Claims (3)
1. อุปกรณ์ชนิดหนึ่งสำหรับทาในสภาพเปียกของแผ่นฟิล์มแห้งแผ่นหนึ่ง เข้ากับแผ่นที่แบนราบโดยทั่วไป ซึ่งมีผิวหน้าด้านบนและล่าง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย ลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างที่หมุนได้ และลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนที่หมุนได้ ซึ่งแต่ละตัวจะมีวัสดุดูดซับชนิดหนึ่งเกาะติดอยู่บนผิวหน้าของมัน กลไกอันหนึ่งสำหรับยึดลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน เพื่อบังคับให้สัมผัสกับลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่าง เพื่อที่ว่าการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่าง จะแปลงเป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน ถังบรรจุลูกหนึ่ง ซึ่งจัดให้มีสารทำให้เปียกชนิดหนึ่ง มีการสัมผัสกับวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว โดยที่ถังดังกล่าวจะมีร่องๆ หนึ่งบนผิวหน้าด้านในที่ก้นของมัน เพื่อดักอนุภาคที่มีอยู่ในสารทำให้เปียกที่ป้อนเข้ามาดังกล่าว ในถังดังกล่าว โดยที่สารทำให้เปียก ซึ่งถูกดูดซับโดยวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งที่ทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าวจะถูกถ่ายนโอนไปยังวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน เมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและด้านล่างดังกล่าว ถูกทำให้หมุนไป กลไกอันหนึ่ง สำหรับถ่ายโอนแผงเป้าหมายดังกล่าว ไปยังช่องหนีบช่องหนึ่งระหว่างลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและด้านล่างดังกล่าว โดยการที่หมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและด้านล่างดังกล่าว จะช่วยดึงแผงเป้าหมาย ผ่านทะลุของหนีบดังกล่าว และสารทำให้เปียกซึ่งถูกดูดซับโดยวัสดุดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบน และด้านล่างดังกล่าวตามลำดับ จะถูกถ่ายโอนไปยังผิวหน้าด้านบนและด้านล่างของแผงเป้าหมาย เพื่อทำให้ผิวหน้าดังกล่าวเปียก คู่หนึ่งของม้วนแผ่นฟิล์มด้านบน และด้านล่าง สำหรับป้อนชั้นของแผ่นฟิล์มเข้าไปตามลำดับลงบนผิวหน้าที่เปียก แล้วด้านบนและด้านล่างของแผงเป้าหมายดังกล่าว,และ คู่หนึ่งของลูกกลิ้งสำหรับทำให้แข็งตัวด้านบนและด้านล่าง สำหรับทำให้ผิวหน้าด้านบนและด้านล่างดังกล่าวของแผงเป้าหมายดังกล่าว ซึ่งมีแผ่นฟิล์มประกอบอยู่บนนั้นเกิดการแข็งตัว 2. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งลูกกลิ้งทำให้แข็งตัวด้านล่างดังกล่าวถูกตั้งตำแหน่ง ให้มีบางส่วนจมอยู่ในถังดังกล่าว เป็นอย่างน้อย 3. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งภาชนะบรรจุหรือถังดังกล่าว ได้ถูกจัดให้กลไกระบายอันหนึ่ง และมีบางส่วนถูกล้อมรอบ โดยกะทะรองรับอันหนึ่งเป็นอย่างน้อย กะทะรองรับดังกล่าวยังคงมีกลไกระบายอันหนึ่งติดอยู่ 4. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งแผ่นฟิล์มแห้งดังกล่าวเป็นวัสดุที่ไวต่อแสงชนิดหนึ่ง 5. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 4 ซึ่งวัสดุที่ไวต่อแสงดังกล่าว เป็นวัสดุจำพวกโฟโตรีซิสต์ชนิดหนึ่ง 6. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งสารทำให้เปียกดังกล่าว เป็นน้ำ 7. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งแผงเป้าหมายดังกล่าวเป็นแผงวงจร PCB อันหนึ่ง 8. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งวัสดุดูดซับดังกล่าวบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวเป็นวัสดุจำพวกนีโอพรีน 9. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 8 ซึ่งวัสดุจำพวกนีโอพรีนดังกล่าวมีความแข็งตามคิวโรมิเตอร์ ระหว่าง 20 ถึง 60 1 0. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 8 ซึ่งกะทะหยดอันหนึ่งจะมีบางส่วนเป็นอย่างน้อยที่ล้อมรอบลูกกลิ้ง สำหรับทำให้แข็งด้านล่างดังกล่าว เพื่อรองรับสารสำหรับทำให้เปียกส่วนเกิน ซึ่งถูกบีบคั้นออกมาจากผิวหน้าด้านบน และด้านล่างของแผงเป้าหมายโดยลูกกลิ้งสำหรับทำให้แข็งดังกล่าว 1 1. อุปกรณ์ชนิดหนึ่ง สำหรับทาของเหลวอย่างสม่ำเสมอลงบนแผงเป้าหมายที่แบนราบ ซึ่งมีผิวด้านบน และด้านล่าง โดยที่อุปกรณ์ดังกล่าวจะประกอบด้วย ลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านล่างที่หมุนได้อันหนึ่ง และลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านบนที่หมุนได้อันหนึ่ง