TH86092B - อุปกรณ์ไอจีบีที (igbt) ที่มีโครงสร้างเกตแบบขุดและมีชั้นฝังลอย - Google Patents

อุปกรณ์ไอจีบีที (igbt) ที่มีโครงสร้างเกตแบบขุดและมีชั้นฝังลอย

Info

Publication number
TH86092B
TH86092B TH601005420A TH0601005420A TH86092B TH 86092 B TH86092 B TH 86092B TH 601005420 A TH601005420 A TH 601005420A TH 0601005420 A TH0601005420 A TH 0601005420A TH 86092 B TH86092 B TH 86092B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
layer
gate oxide
igbt
floating layer
floating
Prior art date
Application number
TH601005420A
Other languages
English (en)
Other versions
TH113084A (th
TH86092A (th
Inventor
ไมเคิล บิทท์เนอร์ นายแคธรีน ฮ็อพพ์เนอร์ นายซาบีน วูสท์ ดร
แสนละมูล นายมนตรี
แย้มวงษ์ นายวิทวัส
โพธิ์ใย นายอัมพร
Original Assignee
สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
๊อยท์ชส์ เซนทรัม ฟูร์ ลูฟท์อุนด์ เร๊าม์ฟาร์ท อีวี
Filing date
Publication date
Publication of TH86092A publication Critical patent/TH86092A/th
Application filed by สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, ๊อยท์ชส์ เซนทรัม ฟูร์ ลูฟท์อุนด์ เร๊าม์ฟาร์ท อีวี filed Critical สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
Publication of TH113084A publication Critical patent/TH113084A/th
Publication of TH86092B publication Critical patent/TH86092B/th

Links

Abstract

DC60 (25/02/54) อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สารกึ่งตัวนำกำลัง ชนิดไอจีบีที (lnsulated Gate Bipolar Transistor: IGBT) โดยมีโครงสร้างโพลีเกตแบบขุดในซับเสตรตซิลิกอน ที่ถูกควบคุมโดย ชั้นฝังลอย (P buries (Pb)) ที่อยู่ใต้เกตออกไซด์ แต่ไม่ติดกับเกตออกไซด์ โดยมี ลักษณะเฉพาะคือประกอบด้วยชั้นฝังลอย Pb ภายในชั้นคอลเล็กเตอร์ดริฟท์ ด้วยความ เข้มข้นสารเจือต่ำบริเวณใต้ชั้นออกไซด์กั้นระหว่างโพลีเกตและคอลเล็กเตอร์ดริฟท์ใน แนวนอน โดยจัดให้มีระยะห่างจากเกตออกไซด์และมีขนาดที่เหมาะสม ส่งผลให้ลดผลการ พังทลายแบบอะวาลันซ์ ในโครงสร้างบริเวณชั้นซับเสตรทใต้เกตออกไซด์ ชั้นฝังลอย Pb ช่วยให้เกิดการกระจายตัวของความหนาแน่นสนามไฟฟ้าใต้เกตออกไซด์ ไปยังชั้นฝังลอย Pb ทำให้สามารถทนแรงดันพังทลายแบบอะวาลันซ์ในชั้นฐานรองได้ ส่งผลให้อุปกรณ์ไอจี บีทีสามารถทนการพังทลายได้มากขึ้น หรือสามารถใช้งานเมื่อได้รับไบอัสย้อนกลับเพิ่ม มากขึ้นได้ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สารกึ่งตัวนำกำลัง ชนิดไอจีบีที (lnsulated Gate Bipolar Transistor: IGBT) โดยมีโครงสร้างโพลีเกตแบบขุดในซับเสตรตซิลิกอน ที่ถูกควบคุมโดย ชั้นฝังลอย (Phuries (Pb)) ที่อยู่ใต้เกตออกไซด์ แต่ไม่ติดกับเกตออกไซด์ โดยมี ลักษณะเฉพาะคือประกอบด้วยชั้นฝังลอย Pb ภายในชั้นคอลเล็กเตอร์ดรีฟท์ ด้วยความ เข้าข้นสารเจือต่ำบริเวณใต้ชั้นออกไซด์กั้นระหว่างโพลีเกตและคอลเล็กเตอร์ดริฟท์ใน แนวนอน โดยจัดให้มีระยะห่างจากเกตออกไซด์และมีขนาดที่เหมาะสม ส่งผลให้ลดผลการ พังทลายแบบอะวาลันซ์ ในโครงสร้างบริเวณชั้นซับเสตรทใต้เกตออกไซด์ ชั้นฝังลอย Pb ช่วยให้เกิดการกระจายตัวของความหนาแน่นสนามไฟฟ้าใต้เกตออกไซด์ ไปยังชั้นฝังลอย Pb ทำให้สามารถทนแรงดันพังทลายแบบอะวาลันซ์ในชั้นฐานรองได้ ส่งผลให้อุปกรณ์ไอจี บีทีสามารถทนการพังทลายได้มากขึ้น หรือสามารถใช้งานเมื่อได้รับใบอัสย้อนกลับเพิ่ม มากขึ้นได้

