TH7296A - วิธีการทำความสะอาดโดยใช้ไฮโดรฟลูออโรคาร์บอน - Google Patents
วิธีการทำความสะอาดโดยใช้ไฮโดรฟลูออโรคาร์บอนInfo
- Publication number
- TH7296A TH7296A TH8901001275A TH8901001275A TH7296A TH 7296 A TH7296 A TH 7296A TH 8901001275 A TH8901001275 A TH 8901001275A TH 8901001275 A TH8901001275 A TH 8901001275A TH 7296 A TH7296 A TH 7296A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- ranges
- hydrofluorocarbon
- cleaning method
- dcheclfg
- chaclbfc
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
Abstract
วิธีการทำความสะอาดผิวหน้าของซับสเตรทซึ่งประกอบไปด้วยการทำกรรมวิธีผิวหน้าดังกล่าวด้วยตัวทำละลายซึ่งประกอบไป ด้วย สารที่มีสูตร CHaClbfc(CF2)dCHeClFg ที่ซึ่ง a+e อยู่ในช่วงจาก 1 ถึง 4, b+f เท่ากับ 2,c+G อยู่ใน ช่วงจาก 0 ถึง 3, d คือจาก 1 ถึง 4, a+b+c = 3
Claims (3)
1. วิธีการทำความสะอาดผิวหน้าของซับสเตรทซึ่งประกอบไปด้วยการทำกรรมวิธีผิวหน้าดังกล่าวด้วยตัวทำละลายซึ่งประกอบไป ด้วย สารที่มีสูตร CHaClbfc(CF2)dCHeClFg ที่ซึ่ง a+e อยู่ในช่วงจาก 1 ถึง 4, b+f เท่ากับ 2,c+G อยู่ใน ช่วงจาก 0 ถึง 3, d คือจาก 1 ถึง 4, a+b+c = 3 ซึ่งตัวทำละ ลาย ดังกล่าวเป็นตัวทำละลายสำหรับสิ่งปนเปื้อนบนผิวหน้าดัง กล่าวและ กรรมวิธีดังกล่าวกำจัดสิ่งปนเปื้อนจากผิวหน้าดังกล่าว
2. วิธีการของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง วิธีการดังกล่าวกำจัด สิ่งปนเปื้อนอินทรีย์จากผิวหน้าดังกล่าว
3. วิธีแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH7296A true TH7296A (th) | 1990-02-01 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE283119T1 (de) | Verfahren zum entfernen von oberflächenverunreinigungen | |
| EP0975731A4 (en) | COMPOSITION FOR REMOVING RESIDUES IN THE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON ETHYLENE DIAMETRA ACID ACID OR ITS AMMONIUM SALT AND METHOD | |
| RU94030473A (ru) | Способ очистки эластомерного изделия от остаточных примесей и эластомерное изделие, очищенное данным способом | |
| RU94030729A (ru) | Способ очистки для удаления загрязнений с детали и композиция для его осуществления | |
| DE69433069D1 (de) | Vorrichtung zur Behandlung von Flüssigkeiten | |
| DE3887477D1 (de) | Verfahren zur Obenflächenbehandlung eines Halbleiterplättchens. | |
| ATE180901T1 (de) | Gerät und verfahren zum reinigen von fotomasken | |
| EP1126514A3 (en) | Etching method | |
| ATE108224T1 (de) | Photochemisches verfahren zur substratbehandlung unter verwendung eines dichten fluids. | |
| ATE76596T1 (de) | Verfahren zur entfernung von schadstoffen aus verunreinigtem boden und anlage zu dessen durchfuehrung. | |
| KR950021173A (ko) | 드라이에칭 장치의 에칭실을 클리닝하는 방법 | |
| ATE233431T1 (de) | Verfahren und lösung zur reinigung eines substrats von einer metallkontamination | |
| RU92016600A (ru) | Частично фторированные алканы третичной структуры и способ очистки твердой поверхности | |
| ATE87338T1 (de) | Verfahren und einrichtung zur beseitigung kleiner teilchen von einer oberflaeche. | |
| DE59003243D1 (de) | Verfahren zur Reinigung von kontaminierten Böden. | |
| DE59208257D1 (de) | Verfahren zur Entfernung olefinischer Verunreinigungen aus 1,1,1,2,3,3,3 -Heptafluorpropan | |
| DE69018159D1 (de) | Verfahren zur Abscheidung von Dünnschichten. | |
| TH7296A (th) | วิธีการทำความสะอาดโดยใช้ไฮโดรฟลูออโรคาร์บอน | |
| DE69431148D1 (de) | Methode zur Analyse von Oberflächen verunreinigungen auf Halbleitersubstraten | |
| DE58907683D1 (de) | Verfahren zur Aufbereitung von Rückständen aus der Abgasreinigung. | |
| ES2041344T3 (es) | Procedimiento para la limpieza de suelos contaminados con substancias organicas hidrofobas. | |
| ES2022078A4 (es) | Procedimiento de reduccion de la contaminacion disuelta de un liquido | |
| DE59304392D1 (de) | Verfahren zur Entfernung olefinischer Verunreinigungen aus fluorierten C3-C6-Kohlenwasserstoffen | |
| DE69421249D1 (de) | Verfahren zur Entfernung von Sauerstoff-enthaltenden Verunreinigungen aus Organo-Gallium oder -Indium Verbindungen | |
| FR2456711A1 (fr) | Procede d'elimination des impuretes d'eaux souterraines ou de surface au moyen d'ozone |