TH73737A - การวิเคราะห์ด้านทั้งคู่ด้วยโพรบของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ - Google Patents

Abstract

DC60 หัวโพรบสำหรับทำการทดสอบสมบัติของอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบซึ่ง รวมถึงแผ่นฟิล์มไดอิเล็กตริก (24) สำหรับรองรับอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งชิ้น ที่มีกรอบรองรับ (26) ซึ่งรองรับแผ่นฟิล์มไดอิเล็กตริก (24) แบบขึงตัว ส่วน รองรับที่หนึ่ง (40) จะจัดตำแหน่งโพรบที่หนึ่ง (28) สำหรับการสัมผัสทางไฟฟ้ากับด้านที่หนึ่ง (16) ของอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบและส่วนรองรับที่สอง (34) ซึ่งมีตัวขับเร้าเพื่อให้ โพรบที่สอง (30) เคลื่อนที่อยู่ระหว่างตำแหน่งที่หนึ่ง (P1) กับตำแหน่งที่สอง (P2) จะจัดตำแหน่ง โพรบที่สอง (30) โดยที่ตำแหน่งที่สอง (P2) เป็นตำแหน่งสำหรับการสัมผัสทางไฟฟ้ากับด้านที่ สอง (18) ซึ่งอยู่ตรงกันข้ามของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำภายใต้การทดสอบ หัวโพรบสำหรับทำการทดสอบสมบัติของอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบซึ่ง รวมถึงแผ่นฟิล์มไดอิเล็กตริก (24) สำหรับรองรับอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งชิ้น ที่มีกรอบรองรับ (26) ซึ่งรองรับแผ่นฟิล์มไดอิเล็กตริก (24) แบบขึงตัว ส่วน รองรับที่หนึ่ง (40) จะจัดตำแหน่งโพรบที่หนึ่ง (28) สำหรับการสัมผัสทางไฟฟ้ากับด้านที่หนึ่ง (16) ของอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบและส่วนรองรับที่สอง (34) ซึ่งมีตัวขับเร้าเพื่อให้ โพรบที่สอง (30) เคลื่อนที่อยู่ระหว่างตำแหน่งที่หนึ่ง (P1) กับตำแหน่งที่สอง (P2) จะจัดตำแหน่ง โพรบที่สอง (30) โดยที่ตำแหน่งที่สอง (P2) เป็นตำแหน่งสำหรับการสัมผัสทางไฟฟ้ากับด้านที่ สอง (18) ซึ่งอยู่ตรงกันข้ามของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำภายใต้การทดสอบ

Claims (1)

1. ส่วนประกอบหัวโพรบสำหรับทำการทดสอบสมบัติของอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้ การทดสอบ ประกอบรวมด้วย แผ่นฟิล์มไดอิเล็กตริก (24) ชิ้นหนึ่งสำหรับรองรับอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การ ทดสอบอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น กรอบรองรับ (26) ชิ้นหนึ่งสำหรับรองรับแผ่นฟิล์มไดอิเล็กตริก (24) ดังกล่าวแบบ ขึงตัว โพรบที่หนึ่ง (28) ชิ้นหนึ่งเพื่อทำการสัมผัสด้านที่หนึ่ง (16) ของอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (10) ภายใต้การทดสอบดังกล่าว และ โพรบที่สอง (30) ชิ้นหนึ่งซึ่งเแท็ก :