TH6480B - ระบบทาแผ่นฟิล์มแห้งลงบนแผงในสภาพเปียก - Google Patents

Abstract

การประดิษฐ์ครั้งนี้เกี่ยวข้องโดยทั่วไป กับขบวนการสำหรับผลิตแผงวงจรอีเล็คทรอนิค และโดยเฉพาะอย่างยิ่งเกี่ยวกับระบบชนิดหนึ่ง สำหรับการทาบแผ่นฟิล์มโฟโต้รีซิสต์ที่แห้งแผ่นหนึ่งลงบนแผงวงจรดังกล่าว ในสภาพเปียก ระบบหนึ่งสำหรับ ประกอบแผ่นฟิล์มแห้งอาทิเช่น แผ่นฟิล์มโฟโต้รีซิสต์อันหนึ่ง เข้ากับแผ่นที่แบนราบ โดยทั่วไปซึ่งมีผิวหน้าด้านบนและล่าง สำหรับใช้ประโยชน์ อาทิเชน แผงวงจร PCB ในลักษณะเปียกได้ ถูกจัดให้มีขึ้น อุปกรณ์นี้ ประกอบด้วยลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และล่างที่หมุนได้ ซึ่งแต่ละตัวจะมีวัสดุดูดซับชนิดหนึ่งอาทิเช่น วัสดุนีโอพรีนเกาะติดอยู่บนผิวหน้าของมัน และกลไกอันหนึ่ง สำหรับยึดลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน เพื่อบังคับให้สัมผัสกับลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่าง เพื่อที่ว่าการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างจะแปลงเป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างจะถูกตั้งตำแหน่งไว้ให้มีบางส่วนเป็นอย่างน้อยอยู่ภายในภาชนะบรรจุลูกหนึ่งซึ่งจัดให้มีสารทำให้เปียกชนิดหนึ่ง อาทิเช่นน้ำ เพื่อที่ว่าสารทำให้เปียกจะมีการสัมผัสกับวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว สารทำให้เปียกซึ่งดูดซับโดยวัสดุทำให้เปียกดังกล่าว บนลูกกลิ้ง ทำให้เปียกด้านล่างจะถูกถ่ายโอนไปยังวัสดุดูดซับบนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน เมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และล่างถูกทำให้หมุนไปและสารทำให้เปียกที่ดูดซับไว้โดยวัสดุดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบน และล่างจะถูกถ่ายโอนไปบนผิวหน้าด้านบน และล่างของแผงเป้าหมาย เพื่อทำให้ผิวหน้าของมันเปียกตามลำดับ เมื่อแผงเป้าหมายนี้ ถูกลากผ่านทะลุบรรดาลูกกลิ้งดังกล่าวคู่หนึ่งของม้วนป้อนแผ่นฟิล์มด้านบนและล่างได้ถูกจัดให้มีขึ้นสำหรับป้อนชั้นของแผ่นฟิล์มตามลำดับ ลงไปบนผิวหน้าที่เปียกแกล้ว ของแผงเป้าหมายดังกล่าวทั้งสองด้านและคู่หนึ่งของลูกกลิ้งทำให้แข็งตัวด้านบน และล่างได้ถูกจัดให้มีขึ้นสำหรับทำให้ผิวหน้าด้านบน และล่างของแผงเป้าหมายที่มีแผ่นฟิล์มเกาะติดอยู่แข็งตัวและอยู่

Claims (3)