Claims (1)

1. วิธีการสำหรับการตรวจหาสัญญาณธรณีแปรสัณฐานที่ได้รับการจุดชนวนด้วยเหตุการณ์ ธรณีแปรสัณฐาน ซึ่งใช้ประโยชน์คลื่นใต้เสียงที่มากับเหตุการณ์ธรณีแปรสัณฐาน และที่ได้รับการ กำเนิดขึ้นมาที่พื้นดิน และซึ่งใช้ประโยชน์การขึ้นลง ของอุณหภูมิที่ทำให้เกิดการมอดูเลตของ แสงเรืองในอากาศต่อไปอีก การขึ้นลง ของอุณหภูมิดังกล่าวได้รับการทำให้เกิดขึ้นโดยคลื่นใต้น้ำ ดังกล่าวซึ่งมีแอมพลิจูดเพิ่มขึ้นร่วมกับความสูงอันเนื่องมาจากการลดลงของความดันอากาศอย่างเชิง เลขชี้กำลัง ซึ่งได้รับการทำให้มีลักษณะพิเศษที่ว่าก
TH601005420A 2011-02-25 อุปกรณ์ไอจีบีที (igbt) ที่มีโครงสร้างเกตแบบขุดและมีชั้นฝังลอย TH86092B (th)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH86092A TH86092A (th) 2007-08-20
TH113084A TH113084A (th) 2012-03-20
TH86092B true TH86092B (th) 2021-12-23

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Masuda et al. 0.97 mΩcm2/820 V 4H-SiC super junction V-groove trench MOSFET
WO2015013628A3 (en) Methods of forming buried junction devices in silicon carbide using ion implant channeling and silicon carbide devices including buried junctions
CN104218077B (zh) Esd晶体管
PH12014500712A1 (en) Igbt and method of manufacturing the same
WO2014051728A3 (en) Strained gate-all-around semiconductor devices formed on globally or locally isolated substrates
EP2597680A3 (en) Semiconductor device
JP2011119711A5 (th)
EP2991119A3 (en) Semiconductor device
IN2014DN03274A (th)
EP4583666A3 (en) Semiconductor device
JP2012089826A (ja) 半導体装置及びその製造方法
WO2014172159A8 (en) Defective p-n junction for backgated fully depleted silicon on insulator mosfet
PH12016501667A1 (en) Solar cell with trench-free emitter regions
EP2634811A3 (en) Field effect transistor
ATE545155T1 (de) Leistungshalbleiterbauelement
EP2999000A3 (en) Semiconductor device
CN105161500B (zh) 绝缘体上硅射频开关器件结构
GB2502480A (en) Independently voltage controlled volume of silicon on a silicon on insulator chip
TW201614831A (en) Semiconductor device
PH12016502441A1 (en) Passivation of light-receiving surfaces of solar cells with crystalline silicon
CN105261643A (zh) 一种高击穿电压氮化镓基高电子迁移率晶体管
MY187483A (en) Alignment free solar cell metallization
TH86092B (th) อุปกรณ์ไอจีบีที (igbt) ที่มีโครงสร้างเกตแบบขุดและมีชั้นฝังลอย
TW201212226A (en) Lateral floating coupled capacitor device termination structures
CN102983161B (zh) 非埋层的双深n型阱高压隔离n型ldmos及制造方法