ (c) ท่อก๊าซที่สองดังกล่าว อย่างน้อยหนึ่งอันจะ ถูกปกป้องด้วยโครงสร้างที่มีผนังคู่

37. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 35 โดยที่ ระบบควบคุมกระแสไหลของก๊าซที่ผ่านเข้ามาดังกล่าวยังประกอบด้วยตู้แผงควบคุมก๊าซ โดยที่ตู้ แผงควบคุมก๊าซดังกล่าวจะต่ออยู่กับท่อก๊าซที่หนึ่งดังกล่าวและท่อก๊าซที่สองดังกล่าว อย่างน้อยหนึ่งอัน

38. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 35 โดยที่ ระบบระบายก๊าซดังกล่าวจะประกอบด้วยท่อระบายที่หนึ่ง, ท่อระบายที่สอง และท่อระบายที่สาม ซึ่งท่อระบายที่หนึ่งดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องก๊าซที่หนึ่งดังกล่าวและท่อระบายที่สองดังกล่าวจะต่ออยู่กับ ช่องก๊าซที่สองดังกล่าว โดยที่ท่อระบายที่สามดังกล่าวจะต่ออยู่กับท่อระบายที่หนึ่งดังกล่าวและท่อระบาย ที่สองดังกล่าว

39. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 35 ซึ่งอุปกรณ์ยังประกอบด้วย ตัวยึด ซึ่งตัวยึดดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องก๊าซที่หนึ่งดังกล่าว โดยที่ตัวยึดดังกล่าวจะถูกจัดโครง แบบให้ยึดเวเฟอร์กึ่งตัวนำภายในช่องก๊าซที่หนึ่งดังกล่าว

40. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิ 35 ซึ่งอุปกรณ์ยังประกอบด้วย เครื่องให้ความร้อน ซึ่งเครื่องให้ความร้อนดังกล่าวจะต่ออยู่กับช่องก๊าซที่หนึ่งดังกล่าวและช่อง ก๊าซที่สองดังกล่าว อย่างน้อยหนึ่งช่อง โดยที่เครื่องให้ความร้อนดังกล่าวจะถูกจัดโครงแบบให้มีการให้ ความร้อนแก่ก๊าซชนิดที่หนึ่งดังกล่าวในช่องที่หนึ่งดังกล่าว