TH64830B - แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กและวิธีการผลิต - Google Patents

แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กและวิธีการผลิต

Info

Publication number
TH64830B
TH64830B TH901002942A TH0901002942A TH64830B TH 64830 B TH64830 B TH 64830B TH 901002942 A TH901002942 A TH 901002942A TH 0901002942 A TH0901002942 A TH 0901002942A TH 64830 B TH64830 B TH 64830B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
height
plate
defect
magnetic
main surface
Prior art date
Application number
TH901002942A
Other languages
English (en)
Other versions
TH112980A (th
Inventor
เซนดะ นางสาวยูคาริ
คิทสึนาอิ นายโคอูจิ
ทาเคดะ นายฮิโรชิ
Original Assignee
นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง
นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์
นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
โฮยา คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง, นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์, นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์ นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, โฮยา คอร์ปอเรชั่น filed Critical นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
Publication of TH112980A publication Critical patent/TH112980A/th
Publication of TH64830B publication Critical patent/TH64830B/th

Links

Abstract

DC60 (09/03/61) แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งมีการควบคุมรูปร่างกับจำนวนของตำหนิที่ผิวหน้าและ สามารถยับยั้งการเกิดข้อบกพร่องของอุปกรณ์ HDD ที่มีการติดตั้งหัวแม่เหล็กซึ่งแบล็งค์ไฮต์มี ขนาดเล็กมากในลักษณะของหัว DFH ได้ แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กของการประดิษฐ์นี้ ตำหนิซึ่งมีการตรวจจับขนาด 0.1 ไมโครเมตร ขึ้นไป และไม่เกิน 0.3 ไมโครเมตร เมื่อตรวจจับแสงที่กระจายจากผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวโดย ฉายแสง เลเซอร์ซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางจุดแสง 5 ไมโครเมตร ความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร และ กำลัง 25 มิลลิวัตต์ มีน้อยกว่า 50 แห่งต่อ 24 เซนติเมตร.ยกกำลัง2 และไม่มีตำหนิซึ่งบริเวณจากจุดสูงสุดของ ตำหนิดังกล่าวของเส้นโค้งแบริ่งที่ สามารถได้โดยการพล็อตเส้นโค้งแบริ่งที่ใช้กล้องจุลทรรศน์แรง อะตอมของตำหนิดังกล่าวจนถึง 45 เปอร์เซนต์ อยู่ที่บริเวณซึ่งสูงของความสูงตำหนิกว่าเส้นสมมุติซึ่ง เชื่อมต่อจากจุดสูงสุดของตำหนิดัง กล่าว 45 เปอร์เซนต์ แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งมีการควบคุมรูปร่างกับจำนวนของตำหนิที่ผิวหน้าและ สามารถยับยั้งการเกิดข้อบกพร่องของอุปกรณ์ HDD ที่มีการติดตั้งหัวแม่เหล็กซึ่งแบล็งค์ไฮต์มี ขนาดเล็กมากในลักษณะของหัว DFH ได้ แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กของการประดิษฐ์นี้ ตำหนิซึ่งมีการตรวจจับขนาด 0.1 Um ขึ้นไป และไม่เกิน 0.3 Um เมื่อตรวจจับแสงที่กระจายจากผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวโดยฉายแสง เลเซอร์ซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางจุดแสง 5 Um ความยาวคลื่น 405nm และกำลัง 25mW มีน้อยกว่า 50 แห่งต่อ 24cm2 และไม่มีตำหนิซึ่งบริเวณจากจุดสูงสุดของตำหนิดังกล่าวของเส้นโค้งแบริ่งที่ สามารถได้โดยการพล็อตเส้นโค้งแบริ่งที่ใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมของตำหนิดังกล่าวจนถึง 45% อยู่ที่บริเวณซึ่งสูงของความสูงตำหนิกว่าเสนสมมุติซึ่งเชื่อมต่อจากจุดสูงสุดของตำหนิดัง กล่าว 45%