1. อุปกรณ์ชนิดหนึ่งสำหรับทาในสภาพเปียกของแผ่นฟิล์มแห้งแผ่นหนึ่ง เข้ากับแผ่นที่แบนราบโดยทั่วไป ซึ่งมีผิวหน้าด้านบนและล่าง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย ลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างที่หมุนได้ และลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนที่หมุนได้ ซึ่งแต่ละตัวจะมีวัสดุดูดซับชนิดหนึ่งเกาะติดอยู่บนผิวหน้าของมัน กลไกอันหนึ่งสำหรับยึดลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน เพื่อบังคับให้สัมผัสกับลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่าง เพื่อที่ว่าการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่าง จะแปลงเป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน ถังบรรจุลูกหนึ่ง ซึ่งจัดให้มีสารทำให้เปียกชนิดหนึ่ง มีการสัมผัสกับวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว โดยที่ถังดังกล่าวจะมีร่องๆ หนึ่งบนผิวหน้าด้านในที่ก้นของมัน เพื่อดักอนุภาคที่มีอยู่ในสารทำให้เปียกที่ป้อนเข้ามาดังกล่าว ในถังดังกล่าว โดยที่สารทำให้เปียก ซึ่งถูกดูดซับโดยวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งที่ทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าวจะถูกถ่ายนโอนไปยังวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน เมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและด้านล่างดังกล่าว ถูกทำให้หมุนไป กลไกอันหนึ่ง สำหรับถ่ายโอนแผงเป้าหมายดังกล่าว ไปยังช่องหนีบช่องหนึ่งระหว่างลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและด้านล่างดังกล่าว โดยการที่หมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและด้านล่างดังกล่าว จะช่วยดึงแผงเป้าหมาย ผ่านทะลุของหนีบดังกล่าว และสารทำให้เปียกซึ่งถูกดูดซับโดยวัสดุดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบน และด้านล่างดังกล่าวตามลำดับ จะถูกถ่ายโอนไปยังผิวหน้าด้านบนและด้านล่างของแผงเป้าหมาย เพื่อทำให้ผิวหน้าดังกล่าวเปียก คู่หนึ่งของม้วนแผ่นฟิล์มด้านบน และด้านล่าง สำหรับป้อนชั้นของแผ่นฟิล์มเข้าไปตามลำดับลงบนผิวหน้าที่เปียก แล้วด้านบนและด้านล่างของแผงเป้าหมายดังกล่าว,และ คู่หนึ่งของลูกกลิ้งสำหรับทำให้แข็งตัวด้านบนและด้านล่าง สำหรับทำให้ผิวหน้าด้านบนและด้านล่างดังกล่าวของแผงเป้าหมายดังกล่าว ซึ่งมีแผ่นฟิล์มประกอบอยู่บนนั้นเกิดการแข็งตัว 2. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งลูกกลิ้งทำให้แข็งตัวด้านล่างดังกล่าวถูกตั้งตำแหน่ง ให้มีบางส่วนจมอยู่ในถังดังกล่าว เป็นอย่างน้อย 3. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งภาชนะบรรจุหรือถังดังกล่าว ได้ถูกจัดให้กลไกระบายอันหนึ่ง และมีบางส่วนถูกล้อมรอบ โดยกะทะรองรับอันหนึ่งเป็นอย่างน้อย กะทะรองรับดังกล่าวยังคงมีกลไกระบายอันหนึ่งติดอยู่ 4. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งแผ่นฟิล์มแห้งดังกล่าวเป็นวัสดุที่ไวต่อแสงชนิดหนึ่ง 5. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 4 ซึ่งวัสดุที่ไวต่อแสงดังกล่าว เป็นวัสดุจำพวกโฟโตรีซิสต์ชนิดหนึ่ง 6. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งสารทำให้เปียกดังกล่าว เป็นน้ำ 7. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งแผงเป้าหมายดังกล่าวเป็นแผงวงจร PCB อันหนึ่ง 8. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งวัสดุดูดซับดังกล่าวบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวเป็นวัสดุจำพวกนีโอพรีน 9. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 8 ซึ่งวัสดุจำพวกนีโอพรีนดังกล่าวมีความแข็งตามคิวโรมิเตอร์ ระหว่าง 20 ถึง 60 1 0. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 8 ซึ่งกะทะหยดอันหนึ่งจะมีบางส่วนเป็นอย่างน้อยที่ล้อมรอบลูกกลิ้ง สำหรับทำให้แข็งด้านล่างดังกล่าว เพื่อรองรับสารสำหรับทำให้เปียกส่วนเกิน ซึ่งถูกบีบคั้นออกมาจากผิวหน้าด้านบน และด้านล่างของแผงเป้าหมายโดยลูกกลิ้งสำหรับทำให้แข็งดังกล่าว 1 1. อุปกรณ์ชนิดหนึ่ง สำหรับทาของเหลวอย่างสม่ำเสมอลงบนแผงเป้าหมายที่แบนราบ ซึ่งมีผิวด้านบน และด้านล่าง โดยที่อุปกรณ์ดังกล่าวจะประกอบด้วย ลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านล่างที่หมุนได้อันหนึ่ง และลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านบนที่หมุนได้อันหนึ่ง ซึ่งแต่ละอันจะมีวัสดุดูดซับชนิดหนึ่ง เกาะอยู่บนผิวหน้าของมัน กลไกอันหนึ่งสำหรับยึดลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนดังกล่าวเพื่อบังคับให้สัมผัสกับลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างจะถูกแปลงให้เป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนดังกล่าว