ซึ่งแต่ละอันจะมีวัสดุดูดซับชนิดหนึ่ง เกาะอยู่บนผิวหน้าของมัน กลไกอันหนึ่งสำหรับยึดลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนดังกล่าวเพื่อบังคับให้สัมผัสกับลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างจะถูกแปลงให้เป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนดังกล่าว ภาชนะบรรจุลูกหนึ่ง ซึ่งทำหน้าที่ป้อนของเหลวชนิดหนึ่งให้สัมผัสกับวัสดุดูดซับดังกล่าว บนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว โดยที่ภาชนะดังกล่าว จะมีร่องอันหนึ่งบนผิวหน้าด้านในที่ก้นของมัน เพื่อดักอนุภาคที่มีอยู่ในของเหลวที่ป้อนเข้ามาในภาชนะบรรจุดังกล่าว โดยที่ของเหลวที่ถูกดูดซับ โดยวัสดุดูดซับดังกล่าวบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว จะถูกถ่ายโอนไปบนวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกเมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว ถูกทำให้หมุนไป, และ กลไกอันหนึ่ง สำหรับถ่ายโอนแผงเป้าหมายไปยังช่องหนีบช่องหนึ่งระหว่างลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว จะช่วยดึงแผงเป้าหมาย ผ่านทะลุช่องหนีบและโดยที่ของเหลว ซึ่งถูกดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบนและล่างดังกล่าว จะถูกถ่ายโอนไปยังผิวหน้าด้านบน และด้านล่างของแผงเป้าหมายดังกล่าว เพื่อทำให้บรรดาผิวหน้าดังกล่าวเปียกตามลำดับ 1 2. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 11 ซึ่งลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว ถูกจัดตำแหน่งให้มีบางส่วนอยู่ในภาชนะบรรจุดังกล่าว เป็นอย่างน้อย 1 3. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 12 ซึ่งภาชนะบรรจุดังกล่าว ถูกจัดให้มีกลไกระบายอันหนึ่ง และมีบางส่วนเป็นอย่างน้อยที่ถูกล้อมรอบด้วยกะทะรองรับลูกหนึ่งซึ่งมีกลไกระบายอันหนึ่งติดอยู่ด้วย 1 4. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 11 ซึ่งของเหลวดังกล่าวเป็นน้ำ 1 5. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 14 ซึ่งแผงเป้าหมายดังกล่าว เป็นแผงวงจร PCB อันหนึ่ง 1 6. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 14 ซึ่งวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวเป็นวัสดุจำพวกนีโอพรีน (Neoprene) 1 7. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 16 ซึ่งวัสดุนีโอพรีนดังกล่าว มีความแข็งตามคิวโรมิเตอร์ระหว่าง 20 และ 60 1 8. วิธีการชนิดหนึ่ง สำหรับทาของเหลวอย่างสม่ำเสมอลงบนแผงที่แบนราบซึ่งมีผิวหน้าด้านบนและด้านล่างอันหนึ่ง ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของ การวางลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านล่างลูกหนึ่งให้มีบางส่วนอยู่ภายในภาชนะบรรจุลูกหนึ่ง ซึ่งจัดให้มีการป้อนของเหลวชนิดหนึ่ง เพื่อที่ว่าวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว จะถูกจัดให้มีร่องอันหนึ่ง บนผิวหน้าด้านในที่ก้นของมัน เพื่อดักอนุภาคที่มีอยู่ในของเหลวดังกล่าว ที่ป้อนเข้ามาในภาชนะบรรจุดังกล่าว การบังคับนำผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าวเข้ามาสัมผัสกับวัสดุดูดซับชนิดหนึ่ง บนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนอันหนึ่ง โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว จะถูกถ่ายทอดเป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและโดยที่ของเหลวที่ดูดซับ โดยวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าวจะถูกถ่ายโอนไปบนวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนดังกล่าว เมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวถูกทำให้หมุนไป, และ การนำแผงเป้าหมายเคลื่อนที่ผ่านช่องหนีบหนึ่ง ที่อยู่ระหว่างลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และล่างดังกล่าวจะช่วยดึงแผงเป้าหมายดังกล่าว ผ่านทะลุช่องหนีบดังกล่าว และของเหลวที่ถูกดูดซับโดยวัสดุดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบน และล่างดังกล่าวจะถูกถ่ายโอนไปยังผิวหน้าด้านบน และล่างของแผงเป้าหมาย เพื่อทำให้ผิวหน้าดังกล่าวเปียกตามลำดับ 1 9. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 18 ซึ่งภาชนะบรรจุดังกล่าว จะถูกจัดให้มีกลไกระบายอันหนึ่ง และจะมีบางส่วนเป็นอย่างน้อนที่ถูกล้อมรอบโดยกะทะรองรับอันหนึ่ง ซึ่งมีกลไกระบายอันหนึ่งติดอยู่เช่นเดียวกัน 2 0. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 18 ซึ่งของเหลวดังกล่าวเป็นน้ำ 21. A device for applying in the wet state of a dry film. To a sheet that is generally flat Which has upper and lower facial surfaces The device consists of Rotating bottom wetting roller And top wetting rollers that rotate Each of these has a type of absorbent material attached to its surface. A mechanism for securing the top wetting roller. To force contact with the wetting roller underneath. So that the rotation of the rollers wet the bottom It converts to the rotation of the top wetting roller. A bucket of children Which provides a kind of wetting agent There is contact with the absorbent material on the surface of the wet roller below. Where the tank has furrows One on the inner surface of its butt To trap the particles contained in the incoming wetting agent In the tank Where the wetting agent Which was absorbed by the absorbent material. On the lower wet rollers it is transferred to the absorbent material. On top wetting rollers When the top and bottom rollers are wet Is rotated to a mechanism for transferring such target panels. Go to one of the clamping slots between the top and bottom wetting rollers. By rotating the top and bottom wet rollers. Will help pull the target panel. Through the said clamp And wetting agent which is absorbed by the absorbent material on the top roller. And below, respectively Will be transferred to the top and bottom surface of the target panel. To wet the surface of the face A pair of top and bottom film rolls for feeding layers of film sequentially onto the wet surface. Then above and below the target panel, and A pair of top and bottom stiffener rollers. For making such top and bottom faces of the aforementioned panels. 2. The device as stated in Clause 1, where the bottom coagulation roller is positioned. To have some submerged in the tank At least 3. Equipment as specified in Clause 2, which such containers or tanks Has been provided for a venting mechanism And some are surrounded With at least one support pan The support pan still has a vent mechanism attached to it. 4. The device as stated in claim 2, the dry film is a type of light-sensitive material. 5. The device as stated in Clause 4. Which materials sensitive to light It is a photoresist material 6. The device as stated in claim 5, the wetting agent is water 7. The device is stated in claim 6, where the target board is a PCB. One 8. The device as stated in claim 6, in which the absorbent material on the surface of the top wetting roller. And below it is neoprene material 9. The equipment as stated in Clause 8, the aforementioned neoprene material has a curometer hardness between 20 and 60 1 0. Set out in claim 8, where at least part of the drip pan surrounds the roller. For hardening below mentioned To accommodate excess wetting agents Which was squeezed out of the upper surface And the bottom of the target panel by the stiffening roller 1. For evenly applying liquid on a flat target panel. Which has a top and bottom surface where the device consists of One rotating bottom wetting roller And one rotating top wetting roller Each of which contains a type of absorbent material Clinging on its surface A mechanism to hold the top wetting roller to force contact with the lower wet roller. Where the rotation of the lower wetting roller is converted to the rotation of the top wetting roller. One ball container Which feeds a type of liquid in contact with the absorbent material On the surface of the roller wet the bottom thereof. Where such containers There will be a groove on the inner surface at the bottom of it. To trap particles present in the liquid that is fed into the container. Where