Claims (1)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไข 12/04/2560 1. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กที่มีผิวหน้าหลัก ซึ่งเป็นแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งถูกใช้เป็นแผ่นจานแม่เหล็กซึ่งถูกปรับใช้สำหรับ หัว บันทึกแบบบันทึกตั้งฉาก DFH (dynamic fly Height) ที่ซึ่งความหยาบของผิวหน้า Ra มีค่า 0.15 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น เมื่อพื้นที่ในการวัด เป็นตารางขนาด 2 ไมโครเมตร x 2 ไมโครเมตร ของผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวถูกวัดโดยการใช้ กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ที่มีความละเอียด 256x256 พิกเซล และ ที่ซึ่ง เมื่อแสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่น 405 นาโนเมตรและกำลัง 25 mW ถูกฉายโดยมี ขนาดจุด 5 ไมโครเมตร ลงบนผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวและแสงที่กระจายตัวจากผิวหน้าหลัก ของแผ่นนั้นถูกตรวจับ, จำนวนของตำแหน่งซึ่งถูกตรวจจับมีขนาด 0.1 ไมโครเมตรหรือมากกว่านั้น และ 0.3 ไมโครเมตร หรือน้อยกว่านั้น มีจำนวนน้อยกว่า 50 (ไม่รวม 0) ต่อ 24 ซม.2 และ เทียบกับ ทุกตำหนิที่ถูกตรวจจับ ถือว่าไม่มีตำหนิซึ่งในเส้นโค้งแบริ่งที่ได้มาโดยวิธีการสร้างกราฟเส้นโค้งแบ ริ่งโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ส่วนหนึ่งจากจุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิจนถึง ความสูงที่ 45%ของจุดนั้นถูกทำให้อยู่ในพื้นที่ของความสูงตำหนิสูงกว่าเส้นเสมือนที่เชื่อมต่อ ระหว่าง จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิ และ จุดของความสูงที่ 45% 2. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง เกี่ยวกับเพียงแค่หนึ่งผิวหน้าหลัก นั้น ความหยาบของผิวหน้า Ra มีค่า 0.15 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น เมื่อพื้นที่ในการวัดเป็นตา รางขนาด 2 ไมโครเมตร x 2 ไมโครเมตร ของผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวถูกวัดโดยการใช้กล้อง จุลทรรศน์แรงอะตอม ที่มีความละเอียด 256x256 พิกเซล และ ที่ซึ่ง เมื่อแสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร และ กำลัง 25 mW ถูกฉายโดยมี ขนาดจุด 5 ไมโครเมตรลงบนผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าว และ แสงที่กระจายตัวจากผิวหน้าหลัก ของแผ่นนั้นถูกตรวจจับ จำนวนของตำหนิที่ถูกตรวจจับได้มีขนาด 0.1 ไมโครเมตร หรือมากกว่านั้น และ 0.3 ไมโครเมตร หรือ น้อยกว่านั้น มีจำนวนน้อยกว่า 50 (ไม่รวม 0) ต่อ 24 ซม.2 และ เทียบกับ ทุกตำหนิที่ถูกตรวจจับ ถือว่าไม่มีตำหนิซึ่งในเส้นโค้งแบริ่งที่ได้มาโดยวิธีการสร้างกราฟเส้นโค้งแบ ริ่งโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ส่วนหนึ่งจากจุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิจนถึง ความสูงที่ 45% ของจุดนั้นถูกทำให้อยู่ในพื้นที่ของความสูงตำหนิสูงกว่าเส้นเสมือนที่เชื่อมต่อ ระหว่าง จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิ และ จุดของความสูงที่ 45% 3. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กถูก ใช้เป็น แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กประเภทการบันทึกแม่เหล็กที่ใช้ความร้อนช่วย 4. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง แผ่นนั้นมีรูปจานที่มีรู ณ ศูนย์ กลางของแผ่นนั้น และ อนุมานว่าระยะห่างจากศูนย์กลางถึงขอบด้านนอกสุดเป็น 100%, ความ --------------------- แก้ไข 20/02/2560 1.แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กที่มีผิวหน้าหลัก ซึ่งเป็นแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งถูกใช้เป็นแผ่นจานแม่เหล็กซึ่งถูกปรับใช้สำหรับ หัว บันทึกแบบบันทึกตั้งฉาก DFH (dynamic fly Height) ที่ซึ่งความหยาบของผิวหน้า Ra มีค่า 0.15 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น เมื่อพื้นที่ในการวัด เป็นตารางขนาด 2 ไมโครเมตร x 2 ไมโครเมตร ของผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวถูกวัดโดยการใช้ กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ที่มีความละเอียด 256x256 พิกเซล และ ที่ซึ่ง เมื่อแสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่น 405 นาโนเมตรและกำลัง 25 mV ถูกฉายโดยมี ขนาดจุด 5 ไมโครเมตร ลงบนผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวและแสงที่กระจายตัวจากผิวหน้าหลัก ของแผ่นนั้นถูกตรวจับ, จำนวนของตำแหน่งซึ่งถูกตรวจจับมีขนาด 0.1 ไมโครเมตรหรือมากกว่านั้น และ 0.3 ไมโครเมตร หรือน้อยกว่านั้น มีจำนวนน้อยกว่า 50 (ไม่รวม 0) ต่อ 24 ซม.2 และ เทียบกับ ทุกตำหนิที่ถูกตรวจจับ ถือว่าไม่มีตำหนิซึ่งในเส้นโค้งแบริ่งที่ได้มาโดยวิธีการสร้างกราฟเส้นโค้งแบ ริ่งโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ส่วนหนึ่งจากจุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิจนถึง ความสูงที่ 45%ของจุดนั้นถูกทำให้อยู่ในพื้นที่ของความสูงตำหนิสูงกว่าเส้นเสมือนที่เชื่อมต่อ ระหว่าง จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิ และ จุดของความสูงที่ 45% 2. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง เกี่ยวกับเพียงแค่หนึ่งผิวหน้าหลัก นั้น ความหยาบของผิวหน้า Ra มีค่า 0.15 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น เมื่อพื้นที่ในการวัดเป็นตา รางขนาด 2 ไมโครเมตร x 2 ไมโครเมตร ของผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวถูกวัดโดยการใช้กล้อง จุลทรรศน์แรงอะตอม ที่มีความละเอียด 256x256 พิกเซล และ ที่ซึ่ง เมื่อแสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร และ กำลัง 25 mW ถูกฉายโดยมี ขนาดจุด 5 ไมโครเมตรลงบนผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าว และ แสงที่กระจายตัวจากผิวหน้าหลัก ของแผ่นนั้นถูกตรวจจับ จำนวนของตำหนิที่ถูกตรวจจับได้มีขนาด 0.1 ไมโครเมตร หรือมากกว่านั้น และ 0.3 ไมโครเมตร หรือ น้อยกว่านั้น มีจำนวนน้อยกว่า 50 (ไม่รวม 0) ต่อ 24 ซม.2 และ เทียบกับ ทุกตำหนิที่ถูกตรวจจับ ถือว่าไม่มีตำหนิซึ่งในเส้นโค้งแบริ่งที่ได้มาโดยวิธีการสร้างกราฟเส้นโค้งแบ ริ่งโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ส่วนหนึ่งจากจุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิจนถึง ความสูงที่ 45% ของจุดนั้นถูกทำให้อยู่ในพื้นที่ของความสูงตำหนิสูงกว่าเส้นเสมือนที่เชื่อมต่อ ระหว่าง จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิ และ จุดของความสูงที่ 45% 3. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กถูก ใช้เป็น แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กประเภทการบันทึกแม่เหล็กที่ใช้ความร้อนช่วย 4. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง แผ่นนั้นมีรูปจานที่มีรู ณ ศูนย์ กลางของแผ่นนั้น และ อนุมานว่าระยะห่างจากศูนย์กลางถึงขอบด้านนอกสุดเป็น 100%, ความ แตกต่าง (RaO-Ral) ระหว่าง ความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (RaO) ของผิวหน้าหลักภายใน ช่วง 80% ถึง 90% จากศูนย์กลางกับความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (Ral) ของผิวหน้าหลักใน ช่วง 10% ถึง 20% (RaO-Ral) จากศูนย์กลาง เป็น 0.01 หรือน้อยกว่านั้น (เมื่อพื้นที่ในการวัดเป็น ตารางขนาด 2 ไมโครเมตร x 2 ไมโครเมตร ถูกวัดโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ที่มีความ ละเอียด 256x256 พิกเซล) 5. แผ่นสำหรับจานแม่เหล็ก ซึ่งแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กที่ถูกใช้เป็นแผ่นสำหรับจาน แม่เหล็กซึ่งถูกปรับใช้สำหรับ หัวบันทึกแบบบันทึกตั้งฉาก DFH (dynamic fly Height) ที่ซึ่ง เมื่อ แสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร และ กำลัง 25 mW ถูกฉายโดยมีขนาดจุด 5 ไมโครเมตรลงบนแผ่นดังกล่าว และ แสงที่กระจายตัวจากแผ่นนั้นถูกตรวจจับ จำนวนของตำหนิที่ ถูกตรวจจับได้มีขนาด 0.1 ไมโครเมตร ถึงไม่มากกว่า 0.3 ไมโครเมตร มีจำนวนน้อยกว่า 50 (ไม่ รวม 0) ต่อ 24 ซม.2 และ เทียบกับทุกตำหนิที่ถูกตรวจจับ ถือว่าไม่มีตำหนิซึ่งในเส้นโค้งแบริ่งที่ได้ มาโดยวิธีการสร้างกราฟเส้นโค้งแบริ่งโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ส่วนหนึ่งจากจุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิจนถึงความสูงที่ 45% ของจุดนั้นถูกทำให้อยู่ในพื้นที่ของความสูงตำหนิ สูงกว่าเส้นเสมือนที่เชื่อมต่อระหว่าง จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิ และ จุดของความสูงที่ 45%ของจุดนั้น 6. แผ่นจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 5 ที่ซึ่ง กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมเป็นกล้อง จุลทรรศน์แรงอะตอมที่มีความละเอียด 256x256 พิกเซล ใน 2 ตารางมิลลิเมตร 7. แผ่นจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 5 ที่ซึ่ง แผ่นจานแม่เหล็กทำจากแก้วอะลูมิโน-ซิลิเกต 8. จานแม่เหล็กที่ประกอบรวมด้วย แผ่นจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 5 และ ชั้นบันทึกแม่ เหล็กซึ่งถูกทำขึ้นบนแผ่นจานแม่เหล็กนั้น 9. จานแม่เหล็กซึ่งเป็นจานแม่เหล็กซึ่งถูกปรับใช้สำหรับ หัวบันทึกแบบบันทึกตั้งฉาก DFH (dynamic fly Height) ที่ซึ่ง เมื่อแสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร และ กำลัง 25 mW ถูกฉายโดยมีขนาดจุด 5 ไมโครเมตร และ แสงที่กระจายตัวจากแผ่นนั้นถูกตรวจจับ จำนวนของ ตำหนิที่ถูกตรวจจับได้มีขนาด 0.1 ไมโครเมตร ถึงไม่มากกว่า 0.3 ไมโครเมตร มีจำนวนน้อยกว่า 50 (ไม่รวม 0) ต่อ 24 ชม.2 และ เทียบกับทุกตำหนิที่ถูกตรวจจับ ถือว่าไม่มีตำหนิซึ่งในเส้นโค้งแบ ริ่งที่ได้มาโดยวิธีการสร้างกราฟเส้นโค้งแบริ่งโดยการใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ส่วนหนึ่งจาก จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิจนถึงความสูงที่ 45% ของจุดนั้นถูกทำให้อยู่ในพื้นที่ของ ความสูงตำหนิสูงกว่าเส้นเสมือนที่เชื่อมต่อระหว่าง จุดสูงสุด (ความสูงที่ 0%) ของตำหนิ และ จุด ของความสูงที่ 45%ของจุดนั้น -------
1. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งเป็นแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กที่มีผิวหน้าหลัก มีลักษณะจำเพาะ คือ ความหยาบของผิวหน้า Ra ไม่เกิน 0.15nm เมื่อวัดขอบเขตการวัด ของมุม 2 Um x 2 Um ด้วยความละเอียด 256x256 พิกเซลของผิวหน้าหลักดังกล่าวโดยใช้กล้อง จุลทรรศน์แรงอะตอม ตำหนิซึ่งมีการตรวจจับขนาด 0.1 Um ขึ้นไปและไม่เกิน 0.3 Um เมื่อตรวจจับแสงที่กระจาย จากผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวโดยฉายแสงเลเซอร์ซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางจุดแสง 5 Um ความยาวคลื่น 405nm และกำลัง 25mW ที่ผิวหน้าหลักของแผ่นดังกล่าวมีน้อยกว่า 50 แห่งจุด 24cm2 และในจำนวนตำหนิทั้งหมดที่ได้มีการตรวจจับดังกล่าว ไม่มีตำหนิซึ่งบริเวณจากจุดสูงสุด ของตำหนิดังกล่าว (ความสูงของ 0%) ของเส้นโค้งแบริ่งที่สามารถได้โดยการพล็อตเส้นโค้งแบริ่งที่ ใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมจนถึง 45% อยู่ที่บริเวณซึ่งสูงของความสูงตำหนิกว่าเส้นสมมุติซึ่ง เชื่อมต่อจุดสูงสุดของตำหนิดังกล่าว (ความสูง 0%) กับจุดของความสูงที่ 45%
TH901002942A 2009-06-29 แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กและวิธีการผลิต TH64830B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH112980A TH112980A (th) 2012-03-20
TH64830B true TH64830B (th) 2018-09-12

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MY153605A (en) Substrate for magnetic disk and magnetic disk
CN109975319B (zh) 一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法
CN104296969B (zh) 一种激光损伤阈值标定方法
MY158962A (en) Glass substrate for a magnetic disk and magnetic disk
CN111203805A (zh) 全自动修复玻璃划痕的方法
JPH07509785A (ja) 表面のピット及びマウンド検出,識別装置及び方法
WO2021227134A1 (zh) 吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法
JP5337578B2 (ja) 微細凹凸パターンの欠陥判定方法、および、パターンドメディアの欠陥判定方法
US8895165B2 (en) Method of manufacturing a glass substrate for a magnetic disk, glass substrate for a magnetic disk, method of manufacturing a magnetic disk, and magnetic disk
Sheng et al. Defects localization using the data fusion of laser Doppler and image correlation vibration measurements
JP5308212B2 (ja) ディスク表面欠陥検査方法及び装置
TH64830B (th) แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กและวิธีการผลิต
TH112980A (th) แผ่นสำหรับจานแม่เหล็กและวิธีการผลิต
Su et al. Tribological and dynamic study of head disk interface at sub-1-nm clearance
CN116297527A (zh) 一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法
TWI473963B (zh) 一維掃瞄表面形貌量測裝置與方法
CN103727887A (zh) 非相干成像玻璃测厚方法
SG160307A1 (en) Magnetic disk substrate and magnetic disk
CN105388215B (zh) 一种钢板超声波检测缺陷位置记录装置
TW200938803A (en) Device and method for testing thickness and gaps of transparent objects by means of dual optical probes
CN102980844A (zh) 一种激光薄膜元件用光学基板清洗后表面检测方法
JP2010025876A (ja) 微小距離測定方法および微小距離測定装置
CN104880161B (zh) 一种利用椭偏参数测量固体材料表面粗糙度的方法
CN210802468U (zh) 一种双探头四激光束焦点定位装置
CN110887844B (zh) 基于光热弱吸收测试评价单晶硅强光元件综合性能方法