ภาชนะบรรจุลูกหนึ่ง ซึ่งทำหน้าที่ป้อนของเหลวชนิดหนึ่งให้สัมผัสกับวัสดุดูดซับดังกล่าว บนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว โดยที่ภาชนะดังกล่าว จะมีร่องอันหนึ่งบนผิวหน้าด้านในที่ก้นของมัน เพื่อดักอนุภาคที่มีอยู่ในของเหลวที่ป้อนเข้ามาในภาชนะบรรจุดังกล่าว โดยที่ของเหลวที่ถูกดูดซับ โดยวัสดุดูดซับดังกล่าวบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว จะถูกถ่ายโอนไปบนวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกเมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว ถูกทำให้หมุนไป, และ กลไกอันหนึ่ง สำหรับถ่ายโอนแผงเป้าหมายไปยังช่องหนีบช่องหนึ่งระหว่างลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว จะช่วยดึงแผงเป้าหมาย ผ่านทะลุช่องหนีบและโดยที่ของเหลว ซึ่งถูกดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบนและล่างดังกล่าว จะถูกถ่ายโอนไปยังผิวหน้าด้านบน และด้านล่างของแผงเป้าหมายดังกล่าว เพื่อทำให้บรรดาผิวหน้าดังกล่าวเปียกตามลำดับ 1 2. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 11 ซึ่งลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว ถูกจัดตำแหน่งให้มีบางส่วนอยู่ในภาชนะบรรจุดังกล่าว เป็นอย่างน้อย 1 3. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 12 ซึ่งภาชนะบรรจุดังกล่าว ถูกจัดให้มีกลไกระบายอันหนึ่ง และมีบางส่วนเป็นอย่างน้อยที่ถูกล้อมรอบด้วยกะทะรองรับลูกหนึ่งซึ่งมีกลไกระบายอันหนึ่งติดอยู่ด้วย 1 4. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 11 ซึ่งของเหลวดังกล่าวเป็นน้ำ 1 5. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 14 ซึ่งแผงเป้าหมายดังกล่าว เป็นแผงวงจร PCB อันหนึ่ง 1 6. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 14 ซึ่งวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวเป็นวัสดุจำพวกนีโอพรีน (Neoprene) 1 7. อุปกรณ์ดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 16 ซึ่งวัสดุนีโอพรีนดังกล่าว มีความแข็งตามคิวโรมิเตอร์ระหว่าง 20 และ 60 1 8. วิธีการชนิดหนึ่ง สำหรับทาของเหลวอย่างสม่ำเสมอลงบนแผงที่แบนราบซึ่งมีผิวหน้าด้านบนและด้านล่างอันหนึ่ง ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของ การวางลูกกลิ้งสำหรับทำให้เปียกด้านล่างลูกหนึ่งให้มีบางส่วนอยู่ภายในภาชนะบรรจุลูกหนึ่ง ซึ่งจัดให้มีการป้อนของเหลวชนิดหนึ่ง เพื่อที่ว่าวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว จะถูกจัดให้มีร่องอันหนึ่ง บนผิวหน้าด้านในที่ก้นของมัน เพื่อดักอนุภาคที่มีอยู่ในของเหลวดังกล่าว ที่ป้อนเข้ามาในภาชนะบรรจุดังกล่าว การบังคับนำผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าวเข้ามาสัมผัสกับวัสดุดูดซับชนิดหนึ่ง บนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนอันหนึ่ง โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าว จะถูกถ่ายทอดเป็นการหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนและโดยที่ของเหลวที่ดูดซับ โดยวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านล่างดังกล่าวจะถูกถ่ายโอนไปบนวัสดุดูดซับดังกล่าว บนลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบนดังกล่าว เมื่อลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวถูกทำให้หมุนไป, และ การนำแผงเป้าหมายเคลื่อนที่ผ่านช่องหนีบหนึ่ง ที่อยู่ระหว่างลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าว โดยที่การหมุนของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และล่างดังกล่าวจะช่วยดึงแผงเป้าหมายดังกล่าว ผ่านทะลุช่องหนีบดังกล่าว และของเหลวที่ถูกดูดซับโดยวัสดุดูดซับบนลูกกลิ้งด้านบน และล่างดังกล่าวจะถูกถ่ายโอนไปยังผิวหน้าด้านบน และล่างของแผงเป้าหมาย เพื่อทำให้ผิวหน้าดังกล่าวเปียกตามลำดับ 1 9. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 18 ซึ่งภาชนะบรรจุดังกล่าว จะถูกจัดให้มีกลไกระบายอันหนึ่ง และจะมีบางส่วนเป็นอย่างน้อนที่ถูกล้อมรอบโดยกะทะรองรับอันหนึ่ง ซึ่งมีกลไกระบายอันหนึ่งติดอยู่เช่นเดียวกัน 2 0. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 18 ซึ่งของเหลวดังกล่าวเป็นน้ำ 2

1. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 24 ซึ่งแผงเป้าหมายดังกล่าวเป็นแผงวงจร PCB อันหนึ่ง 2

2. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 20 ซึ่งวัสดุดูดซับบนผิวหน้าของลูกกลิ้งทำให้เปียกด้านบน และด้านล่างดังกล่าวเป็นวัสดุนีโอพรีน 2

3. วิธีการดังระบุในข้อถือสิทธิข้อ 22 ซึ่งวัสดุนีโอพรีนดังกล่าว มีความแข็งตามคิวโรมิเตอร์ระหว่าง 20 ถึง 60