the liquid is absorbed The absorbent material on the surface of the roller is wet below it. Is transferred onto the absorbent material. On the roller wet when the top wet roller And below as mentioned Is rotated, and a mechanism for transferring the target panel to a clamping hole between the top wetting rollers. And below as mentioned Where the rotation of the wet roller on top And below as mentioned Will help pull the target panel. Through the clamping cavity and by the liquid Which is adsorbed on the upper and lower rollers. Will be transferred to the top surface And below the target panel To make those surfaces wet, respectively. 1 2. Equipment as stated in Clause 11, which the wet roller below it. Is positioned partially in the container. Is at least 1 3. Equipment as specified in Clause 12, which the container Was provided with a venting mechanism And at least some parts were surrounded by a support pan with a vent mechanism attached to it. 1 4. The equipment stated in Clause 11, which the liquid was water. In Clause 14, the target board is a PCB 1 6. Device as stated in Clause 14, where the absorbent material on the surface of the top wet roller is absorbed by the material. And below is neoprene material (Neoprene) 1 7. Equipment as stated in Clause 16, which neoprene material is Has a hardness of the curometers between 20 and 60 1. 8. A type of method. For evenly applying liquid on a flat panel with one top and bottom surface. Which consists of steps of Placing one of the bottom wetting rollers so that there is some inside the container. Which provides a type of liquid feeding So that the absorbent material on the surface of the roller wet the bottom thereof Will be provided with a groove On the surface, in the bottom of it To trap particles present in the liquid That are fed into the said container Forcing the bottom surface of the wet roller into contact with a type of absorbent material. On the surface of one of the top wetting rollers. Where the bottom wetting roller rotation It is conveyed as the rotation of the top wetting roller and by the absorbed liquid. By such absorbent material On the bottom wetting roller is transferred onto the absorbent material. On the top wetting roller When the top wet roller And the bottom was rotated, and the target panel traveled through a clamping hole. Between the top wetting rollers And below as mentioned Where the rotation of the wet roller on top And the bottom will help pull the target panel. Through the said opening And the liquid that has been absorbed by the absorbent material on the upper roller. And the lower it is transferred to the upper surface And bottom of the target panel To wet the surface, respectively. 1 9. Method as stated in Clause 18, which the container. Will be provided with a drain mechanism And there will be some parts that are surrounded by a support pan. Which has a drain mechanism attached as well. 2 0. Method as stated in Clause 18, which the liquid is water 2
1. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 24 ซึ่งแผงเป้าหมายดังกล่าวเป็นแผงวงจร PCB อันหนึ่ง 21. The method is specified in claim 24, where the target board is a PCB. 2.
2. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 20 ซึ่งวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวเป็นวัสดุนีโอพรีน 22. Method as specified in claim 20, where the absorbent material on the surface of the top wet roller. And below it is neoprene material 2
3. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 22 ซึ่งวัสดุนีโอพรีนดังกล่าว มีความแข็งตามคิวโรมิเตอร์ระหว่าง 20 ถึง 603. The method as specified in Clause 22 in which the neoprene material is Has a hardness according to the curometers between 20 and 60.