TH7296A -
Cleaning method using hydrofluorocarbon
- Google Patents
Cleaning method using hydrofluorocarbon
Info
Publication number
TH7296A
TH7296ATH8901001275ATH8901001275ATH7296ATH 7296 ATH7296 ATH 7296ATH 8901001275 ATH8901001275 ATH 8901001275ATH 8901001275 ATH8901001275 ATH 8901001275ATH 7296 ATH7296 ATH 7296A
วิธีการทำความสะอาดผิวหน้าของซับสเตรทซึ่งประกอบไปด้วยการทำกรรมวิธีผิวหน้าดังกล่าวด้วยตัวทำละลายซึ่งประกอบไป ด้วย สารที่มีสูตร CHaClbfc(CF2)dCHeClFg ที่ซึ่ง a+e อยู่ในช่วงจาก 1 ถึง 4, b+f เท่ากับ 2,c+G อยู่ใน ช่วงจาก 0 ถึง 3, d คือจาก 1 ถึง 4, a+b+c = 3 The substrate cleansing method, which consists of solvent based surface treatment, is composed of a substance formulated CHaClbfc (CF2) dCHeClFg where a + e ranges from 1 to 4, b + f is 2, c + G ranges from 0 to 3, d is from 1 to 4, a + b + c = 3.
Claims (3)
1. วิธีการทำความสะอาดผิวหน้าของซับสเตรทซึ่งประกอบไปด้วยการทำกรรมวิธีผิวหน้าดังกล่าวด้วยตัวทำละลายซึ่งประกอบไป ด้วย สารที่มีสูตร CHaClbfc(CF2)dCHeClFg ที่ซึ่ง a+e อยู่ในช่วงจาก 1 ถึง 4, b+f เท่ากับ 2,c+G อยู่ใน ช่วงจาก 0 ถึง 3, d คือจาก 1 ถึง 4, a+b+c = 3 ซึ่งตัวทำละ ลาย ดังกล่าวเป็นตัวทำละลายสำหรับสิ่งปนเปื้อนบนผิวหน้าดัง กล่าวและ กรรมวิธีดังกล่าวกำจัดสิ่งปนเปื้อนจากผิวหน้าดังกล่าว1. Substrate surface cleansing method, which consists of solvent based surface treatment, which contains the formula CHaClbfc (CF2) dCHeClFg, where a + e ranges from 1 to 4, b + f is 2, c + G ranges from 0 to 3, d is from 1 to 4, a + b + c = 3, which is the solvent for the contaminant. Such surface contamination and the process of removing contaminants from the surface2. วิธีการของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง วิธีการดังกล่าวกำจัด สิ่งปนเปื้อนอินทรีย์จากผิวหน้าดังกล่าว2. Method of claim 1 where such method eliminates Organic contaminants from the surface3. วิธีแท็ก :3. Tag method:
TH8901001275A1989-12-04
Cleaning method using hydrofluorocarbon
TH7296A
(en)
COMPOSITION BASED ON ETHYLENEDIAMINETETRAACETIC ACID OR ITS AMMONIUM SALT, FOR REMOVING RESIDUES RESULTING FROM THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTORS AND METHOD THEREOF